DE102004027774A1 - Verfahren zur Herstellung mindestens einer Lötverbindung und elektrische Schaltung - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einerseits ein Verfahren zur Herstellung mindestens einer Lötverbindung zwischen mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereichen, die sich auf mindestens zwei voneinander unabhängigen, zueinander benachbart angeordneten Substraten befinden, wobei die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche an mindestens eine Durchtrittsöffnung angrenzen, die zumindest in einem ersten, ebenen Substrat der mindestens zwei Substrate angeordnet ist, wobei eine Erwärmung der mindestens zwei Substrate lediglich lokal im Bereich der mindestens einen Durchtrittsöffnung erfolgt, und andererseits eine elektrische Schaltung mit mindestens einer derartigen Lötverbindung.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung mindestens einer Lötverbindung zwischen mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereichen, die sich auf mindestens zwei voneinander unabhängigen, zueinander benachbart angeordneten Substraten befinden, wobei die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche an mindestens eine Durchtrittsöffnung angrenzen, die zumindest in einem ersten, ebenen Substrat der mindestens zwei Substrate angeordnet ist, und wobei durch ein Lotmaterial in schmelzflüssigem Aggregatzustand durch die mindestens eine Durchtrittsöffnung hindurch die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche miteinander verbunden werden und die Lötverbindung durch Überführen des Lotmaterials in den festen Aggregatzustand ausgebildet wird. Die Erfindung betrifft weiterhin eine elektrische Schaltung mit mindestens einer Lötverbindung, die zwischen mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereichen ausgebildet ist, die sich auf mindestens zwei voneinander unabhängigen Substraten befinden, wobei die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche gemeinsam an mindestens eine Durchtrittsöffnung angrenzen, die zumindest in einem ersten, ebenen Substrat der mindestens zwei Substrate angeordnet ist, und wobei ein Lotmaterial die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche und gleichzeitig die mindestens zwei Substrate durch die mindestens eine Durchtrittsöffnung hindurch elektrisch und mechanisch miteinander verbindet, wobei das Lotmaterial den Querschnitt der mindestens einen Durchtrittsöffnung mindestens an einer Stelle ausfüllt und auf der dem mindestens einen weiteren Substrat abgewandten Seite des ersten Substrats sichtbar ist.
  • Ein Verfahren und eine elektrische Schaltung dieser Art sind aus der US 6,536,653 B2 bekannt. Dabei wird ein erstes Substrat, das eine Anzahl von Kontaktflächen und Durchtrittsöffnungen aufweist, derart angeordnet, dass sich die Durchtrittsöffnungen jeweils senkrecht über einem elektrisch leitenden Anschlusspad auf einem zweiten Substrat befinden. Auf der dem zweiten Substrat abgewandten Seite des ersten Substrats werden Lotkügelchen oder Lotpastendepots im Bereich der Kontaktflächen angeordnet und ein Reflow-Lötprozess durchgeführt. Dabei wird die gesamte Anordnung aus erstem und zweitem Substrat mindestens auf die Schmelztemperatur des Lotes erhitzt und alle Lotkügelchen beziehungsweise Lotpastendepots gleichzeitig aufgeschmolzen. Das geschmolzene Lot fließt in die Durchtrittsöffnungen des ersten Substrats und bildet eine Lötverbindung zwischen den Kontaktflächen des ersten Substrats und den Anschlusspads des zweiten Substrats aus.
  • Die WO 00/13232 offenbart eine Verbindung zwischen einem ersten Substrat und einem zweiten Substrat, wobei das erste Substrat konisch ausgeformte Durchtrittsöffnungen aufweist. Die kleinere Öffnung der Durchtrittsöffnung auf der einen Seite des ersten Substrats ist dabei durch eine elektrisch leitende Auffangschicht verschlossen. In der Durchtrittsöffnung wird durch galvanische Abscheidung oder einen Reflow-Lötprozess ein Kontakthöcker aus einem ersten Lotmaterial direkt auf der Auffangschicht gebildet, die bei der galvanischen Abscheidung die Abscheidefläche für das erste Lotmaterial bildet und beim Reflow-Löten ein Herausfließen des ersten Lotmaterials aus der Durchtrittsöffnung verhindert. Ein elektrisch leitendes Lotkügelchen aus einem zweiten Lotmaterial wird anschließend mit dem Kontakthöcker verbunden, wobei das zweite Lotmaterial einen niedrigeren Schmelzpunkt und eine niedrigere Scherfestigkeit aufweist als das erste Lotmaterial.
  • Die EP 0 639 043 A1 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von durchkontaktierten Leiterplatten mit sehr kleinen beziehungsweise ohne Lötaugen. Dabei wird eine Leiterplatte mit Durchtrittsöffnungen mit Kupfer beschichtet und an den Lochwänden der Durchtrittsöffnungen eine ätzbeständige Schicht abgeschieden.
  • Die EP 1 111 974 A2 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer Lötverbindung zwischen einem Bauelement und einer Platine. Das Bauelement weist ein elektrisch leitendes Anschlusselement auf, das durch eine durchgehende Öffnung in der Platine gesteckt wird. Die Öffnung in der Platine ist von einer elektrisch leitenden, auf der Platine angeordneten Kontaktfläche umgeben. Ein schmelzflüssiges Lot wird in den Ringspalt zwischen Anschlusselement und Wandung der Öffnung, etwa durch ein Wellenlötverfahren, eingegeben und eine Lötverbindung zwischen dem Anschlusselement und der Kontaktfläche ausgebildet. Dabei ist im Bereich der Platine partiell ein Lötstoplack erforderlich, der die Benetzbarkeit der Platine lokal vermindert, so dass an diesen Stellen kein Lot abgeschieden werden kann.
  • Die EP 1 283 664 A2 offenbart einen Flachleiter und ein Verfahren zur Herstellung einer Lötverbindung zwischen einem schichtförmigen Kontaktbereich auf dem Flachleiter und einem schichtförmigen Kontaktbereich auf einem Bauteil, wobei die schichtförmigen Kontaktbereiche jeweils mit einer Leiterbahn verbunden sind. Der Flachleiter weist dabei einen aufgebogenen Randbereich auf, der die Benetzung mit Lot verbessert und Ungenauigkeiten bei der Positionierung des Lotes sowie ein Verlaufen des Lotes verhindern soll. Der aufgebogene Randbereich wird dabei unter anderem durch einen um eine Öffnung verlaufenden Kragen gebildet, wobei durch den Kragen die Dicke des Lotes erhöht werden kann und eine große Kontaktfläche für das Lot bereitgestellt wird, so dass die Scherfestigkeit der Lotverbindung verbessert wird. Das Lot kann dabei flüssig oder fest auf die Kontaktbereiche gebracht werden, wobei unter anderem eine Erhitzung mittels Lötkolben, Heißstempel oder Laser offenbart ist.
  • Die WO 99/26753 beschreibt ein Verfahren zur thermischen Verbindung von Anschlussflächen, die sich auf der Oberfläche von zwei separaten Substraten befinden. Dabei wird mindestens ein Substrat verwendet, das transparent ist. Die Anschlussflächen der Substrate werden von der Rückseite des transparenten Substrat aus mit Laserenergie beaufschlagt und thermisch verbunden.
  • Die JP 2002124545 A offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Bandes, das Öffnungen und darüber angeordnete Landepads für Lotkügelchen aufweist. Ein Zinn-Lot wird galvanisch auf den Landpads innerhalb der Öffnungen abgeschieden und dadurch die Zuverlässigkeit einer Verbindung zwischen einem im Bereich der Öffnung anzubringenden Lotkügelchen und dem jeweiligen Landepad verbessert.
  • Die JP 2001203435 A beschreibt eine Verbindung zwischen einem Ball-Grid-Array, kurz BGA, das mit Lotkügelchen und elektronischen Komponenten bestückt ist, und einer Leiterplatte. Dabei befinden sich die elektronischen Komponenten zwischen dem BGA und der Leiterplatte neben den Lotkügelchen beziehungsweise neben den in einem Reflow-Lötverfahren ausgebildeten Lötverbindung zwischen BGA und Leiterplatte.
  • Die JP 2002359460 A offenbart ein Verfahren zur Verbindung eines elektronischen Bauteils mit einer Leiterplatte. Dabei wird auf eine elektrisch leitende Kontaktfläche ein Lotkügelchen aufgesetzt und mit einem Flussmittel versehen. Anschließend wird das Bauteil aufgesetzt, die Anordnung erwärmt und das Lotkügelchen aufgeschmolzen, wobei das Bauteil gegen die Leiterplatte gedrückt wird.
  • Die JP 2002158311 A beschreibt ein BGA, dessen Anschlusspads zum Anschluss von Lotkügelchen von einer Öffnung unterbrochen werden, die sich exzentrisch zum Anschlusspad am Rand des Anschlusspads befindet.
  • Die US 6,199,273 B1 offenbart eine BGA-Anschlussstruktur, bei welcher über einer Durchkontaktierungsöffnung ein Lotkügelchen angelötet wird. Damit das Lot beim Umschmelzen beziehungsweise Anlöten am Kontakt nicht in die Öffnung fließt, wird die Öffnung entweder an einer Seite verschlossen oder ein Gegendruck in der Öffnung erzeugt, der das Lot in seiner Position hält.
  • Die JP 2003110231 A beschreibt eine Leiterplatte mit einem Anschlusspad zur Aufnahme eines geschmolzenen Lotes, das eine Oberflächenrauhigkeit im Bereich von 0,1 bis 1 μm aufweist.
  • Herstellungsprozesse für elektronische Baugruppen werden neben den funktionalen Anforderungen und der fortschreitenden Miniaturisierung wesentlich auch von der Wirtschaftlichkeit des Produktionsverfahrens geprägt. Die vor mehr als drei Jahrzehnten eingeführte Leiterplatte stellt bis heute einen kostengünstigen Träger für die Montage sowohl einfacher als auch komplexer elektronischer Baugruppen bereit. Die vorherrschende Montagetechnik für Bauelemente auf Leiterplatten war bis vor einigen Jahren die Durchsteckmontage (Through-Hole Technology – THT). Bei dieser werden Bauelemente mit elektrischen Anschlusskontakten in Form von Draht oder beinchenartigen Gebilden verwendet, die in Bohrungen in der Leiterplatte gesteckt werden. Die stoffschlüssige mechanische und elektrische Verbindung wird anschließend durch Weichlöten erzeugt. Hierzu wird die gesamte Leiterplatte, das sogenannte Board, nach der Bestückung über eine Wellenlötanlage gefahren. Bedingt durch die fortschreitende Miniaturisierung elektronischer Baugruppen wurde die THT-Technik jedoch in den letzten Jahren immer mehr durch die Oberflächenmontagetechnik (Surface Mount Technology – SMT) abgelöst. Hier werden die Bauelemente, die als elektrische Anschlusskontakte flache Kontaktstrukturen aufweisen, flach mit den Kontaktstrukturen auf die Oberfläche der Leiterplatte gelegt und befestigt. Bereits bei der Erzeugung des Leiterbildes auf der Leiterplatte werden an den vorgesehenen Kontaktierungsstellen zur Aufnahme der Kontaktstrukturen spezielle Anschlussflächen (Pads) vorgesehen.
