DE102004057057A1 - Substrate workstation and additional module substrate for a workstation - Google Patents

Substrate workstation and additional module substrate for a workstation

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DE102004057057A1
DE102004057057A1 DE200410057057 DE102004057057A DE102004057057A1 DE 102004057057 A1 DE102004057057 A1 DE 102004057057A1 DE 200410057057 DE200410057057 DE 200410057057 DE 102004057057 A DE102004057057 A DE 102004057057A DE 102004057057 A1 DE102004057057 A1 DE 102004057057A1
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DE
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substrate
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workstation
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DE200410057057
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German (de)
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Thomas Groos
Thomas Krieg
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substrat-Arbeitsstation (2) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten. The present invention relates to a substrate working station (2) for processing and / or analysis and / or transport of substrates. Die Substrat-Arbeitsstation (2) umfasst eine Zentraleinheit (15) und ein Gehäuse (14). The substrate working station (2) comprises a central unit (15) and a housing (14). Die Zentraleinheit (15) ist in dem Gehäuse (14) angeordnet und dient zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats. The central processing unit (15) is arranged in the housing (14) and is used for processing and / or analysis and / or transport of a substrate. Das Gehäuse (14) weist mindestens eine Schnittstelle (5) auf, an welcher ein Loadport-Modul (6) andockbar ist. The housing (14) has at least one interface (5) to which a load port module (6) can be docked. Zum zumindest zeitweise Erhöhen der Funktion einer Substrat-Arbeitsstation (2) bei einer nicht oder nicht wesentlichen Erhöhung des Footprints der Substrat-Arbeitsstation (2) ist die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation (2) dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse (14) oder an der Schnittstelle (5) ein Zusatzmodul (1) anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. For at least temporarily increasing the function of a substrate working station (2) at a non or not substantially increase the footprint of the substrate working station (2) according to the invention the substrate working station (2) is characterized in that on the housing (14) or the interface (5) a plug (1) is attachable, with which substrates workable and / or can be examined and / or transportable. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Zusatzmodul (1), welches an eine Substrat-Arbeitsstation (2) anbringbar ist und mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. Furthermore, the present invention relates to an additional module (1) which is connected to a substrate working station (2) attachable to and with which substrates workable and / or can be examined and / or transportable.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substrat-Arbeitsstation zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten. The present invention relates to a substrate workstation for processing and / or analysis and / or transport of substrates. Die Substrat-Arbeitsstation umfasst eine Zentraleinheit und ein Gehäuse. The substrate work station comprises a central processing unit and a housing. Die Zentraleinheit ist in dem Gehäuse angeordnet und dient zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats. The central unit is disposed in the housing and is used for processing and / or analysis and / or transport of a substrate. Das Gehäuse weist mindestens eine Schnittstelle auf, an welcher ein Loadport-Modul für Substrat-Aufbewahrungskassetten andockbar ist. The housing has at least one interface, to which a load port module for substrate storage cassettes can be docked. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Zusatzmodul, welches an eine Substrat-Arbeitsstation anbringbar ist. Furthermore, the present invention relates to a supplementary module, which is mountable on a substrate workstation.
  • Bei den Substraten handelt es sich einerseits um scheibenförmige Wafer, die meistens aus Silizium oder Galliumarsenid bestehen. The substrates is the one hand, disk-shaped wafers, which are mostly composed of silicon or gallium arsenide. Substrate können andererseits auch Masken sein, also Glasplatten, auf denen Strukturen aufgebracht sind oder aufgebracht werden und die als Vorlage für die Belichtung der Wafer dienen. Substrates other hand, can also be masks, that glass plates on which structures are applied or to be applied and which serve as a template for the exposure of the wafer.
  • Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden zwischen bestimmten Herstellungsschritten die Substrate in Substrat-Aufbewahrungskassetten unterschiedlicher Art zu verschiedenen Arbeitsstationen transportiert und müssen dort in die jeweilige Arbeitsstation eingeführt werden. In the manufacture of semiconductor wafers, the substrates in the substrate storage cassettes of different types are transported to various work stations between certain manufacturing steps and must be inserted into the respective working station there. Der Transport kann manuell oder automatisiert erfolgen. The transport can be manual or automated. Ein an eine Substrat-Arbeitsstation andockbares Modul, welches eine Substrat-Aufbewahrungskassette zum Be- und/oder Entladen der Substrat-Arbeitsstation aufnimmt, wird auch als Loadport-Modul bzw. als Substrat-Zuführungsmodul bezeichnet und stellt quasi eine Art Interface zwischen der Substrat-Aufbewahrungskassetten und der Substrat-Arbeitsstation dar. Die Loadport-Module für Substrat-Aufbewahrungskassetten weisen zum Andocken bzw. zum Adaptieren an die Substrat-Arbeitsstationen gemäß einer SEMI-Norm normierte Schnittstellen auf. A dockable to a substrate workstation module, which receives a substrate storage cassette for loading and / or unloading of the substrate working station is also referred to as a load port module or as a substrate feed module and provides almost a type of interface between the substrate Storage cassette and the substrate workstation. the load port modules for substrate storage cassettes have for docking or for adapting to the substrate work stations in accordance with a SEMI standard standardized interfaces. Hier ist insbesondere die SEMI-Norm E63-0600A einschlägig, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert. Here, the SEMI standard E63-0600A is particularly relevant, which normalized normalized docking as a box opener Loader to Tool Standard (BOLTS). In dieser Norm sind alle Maße der Andockstelle definiert und dargestellt. In this standard, all dimensions of the docking site are defined and shown.
  • Die Substrat-Arbeitsstationen dienen unterschiedlichen Zwecken für die Behandlung der Substrate wie die Inspektion, Vermessung oder Bearbeitung der Substrate. The substrate workstations serve different purposes for the treatment of substrates such as the inspection, measurement or processing of the substrates. Eine solche Untersuchung ist zB die Kontrolle der Waferkante (Wafer Edge Inspection oder WIE abgekürzt) oder die Kontrolle der Waferrückseite („Backside") oder die Kontrolle der Randeentlackung (auch „Edge Bead Removal" oder kurz EBR genannt). Such an investigation is, for example (also called "Edge Bead Removal" or short EBR) controlling the wafer edge (Wafer Edge Inspection or AS for short) or the control of wafer backside ( "backside") or the control of Randeentlackung. Bei der Inspektion der Substrate werden diese insbesondere hinsichtlich unerwünschter Partikel auf den Substraten oder auf Fehler in den Strukturen auf oder in der Oberfläche der Substrate optisch inspiziert. During the inspection of the substrates they are optically inspected in particular as regards unwanted particles on the substrates or to errors in the structures on or in the surface of the substrates. Die Inspektion kann durch den Benutzer oder automatisiert mit Hilfe einer elektronischen Kamera erfolgen. The inspection can be done by the user or automatically using an electronic camera. Zur Inspektion dienende Substrat-Arbeitsstationen, auch Waferinspektionsgeräte genannt, sind beispielsweise unter den Bezeichnungen INS 3000 und INS 3300 der Anmelderin aus dem Stand der Technik bekannt. serving for inspection of the substrate working stations, also called wafer inspection appliances, for example, under the designations 3000 and INS INS 3300 of the applicant from the prior art. In solchen oder auch in separaten Arbeitsstationen können zudem Messungen auf den Substraten vorgenommen werden. In such or in separate work stations also measurements can be made on the substrates. Beispielsweise können die unerwünschten Partikel oder Strukturfehler automatisch erkannt und klassifiziert werden (Defektanalyse). For example, the unwanted particles or structural faults can be automatically detected and classified (defect analysis). Zudem können die Breiten, Abstände oder Dicken der Strukturen vermessen werden (CD-Analyse, Schichtdickenanalyse). In addition, the widths, distances or thicknesses of the structures are measured (CD analysis, film thickness analysis). Die Inspektions- und Messabläufe sind häufig vollautomatisiert, sowohl was die Handhabung bzw. das Handling der Substrate betrifft, als auch hinsichtlich der zu inspizierenden oder zu vermessenden Orte auf dem Substrat. The inspection and measurement operations are often fully automated, both in terms of handling or the handling of the substrates, and in terms of to be inspected or measured locations on the substrate.
  • Eine Substrat-Arbeitsstation ist zumeist für einen ganz speziellen Zweck bzw. für eine bestimmte Aufgabe ausgelegt und konstruiert und daher bezüglich eines vielseitigen Einsatzes in der Regel eben nicht geeignet oder ausgelegt. A substrate workstation is usually designed and constructed for a very specific purpose or for a particular task and therefore with respect to a versatile insert generally just not suited or designed. Des Weiteren wird eine Substrat-Arbeitsstation hauptsächlich im Reinraum eingesetzt, wo nicht zuletzt aufgrund der hohen Betriebskosten eine Substrat-Arbeitsstation idealerweise so wenig Platz wie möglich einnehmen darf und eine bestimmte Grundfläche bzw. einen so genannten „Footprint" nicht übersteigen darf. Eine zumindest zeitweise Flexibilität bei dem Einsatz von bereits installierten und betriebenen Substrat-Arbeitsstationen, beispielsweise das Hinzufügen einer zusätzlichen Inspektionsmethode, wäre wünschenswert, ist aber-wenn überhaupt möglich – entweder mit erheblichen Umrüstarbeiten einer Substrat-Arbeitsstation und damit verbundenen Ausfallzeiten in der Produktion/Inspektion der Substrate möglich, oder aber es müsste aufgrund eines an die Substrat-Arbeitsstation angebauten weiteren Inspektionsmoduls die für die Substrat-Arbeitsstation vorgesehene Grundfläche hierdurch erhöht werden, was nicht immer möglich ist. Furthermore, a substrate workstation mainly used in the clean room, where due to the high cost of a substrate workstation must take up as little space as possible, not least ideally, and a specific surface area or a so-called "footprint" must not exceed. One at least temporarily flexibility in the use of already installed and operated substrate workstations, such as adding an additional inspection method would be desirable, but-if at all possible - either possible with significant retooling a substrate workstation and related downtime in production / inspection of the substrates or else it would have envisaged for the substrate workstation base are thereby increased due to a built onto the substrate workstation further inspection module, which is not always possible.
  • Es werden im Allgemeinen hohe Anforderungen an das Handling der Substrate gestellt, wie hinsichtlich der Sicherheit, Geschwindigkeit und Sauberkeit des Handling. It will be provided in general high demands on the handling of substrates, such as in terms of security, speed and cleanliness of handling. Zudem sollen auch Substrate mit unterschiedlichen Durchmessern verwendet und im Handling eingebracht werden können. In addition, substrates with different diameters are used and can be introduced to handle. Das Handling der Substrate bedeutet dabei insbesondere die Übergabe der Substrate von einem Substrat-Zuführungsmodul in eine Arbeitsstation, die örtlichen Veränderungen innerhalb der Arbeitsstation bzw. der Transport des Substrats und schließlich wieder zurück in das Substrat-Zuführungsmodul, gegebenenfalls mit entsprechender Sortierung. Handling of the substrates is in particular the transfer of the substrates from a substrate-supplying module into a working station, the local variations within the work station or the transport of the substrate and finally back into the substrate supply module, if appropriate, with corresponding sorting.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, zumindest zeitweise die Funktion einer Substrat-Arbeitsstation erhöhen zu können, wobei hierbei der Footprint der Substrat-Arbeitsstation nicht oder nicht wesentlich erhöht werden soll. The present invention therefore has for its object, at least temporarily be able to increase the function of a substrate working station, in this case, the footprint of the substrate working station is not or are not substantially increased.
  • Die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation der eingangs genannten Art löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1. Danach ist eine Substrat-Arbeitsstation dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse oder an der Schnittstelle ein Zusatzmodul anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. The substrate work station according to the invention of the type mentioned solves the above object by the features of claim 1. Thereafter, a substrate workstation being characterized in that an additional module is attachable to the housing or at the interface with which substrates workable and / or assayable and / or transportable.
  • Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, dass es bei manchen Anwendungen wünschenswert ist, bei einer bestehenden und installierten Substrat-Arbeitsstation zumindest zeitweise eine weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode zur Verfügung zu haben. According to the invention it has first been recognized that it is desirable in some applications to temporarily have at an existing and installed substrate workstation at least one further functionality or inspection method. Dies kann in ganz besonders vorteilhafter Weise auch ohne Umrüstarbeiten einer bestehenden installierten Substrat-Arbeitsstation erfolgen, wenn diese weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode in einem Zusatzmodul realisiert ist. This can be done in an especially advantageous manner even without retrofitting an existing substrate installed workstation, if this additional functionality or inspection method is implemented in an additional module. Sodann ist es lediglich erforderlich, das entsprechende Zusatzmodul an eine Substrat-Arbeitsstation zeitweise oder dauerhaft zu adaptieren, so dass diese weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode in Zusammenwirkung mit der Substrat-Arbeitsstation genutzt werden kann. Then it is only necessary to adapt the corresponding add-on module to a substrate workstation temporarily or permanently, so that this further functionality or inspection method can be used in cooperation with the substrate workstation.
  • Ganz allgemein kann das Zusatzmodul an eine am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation bereits vorgesehenen Schnittstelle adaptiert werden. In general, the add-on module can be adapted to a substrate on the housing of workstation interface already provided. Es ist jedoch auch denkbar, dass das Zusatzmodul unmittelbar am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation adaptierbar ist, wobei dieser Gehäuseabschnitt keine unmittelbare Schnittstellenfunktion, beispielsweise zum Austausch von Substraten zwischen der Substrat-Arbeitsstation und anderen Einheiten, aufweist. However, it is also conceivable that the additional module is directly adaptable on the body of the substrate working station, said body portion has no direct interface function, for example for the exchange of substrates between the substrate workstation, and other units. Es könnte viel mehr am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation ein Gehäuseteil vorgesehen sein, welches zunächst vom Gehäuse zu entfernen ist, um dann das Zusatzmodul an dem Gehäuse zu adaptieren. It could be much more on the housing of the substrate workstation a housing part can be provided, which must first be removed from the case, and then to adapt the plug to the housing. In diesem Fall bräuchte die Substrat-Arbeitsstation keine Schnittstelle aufweisen. In this case, the substrate workstation interface need not have.