  • Die Kontaktstrukturen eines für SMT-Montage geeigneten, sogenannten SMD-Bauelements (Surface Mounted Device – SMD) werden beispielsweise durch metallisierte Flächen beziehungsweise Metallschichten, durch Anschlusskappen bei passiven Bauelementen, durch kurze Anschlussbeinchen, die beispielsweise bei QFPs (Quad Flat Pack – QFP) auf der Oberfläche der Leiterplatte aufliegen oder durch Lotkügelchen, die sogenannten Solder Balls oder Lotbumps, bei Area-Array Bauelementen gebildet. Als Verbindungsmedium zwischen der Kontaktstruktur und dem Pad dient eine Weichlotlegierung, die in Form von Lotpaste durch vorzugsweise Schablonendruck oder selektives Aufbringen von Lotpastendepots, durch sogenanntes Dispensen, vor dem Bestücken der Leiterplatte auf die Leiterplatte aufgebracht wird. Anschließend werden die SMD-Bauelemente, üblicherweise automatisch in einem sogenannten pick-and-place-Verfahren, auf der Leiterplatte angeordnet.
  • Der elektrische und mechanische Kontakt wird im Reflowofen durch Umschmelzen des Lots hergestellt. Die Vorteile der Oberflächenmontage liegen im Wesentlichen in der Möglichkeit der Verwendung kleinerer Bauelementgrößen, der zweiseitigen Bestückung der Leiterplatte und damit der Erhöhung der Integrationsdichte. Durch die höhere Packungsdichte und den Entfall der drahtförmigen Anschlussstrukturen bei den Bauelementen werden zusätzlich die Signallaufzeiten verringert und die Eigenschaften von Hochfrequenz-Schaltungen verbessert. Ein höherer Automatisierungsgrad bei der SMT- gegenüber der THT-Technik im Bestückprozess führt zu einem Kosteneinsparpotenzial von bis zu 30 Prozent. Bestimmte Bauelemente, wie beispielsweise Anschlussstecker, werden nach wie vor in THT-Technik ausgeführt. Deshalb finden sich in der Praxis auch häufig Baugruppen mit Mischformen zwischen THT- und SMT-Technik.
  • Immer höhere Anforderungen an moderne elektronische Baugruppen, bei gleichzeitiger Miniaturisierung der Bauelemente und Anschlussstrukturen, sowie die Erhöhung der Integrationsdichte erfordern auch neue Lösungen bei der Aufbau- und Verbindungstechnik. Zusätzlich sollen Bauräume statt mit bisherigen planen Leiterplattenstrukturen durch thermoplastische räumliche Schaltungsträger, wie sie in der 3D-MID Technologie (Molded Interconnect Device – MID) angewandt werden, oder durch flexible Schaltungsträger wie Folienschaltungsträger (Flexible Printed Circuit – FPC) räumlich besser genutzt werden. Auch eine Verbindung von mechanischen mit elektrischen und elektronischen Funktionselementen, wie sie in mechatronischen Anwendungen umgesetzt werden, erhöht die Integrationsdichte und steigert die „Vor-Ort-Intelligenz" dezentraler Einheiten. Diesen positiven Eigenschaften der neuen Substratmaterialien in der 3D-MID Technik und in der Folientechnik stehen jedoch verschiedene Probleme gegenüber.
  • Stand der Technik ist die Übertragung der aus der starren Leiterplatte bekannten Oberflächenmontage auf die Herstellung von Baugruppen auf flexiblen Folienschaltungsträgern oder auf MID-Schaltungsträgern. Dabei stellt die hohe Temperaturbelastung beim Reflowlöten, verschärft durch das Verbot bleihaltiger Legierungen ab dem Jahr 2006, für viele thermoplastische Schaltungsträger die größte Problematik dar. Neben den neuen Materialien im Schaltungsträgerbereich stellt die weiter fortschreitende Miniaturisierung und die Erschließung der dritten Dimension für räumliche Baugruppen eine neue Herausforderung für die Aufbau- und Verbindungstechnik und damit die Verfahren zur Kontaktierung in beengten Bereichen oder in Bereichen mit geringen Kontaktabständen (Fine-Pitch-Bereich) dar. Feinste Anschlussstrukturen erfordern eine Verbindungstechnik mit Kontaktstellen im Durchmesserbereich von 100 μm–300 μm und kleiner.
  • Bis zu 60 Prozent der Herstellungsfehler von SMT montierten Baugruppen lassen sich auf den Prozessschritt Lotpastenauftrag zurückführen. Weitere Herstellungsfehler wie der Tombstone-Effekt (Sich-Aufrichten der Bauteile) oder ungenügende Lötverbindungen treten beim Reflow-Löten auf. Je feiner die Anschlussstrukturen, desto größer ist die Fehlerneigung (Versatz, Auslöseverhalten, Konstanz der Lotdepots usw.).
  • Zur Realisierung künftiger Anforderungen an dezentrale hochintegrierte Einheiten mit mechatronischer Ausrichtung (Sensorik, MEMS (Micro-Electrical-Mechanical-Systems), etc.) ist der kombinierte Einsatz von starren sowie flexiblen Schaltungsträgern und MID-Schaltungsträgern wünschenswert.
  • Sowohl bei MIDs als auch bei FCPs ist es für eine Verarbeitung mittels eines Reflow-Lötverfahrens notwendig, ausschließlich temperaturstabile Substratwerkstoffe, wie hochtemperaturbeständige technische Kunststoffe, beispielsweise Polyimid (PI) oder Flüssigkristallpolymere (Liquid Crystal Polymer – LCP), zu verwenden. Diese Materialien widerstehen den Temperaturen im Reflowofen und behalten ihre äußere Form. Der gesetzliche Zwang zur Verarbeitung bleifreier Lotwerkstoffe, deren Verarbeitungstemperaturen im Reflow-Lötprozess deutlich höher liegen als die der bisherigen üblichen bleihaltigen Lotlegierungen, führt zu einer weiteren Einschränkung im Hinblick auf die verwendbaren Substratmaterialien. Beim Reflow-Lötverfahren wird zum Umschmelzen des Lots immer die gesamte Baugruppe, das heißt Leiterplatte inklusive Bauteile, mindestens auf Temperaturen im Schmelzbereich des Lotes bis zu etwa 250°C erhitzt, wo die meisten thermoplastischen Substrate an ihre Grenzen stoßen und zu Formänderungen durch Verwölben oder Verziehen neigen. Dies kann für Anwendungen mit groben Strukturen teilweise noch toleriert werden, jedoch für Applikationen im Fine-Pitch Bereich, mit Strukturbreiten zwischen 100 μm und 200 μm, bei Pitch-Abständen von 250 μm bis 500 μm, führt dies gerade bei Area-Array Bauelementen zu hohen Ausfallraten. Vor dem Hintergrund weiter fortschreitender Miniaturisierung, sowohl auf der Bauelement- als auch auf der Baugruppenseite und der Verwendung alternativer Schaltungsträger zur optimierten Bauraumnutzung (Folienschaltungsträger und MIDs), ergeben sich auch neue Anforderungen an die Verbindungstechnik im Fine-Pitch-Bereich.
  • Gerade bei kleinen Losgrößen und einer großen Typenvarianz bieten bisherige dreigeteilte Herstellungsverfahren, die folgende, auf unterschiedlichen Maschinen laufende Prozessschritte – Auftrag des Verbindungsmediums, Bestücken der Bauelemente und Reflow-Löten – umfassen, nicht die nötige Flexibilität. Beispielsweise ist beim Lotpastenauftrag mit Schablonendruck für jedes Layout eine eigene Schablone erforderlich, die bei einer Umstellung der Linie auf eine andere Baugruppe gewechselt werden muss. Zusätzlich werden die Fehlerraten bei kleineren Bauteilen und immer feineren Anschlussstrukturen deutlich größer. Durch die Volumenreduktion beim Umschmelzen der Paste – der Metallgehalt entspricht nur circa 50 Volumenprozent der Paste – stößt man beim Layout der Schablonendurchbrüche an Grenzen, wenn hohe Packungsdichten der Anschlussstrukturen die notwendigen Flächen für das erforderliche Pastenvolumen nicht mehr zulassen.
  • Bei spritzgegossenen Schaltungsträgern fehlt derzeit im Gegensatz zu Folienschaltungsträgern die Multilayerfähigkeit. Ein sinnvoller Einsatz von Area-Array Packages wie BGAs, Chip-Size-Packages (CSP) oder Flip-Chips ist wegen der Entflechtungsproblematik bisher nicht möglich.
  • Bisherige Verfahren, wie beispielsweise Bügellöten, setzen zum einen die vorherige separate Aufbringung des Verbindungsmediums voraus und sind für komplexere feine Strukturen nicht mehr geeignet.
  • Das generelle Problem der Area-Array Anschlussstrukturen sind die flächig angeordneten Verbindungsstellen, die durch das Bauteil selbst verdeckt werden (siehe 1). Hier besteht nur in den Randzonen der äußeren Reihen die Möglichkeit einer optischen Überprüfung. Ansonsten sind die innenliegenden Anschlüsse nicht oder nur unter großem Aufwand auf ihre Funktion zu prüfen.
  • Es ist nun Aufgabe der Erfindung, ein verbessertes Verfahren zur Herstellung einer feinen Lötverbindung zwischen mindestens zwei, voneinander unabhängigen Substraten bereitzustellen, die in einem einzigen Arbeitsschritt hergestellt wird, so dass eine Zwischenlagerung oder ein Transport von Zwischenprodukten entfällt. Weiterhin ist es Aufgabe der Erfindung, eine elektrische Schaltung bereitzustellen, die Lötverbindungen und ein Material aufweist, das einem Reflow-Lötprozess für das eingesetzte Lotmaterial nicht standhalten würde.
  • Die Aufgabe wird für das Verfahren dadurch gelöst, dass
    • a) das Lotmaterial geschmolzen und als Lotmaterialtropfen direkt in die mindestens eine Durchtrittsöffnung appliziert wird, oder
    • b) das Lotmaterial in Form eines Lotmaterialdepots in festem Aggregatzustand in oder auf der mindestens einen Durchtrittsöffnung platziert wird und ein punktueller Energieeintrag in das Lotmaterialdepot erfolgt, wodurch das Lotmaterialdepot erschmolzen wird, wobei
    sowohl in Fall a) als auch in Fall b) eine Erwärmung der mindestens zwei Substrate lediglich lokal im Bereich der mindestens einen Durchtrittsöffnung erfolgt.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht eine stoffschlüssige elektrische Verbindung feinster, elektrisch leitfähiger Strukturen. Das erfindungsgemäße Verfahren ist zur Herstellung feinster Lötverbindungen und damit zur Kontaktierung feinster Anschlussstrukturen an Substraten, vorzugsweise flexiblen Schaltungsträgern, geeignet. Selektiv erzeugte Lötverbindungen im Fine-Pitch-Bereich sind nun möglich. Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht in der Möglichkeit, feinste Anschlussstrukturen von Substraten, vorzugsweise flexiblen Substraten wie Folienschaltungsträgern, so mit anderen Substraten, vorzugsweise Bauelementen, zu verlöten, dass dies unter Vermeidung von Zwischenschritten in einem Arbeitsgang möglich wird. Eine löttechnisch hergestellte Verbindung weist gegenüber einer mit Leitklebern erzeugten die Vorteile einer höheren Leitfähigkeit und Zuverlässigkeit auf. Dabei wird die thermische Belastung der Verbindungspartner beziehungsweise Substrate beim Umschmelzen des Verbindungsmediums Lot minimiert.