  • Insbesondere wenn die ein Zusatzmodul aufweisende zusätzliche Funktionalität nur zeitweise benötigt wird, ist das Zusatzmodul an dem Gehäuse oder an der Schnittstelle reversibel anbringbar. In particular, if the an additional module having additional functionality is only occasionally required, the add-on module to the housing or at the interface is reversibly attachable. Hierfür könnten mechanische Schnellkopplungsverbindungen an dem Zusatzmodul und/oder an der Substrat-Arbeitsstation vorgesehen sein, so dass das Zusatzmodul mit nur wenigen Handgriffen an der Substrat-Arbeitsstation an- oder abbaubar ist. This could mechanical quick coupling connections may be provided so that the additional module on or with just a few hand movements at the substrate workstation is degradable on the additional module and / or on the substrate workstation.
  • Bevorzugt ist die Schnittstelle des Zusatzmoduls derart ausgebildet, dass sie im an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zustand eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen dem Zusatzmodul und der Substrat-Arbeitsstation gewährleistet. Preferably, the interface of the additional module is designed such that it ensures a clean room compatible connection between the plug and the substrate in the workstation adapted to the substrate workstation state. Gleiches sollte grundsätzlich für die Schnittstelle der Substrat-Arbeitsstation gelten. The same should apply in principle for the interface of the substrate workstation. So könnte die Schnittstelle des Zusatzmoduls und/oder der Substrat-Arbeitsstation mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweisen, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ermöglicht. Thus, the interface of the additional module and / or the substrate workstation could comprise at least one mechanical coupling means, which enables a clean room compatible connection between the add-on module and substrate workstation. Das mechanische Kopplungsmittel könnte beispielsweise einen Schraubverbinder oder einen Anpressverbinder mit einem drehbar gelagerten Hebel aufweisen. The mechanical coupling means may for example comprise a threaded connector or a Anpressverbinder with a rotatably mounted lever.
  • In einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Schnittstelle entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet, vorzugsweise gemäß einer SEMI-Norm, nämlich insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A. In a most preferred embodiment, the interface is designed in accordance with a standard or industry standard, preferably in accordance with a SEMI standard, namely in particular by the SEMI standard E63-0600A. Diese Industrienorm normiert eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). This industry standard normalized normalized docking as a box opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Somit kann in ganz besonders vorteilhafter Weise ein Zusatzmodul mit einer solch normierten Schnittstelle zumindest hinsichtlich der mechanischen Schnittstelleneigenschaften an jede Substrat-Arbeitsstation angekoppelt werden, welche eine derart normierte Schnittstelle aufweist. Thus, in a particularly advantageous manner, an additional module with such a standardized interface can be coupled to each workstation substrate at least in terms of the mechanical interface properties, which has such a standardized interface. Da jedoch fast jede Substrat-Arbeitsstation zumindest eine solche Schnittstelle zum Ankoppeln eines Loadport-Moduls für Substrat-Aufbewahrungskassetten aufweist, ist durch die Ausgestaltung der Schnittstellen sowohl des Zusatzmoduls als auch der Substrat-Arbeitsstation eine universelle Ankopplung von Zusatzmodul an einer Substrat-Arbeitsstation möglich. However, since almost any substrate workstation has at least such an interface for coupling a load port module for substrate storage cassettes, both of the additional module and the substrate work station is a universal coupling of additional module on a substrate workstation possible by the design of interfaces. Wenn die äußeren Maße des Zusatzmoduls im wesentlichen denen eines Loadport-Moduls entsprechen, verändert sich die Grundfläche der Substrat-Arbeitsstation mit dem daran adaptierten Zusatzmodul nicht wesentlich gegenüber der Grundfläche, die eine Substrat-Arbeitsstation mit einem daran adaptierten Loadport-Modul einnimmt. When the outer dimensions of the additional module essentially correspond to those of a load port module, the base surface of the substrate working station with the adapted thereto additional module does not substantially change relative to the base surface which takes up a substrate workstation with an adapted thereto load port module. Insoweit ist hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise die Funktionalität einer Substrat-Arbeitsstation flexibel und in vielseitiger Art und Weise erweiterbar, ohne dass wesentlich mehr Platz für die Substrat-Arbeitsstation zur Verfügung zu stellen ist. In that regard, thus in a particularly advantageous manner, the functionality of a substrate workstation flexible and extensible in a versatile manner without is to provide that much more space for the substrate workstation available.
  • Grundsätzlich kann es sich bei der Zentraleinheit einer Substrat-Arbeitsstation um eine ein Fertigungstool, ein Robotersystem, ein Randinspektionssystem, ein Mikroinspektionssystem und/oder ein Makroinspektionssystem handeln. In principle, it can be a a production tool, a robot system, an edge inspection system, an inspection system micro and / or macro inspection system at the central unit of a substrate workstation. Mit anderen Worten kommen als Substrat-Arbeitsstationen sämtliche, aus dem Stand der Technik beziehungsweise auf dem Markt erhältliche Substrat-Arbeitsstationen in Frage, an welche ein Zusatzmodul adaptierbar ist. In other words come as a substrate workstations all, from the prior art or available on the market substrate workstations in question, to which an additional module is adaptable.
  • Ganz besonders bevorzugt sind an der Substrat-Arbeitsstation und/oder am Zusatzmodul Interoperationsmittel vorgesehen, mit welchen eine Interoperation zwischen der Substrat-Arbeitsstation und einem an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zusatzmodul realisierbar ist. Very particular preference is provided on the substrate workstation and / or on the auxiliary module interoperation means with which an inter-operation between the substrate working station and adapted to the substrate workstation add-on module can be realized. Hierbei kann es sich insbesondere um elektrische Verbindungen zur Stromversorgung eines an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zusatzmoduls handeln. This may be electrical connections for the power supply of an adapted at the substrate workstation additional module in particular. Weiterhin können elektrische Schnittstellen vorgesehen sein, über welche Informationen zum Ansteuern des Zusatzmoduls und/oder Messdaten zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ausgetauscht werden können. Furthermore, electrical interfaces may be provided, which can be information for controlling the additional module and / or measurement data between the additional module and substrate workstation replaced. Auch der jeweilige Betriebszustand des Zusatzmoduls und/oder des Substrat-Arbeitsstationen könnte über eine solche elektrische Schnittstelle ausgetauscht werden, so dass eine reibungslose und aufeinander abgestimmte Bearbeitung der Substrate sowohl mit der Substrat-Arbeitsstation als auch mit dem Zusatzmodul möglich ist. Also, the respective operating state of the additional module and / or the substrate workstations could be exchanged over such an electrical interface, so that a smooth and coordinated processing of the substrates is possible with the substrate working station and with the additional module.
  • Die eingangs genannte Aufgabe wird auch durch die Merkmale des Patentanspruchs 7 gelöst. The aforementioned object is also achieved by the features of patent claim 7. Demnach ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul an eine Substrat-Arbeitsstation nach einem der Patentansprüche 1 bis 6 – vorzugsweise reversibel – anbringbar. Accordingly, an inventive add-on module to a substrate workstation according to one of claims 1 to 6 - preferably reversibly - attachable. Mit dem Zusatzmodul sind Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar. With the add-on module substrates can be processed and / or examinable and / or transportable.
  • Letztendlich kann die Funktionalität einer beliebigen Substrat-Arbeitsstation dadurch erhöht werden, dass ein Zusatzmodul, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind, an die Substrat-Arbeitsstation adaptiert wird. Finally, the functionality of an arbitrary substrate working station can be increased in that an additional module with which substrates workable and / or examinable and / or transported are, is adapted to the substrate workstation. Hierzu ist lediglich eine Schnittstelle an der Substrat-Arbeitsstation oder eine Kopplungsstelle an dem Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation erforderlich, an welchem das erfindungsgemäße Zusatzmodul adaptiert werden kann. To this end, an interface at the substrate workstation or a coupling point to the housing of the substrate workstation is required to which add-on module to the invention can be adapted. Somit kann in ganz besonders vorteilhafter Weise ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul als OEM-System ausgebildet werden. Thus, in a particularly advantageous manner, an inventive additional module can be formed as an OEM system.
  • Hinsichtlich der Schnittstelle eines Zusatzmoduls gilt das bereits oben Gesagte. With regard to the interface of an additional module that applies already been said. Dementsprechend ist eine Schnittstelle vorzugsweise entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet, bevorzugt gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert. Accordingly, an interface to a standard or industry standard is preferably correspondingly formed, preferably in accordance with a SEMI standard, in particular according to the SEMI standard E63-0600A which normalizes a normalized as docking Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS).
  • Ganz besonders bevorzugt weist das Zusatzmodul eine Schnittstelle auf, welche komplementär zu einer Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation ausgebildet ist. Most preferably, the auxiliary module has an interface, which is designed complementary to an interface of a substrate workstation. Hierdurch ist eine einfache und wirksame Adaption des Zusatzmoduls an der Substrat-Arbeitsstation möglich. In this way, a simple and effective adaptation of the additional module on the substrate workstation is possible. Weiterhin könnte die Schnittstelle des Zusatzmoduls derart ausgebildet sein, dass sie, wenn sie an einer Substrat-Arbeitsstation adaptiert ist, reinraumtauglich ist. Furthermore, the interface of the additional module could be designed so that, when it is adapted to a substrate workstation is clean room compatible. Hierunter ist insbesondere zu verstehen, dass Kontaminationen von außerhalb nicht in die Substrat-Arbeitsstation mit dem daran adaptierten Zusatzmodul eindringen können. By this is meant in particular that contamination from outside can not penetrate into the substrate workstation with the adapted thereto additional module. Vorzugsweise weist die Schnittstelle mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel auf, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ermöglicht. Preferably, the interface includes at least one mechanical coupling means, which enables a clean room compatible connection between the add-on module and substrate workstation.
  • Ganz besonders bevorzugt weist das Zusatzmodul äußere Abmessungen auf, welche an den Abmessungen der Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation angepasst sind und/oder die im Wesentlichen den äußeren Abmessungen oder der Grundfläche eines Loadport-Moduls oder einer Substrat-Aufbewahrungskassette entsprechen. Most preferably, the additional module outer dimensions which are adapted to the dimensions of the interface of a substrate workstation and / or substantially corresponding to the external dimensions, or the footprint of a load port module or a substrate storage cassette. Somit verändert sich die Grundfläche der Substrat-Arbeitsstation mit einem daran adaptierten Zusatzmodul nicht wesentlich gegenüber der Grundfläche, die eine Substrat-Arbeitsstation mit einer daran adaptierten Substrat-Aufbewahrungskassette oder Loadport-Modul einnimmt. Thus, the bottom surface of the substrate with a workstation adapted thereto additional module does not change significantly relative to the base surface which takes up a substrate with a workstation adapted thereto substrate storage cassette or load port module. Insoweit ist hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise die Funktionalität einer Substrat-Arbeitsstation flexibel und in vielseitiger Art und Weise erweiterbar, ohne dass wesentlich mehr Platz – beispielsweise in einem Reinraum – zur Verfügung zu stellen ist. In that regard, thus in a particularly advantageous manner, the functionality of a substrate workstation flexible and extensible in a versatile manner, without much more space - for example, in a clean room - is to be made available.
  • Das Zusatzmodul könnte eine weitere Schnittstelle aufweisen, welche vorzugsweise auf der der Schnittstelle abgewandten Seite angeordnet ist. The additional module could comprise an additional interface, which is preferably arranged on the opposite side of the interface. Diese weitere Schnittstelle könnte beispielsweise als Eingabe- und/oder Ausgabeport dient, über welchen Substrate von und/oder zu einer externen Substrattransport-Vorrichtung entgegennehmbar und/oder abgebbar sind. This additional interface may for example, serves as an input and / or output port through which substrates from and / or to an external substrate transport device entgegennehmbar and / or can be emitted. So wäre es beispielsweise denkbar, dass das Zusatzmodul an zwei gegenüberliegenden Seiten des Zusatzmoduls angeordnete BOLTS-Schnittstellen aufweist, so dass das Zusatzmodul mit der einen Schnittstelle an der Substrat-Arbeitsstation adaptierbar ist und dass an der anderen Schnittstelle des Zusatzmoduls ein Loadport-Modul andockbar ist. Thus, it would be conceivable that the additional module is arranged on two opposite sides of the additional module BOLTS interface, such that the additional module with the one interface is adaptable to the substrate workstation and that at the other port of the additional module, a load port module is docked , Es wäre auch denkbar, dass das Zusatzmodul über die weitere Schnittstelle an einer weiteren Zentraleinheit einer weiteren Substrat-Arbeitsstation anbringbar ist. It would also be conceivable that the additional module on the further interface to a further central unit of a further substrate workstation is attachable. Mit anderen Worten wäre das Zusatzmodul zwischen zwei Substrat-Arbeitsstationen anordenbar, und könnte hierdurch die Funktionalität dieser zwei Substrat-Arbeitsstationen erweitern. In other words, the additional module substrate between two workstations would be arranged, and could thus extend the functionality of these two substrate workstations.