  • Durch die selektive Temperatureinbringung je Lötverbindung wird die gesamte Baugruppe thermisch wesentlich weniger belastet als beim Reflow-Löten. Darüber hinaus bietet das erfindungsgemäße Verfahren die Möglichkeit, den bisher üblichen Herstellungsprozess, der im Wesentlichen die drei, auf unterschiedlichen Maschinen laufenden Prozessschritte – Auftrag des Verbindungsmediums, Bestücken der Bauelemente und Reflow-Löten – aufweist, in eine Anlage zu integrieren. So kann beispielsweise bei der Bestückung einer Leiterplatte mit einem Bauteil das Herstellungsverfahren bestehend aus einem Lotpastenauftrag auf die Leiterplatte, dem Transport der so vorbereiteten Leiterplatte zum Bestückungsautomaten, dem Setzen des Bauteils auf die Lotpads, dem Transport dieser Baugruppe zum Reflow-Ofen und dem Löten deutlich verkürzt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht in diesem Fall die unmittelbare Zuführung des Bauteils direkt zur Leiterplatte bei unmittelbar nachfolgender Ausbildung der Lötverbindung. Die gebildete Lötstelle kühlt sehr schnell ab, so dass nach der Ausbildung der Lötverbindung lediglich noch ein Substrat beziehungsweise die Leiterplatte von Greifersystemen der Anlage gehalten werden muss, während das damit verlötete weitere Substrat beziehungsweise das Bauteil bereits fest an der Leiterplatte fixiert ist.
  • Gleichzeitig bleibt die Zugänglichkeit der einzelnen Lötverbindungen im Gegensatz zu üblichen Verfahren der Feinstkontaktierung (beispielsweise bei Area-Area-Bauelemente) erhalten. Im Gegensatz zu der bestehenden SMT-Verbindungstechnik bei Area-Array-Bauelementen, deren bisher verdeckte Anschlussstrukturen schwer zu prüfen waren, kann nun also jede einzelne Verbindungsstelle kostengünstig optisch und elektrisch überprüft werden. Nachdem das erfindungsgemäße Verfahren unter anderem mit Durchkontaktierungen im Bereich der Durchtrittsöffnungen arbeiten kann, zeichnet es sich dadurch aus, dass Area-Array Anschlussstrukturen auf einem Substrat im Bereich der Durchtrittsöffnungen geprüft werden können. Somit wurde im Fine-Pitch-Bereich eine Möglichkeit geschaffen, eine ansonsten verdeckte Verbindungsstelle von Außen bearbeiten und prüfen zu können. Diese Zugänglichkeit erlaubt es auch, die Herstellung der Verbindung (Positionierung der Verbindungspartner und des Lotmaterials sowie den Umschmelzprozess) selektiv in einem Arbeitsgang zu realisieren. Somit kann der bisher dreigeteilte, oben beschriebene Herstellungsprozess beim Reflow-Löten für elektronische Schaltungen in einem Prozessschritt realisiert werden.
  • Untersuchungen zu Qualität und Zuverlässigkeit der gebildeten Lötverbindung haben ergeben, dass die Geometrie der gebildeten Lötstelle, beispielsweise bei der Verbindung von Area-Array-Bauelementen mit flexiblen Schaltungsträgern, gegenüber der bisherigen SMT-Montage (UBM – Ball – PAD) mit anschließendem Reflow-Umschmelzen weitere Vorteile aufweist, da zu der Stoffschlüssigkeit der bisherigen Verbindungstechnik in der Durchtrittsöffnung noch ein Formschluss hinzukommt, der die Lötverbindung stabilisiert.
  • Die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens beruhen unter anderem auf der Möglichkeit, die Bearbeitung einer innenliegenden Verbindungsstelle, das heißt die Ausbildung einer Lötverbindung, die rings von weiteren Lötverbindungen umgeben ist, von Außen vorzunehmen.
  • Weiterhin lassen sich durch das erfindungsgemäße Verfahren mehrlagige Aufbauten (Stacks) realisieren, da die nach Bildung der Lötverbindung noch frei liegende Seite der Durchtrittsöffnung beziehungsweise das dort sichtbare Lotmaterial wieder als elektrisch leitender Kontaktbereich für die Kontaktierung weiterer Substrate, unter Verwendung des gleichen Verfahrens, dienen kann.
  • Das bereitgestellte Verfahren unter Verwendung von Lotmaterial in vorgeformter, fester Form (Lotkügelchen bzw. Solder Balls) oder in Form eines flüssigen Lottropfens ermöglicht es, Herstellungsprozesse für elektronische Schaltungen zu verkürzen und deren Flexibilität deutlich zu steigern. Dies kommt beispielsweise einem Herstellungsprozess folienbasierter Baugruppen von Rolle zu Rolle wesentlich entgegen und bietet die Grundlage für eine deutliche Steigerung der Flexibilität bei der Produktion elektronischer Baugruppen auf alternativen Schaltungsträgern. Die sequentielle Herstellung der einzelnen gleichartigen Verbindungsstellen kann bei Umstellung der herzustellenden Baugruppe auf einen Werkzeugwechsel (z.B. Schablone des Lotpastendruckers) verzichten. Es genügt, einzig über die Software die neuen Daten der Bestück- und Lötpositionen einzuspeichern. Weiterhin bietet das sequentielle selektive Löten der einzelnen Verbindungsstellen den großen Vorteil, dass mit einem beispielsweise laserbasierten Umschmelzvorgang nur eine lokale, äußerst kurzzeitige (im Bereich von Millisekunden) Temperatureinwirkung auf die Substrate stattfindet. Dies stellt einen bedeutenden Vorteil gegenüber herkömmlichen Reflow-Lötverfahren dar, bei denen die gesamte Baugruppe einer erheblichen Temperaturbelastung, die die Schmelztemperatur der verwendeten Lotlegierung übersteigen muss, ausgesetzt ist.
  • Die mindestens eine Durchtrittsöffnung wird als Kanal zum Transport des Verbindungsmediums beziehungsweise flüssigen Lotmaterials verwendet, wobei die Kapillarwirkung der Durchtrittsöffnung genutzt wird. Zusammen mit der Applizierung und Umschmelzung kleinster Lotmengen eröffnet sich hierdurch die bereits oben genannte Möglichkeit, feinste Kontaktierungen so zu realisieren, dass jede Lötverbindung selektiv von Außen bearbeitet und überprüft werden kann. Das mit dem erfindungsgemäßen Verfahren mögliche Umschmelzen bereits vorgeformter Lotkörper oder der direkte Eintrag flüssigen Lotes bietet einen Volumenvorteil von 50 Prozent gegenüber dem üblicherweise erfolgenden Einsatz von Lotpasten. Sofern genügend Lot zur Verfügung steht, bildet sich auf der offenliegenden Seite der Durchtrittsöffnung im Durchmesser eine pilzförmige Lotkuppe aus. Die benötigte Lotmenge richtet sich nach dem Volumen der Durchtrittsöffnung und dem Spalt zwischen der Durchtrittsöffnung und dem elektrisch leitenden Kontaktbereich des benachbarten Substrats.
  • Auf die Verwendung von Lötstoplack kann bei der Ausbildung einer Lötverbindung nach dem erfindungsgemäßen Verfahren verzichtet werden.
  • Es hat sich bewährt, wenn die mindestens eine Durchtrittsöffnung mit einer Tiefe von ≤ 2 mm gewählt wird. Vorzugsweise beträgt die Tiefe der mindestens einen Durchtrittsöffnung allerdings ≤ 1 mm. Derartig dimensionierte Durchtrittsöffnungen ermöglichen den Transport des flüssigen Lotmaterials zum Kontaktbereich des benachbarten Substrats, ohne dass das Lotmaterial erstarrt, bevor der Kontaktbereich erreicht und eine elektrische Verbindung zwischen den mindestens zwei Kontaktbereichen der benachbarten Substrate gebildet ist. Die Durchtrittsöffnung ist dabei vorzugsweise zylindrisch ausgebildet.
  • Weiterhin ist es von Vorteil, wenn für die mindestens eine Durchtrittsöffnung ein Durchmesser von ≤ 2 mm gewählt wird. Vorzugsweise beträgt der Durchmesser der mindestens einen Durchtrittsöffnung allerdings ≤ 500 μm, so dass besonders feine Lötverbindungen hergestellt und eine hohe Anzahl von Lötverbindungen je Flächeneinheit erzeugt werden kann.
  • Insbesondere hat es sich bewährt, wenn mindestens zwei Lötverbindungen gebildet werden und die mindestens zwei Lötverbindungen gleichzeitig oder nacheinander gebildet werden. So wird eine feste Fixierung der benachbarten Teile zueinander erzeugt. Besonders bevorzugt ist es dabei, wenn mindestens drei Lötverbindungen gebildet werden, wobei in einem ersten Schritt gleichzeitig eine erste Anzahl n ≥ 1 an Lötverbindungen gebildet wird und nachfolgend in mindestens einem weiteren Schritt gleichzeitig eine zweite Anzahl m ≥ 1 an Lötverbindungen gebildet wird. Die gleichzeitige Ausbildung von mehreren Lötverbindungen führt bei einer größeren Anzahl von zu bildenden Lötverbindungen zu einer deutlichen Zeitersparnis und damit zu einer kürzeren Verweilzeit der Teile in der Anlage.
  • Es hat sich bewährt, wenn zuerst das zumindest eine erste Substrat der mindestens zwei Substrate der lokalen Erwärmung ausgesetzt wird. Dies ist dann der Fall, wenn das flüssige Lotmaterial zuerst an den elektrisch leitenden Kontaktbereich des ersten, ebenen Substrats gelangt. Dies ermöglicht eine optimale Ausnutzung der Kapillarkräfte und einen schnellen Transport des flüssigen Lotmaterials durch die Durchtrittsöffnung hindurch in Richtung des elektrisch leitenden Kontaktbereichs des benachbarten Substrats.
  • Im Fall a) des erfindungsgemäßen Verfahrens hat es sich bewährt, wenn der Lotmaterialtropfen mittels einer Kapillare appliziert wird, die in Verbindung mit einer Lotmaterialschmelze steht. Die Kapillare ermöglicht so eine gezielte Dosierung des flüssigen Lotes bei schneller Abfolge einer Lottropfenabgabe. Die Applikation des Lotmaterialtropfens erfolgt dabei vorzugsweise in Richtung der Schwerkraft.
  • Im Fall a) des erfindungsgemäßen Verfahrens hat es sich weiterhin bewährt, wenn der Lotmaterialtropfen mittels eines Piezokristalls appliziert wird. Die positionsgenaue Platzierung eines sehr keinen Lotmaterialtropfens ist auf diese Weise in einfacher Art und Weise erzielbar. Nachdem der Lotmaterialtropfen durch den Piezokristall eine Beschleunigung erfährt, kann die Applikation des Lotmaterialtropfens in jeglicher Richtung, also auch entgegen der Schwerkraft, erfolgen.
  • Weiterhin ist es im Fall a) vorteilhaft, wenn der Lotmaterialtropfen mittels einer Kapillare appliziert wird, in die ein Lotmaterialkügelchen beziehungsweise ein Lotmaterialformteil in festem Aggregatzustand eingespeist wird. Das erleichtert die Dosierung der Lotmaterialmenge und deren Bevorratung. Es hat sich bewährt, wenn das Lotmaterialkügelchen mittels Laserstrahlung in der Kapillare, beim Austritt aus der Kapillare oder nach dem Austritt aus der Kapillare geschmolzen wird. Das Lotformteil kann aber auch durch einen Heißstempel oder ähnliches punktuell mit Energie beaufschlagt werden. Durch den Laserstrahl wird innerhalb weniger Millisekunden die Lotmaterialkugel umgeschmolzen. Zum Einsatz kommt hier beispielsweise ein laserbasiertes Gerät, das bisher vornehmlich zum Aufbringen von Lotbumps, als Kontaktstellen für Area-Array Bauelemente, eingesetzt wird (Solder Ball Bumper). Dazu sind beispielsweise bereits am Markt erhältliche Anlagen der Firma Pactech in der Lage.
  • Für das erfindungsgemäße Verfahren wird vorzugsweise eine Anlage, die bisher auf Waver-Ebene zur Erzeugung der kugelförmigen Anschlussstrukturen von Area-Array Bauelementen diente (Solder Ball Bumping; Laser Solder Jetting), zur Verlötung feinster Kontaktbereiche genutzt. Die Applikation des Lotmaterials erfolgt dabei vorzugsweise in Richtung der Schwerkraft. Entscheidend ist dabei der Aufbau der Verbindungsstelle selbst (siehe 2). Die Verwendung einer Durchtrittsöffnung, vorzugsweise mit einer Durchkontaktierung, als Kanal zum Transport des Verbindungsmediums beziehungsweise flüssigen Lotmaterials an den innenliegenden Kontaktbereich (Pad) der beiden Verbindungspartner beziehungsweise Substrate einerseits und die gleichzeitige Nutzung des Kontaktbereichs des Verbindungspartners mit Durchtrittsöffnung, eröffnet mit der Applizierung und Umschmelzung kleinster Lotmengen die Möglichkeit, feinste Kontaktierungen beziehungsweise Lötverbindungen zu realisieren. Resultierend aus dieser Verbindungsgeometrie eröffnen sich ebenfalls neue Möglichkeiten für die Herstellung elektronischer Baugruppen, beispielsweise unter Verwendung von Folienschaltungsträgern.
  • Vorzugsweise wird für den Lotmaterialtropfen im Fall a) ein Durchmesser kleiner oder gleich einem Durchmesser der mindestens einen Durchtrittsöffnung im zumindest einen ersten Substrat gewählt. Dadurch tritt der Lotmaterialtropfen in die Durchtrittsöffnung ein und wird durch diese in die richtige Bahn gelenkt. Selbstverständlich ist es aber auch praktikabel, den Durchmesser des Lotmaterialtropfens größer als den Durchmesser der Durchtrittsöffnung zu wählen.
  • Für den Fall b) des erfindungsgemäßen Verfahrens hat es sich bewährt, wenn das Lotmaterialdepot als Lotmaterialkügelchen oder in Form einer Lotmaterialpaste bereitgestellt wird. Das Lotmaterialkügelchen stellt jedoch ein vorgeformtes Lotdepot dar, das im Hinblick auf eine Lotpaste einen Volumenvorteil von ca. 50% aufweist.
  • Das bereitgestellte Lotmaterialvolumen kann durch Variation des Durchmessers des verwendeten Lotmaterialkügelchens beziehungsweise Lotformteils eingestellt werden. Eine definierte, mengenmäßige Einbringung des Verbindungsmediums Lot, ohne den Zwischenschritt über die Paste, und ein flussmittelfreies Umschmelzen an der Verbindungsstelle kann zur deutlichen Verbesserung der Verbindungsqualität beitragen (siehe 6).
  • Es hat sich als günstig erwiesen, wenn für das Lotmaterialkügelchen ein Durchmesser kleiner oder gleich einem Durchmesser der mindestens einen Durchtrittsöffnung gewählt wird. Nachdem eine automatische Platzierung des Lotmaterialkügelchens im Hinblick auf eine schnelle Herstellungsgeschwindigkeit der Lötverbindung üblich ist, bildet die Durchtrittsöffnung für ein derartiges Lotmaterialkügelchen einen ausreichend großen Aufnahmeraum und verhindert dessen Wegrollen nach dem Aufsetzen auf das Substrat.
  • Besonders bevorzugt ist es für das erfindungsgemäße Verfahren, wenn ein bleifreies Lotmaterial eingesetzt wird. Nachdem der Energieeintrag in die Baugruppe lediglich punktuell erfolgt, können auch höherschmelzende Lote wie die bleifreien Lote problemlos eingesetzt werden, auch wenn die Baugruppe temperaturempfindliche Teile aus Kunststoff oder niedrigerschmelzende Verbindungen aufweist.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ist demnach vorzugsweise gerade dann einsetzbar, wenn mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate neben dem zur Ausbildung der Lötverbindung eingesetzten Lotmaterial ein Material umfasst, das beim Erwärmen auf Temperaturen im Bereich der Schmelztemperatur des Lotmaterials in seinen physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften dauerhaft verändert wird.
  • Insbesondere können die Substrate Materialien aufweisen, deren äußere Form nach dem Erwärmen des Materials auf Temperaturen im Bereich der Schmelztemperatur des Lotmaterials um mehr als 1% von deren äußeren Form vor dem Erwärmen abweicht.
  • Als Material für mindestens ein Substrat wird dabei vorzugsweise ein Kunststoff, insbesondere Polyimid (PI), Polyethylen (PE), Polyethylen-Naphthenat (PEN) oder Polyethylenterepthalat (PET) ausgewählt. Insbesondere PE, PEN und PET sind bei Temperaturen im Schmelzbereich bleifreier Lote nicht formstabil und würden sich in einem herkömmlichen Reflow-Lötprozess wellen oder verziehen.
  • Der Einsatz kostengünstiger, thermisch weniger stabiler Foliensubstrate aus PE, PEN oder PET, die für den Reflowprozess also untauglich sind, wird durch die nur kurzzeitige lokale Temperatureinbringung des erfindungsgemäßen Verfahrens für die Herstellung zuverlässiger elektronischer Baugruppen ermöglicht. Dies wird neue Anwendungsfelder für kostengünstige Elektronikmodule mit erhöhter Vor-Ort-Intelligenz erschließen.
  • Besonders geeignet ist das erfindungsgemäße Verfahren zur Verarbeitung von dünnen, flexiblen Substraten oder alternativ von gedünnten starren Substraten. Diese sind oft temperaturempfindlich, so dass insbesondere eine Ausbildung von mehreren Lötverbindungen zwischen dem flexiblen Substrat und einem benachbarten Substrat über ein Reflow-Lötverfahren ausscheidet. Flexible Substrate werden meist durch Foliensubstrate (FPCs) bereitgestellt.
  • Zur Herstellung der Lötverbindung werden auf dem Foliensubstrat beispielsweise Durchkontaktierungen im Bereich der Durchtrittsöffnungen an den gewünschten Positionen vorgesehen. Dies ist ein in der Leiterplattenherstellung eingeführtes Verfahren. In eine zweiseitig mit Kupfer, vorzugsweise kleberlos, kaschierte Folie werden zunächst die Durchtrittsöffnungen eingebracht. Anschließend wird ätztechnisch das Leiterbild, sowie Kreisringstrukturen für die Durchkontaktierungen auf der Ober- und Unterseite des Substrates erzeugt. An der Substratwandung der Durchtrittsöffnung wird galvanisch eine Kupferschicht aufgebracht, wobei annähernd die gleiche Schichtstärke auch auf dem Leiterbild und den Kreisringstrukturen aufwächst. Nach Auftrag einer Lötstoppmaske oder dem Auflaminieren einer Abdeckfolie zumindest im Bereich der Leiterbahnen erfolgt die galvanische Oberflächenveredelung (beispielsweise chemisch Zinn oder chemisch Nickel/Gold). Die Lötstopmaske beziehungsweise Folienabdeckung schützt die Leiterbahnen vor einer Beschichtung während der galvanischen Oberflächenveredelung, die beispielsweise im Falle einer Beschichtung mit chemisch Nickel/Gold zu einer Versprödung der Leiterbahnen durch das Nickel führen würde. Für den Lötprozess gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird eine Lötstopmaske oder Abdeckfolie auf den Leiterbahnen jedoch nicht benötigt, da das Lotmaterial lokal und in geringer Menge eingesetzt wird, so dass eine Benetzung von Leiterbahnen mit Lot ohnehin nur in gewünschten Bereichen erfolgt. Dann wird das flexible Substrat beziehungsweise der flexible Schaltungsträger an mindestens einer Stelle stoffschlüssig, unter Verwendung des Lotmaterials, mit einem anderen, ebenfalls flexiblen Schaltungsträger, einem anderen starren Schaltungsträger (Duroplast oder Thermoplast) oder direkt mit einem Bauelement (vorzugsweise ein SMD-Bauteil) verbunden. Der elektrisch leitende Kontaktbereich auf dem anderen Verbindungspartner wird durch ein vorzugsweise kreisförmiges Pad realisiert. Die elektrisch leitenden Kontaktbereiche, also das Pad und die Durchkontaktierung, der beiden Substrate werden aufeinander beziehungsweise benachbart zueinander positioniert (siehe 2). Über die noch offene Seite der Durchtrittsöffnung wird dann entweder ein vorgeformtes Lotteil (z.B. ein Solder Ball) positioniert und mittels eines Lasers umgeschmolzen oder direkt ein schmelzflüssiger Lottropfen eingebracht. Durch die Kapillarwirkung füllt das flüssige Lotmaterial die Durchtrittsöffnung und verbindet sich mit dem Pad.
  • Die Anwendungsmöglichkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Erzeugung nicht lösbarer, feinster Lötverbindungen, bei dem mindestens ein Verbindungspartner ein gedünntes starres oder ein flexibles, folienbasiertes Substrat darstellt, ist sehr vielfältig. Dabei sind einfache Kontaktierungen feinster Leiterbahnen zwischen starren und flexiblen Verdrahtungsträgern, mit der Möglichkeit aus der planaren Leiterplatte heraus über einen flexiblen Schaltungsträger die dritte Dimension zu erschließen, realisierbar.