  • Im folgenden werden einige denkbare Beispiele für Funktionalitäten von Zusatzmodulen angegeben. The following are some examples of conceivable functions of additional modules to be specified. So könnten die Zusatzmodule derart ausgebildet sein, dass damit So the additional modules could be designed such that this
    • • eine Substratrandinspektion oder eine Wafer-Edge-Inspection (WEI), • a substrate edge inspection or a wafer edge inspection (WEI)
    • • eine Kontrolle der Substratrückseite, • control of the substrate backside,
    • • eine Kontrolle der Randentlackung des Substrats bzw. ein Edge Bead Removal (EBR) und/oder • a control of the edge bead removal of the substrate or an edge bead removal (EBR) and / or
    • • Filmschichtdickemessungen, beispielsweise von Lacken, durchführbar ist bzw. sind. • film thickness measurements, for example of coatings, can be carried out or are.
  • Ganz besonders bevorzugt weist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul eine Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung zur Ansteuerung und/oder Auswertung der damit durchzuführenden Arbeitsschritte auf. Very particular preference to, an inventive additional module, a control and / or evaluation device for control and / or evaluation of operations in order to be implemented. Insoweit kann dieses Zusatzmodul weitgehend autark die mit ihm auszuführenden Arbeitsschritte ausführen, ohne das die Substrat-Arbeitsstation, an welcher das Zusatzmodul adaptiert ist, die entsprechende Ansteuerung und/oder Auswertung der mit dem Zusatzmodul durchzuführenden Arbeitsschritte zur Verfügung stellen muss. In that regard, this plug can largely autonomously carry out the work to be performed with it, without the substrate working station at which the additional module is adapted to the corresponding control and / or evaluation of the work steps to be carried out with the additional module is required to provide.
  • Es könnte auch mindestens einen Aktuator in oder an dem Zusatzmodul vorgesehen sein, mit welchem Substrate transportierbar oder handhabbar sind. It could also be at least one actuator provided in or on the additional module with which substrates can be transported or handled. Mit einem solchen Aktuator könnte insbesondere ein Substrat verschiebbar, drehbar und/oder justierbar sein. With such an actuator, in particular a substrate could displaceable, rotatable and / or adjustable.
  • Die mit dem Zusatzmodul erhaltenen Ergebnisse der Substratbearbeitung und/oder Substratinspektion könnten bevorzugt mittels eines am Zusatzmodul vorgesehenen Ausgabeterminals ausgegeben werden. The results obtained with the additional module of the substrate processing and / or substrate inspection could be preferably output by means of a plug provided at the output terminals. Hierbei könnte es sich im einfachsten Fall um einen Monitor bzw. ein Display handeln. This could be the simplest case, a monitor or act a display. Alternativ oder zusätzlich könnten solche Ergebnisse über eine Datenschnittstelle an ein externes System, beispielsweise auf ein VISCON Terminal oder an eine zentrale Steuer- und Auswerteeinheit, zur weiteren Verarbeitung bzw. Auswertung übertragen werden. Alternatively or additionally, such results may be transmitted over a data interface to an external system, for example on a VISCON terminal or to a central control and evaluation unit for further processing or evaluation. Ein so genanntes VISCON Terminal ist eine Auswertesoftware der Anmelderin mit der Bezeichnung VISCON NT, welche auf einen Computer läuft und mit welcher Bild- und Inspektionsdaten auswertbar bzw. analysierbar sind. A so-called Terminal VISCON is an evaluation of the applicant with the name VISCON NT, which runs on a computer and with which images and inspection data can be evaluated and analyzed.
  • In einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist das Zusatzmodul an eine Fertigungsstraße für Substrate ankoppelbar. In a very particularly preferred embodiment, the auxiliary module can be coupled to a production line for substrates. Somit kann an einzelnen erforderlichen Stellen bzw. Positionen der Fertigungsstraße jeweils ein entsprechendes Zusatzmodul adaptiert werden, so dass in den Fertigungsprozess für die Substrate eine entsprechende Kontrolle, Inspektion und/oder Behandlung der Substrate mit Hilfe des Zusatzmoduls möglich ist. Thus, a corresponding supplementary module may be attached to individual required locations or positions of the production line in each case be adapted so that a corresponding control, inspection and / or treatment of the substrates with the aid of the additional module in the manufacturing process for the substrates is possible. Hierdurch kann in ganz besonders vorteilhafter Weise die Effektivität einer Fertigungsstraße ganz erheblich verbessert werden, da ggf. vorliegende Defekte oder Verunreinigungen an den Substraten frühzeitig erkannt und gegebenenfalls behoben oder ein defektes Substrat ausgesondert werden. In this way, the effectiveness of a production line can be considerably improved in a particularly advantageous manner, since, if necessary, present defects or impurities on the substrates detected early and corrected, if appropriate, or a defective substrate can be discarded.
  • Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. There are various possibilities for embodying and developing the teaching of the present invention advantageously. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. For this purpose, on the one hand downstream of the patent claim 1 and patent claims the other hand, refer to the following explanation of the preferred embodiments of the invention with reference to the drawing. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In connection with the explanation of the preferred embodiments of the invention with reference to the drawing, generally preferred embodiments and further developments of the teaching will also be explained in general. In der Zeichnung zeigen jeweils in einer schematischen Darstellung in In the drawing each show in a schematic representation, in
  • 1 1 eine perspektivische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Zusatzmoduls, a perspective view of a first embodiment of an additive module according to the invention,
  • 2 2 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Zusatzmoduls, a perspective view of a second embodiment of an auxiliary module according to the invention,
  • 3 3 eine vordere Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul angebracht ist, a front side view of a first embodiment of a substrate workstation according to the invention, on which an inventive auxiliary module is mounted,
  • 4 4 eine Aufsicht des Ausführungsbeispiels aus a plan view of the embodiment of 3 3 , .
  • 5 5 eine Aufsicht eines um eine weitere Substrat-Arbeitsstation erweitertes Ausführungsbeispiel aus den a top view of extended by a further substrate workstation embodiment of the 3 3 und and 4 4 , .
  • 6 6 , . 8 8th , . 10 10 jeweils eine vordere Seitenansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation, an welche ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul angebracht ist, respectively a front elevational view of another embodiment of a substrate workstation according to the invention, to which an inventive auxiliary module is mounted,
  • 7 7 , . 9 9 , . 11 11 jeweils eine Aufsicht der Ausführungsbeispiele aus den each a plan view of the embodiments of the 6 6 , . 8 8th und and 10 10 . ,
  • Gleiche oder ähnliche Bauteile bzw. Baugruppen sind in den The same or similar components or assemblies are in the 1 1 bis to 11 11 mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet. marked with the same reference numerals.