  • Weiterhin ist die Entflechtungsproblematik von MID-Baugruppen über einen zwischen Area-Array-Bauelement und MID-Baugruppe kontaktierten, lokalen Flexleiter lösbar. Dabei findet zunächst die Kontaktierung der Bauelement- oder Baugruppen-Anschlüsse mit dem Flexleiter statt, der die Entflechtungsstruktur enthält. Anschließend werden die entflochtenen Kontaktstellen mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wiederum mit entsprechenden Pads auf dem MID-Bauteil verbunden.
  • Auf flexiblen Schaltungsträgern, bei denen bisher verdeckt angeordnete Anschlussstrukturen (beispielsweise bei Area-Array Bauelementen) einer optischen oder elektrischen Prüfung unterzogen werden sollen, sind unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens die offenliegenden Seiten der einzelnen Durchtrittsöffnungen beziehungsweise der dort sichtbare elektrische Kontaktbereich (siehe 7) automatisiert elektrisch überprüfbar (In-circuit-Tester).
  • Vorzugsweise wird mindestens ein zweites Substrat verwendet, das von einem elektronischen, mikromechanischen, optischen oder einem aus diesen Arten kombinierten Bauteil gebildet ist. Diese Art Bauteile sind oft sehr temperaturempfindlich und wurde daher meist in Wellenlötanlagen verlötet, die einen linien- beziehungsweise streifenförmigen Temperatureintrag verursachen. Das erfindungsgemäße Verfahren mit punktuellem Energieeintrag bietet hier einen sichereren Schutz der Bauteile vor Überhitzung.
  • Besonders hat sich der Einsatz von Bauteilen bewährt, die aus der Gruppe der SMD-Bauteile, der MEM-Bauteile (Micro-Electrical-Mechanical – MEM), der MOEM-Bauteile (Micro-Optical-Electrical-Mechanical – MOEM), der QFP-Bauteile oder der Area-Array-Bauteile wie ein BGA, CSP oder Flip-Chip gewählt wird.
  • Die Montage von Area-Array Bauelementen kann auf zwei Arten erfolgen. Die erste Möglichkeit wird in beispielsweise 3 dargestellt. Hier erfolgt die Verbindung direkt zwischen der Under-Bump-Metallisierung (UBM) des Bauelementes und der darüber positionierten Durchkontaktierung eines Folienschaltungsträgers. Das Bauelement sitzt somit sehr dicht auf dem Substrat. Eine zusätzlich nach der Kontaktierung aufgebrachte Kleber- oder Vergussmasse kann die mechanische und thermische Beständigkeit der Anschlussstrukturen des Bauelementes deutlich verbessern.
  • Für Anwendungen, bei denen ein höherer Stand-off, also ein größerer Abstand zwischen der Unterseite des Bauelementes und des Substrats erforderlich ist, besteht die Möglichkeit, das Bauelement vor Ausbildung der Lötverbindung zu „bebumpen" beziehungsweise mit Lotkügelchen zu versehen, wie dies im klassischen Reflowprozess vorgenommen wird. In 4 ist dargestellt, wie eine solche Lötverbindung erfolgt. Auf der noch offenen Seite der Durchtrittsöffnung wird ein Lotmaterialdepot positioniert, das nach dem Umschmelzen, vorzugsweise mittels Laser, die Verbindung zum Lotkügelchen herstellt. Durch die Wahl unterschiedlicher Lotlegierungen lässt sich Einfluss auf die Ausbildung der Verbindungsgeometrie nehmen. Beispielsweise ist es denkbar, das Lotkügelchen auf der Under-Bump-Metallisierung aus höherschmelzendem Material zu wählen. Der Lotmaterial zur Ausbildung der Lötverbindung besteht beispielsweise aus einer niedrigerschmelzenden Lotlegierung und wird mit entsprechend geringerer Energie zur Herstellung der Verbindung umgeschmolzen. Dabei findet beim höherschmelzenden Lotkügelchen selbst kein komplettes Aufschmelzen mehr statt. Durch das höherschmelzende, formstabile Lotkügelchen auf der Anschlussfläche des Bauelementes ist ein definierter Abstand zwischen Bauelementunterseite und Foliensubstrat sichergestellt. Ein anschließend aufgebrachter Underfill, üblicherweise eine Kleber- oder Vergussmasse, zwischen Bauelement und Substrat trägt zur weiteren Steigerung der Zuverlässigkeit der Verbindungsstellen bei.
  • Insbesondere ist es bevorzugt, wenn mindestens ein Substrat verwendet wird, das als MID ausgebildet ist. Vorteilhafterweise bietet es sich an, flexible Substrate mit einem aus einer MID gebildeten Substrat zu kontaktieren und damit die Multilayerfähigkeit der flexiblen Substrate mit der mechanischen Funktionalität spritzgegossener Schaltungsträger zu kombinieren.
  • Es hat sich bewährt, wenn ein erster Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche durch eine Metallschicht gebildet wird und ein zweiter Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche aus der Gruppe der Metallbeinchen, Lotbumps oder Metallschichten gewählt wird.
  • Besonders in dem Fall, dass ein Bauteil mindestens vier elektrisch leitende Kontaktbereiche in Form von Lotbumps aufweist, wobei die Lotbumps mit einem Schmelzbereich gewählt werden, der in einem gleichen oder tieferen Temperaturbereich liegt als der Schmelzbereich des Lotmaterials der Lötverbindung, und wobei mindestens drei der mindestens vier Lotbumps während der Ausbildung der Lötverbindung zwischen einem oder gleichzeitig mehreren der übrigen Lotbumps und jeweils einem elektrisch leitenden Kontaktbereich des zumindest einen ersten Substrats als Abstandshalter zwischen dem Bauteil und dem zumindest einen ersten Substrat fungieren, hat sich das erfindungsgemäße Verfahren als äußert effektiv erwiesen. Die nicht aufgeschmolzenen Lotbumps halten den Abstand des Bauteils zum benachbarten Substrat während der Ausbildung angrenzender Lötverbindungen konstant, so dass der vor Ausbildung der Lötverbindungen über die Lotbumps eingestellte Abstand beziehungsweise der Stand-off des Bauteils gegenüber dem benachbarten Substrat gehalten werden kann. Dies ist bei einem herkömmlichen Reflow-Lötverfahren nicht möglich, da hier alle Lotbumps gleichzeitig erschmelzen. Beim Reflow-Lötverfahren wäre der Stand-off lediglich dann zu gewährleisten, wenn als Lotmaterial ein niedrigerschmelzendes Lot eingesetzt werden würde als für die Lotbumps am Bauteil, so dass diese beim Reflow-Löten nicht aufschmelzen. Unterschiedliche Lotmaterialien an einer Baugruppe sind jedoch im Hinblick auf ein effektives Recycling der Metalle, bei denen es sich zunehmend um Edelmetalle handelt, unerwünscht. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht somit den Einsatz eines einzigen Lotmaterials für die Lotbumps und die Lötverbindung bei gleichzeitiger Beibehaltung des Abstands zwischen Bauteil und benachbartem Substrat beim Verlöten.
  • Beim Einsatz eines flexiblen Substrats ist es besonders bevorzugt, das als ein erstes, ebenes Substrat dient, dieses in Form eines langgestreckten Bandes auszubilden und das flexible Substrat von Rolle zu Rolle zu transportieren, wobei das mindestens eine weitere Substrat der mindestens zwei Substrate über eine Zuführ- und Positioniereinrichtung auf einer Seite des flexiblen Substrats platziert wird. Der Platzbedarf einer derartigen Anlage ist gering und die Taktzahl hoch. Der bisher dreigeteilte, beim Reflow-Löten übliche Herstellungsprozess kann nun in einem Arbeitsgang im Rolle zu Rolle-Verfahren erfolgen (siehe 8).
  • Vorzugsweise durch Verwendung eines Revolverkopfes können die weiteren Substrate einem Zuführsystem entnommen und gleichzeitig auf der einen Seite des flexiblen Substrats beziehungsweise Folienschaltungsträgers positioniert werden. Eine Appliziervorrichtung beziehungsweise ein Bondkopf (oder mehrere Bondköpfe), der sich auf der anderen Seite der Folie befindet, fährt die verschiedenen Durchtrittsöffnungen ab und führt die einzelnen Lotdepots zu. Die Temperatureinbringung ist lokal begrenzt und der Kontaktierungsvorgang sofort abgeschlossen. Nach Abfahren der einzelnen Lötstellen wird die Folie zur nächsten Position vorgezogen und ein neues Substrat damit verbunden beziehungsweise darauf montiert. Das Umrüsten des hier dargestellten Verbindungsprozesses auf eine andere Baugruppe reduziert sich letztlich auf das Wechseln der Folie mit dem neuen Schaltungsbild, den dazu notwendigen weiteren Substraten im Zuführsystem und den Softwaredaten für die erforderlichen Bestück- und Lötpositionen. Für die Feinpositionierung ist ein Kamerasystem mit einem Softwareabgleich von der Position des weiteren Substrats auf einer Pipette mit dem Muster der Durchtrittsöffnungen denkbar.
  • Des Weiteren besteht durch die freie Zugänglichkeit der einen Seite der Durchtrittsöffnungen die Möglichkeit, weitere Lagen von Folienschaltungen an diesen Stellen unter Verwendung des gleichen Prinzips zusätzlich zu kontaktieren (Grundlage für den Aufbau eines Multi-Chip-Moduls).
  • Die Verbindung von Elektronikkomponenten mit flexiblen Verdrahtungsträgern von Rolle zu Rolle wird in verschiedenen Forschungseinrichtungen vorangetrieben. Die Möglichkeit, mit dem erfindungsgemäßen Verfahren auf die drei aufeinanderfolgenden, oben beschriebenen Hauptprozessschritte des Reflow-Lötens zu verzichten und im Augenblick der Positionierung des Bauelementes die einzelnen Kontaktstellen zu verlöten (siehe 4), reduziert die bisherigen Probleme bei der Rolle zu Rolle Fertigung erheblich. Bestehende Solderjet-Anlagen arbeiten mit Geschwindigkeiten von bis zu 20 Balls pro Sekunde. Eine Erhöhung der Verarbeitungsgeschwindigkeit der Folie könnte durch mehrere hintereinander angeordnete Bestück-/Bondkopf-Kombinationen realisiert werden.
  • In diesem Zusammenhang ist es von Vorteil, wenn das mindestens eine weitere Substrat durch ein Bauteil gebildet ist und in Fall a) der Lotmaterialtropfen von der dem Bauteil abgewandten Seite des flexiblen Substrats in die Durchtrittsöffnungen appliziert wird, und in Fall b) der punktuelle Energieeintrag in das Lotmaterialdepot von der dem Bauteil abgewandten Seite des flexiblen Substrats aus erfolgt.
  • Die mindestens eine Durchtrittsöffnung ist auf der dem Bauteil abgewandten Seite des flexiblen Substrats gut zugänglich und es können mehrere gleichartige Vorrichtungen nebeneinander zur gleichzeitigen Ausbildung mehrerer Lötverbindungen in der Anlage vorgesehen werden.
  • Besonders bevorzugt ist es, das Lotmaterial unter Inertatmosphäre ohne Flussmittelzugabe zu erschmelzen. Flussmittel sind oft aggressiv gegenüber Kunststoffen und können diese beschädigen. Weiterhin können optische Komponenten wie Mikrospiegel oder Mikrolinsen durch Flussmittel angeätzt und somit getrübt werden.
  • Die Aufgabe wird für die elektrische Schaltung dadurch gelöst, dass mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate neben dem zur Ausbildung der Lötverbindung eingesetzten Lotmaterial ein Material umfasst, das im Schmelztemperaturbereich des Lotmaterials seine physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften dauerhaft verändert. Eine derartige intakte Schaltung ist über einen Reflow-Lötprozess nicht erzielbar, da die Temperatur zum Schmelzen des Lotmaterials eine Zerstörung oder Beeinträchtigung des Materials beziehungsweise eine unzulässige Formveränderung des Materials zur Folge hätte.
  • Besonders hat es sich bewährt, wenn die mindestens eine Durchtrittsöffnung eine Tiefe von ≤ 2 mm und vorzugsweise einen Durchmesser von ≤ 2 mm aufweist. Die Vorteile einer derartigen Ausgestaltung wurden bereits zum erfindungsgemäßen Verfahren diskutiert.
  • Weiterhin hat es sich im Hinblick auf die Umweltverträglichkeit der Schaltung als wünschenswert erwiesen, wenn das Lotmaterial bleifrei ist.
  • Im Hinblick auf den Preis und das Gewicht der Schaltung ist es bevorzugt, wenn das Material, das im Schmelztemperaturbereich des Lotmaterials seine physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften dauerhaft verändert, aus einem Kunststoff, insbesondere aus PI, PE, PEN oder PET gebildet ist.
  • Es hat sich als Vorteil erwiesen, wenn ein erster, elektrisch leitender Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche durch eine Metallschicht gebildet ist und ein zweiter, elektrisch leitender Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche aus einem Metallbeinchen, einem Lotbump oder einer Metallschicht gebildet ist. Dabei wird die Ausbildung der zweiten elektrisch leitenden Kontaktbereiche als Lotbumps favorisiert, da diese insbesondere die gleiche Zusammensetzung aufweisen können wie das Lotmaterial der Lötverbindung. Dies kommt einem effektiven Recycling des Lotmaterials entgegen.
  • Es ist bevorzugt, wenn eine die mindestens eine Durchtrittsöffnung umgebende Substratwandung mit einer Metallschicht versehen ist, die einen elektrisch leitenden Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche bildet und wobei die Zusammensetzung der Metallschicht unterschiedlich zu der des Lotmaterials ist. Die Metallschicht verbessert die Benetzbarkeit der Substratwandung und damit die Haftung des Lotmaterials an der Substratwandung.
  • Dabei hat es sich insbesondere bewährt, wenn die Metallschicht an die mindestens eine Durchtrittsöffnung angrenzende Oberflächenbereiche des jeweiligen Substrats bedeckt, die sich auf einer Oberseite und/oder einer Unterseite des jeweiligen Substrats befinden. Die Metallschicht bildet vorzugsweise eine Durchkontaktierung, so dass die Lötverbindung in einfacher Weise durch elektrischen Anschluss der Durchkontaktierung an ein Messgerät im Bereich der Ober- oder Unterseite des jeweiligen Substrats überprüft werden kann.
  • Es ist bevorzugt, wenn mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate flexibel ist. Allerdings kann alternativ auch ein gedünntes starres Substrat verwendet werden. Flexible Substrate, auch Foliensubstrate (FCPs) genannt, ermöglichen in einfacher Weise den Anschluss der elektrischen Schaltung an Elemente in allen Raumebenen.
  • Mindestens ein zweites Substrat der mindestens zwei Substrate ist vorzugsweise durch ein elektronisches, mikromechanisches, optisches oder aus diesen Arten kombiniertes Bauteil gebildet, wobei das Bauteil unter anderem durch ein SMD-Bauteil, ein MEM-Bauteil, ein MOEM-Bauteil, ein QFP-Bauteil oder ein Area-Array-Bauteil wie ein BGA, CSP oder Flip-Chip gebildet sein kann.
  • Es hat sich bewährt, wenn das Bauteil elektrisch leitende Kontaktbereiche in Form von Lotbumps aufweist, wobei die Lotbumps einen Schmelzbereich aufweisen, der in einem gleichen oder tieferen Temperaturbereich liegt als der Schmelzbereich des Lotmaterials der Lötverbindung. Die Lotbumps sind demnach aus dem Material gebildet, das im Schmelztemperaturbereich des Lotmaterials seine physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften dauerhaft verändert.
  • Es ist von Vorteil, wenn das zumindest eine erste Substrat eine Anzahl an ersten Durchtrittsöffnungen aufweist, die mindestens der Anzahl der elektrisch leitenden Kontaktbereiche des Bauteils entspricht, wobei durch die ersten Durchtrittsöffnungen hindurch das zumindest eine erste Substrat mittels ersten Lötverbindungen mit dem Bauteil elektrisch und mechanisch verbunden ist, wobei das zumindest eine erste Substrat mit mindestens einer Anzahl an Leiterbahnschichten zur Entflechtung der elektrisch leitenden Kontaktbereiche des Bauteils versehen ist, die der Anzahl der elektrisch leitenden Kontaktbereiche des Bauteils entspricht, und wobei die Leiterbahnschichten jeweils mit einer ersten Lötverbindung elektrisch leitend verbunden sind. Dabei können die Leiterbahnschichten des zumindest einen ersten Substrats sich auf gleicher Ebene oder auf mindestens zwei unterschiedlichen Ebenen des zumindest einen ersten Substrats befinden.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn jede Leiterbahnschicht an ihrem der jeweiligen ersten Lötverbindung abgewandten Ende an eine weitere Durchtrittsöffnung im ersten Substrat angrenzt. Das zumindest eine erste Substrat kann dann über zweite Lötverbindungen durch die weiteren Durchtrittsöffnungen mit einem dritten Substrat verbunden sein, wobei eine elektrische Verbindung zwischen den jeweiligen Leiterbahnschichten und elektrisch leitenden Kontaktbereichen auf dem dritten Substrat ausgebildet ist. Eine derartige Schaltung bietet die Möglichkeit, eine Entflechtung von Anschlussstrukturen durchzuführen und mehr Raum für einen Anschluss an weitere Substrate wie das dritte Substrat zu gewinnen.
  • Es hat sich bewährt, wenn mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate als MID ausgebildet ist. Insbesondere hat es sich dabei bewährt, wenn mindestens ein flexibles Substrat die mindestens eine Durchtrittsöffnung aufweist und das Lotmaterial durch die mindestens eine Durchtrittsöffnung hindurch das flexible Substrat mit der MID elektrisch und mechanisch verbindet.
  • Die 1 bis 8 sollen das erfindungsgemäße Verfahren und die elektrische Schaltung beispielhaft erläutern. So zeigt
  • 1 einen Schnitt durch ein als Area-Array-Bauelement ausgebildetes Substrat mit elektrisch leitenden Kontaktbereichen in Form von Lotkügelchen,
  • 2 einen Schnitt durch zwei benachbart angeordnete Substrate vor Ausbildung einer Lötverbindung,
  • 3 einen Schnitt durch zwei benachbart angeordnete Substrate vor und nach Ausbildung einer Lötverbindung,
  • 4 einen weiteren Schnitt durch zwei benachbart angeordnete Substrate vor und nach Ausbildung einer Lötverbindung,
  • 5 einen Schnitt durch drei benachbart angeordnete Substrate vor und nach der Ausbildung von Lötverbindungen,
  • 6 eine Draufsicht auf eine gebildete Lötverbindung,
  • 7 einen Ausschnitt aus einer Folienschaltung mit bereits gebildeten Lötverbindungen sowie noch ungefüllten Durchtrittsöffnungen,
  • 8 einen Schnitt durch eine Anlage für ein Rolle-zu-Rolle Verfahren.
  • 1 zeigt einen Schnitt durch ein als Area-Array-Bauelement ausgebildetes Substrat 1 mit elektrisch leitenden Kontaktbereichen 2a in Form von Lotkügelchen. Das Area-Array-Bauelement weist eine Trägerplatte 1a auf, an deren Unterseite sich die Lotkügelchen befinden. Auf der Oberseite der Trägerplatte 1a ist ein Chip 1b angeordnet, dessen (hier nicht sichtbare) elektrische Kontakte über Bonddrähte 1c mit der Trägerplatte 1a und dort elektrisch mit den Lotkügelchen verbunden sind. Zwischen dem Chip 1b und der Trägerplatte 1a ist eine Verbindungsmasse 1d in Form eines Elastomers angeordnet. Die gesamte Anordnung wird schließlich von einem Gehäuse 1e aus Kunststoff geschützt.
  • 2 zeigt einen Schnitt durch zwei benachbart angeordnete Substrate 3, 4 vor Ausbildung einer Lötverbindung. Ein erstes, ebenes Substrat 3 ist als flexibles Substrat ausgebildet und weist eine Durchtrittsöffnung 3a mit einem als Durchkontaktierung ausgebildeten, elektrisch leitfähigen Kontaktbereich 2b auf. Die Durchkontaktierung ist ausgehend von einer ersten Kupferschicht 2b', die jeweils auf der Ober- und Unterseite des ersten Substrats 3 angeordnet ist, aus einer galvanisch abgeschiedenen zweiten Kupferschicht 2b'' und einer darauf chemisch abgeschiedenen dritten Schicht 2b''' aus Nickel und Gold gebildet. Auf dem ersten Substrat 3 ist weiterhin ein Lötstoplack 6a angeordnet. Ein weiteres Substrat 4, das als starres Substrat ausgebildet ist, weist einen elektrisch leitenden Kontaktbereich 2c in Form eines Pads auf, wobei das Pad sich aus einer ersten Kupferschicht 2c' und einer zweiten, darauf chemisch abgeschiedenen Schicht 2c'' aus Nickel und Gold zusammensetzt. Weiterhin weist das weitere Substrat 4 einen Lötstoplack 6b auf. Auf die Schichten aus Lötstoplack 6a, 6b kann gegebenenfalls verzichtet werden. In der Durchtrittsöffnung 3a ist ein Lotmaterial 5 in Form eines Kügelchens platziert, das einen Durchmesser aufweist, der größer ist als der der Durchtrittsöffnung 3a. Der Pfeil im Bereich des Lotmaterials 5 deutet an, dass Energie zum Umschmelzen des Lotmaterials 5 punktförmig in das Kügelchen eingeleitet wird.