  • Die The 1 1 und and 2 2 zeigen jeweils ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul each showing an inventive plug- 1 1 , welches beispielsweise an eine erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation Which, for example, according to the invention to a substrate workstation 2 2 , wie sie in As in 3 3 gezeigt ist, adaptierbar ist. is shown to be adapted. Mit dem erfindungsgemäßen Zusatzmodul With the inventive additional module 1 1 können in den Figuren nicht gezeigtes Substrate bearbeitet und/oder untersucht und/oder transportiert werden. can be edited in the figures not shown substrates and / or analyzed and / or transported. Das Zusatzmodul The additional module 1 1 aus out 1 1 umfasst eine Anzeigeeinheit includes a display unit 3 3 und eine Bedienkonsole and a control panel 4 4 . , Das Zusatzmodul aus The add-on module 2 2 umfasst zur Auswertung der Messergebnisse alle notwendigen Systeme, gibt aber die entsprechenden Rohdaten an eine in der comprises for the evaluation of the measuring results all the necessary systems, but gives the corresponding raw data to one in the 2 2 nicht gezeigte Ausgabeeinheit weiter und kann somit auch von einer externen Eingabeeinheit bedient werden. not shown further output unit and can also be operated by an external input unit thus. Insoweit umfasst das Zusatzmodul In that regard, the additional module comprises 1 1 aus out 2 2 weder eine Anzeigeeinheit noch eine Bedienkonsole. neither a display unit nor a control panel.
  • Die erfindungsgemäßen Zusatzmodule The additional modules invention 1 1 der of the 1 1 und and 2 2 umfassen jeweils eine Schnittstelle each comprise an interface 5 5 , welche nach der SEMI-Norm E63-0600A ausgebildet ist und mit welcher ein Zusatzmodul Formed according to the SEMI standard E63-0600A and with which an additional module 1 1 an eine entsprechend komplementär ausgebildete Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation to a corresponding complementarily shaped interface of a substrate workstation 2 2 ankoppelbar ist. can be coupled. Die SEMI-Norm E63-0600A beschreibt eine genormte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). The SEMI standard E63-0600A describes a standardized docking as a box opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Hierbei entsprechen die Abmessungen des Zusatzmoduls Here meet the dimensions of the additional module 1 1 im Wesentlichen der Grund- bzw. Standfläche eines Loadport-Moduls substantially to the base or footprint of a load port module 6 6 für eine Substrat-Aufbewahrungskassette for a substrate storage cassette 7 7 . , Auch des Loadport-Modul Also the load port module 6 6 weist eine Schnittstelle has an interface 5 5 auf, die zu der entsprechenden Schnittstelle to, to the corresponding interface 5 5 der Substrat-Arbeitsstation the substrate workstation 2 2 komplementär ausgebildet ist. is complementary.
  • 3 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation shows a first embodiment of an inventive substrate workstation 2 2 , an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul At which an inventive auxiliary module 1 1 sowie zwei Loadport-Module and two load port modules 6 6 angebracht ist. is attached. Die in In the 2 2 gezeigte Substrat-Arbeitsstation Substrate working station shown 2 2 ist in Form eines Robotersystems is in the form of a robot system 8 8th bzw. EFEMS (Equipment Front End Modul) ausgebildet und kann beispielsweise an eine weitere, in or EFEMs (Equipment Front End Module) and is, for example, to a further, in 3 3 nicht gezeigte Substrat-Arbeitsstation gekoppelt werden, die von dem Robotersystem Substrate working station, not shown, are coupled, of the robot system 8 8th mit Substraten be- bzw. entladen wird. loading with substrates and is discharged. Das in This in 3 3 gezeigte Zusatzmodul Additional module shown 1 1 ist gemäß diesem Ausführungsbeispiel in Form eines Wafer-Edge-Inspection-Moduls (WEI) ausgebildet. is formed according to this embodiment in the form of a wafer edge inspection module (WEI). Somit kann schon bei dem Robotersystem Thus, even at the robot system 8 8th eine Randinspektion der mit dem Robotersystem an edge of the inspection with the robotic system 8 8th gehandelten Substrate erfolgen. traded substrates done. 4 4 zeigt das Ausführungsbeispiel aus shows the embodiment of 3 3 in einer Aufsicht. in a plan.
  • In In 5 5 ist eine zu den is one of the 3 3 und and 4 4 vergleichbare Konfiguration gezeigt. comparable configuration shown. Jedoch ist dort eine weitere Substrat-Arbeitsstation However, there is a further substrate workstation 2 2 vorgesehen, die in Form eines Makroinspektionssystems provided in the form of a macro inspection system 9 9 ausgebildet ist. is trained. Mit dem Robotersystem With the robotic system 8 8th können dem Makroinspektionssystem to the macro inspection system 9 9 Substrate zugeführt oder davon abgeführt werden. are supplied to or discharged substrates thereof.
  • 6 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation shows a further embodiment of an inventive substrate workstation 2 2 , an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul At which an inventive auxiliary module 1 1 sowie ein Loadport-Modul and a load port module 6 6 angebracht ist. is attached. Die in In the 6 6 gezeigte Substrat-Arbeitsstation Substrate working station shown 2 2 ist in Form eines Fertigungstools bzw. einer Fertigungsstraße is in the form of a manufacturing tool or a production line 10 10 ausgebildet. educated. Auch das in Also in 6 6 gezeigte Zusatzmodul Additional module shown 1 1 ist in Form eines Wafer-Edge-Inspection (WEI) ausgebildet. is in the form of a wafer-edge Inspection (WEI). 7 7 zeigt das Ausführungsbeispiel aus shows the embodiment of 6 6 in einer Aufsicht. in a plan. Das Loadport-Modul The load port module 6 6 dient zum Beladen und Entladen der Fertigungsstraße is used for loading and unloading of the production line 10 10 und wird von deren Handlingsystem be- bzw. entladen. and is loaded and unloaded by the handling system. Hierdurch kann in ganz besonders vorteilhafter Weise an nahezu beliebiger Stelle der Fertigungsstraße This makes it possible in a particularly advantageous manner to virtually any point of the production line 10 10 eine Wafer-Edge-Inspection durchgeführt werden. a wafer edge inspection be carried out. Voraussetzung hierfür ist lediglich, dass an der Fertigungsstraße The only prerequisite is that on the production line 10 10 an der entsprechenden Stelle entweder eine Schnittstelle at the appropriate point either an interface 5 5 oder eine Anbaustelle an dem Gehäuse der Fertigungsstraße or an attachment point on the housing of the production line 10 10 vorgesehen ist. is provided.