  • 3 zeigt einen Schnitt durch zwei benachbart angeordnete Substrate 3, 4 vor und nach Ausbildung einer Lötverbindung. Das erste, ebene Substrat 3 und das weitere Substrat 4 sind dabei aufgebaut wie die Substrate in 2. Der linke Bereich der 3 zeigt dabei im Prinzip die 2, während der rechte Teil der 3 eine zwischen dem ersten Substrat 3 und dem weiteren Substrat 4 über das Lotmaterial 5 durch punktuellen Energieeintrag in das Lotmaterial 5 ausgebildete Lötverbindung zeigt. Durch den punktuellen Energieeintrag, der als Pfeil im Bereich des Kügelchens angedeutet ist schmilzt das Kügelchen auf und das flüssige Lotmaterial 5 fließt in die Durchtrittsöffnung 3a und füllt diese je nach Menge ganz oder teilweise auf. Dabei wird eine feste Lötverbindung, wie im rechten Teil der 3 erkennbar, zwischen dem elektrisch leitenden Kontaktbereich 2c auf dem weiteren Substrat 4 und dem elektrisch leitenden Kontaktbereich 2b des ersten Substrats 3 gebildet.
  • 4 zeigt einen Schnitt durch zwei benachbart angeordnete Substrate 3, 7 vor und nach Ausbildung einer Lötverbindung. Das erste, ebene Substrat 3 ist dabei aufgebaut wie das erste Substrat in 2 oder 3. Das weitere Substrat 7 weist elektrisch leitende Kontaktbereiche 2d auf, die jeweils aus einem Landepad 2d' und einem darauf umgeschmolzenem Solder Ball 2d'' gebildet sind. Der linke Bereich der 4 zeigt dabei im Prinzip den linken Teil der 3, während der rechte Teil der 4 im Prinzip den rechten Teil der 3 darstellt. Lediglich die geometrische Ausgestaltung des elektrisch leitenden Kontaktbereichs 2d auf dem weiteren Substrat 7 ist unterschiedlich zu 3. Zwischen dem ersten Substrat 3 und dem weiteren Substrat 7 wird über das Lotmaterial 5 durch punktuellen Energieeintrag in das Lotmaterial 5 eine Lötverbindung ausgebildet. Durch den punktuellen Energieeintrag, der als Pfeil im Bereich des Kügelchens angedeutet ist schmilzt das Kügelchen auf und das flüssige Lotmaterial 5 fließt in die Durchtrittsöffnung 3a und füllt diese je nach Menge ganz oder teilweise auf. Dabei wird eine feste Lötverbindung, wie im rechten Teil der 4 erkennbar, zwischen dem elektrisch leitenden Kontaktbereich 2d auf dem weiteren Substrat 7 und dem elektrisch leitenden Kontaktbereich 2b des ersten Substrats 3 gebildet.
  • 5 zeigt einen Schnitt durch drei benachbart angeordnete Substrate 3, 3', 7 vor und nach der Ausbildung von Lötverbindungen. Das erste, ebene Substrat 3 ist dabei aufgebaut wie das erste Substrat 3 in 2, 3 oder 4. Ein weiteres, gleich aufgebautes ebenes Substrat 3' und ein weiteres Substrat 7 sind benachbart angeordnet. Das weitere Substrat 7 ist dabei genauso aufgebaut wie das Substrat 7 in 4. Dabei kann zuerst die Verbindung zwischen dem weiteren Substrat 7 und dem weiteren, ersten Substrat 3' ausgebildet werden (gemäß 4), bevor das erste Substrat 3 dazu benachbart angeordnet wird oder die drei Substrate 3, 3', 7 werden sofort angeordnet wie in 5, linker Teil dargestellt. Zwischen dem weiteren, ersten Substrat 3' und dem weiteren Substrat 7 wird über das Lotmaterial 5 durch punktuellen Energieeintrag in das Lotmaterial 5 eine Lötverbindung ausgebildet. Durch den punktuellen Energieeintrag, der als Pfeil im Bereich des Kügelchens angedeutet ist schmilzt das Kügelchen auf und das flüssige Lotmaterial 5 fließt in die Durchtrittsöffnung(en) 3a und füllt diese je nach Menge ganz oder teilweise auf. Dabei kann das flüssige Lotmaterial 5 sowohl durch das erste Substrat 3 und das weitere erste Substrat 3' fließen oder nur durch das weitere erste Substrat 3', wobei das erste Substrat 3 danach oberhalb der gebildeten Lötverbindung platziert wird. Es wird eine feste Lötverbindung, wie im rechten Teil der 5 erkennbar, zwischen dem elektrisch leitenden Kontaktbereich 2d auf dem weiteren Substrat 7 und dem elektrisch leitenden Kontaktbereich 2b des weiteren ersten Substrats 3' gebildet. Nun wird ein weiteres Lotmaterial 5' in Form eines Kügelchens auf das erste Substrat 3 in die Durchtrittsöffnung 3a gesetzt. Das weitere Lotmaterial 5' kann dabei in seiner Zusammensetzung gleich oder unterschiedlich sein zum Lotmaterial 5 zwischen dem weiteren Substrat 7 und dem weiteren ersten Substrat 3' gebildet sein. Erneut erfolgt ein punktueller Energieeintrag (siehe Pfeil rechte Seite 5) in das weitere Lotmaterial 5', das erschmolzen wird und sich mit dem Lotmaterial 5 der bereits zwischen dem weiteren Substrat 7 und dem weiteren ersten Substrat 3' gebildeten Lötverbindung verbindet. Derart sind eine Vielzahl von Substraten miteinander verbindbar (Stack-Aufbauten), wobei von einem Substrat zum nächsten auch nur ein Teil der vorhandenen Kontaktbereiche genutzt werden kann, während andere ungenutzt verbleiben können.
  • 6 zeigt eine Draufsicht auf eine gebildete Lötverbindung gemäß 2, wobei das Lotmaterial 5 eine hier nicht mehr erkennbare Durchtrittsöffnung im ersten Substrat 3 ausfüllt.
  • 7 zeigt einen Ausschnitt aus einer Folienschaltung mit einem flexiblen, ersten Substrat 3 und bereits gebildeten Lötverbindungen, wobei das Lotmaterial 5 hier nicht mehr erkennbare Durchtrittsöffnungen im ersten Substrat 3 ausfüllt. Weiterhin sind noch ungefüllte Durchtrittsöffnungen 3a erkennbar, die noch mit Lotmaterial zu füllen sind.
  • 8 zeigt einen Schnitt durch eine Anlage für ein Rolle-zu-Rolle Verfahren. Dabei wird ein flexibles, erstes Substrat 3 (Ausgestaltung siehe 2) von links nach rechts (siehe Pfeilrichtung) von Rolle zu Rolle (nicht dargestellt) bewegt. Weiterhin ist eine Zuführeinrichtung 10 für ein als Bauelement beziehungsweise Area-Array-Bauteil ausgestaltetes zweites Substrat 1 vorhanden, welche das zweite Substrat 1 in Gegenrichtung (siehe Pfeilrichtung) transportiert. Eine als Revolverkopf ausgestaltete Positioniereinrichtung 11 nimmt pro Kopf eines der zweiten Substrate 1 auf und transportiert dies über eine Drehbewegung (siehe Pfeilrichtung) zum ersten Substrat 3. Sobald ein zweites Substrat 1 unterhalb dem ersten Substrat 3 angelangt und im Hinblick auf die im ersten Substrat vorhandenen Durchtrittsöffnungen 3a lagerichtig positioniert ist, wird ein Bondkopf 12 aktiv. Dieser fährt die erste Durchtrittsöffnung 3a an, die mit einer Lötverbindung versehen werden soll, platziert ein Kügelchen aus Lotmaterial auf oder in der Durchtrittsöffnung 3a und beaufschlagt dieses mit Laserenergie, bis es erschmilzt und eine Lötverbindung zwischen erstem Substrat 3 und zweiten Substrat 1 ausgebildet wird. Dann werden nacheinander weitere Lötpositionen angefahren und das Verfahren wiederholt, bis alle Lötverbindungen ausgeführt wurden. Selbstverständlich können hier auch mehrere Bondköpfe gleichzeitig eingesetzt werden, die gleichzeitig mehrere Lötverbindungen ausbilden können und zu einer Zeitersparnis führen. Nach Fertigstellung der Lötverbindung wird das flexible erste Substrat 3 weitergefördert und die nächste Position mit dem zweiten Substrat 1 bestückt. Eine Lagerung oder ein Transport von Zwischenprodukten, wie sie beim Reflow-Löten anfallen, ist hier nicht erforderlich.

Claims (47)

  1. Verfahren zur Herstellung mindestens einer Lötverbindung zwischen mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereichen (2a, 2b, 2d, 2c), die sich auf mindestens zwei voneinander unabhängigen, zueinander benachbart angeordneten Substraten (1, 3, 3', 4, 7) befinden, wobei die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2d, 2c) an mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) angrenzen, die zumindest in einem ersten, ebenen Substrat (3, 3') der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) angeordnet ist, und wobei durch ein Lotmaterial (5, 5') in schmelzflüssigem Aggregatzustand durch die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) hindurch die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2d, 2c) miteinander verbunden werden und die Lötverbindung durch Überführen des Lotmaterials (5, 5') in den festen Aggregatzustand ausgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass a) das Lotmaterial (5, 5') geschmolzen und als Lotmaterialtropfen direkt in die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) appliziert wird, oder b) das Lotmaterial (5, 5') in Form eines Lotmaterialdepots in festem Aggregatzustand in oder auf der mindestens einen Durchtrittsöffnung (3a) platziert wird und ein punktueller Energieeintrag in das Lotmaterialdepot erfolgt, wodurch das Lotmaterialdepot erschmolzen wird, wobei sowohl in Fall a) als auch in Fall b) eine Erwärmung der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) lediglich lokal im Bereich der mindestens einen Durchtrittsöffnung (3a) erfolgt.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) mit einer Tiefe von ≤ 2 mm gewählt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass für die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) ein Durchmesser von ≤ 2 mm gewählt wird.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Lötverbindungen gebildet werden und dass die mindestens zwei Lötverbindungen gleichzeitig oder nacheinander gebildet werden.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens drei Lötverbindungen gebildet werden und dass in einem ersten Schritt gleichzeitig eine erste Anzahl n ≥ 1 an Lötverbindungen gebildet wird und nachfolgend in mindestens einem weiteren Schritt gleichzeitig eine zweite Anzahl m ≥ 1 an Lötverbindungen gebildet wird.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zuerst das zumindest eine erste Substrat (3, 3') der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) der lokalen Erwärmung ausgesetzt wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Fall a) der Lotmaterialtropfen mittels einer Kapillare appliziert wird, die in Verbindung mit einer Lotmaterialschmelze steht.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Fall a) der Lotmaterialtropfen mittels eines Piezokristalls appliziert wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Fall a) der Lotmaterialtropfen mittels einer Kapillare appliziert wird, in die ein Lotmaterialkügelchen in festem Aggregatzustand eingespeist wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Lotmaterialkügelchen mittels Laserstrahlung in der Kapillare, beim Austritt aus der Kapillare oder nach dem Austritt aus der Kapillare geschmolzen wird.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass für den Lotmaterialtropfen im Fall a) ein Durchmesser kleiner oder gleich einem Durchmesser der mindestens einen Durchtrittsöffnung (3a) im zumindest einen ersten Substrat (3, 3') gewählt wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Fall b) das Lotmaterialdepot als Lotmaterialkügelchen oder in Form einer Lotmaterialpaste bereitgestellt wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass für das Lotmaterialkügelchen ein Durchmesser kleiner oder gleich einem Durchmesser der mindestens einen Durchtrittsöffnung (3a) gewählt wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass ein bleifreies Lotmaterial (5, 5') eingesetzt wird.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) neben dem zur Ausbildung der Lötverbindung eingesetzten Lotmaterial (5, 5') ein Material umfasst, das beim Erwärmen auf Temperaturen im Bereich der Schmelztemperatur des Lotmaterials in seinen physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften dauerhaft verändert wird.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine äußere Form des Materials nach dem Erwärmen des Materials auf Temperaturen im Bereich der Schmelztemperatur des Lotmaterials um mehr als 1% von seiner äußeren Form vor dem Erwärmen abweicht.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass als Material für mindestens ein Substrat (1, 3, 3', 4, 7) ein Kunststoff ausgewählt wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass als Kunststoff PI, PE, PEN oder PET ausgewählt wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Substrat (3, 3') verwendet wird, das flexibel ist.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein zweites Substrat (1) verwendet wird, das von einem elektronischen, mikromechanischen, optischen oder einem aus diesen Arten kombinierten Bauteil gebildet ist.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass als Bauteil ein SMD-Bauteil, ein MEM-Bauteil, ein MOEM-Bauteil, ein QFP-Bauteil oder ein Area-Array-Bauteil wie ein BGA, CSP oder Flip-Chip gewählt wird.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Substrat verwendet wird, das als MID ausgebildet ist.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) durch eine Metallschicht gebildet wird und dass ein zweiter Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) aus der Gruppe der Metallbeinchen, Lotbumps oder Metallschichten gewählt wird.