  • 8 8th zeigt eine der shows one of the 3 3 vergleichbare Konfiguration, welche eine in Form eines Robotersystems similar configuration that provides in the form of a robot system 8 8th bzw. EFEMS ausgebildete Substrat-Arbeitsstation or EFEMs formed substrate workstation 2 2 aufweist. having. An dem Robotersystem On the robot system 8 8th ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul is an inventive additional module 1 1 sowie zwei Loadport-Module and two load port modules 6 6 angebracht. appropriate. Das Zusatzmodul The additional module 1 1 aus out 8 8th könnte ein Modul zum Durchführen einer Wafer-Edge-Inspection sein. a module for performing a wafer edge inspection could be. Weiterhin ist eine in Form eines Inspektionssystems Further, a is in the form of an inspection system 11 11 ausgebildete Substrat-Arbeitsstation formed substrate workstation 2 2 an dem Robotersystem on the robot system 8 8th angekoppelt. coupled. Mit dem Robotersystem With the robotic system 8 8th wird das Inspektionssystem is the inspection system 11 11 und das Zusatzmodul and the additional module 1 1 mit Substraten beladen bzw. entladen. loaded with substrates or discharged. 9 9 zeigt das Ausführungsbeispiel aus shows the embodiment of 8 8th in einer Aufsicht. in a plan.
  • 10 10 zeigt eine weitere Konfiguration, bei welcher eine in Form eines Robotersystems shows another configuration in which a in the form of a robot system 8 8th bzw. EFEMS ausgebildete Substrat-Arbeitsstation or EFEMs formed substrate workstation 2 2 zwischen zwei weiteren Substrat-Arbeitsstationen between two other substrate workstations 2 2 angeordnet ist. is arranged. Hierbei handelt es sich um ein Makroinspektionssystem This is a macro inspection system 12 12 und um ein Mikroinspektionssystem and a micro-inspection system 13 13 . , An dem Robotersystem On the robot system 8 8th sind zwei Loadport-Module two load port modules 6 6 angebracht. appropriate. Auf der Rückseite des bezüglich der Ansicht aus On the back of the reference to the view of 10 10 gezeigten Robotersystems Robot system shown 8 8th ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul is an inventive additional module 1 1 angebracht, siehe attached, see 11 11 . , Auch das Zusatzmodul Also, the additional module 1 1 aus out 11 11 könnte ein Modul zum Durchführen einer Wafer-Edge-Inspection sein. a module for performing a wafer edge inspection could be. Mit dem Robotersystem With the robotic system 8 8th wird das Makroinspektionssystem is the macro inspection system 12 12 , das Mikroinspektionssystem , The micro-inspection system 13 13 und das Zusatzmodul and the additional module 1 1 mit Substraten beladen bzw. entladen. loaded with substrates or discharged. 11 11 zeigt das Ausführungsbeispiel aus shows the embodiment of 10 10 in einer Aufsicht. in a plan.
  • Jede der in den Each of the 3 3 bis to 11 11 gezeigten Substrat-Arbeitsstationen shown substrate workstations 2 2 umfasst ein Gehäuse includes a housing 14 14 , in welchem die Zentraleinheit In which the central unit 15 15 angeordnet ist, die nicht näher gezeigt ist. is arranged, which is not shown in detail.
  • Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass die voranstehend erörterten Ausführungsbeispiele lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken. Finally, it is particularly pointed out that the embodiments discussed above serve merely to describe the teaching claimed, but do not limit it to the embodiments.
  • 1 1
    Zusatzmodul additional module
    2 2
    Substrat-Arbeitsstation Substrate workstation
    3 3
    Anzeigeeinheit display unit
    4 4
    Bedienkonsole operator
    5 5
    Schnittstelle interface
    6 6
    Loadport-Modul Load port module
    7 7
    Substrat-Aufbewahrungskassette Substrate storage cassette
    8 8th
    Robotersystem (EFEMS) The robot system (EFEMs)
    9 9
    Makroinspektionssystem Macro Inspection System
    10 10
    Fertigungsstraße production line
    11 11
    Inspektionssystem inspection system
    12 12
    Makroinspektionssystem Macro Inspection System
    13 13
    Mikroinspektionssystem Micro-inspection system
    14 14
    Gehäuse von ( Case of ( 2 2 ) )
    15 15
    Zentraleinheit von ( Central Unit ( 2 2 ) )

Claims (21)

  1. Substrat-Arbeitsstation zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten, mit einer Zentraleinheit ( Substrate workstation for processing and / or analysis and / or transport of substrates (with a central unit 15 15 ) und einem Gehäuse ( ) And a housing ( 14 14 ), wobei die Zentraleinheit ( ), Wherein the central processing unit ( 15 15 ) in dem Gehäuse ( ) In the housing ( 14 14 ) angeordnet ist und zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats dient, und wobei das Gehäuse ( ) And is used to edit and / or analysis and / or transport of a substrate, and wherein the housing ( 14 14 ) mindestens eine Schnittstelle ( ) At least one interface ( 5 5 ) aufweist, an welcher ein Loadport-Modul ( ), At which (a load port module 6 6 ) andockbar ist, dadurch gekennzeichnet , dass an dem Gehäuse ( ) Can be docked, characterized in that on the housing ( 14 14 ) oder an der Schnittstelle ( ) Or (at the interface 5 5 ) ein Zusatzmodul ( ) An additional module ( 1 1 ) anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. ) Is attachable, with which substrates workable and / or can be examined and / or transportable.
  2. Substrat-Arbeitsstation nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( Substrate workstation according to claim 1, characterized in that the additional module ( 1 1 ) an dem Gehäuse ( ) On the housing ( 14 14 ) oder an der Schnittstelle ( ) Or (at the interface 5 5 ) reversibel anbringbar ist. ) Is reversible attached.
  3. Substrat-Arbeitsstation nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittstelle ( Substrate workstation according to claim 1 or 2, characterized in that the interface ( 5 5 ) des Zusatzmoduls ( () Of the supplementary module 1 1 ) und/oder die Schnittstelle ( () And / or the interface 5 5 ) der Substrat-Arbeitsstation ( () Of the substrate workstation 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) derart ausgebildet ist/sind, dass sie im adaptierten Zustand reinraumtauglich ist/sind, und dass vorzugsweise die Schnittstelle ( ) Is adapted / are that it is suitable for clean rooms in the adapted state / are, and that preferably the interface ( 5 5 ) mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweist, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul ( ) Comprises at least one mechanical coupling means which (a clean room compatible connection between the additional module 1 1 ) und Substrat-Arbeitsstation ( () And substrate workstation 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) ermöglicht. ) Allows.
  4. Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittstelle ( Substrate workstation according to one of claims 1 to 3, characterized in that the interface ( 5 5 ) entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet ist, vorzugsweise gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert. ) Is formed in accordance with a standard or industry standard, preferably in accordance with a SEMI standard, in particular according to the SEMI standard E63-0600A which normalizes a normalized as docking Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS).
  5. Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentraleinheit ( Substrate workstation according to one of claims 1 to 4, characterized in that the central unit ( 15 15 ) ein Fertigungstool ( ) A production tool ( 10 10 ), ein Robotersystem ( ), A robot system ( 8 8th ), ein Randinspektionssystem, ein Mikroinspektionssystem ( ), An edge inspection system, a micro-inspection system ( 13 13 ) und/oder ein Makroinspektionssystem ( () And / or a macro inspection system 12 12 ) aufweist. ) having.
  6. Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch Interoperationsmittel, mit welchen eine Interoperation zwischen der Substrat-Arbeitsstation ( Substrate working station (any one of claims 1 to 5, characterized by interoperation means with which an inter-operation between the substrate workstation 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) und einem an der Substrat-Arbeitsstation ( ) And a (at the substrate workstation 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) adaptierten Zusatzmodul ( ) Adapted add-on module ( 1 1 ) realisierbar ist. ) Can be realized.
  7. Zusatzmodul, welches an eine Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 6 – vorzugsweise reversibel – anbringbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Zusatzmodul ( Add-on module, which to a substrate workstation according to one of claims 1 to 6 - preferably reversibly - is attachable, characterized in that (with the additional module 1 1 ) Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. are) substrates workable and / or examinable and / or transportable.
  8. Zusatzmodul nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Schnittstelle ( The accessory module of claim 7, characterized by an interface ( 5 5 ), welche vorzugsweise entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet ist, bevorzugt gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert. ), Which is preferably formed in accordance with a standard or industry standard, preferably in accordance with a SEMI standard, in particular according to the SEMI standard E63-0600A which normalizes a normalized as docking Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS).
  9. Zusatzmodul nach Anspruch 7 oder 8, gekennzeichnet durch eine Schnittstelle ( The accessory module of claim 7 or 8, characterized by an interface ( 5 5 ), welche komplementär zu einer Schnittstelle ( ), Which is complementary (to an interface 5 5 ) einer Substrat-Arbeitsstation ( ) Of a substrate workstation ( 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) ausgebildet ist, dass die Schnittstelle ( is formed), that the interface ( 5 5 ) des Zusatzmoduls ( () Of the supplementary module 1 1 ) derart ausgebildet ist, dass sie im an einer Substrat-Arbeitsstation ( ) Is constructed such that they (the substrate at a workstation 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) adaptierten Zustand reinraumtauglich ist, und dass vorzugsweise die Schnittstelle ( ) Adapted state is clean room compatible and that preferably the interface ( 5 5 ) mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweist, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul ( ) Comprises at least one mechanical coupling means which (a clean room compatible connection between the additional module 1 1 ) und Substrat-Arbeitsstation ( () And substrate workstation 2 2 , . 8 8th , . 10 10 ) ermöglicht. ) Allows.
  10. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 9, gekennzeichnet durch äußere Abmessungen, welche an den Abmessungen der Schnittstelle ( The accessory module of one of claims 7 to 9, characterized by outer dimensions, which (to the dimensions of the interface 5 5 ) einer Substrat-Arbeitsstation ( ) Of a substrate workstation ( 2 2 ) angepasst sind und/oder die im Wesentlichen den äußeren Abmessungen, insbesondere der Standfläche oder der Grundfläche eines Loadport-Moduls ( ) Are adapted and / or substantially (the outer dimensions, in particular the support surface or the footprint of a load port module 6 6 ) für eine Substrat-Aufbewahrungskassette entsprechen. ) Correspond for a substrate storage cassette.
  11. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 10, gekennzeichnet durch eine weitere Schnittstelle, welche vorzugsweise auf der der Schnittstelle ( The accessory module of one of claims 7 to 10, characterized by a further interface which preferably at the interface ( 5 5 ) abgewandten Seite angeordnet ist. ) Side remote is located.
  12. Zusatzmodul nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Schnittstelle als Eingabe- und/oder Ausgabeport dient, über welchen Substrate von und/oder zu einer externen Substrattransport-Vorrichtung bzw. Loadport-Modul entgegennehmbar und/oder abgebbar sind. The accessory module of claim 11, characterized in that the further interface is used as input and / or output port, entgegennehmbar and / or can be emitted by means of which substrates from and / or to an external substrate transport device or load port module.
  13. Zusatzmodul nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( The accessory module of claim 11 or 12, characterized in that the additional module ( 1 1 ) über die weitere Schnittstelle ( ) (Via the further interface 5 5 ) an einer weiteren Zentraleinheit ( ) (On a further central unit 15 15 ) einer weiteren Substrat-Arbeitsstation ( ) Of a further substrate workstation ( 2 2 ) anbringbar ist. ) Can be attached.
  14. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( The accessory module of one of claims 7 to 13, characterized in that the additional module ( 1 1 ) derart ausgebildet ist, dass damit eine Substratrandinspektion oder eine Wafer-Edge-Inspection (WEI) durchführbar ist. is) are formed such that thus a substrate edge inspection or a wafer edge inspection (WEI) is feasible.
  15. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( The accessory module of one of claims 7 to 14, characterized in that the additional module ( 1 1 ) derart ausgebildet ist, dass damit eine Kontrolle der Substratrückseite durchführbar ist. ) Is constructed so that this control of the substrate rear side is feasible.
  16. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( The accessory module of one of claims 7 to 15, characterized in that the additional module ( 1 1 ) derart ausgebildet ist, dass damit eine Kontrolle der Randentlackung des Substrats bzw. ein Edge Bead Removal (EBR) durchführbar ist. is) are formed such that a control so that the edge bead removal of the substrate or an edge bead removal (EBR) is feasible.
  17. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( The accessory module of one of claims 7 to 16, characterized in that the additional module ( 1 1 ) derart ausgebildet ist, dass damit Filmschichtdickemessungen, beispielsweise von Lacken, durchführbar ist. is) are formed such that thus film thickness measurements, for example paints, is feasible.
  18. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 17, gekennzeichnet durch eine Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung zur Ansteuerung und/oder Auswertung der damit durchzuführenden Arbeitsschritte. The accessory module of one of claims 7 to 17, characterized by a control and / or evaluation device for the control and / or evaluation of the work steps to be carried out thereby.
  19. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 18, gekennzeichnet durch mindestens einen Aktuator, mit welchem Substrate transportierbar oder handhabbar sind, wobei insbesondere mit dem Aktuator ein Substrat verschiebbar, drehbar und/oder justierbar ist. The accessory module of one of claims 7 to 18, characterized by at least one actuator, with which substrates can be transported or handled, and in particular is displaceable with the actuator a substrate, rotatable and / or adjustable.
  20. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die mit dem Zusatzmodul ( The accessory module of one of claims 7 to 19, characterized in that the (with the additional module 1 1 ) erhaltenen Ergebnisse der Substratbearbeitung oder Substratinspektion mittels eines am Zusatzmodul ( ) Results obtained of the substrate processing or inspection by means of a substrate (the add-on module 1 1 ) vorgesehenen Ausgabeterminals ausgebbar sind oder über eine Datenschnittstelle an ein externes System, beispielsweise auf ein VISCON Terminal, übertragbar sind. ) Provided on output terminals can be output or via a data interface to an external system, for example on a terminal VISCON, are transferable.
  21. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul ( The accessory module of one of claims 7 to 20, characterized in that the additional module ( 1 1 ) an eine Fertigungsstraße ( ) (On a production line 10 10 ) für Substrate ankoppelbar ist. ) Can be coupled to substrates.
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