  24. Verfahren nach den Ansprüchen 20 und 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil mindestens vier elektrisch leitende Kontaktbereiche in Form von Lotbumps aufweist, wobei die Lotbumps mit einem Schmelzbereich gewählt werden, der in einem gleichen oder tieferen Temperaturbereich liegt als der Schmelzbereich des Lotmaterials (5, 5') der Lötverbindung, und wobei mindestens drei der mindestens vier Lotbumps während der Ausbildung der Lötverbindung zwischen einem oder gleichzeitig mehreren der übrigen Lotbumps und jeweils einem elektrisch leitenden Kontaktbereich des zumindest einen ersten Substrats (3, 3') als Abstandshalter zwischen dem Bauteil und dem zumindest einen ersten Substrat (3, 3') fungieren.
  25. Verfahren nach Anspruch 19 oder Anspruch 19 in Verbindung mit einem der Ansprüche 20 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass das flexible Substrat als ein erstes, ebenes Substrat (3) dient und in Form eines langgestreckten Bandes ausgebildet ist, und dass das flexible Substrat von Rolle zu Rolle transportiert wird, wobei das mindestens eine weitere Substrat (1, 3', 4, 7) der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) über eine Zuführ- und Positioniereinrichtung (10, 11) auf einer Seite des flexiblen Substrats platziert wird.
  26. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine weitere Substrat (1, 3', 4, 7) durch ein Bauteil gebildet ist und dass in Fall a) der Lotmaterialtropfen von der dem Bauteil abgewandten Seite des flexiblen Substrats in die Durchtrittsöffnungen (3a) appliziert wird, und dass in Fall b) der punktuelle Energieeintrag in das Lotmaterialdepot von der dem Bauteil abgewandten Seite des flexiblen Substrats aus erfolgt.
  27. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass das Lotmaterial (5, 5') unter Inertatmosphäre ohne Flussmittelzugabe geschmolzen wird.
  28. Elektrische Schaltung mit mindestens einer Lötverbindung, die zwischen mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereichen (2a, 2b, 2c, 2d) ausgebildet ist, die sich auf mindestens zwei voneinander unabhängigen Substraten (1, 3, 3', 4, 7) befinden, wobei die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) gemeinsam an mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) angrenzen, die zumindest in einem ersten, ebenen Substrat (3, 3') der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) angeordnet ist, und wobei ein Lotmaterial (5, 5') die mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) und gleichzeitig die mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) durch die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) hindurch elektrisch und mechanisch miteinander verbindet, wobei das Lotmaterial (5, 5') den Querschnitt der mindestens einen Durchtrittsöffnung (3a) mindestens an einer Stelle ausfüllt und auf der dem mindestens einen weiteren Substrat (1, 3', 4, 7) abgewandten Seite des ersten Substrats (3, 3') sichtbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) neben dem zur Ausbildung der Lötverbindung eingesetzten Lotmaterial (5, 5') ein Material umfasst, das im Schmelztemperaturbereich des Lotmaterials (5, 5') seine physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften dauerhaft verändert.
  29. Elektrische Schaltung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) eine Tiefe von ≤ 2 mm aufweist.
  30. Elektrische Schaltung nach Anspruch 28 oder 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Lotmaterial (5, 5') bleifrei ist.
  31. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass das Material aus einem Kunststoff gebildet ist.
  32. Elektrische Schaltung nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass der Kunststoff aus PI, PE, PEN oder PET gebildet ist.
  33. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) einen Durchmesser von ≤ 2 mm aufweist.
  34. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 33, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster, elektrisch leitender Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) durch eine Metallschicht gebildet ist und dass ein zweiter, elektrisch leitender Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) aus einem Metallbeinchen, einem Lotbump oder einer Metallschicht gebildet ist.
  35. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass eine die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) umgebende Substratwandung mit einer Metallschicht (2b', 2b'', 2b''') versehen ist, die einen elektrisch leitenden Kontaktbereich der mindestens zwei elektrisch leitenden Kontaktbereiche (2a, 2b, 2c, 2d) bildet und wobei die Zusammensetzung der Metallschicht (2b', 2b'', 2b''') unterschiedlich zu der des Lotmaterials (5, 5') ist.
  36. Elektrische Schaltung nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht (2b', 2b'', 2b''') an die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) angrenzende Oberflächenbereiche des jeweiligen Substrats bedeckt, die sich auf einer Oberseite und/oder einer Unterseite des jeweiligen Substrats befinden.
  37. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) flexibel ist.
  38. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein zweites Substrat (1) der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) durch ein elektronisches, mikromechanisches, optisches oder aus diesen Arten kombiniertes Bauteil gebildet ist.
  39. Elektrische Schaltung nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil elektrisch leitende Kontaktbereiche in Form von Lotbumps aufweist, wobei die Lotbumps einen Schmelzbereich aufweisen, der in einem gleichen oder tieferen Temperaturbereich liegt als der Schmelzbereich des Lotmaterials (5, 5') der Lötverbindung.
  40. Elektrische Schaltung nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil durch ein SMD-Bauteil, ein MEM-Bauteil, ein MOEM-Bauteil, ein QFP-Bauteil oder ein Area-Array-Bauteil wie ein BGA, CSP oder Flip-Chip gebildet ist.
  41. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 38 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine erste Substrat (3, 3') eine Anzahl an ersten Durchtrittsöffnungen aufweist, die mindestens der Anzahl der elektrisch leitenden Kontaktbereiche des Bauteils entspricht, wobei durch die ersten Durchtrittsöffnungen hindurch das zumindest eine erste Substrat mittels ersten Lötverbindungen mit dem Bauteil elektrisch und mechanisch verbunden ist, wobei das zumindest eine erste Substrat mit mindestens einer Anzahl an Leiterbahnschichten zur Entflechtung der elektrisch leitenden Kontaktbereiche des Bauteils versehen ist, die der Anzahl der elektrisch leitenden Kontaktbereiche des Bauteils entspricht, und wobei die Leiterbahnschichten jeweils mit einer ersten Lötverbindung elektrisch leitend verbunden sind.
  42. Elektrische Schaltung nach Anspruch 41, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnschichten des zumindest einen ersten Substrats sich auf gleicher Ebene befinden.
  43. Elektrische Schaltung nach Anspruch 41, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnschichten des zumindest einen ersten Substrats sich auf mindestens zwei unterschiedlichen Ebenen befinden.
  44. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 41 bis 43, dadurch gekennzeichnet, dass jede Leiterbahnschicht an ihrem der jeweiligen ersten Lötverbindung abgewandten Ende an eine weitere Durchtrittsöffnung im ersten Substrat angrenzt.
  45. Elektrische Schaltung nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine erste Substrat über zweite Lötverbindungen durch die weiteren Durchtrittsöffnungen mit einem dritten Substrat verbunden ist, wobei eine elektrische Verbindung zwischen den jeweiligen Leiterbahnschichten und elektrisch leitenden Kontaktbereichen auf dem dritten Substrat ausgebildet ist.
  46. Elektrische Schaltung nach einem der Ansprüche 28 bis 45, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Substrat der mindestens zwei Substrate (1, 3, 3', 4, 7) als MID ausgebildet ist.
  47. Elektrische Schaltung nach den Ansprüchen 37 und 46, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine flexible Substrat die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) aufweist und das Lotmaterial (5, 5') durch die mindestens eine Durchtrittsöffnung (3a) hindurch das flexible Substrat mit der MID elektrisch und mechanisch verbindet.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102006021335A1 (de) * 2006-05-05 2007-11-08 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Leiterplatte mit mehreren Bauteilen und Verfahren zum Löten dieser Leiterplatte
CN109037429A (zh) * 2018-08-10 2018-12-18 付伟 带有双围堰及焊锡的封装结构及其制作方法
CN109587971A (zh) * 2018-12-24 2019-04-05 江西合力泰科技有限公司 一种fpc焊接治具
DE102020109226A1 (de) 2020-04-02 2021-10-07 Tdk Electronics Ag Elektrische Lotverbindung, Sensor mit einer Lotverbindung und Verfahren zur Herstellung

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006021335A1 (de) * 2006-05-05 2007-11-08 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Leiterplatte mit mehreren Bauteilen und Verfahren zum Löten dieser Leiterplatte
CN109037429A (zh) * 2018-08-10 2018-12-18 付伟 带有双围堰及焊锡的封装结构及其制作方法
CN109587971A (zh) * 2018-12-24 2019-04-05 江西合力泰科技有限公司 一种fpc焊接治具
CN109587971B (zh) * 2018-12-24 2024-04-09 江西合力泰科技有限公司 一种fpc焊接治具
DE102020109226A1 (de) 2020-04-02 2021-10-07 Tdk Electronics Ag Elektrische Lotverbindung, Sensor mit einer Lotverbindung und Verfahren zur Herstellung

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