DE102004020881B4 - Method and device for the geometric calibration of optoelectronic measuring imagers - Google Patents

Method and device for the geometric calibration of optoelectronic measuring imagers

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DE102004020881B4 DE200410020881 DE102004020881A DE102004020881B4 DE 102004020881 B4 DE102004020881 B4 DE 102004020881B4 DE 200410020881 DE200410020881 DE 200410020881 DE 102004020881 A DE102004020881 A DE 102004020881A DE 102004020881 B4 DE102004020881 B4 DE 102004020881B4
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Abstract

Vorrichtung zum geometrischen Kalibrieren von optoelektronischen Messbildkameras, umfassend eine kohärente, monochromatische Lichtquelle und mindestens ein Mittel zur Erzeugung einer definierten Teststruktur, wobei die erzeugte Teststruktur über die Optik der Messbildkamera auf deren Fokalebene abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel als Doppel-Spaltblende (3) ausgebildet ist, wobei die beiden Spalte aufeinander senkrecht stehen, wobei die Breite der Spalte veränderbar ist. Device for the geometric calibration of optoelectronic measuring cameras, comprising a coherent, monochromatic light source and at least one means for generating a defined test structure, said test structure created is imaged via the optical system of the measuring camera in the focal plane, characterized in that the means (as a double-slit diaphragm 3 is formed), the two gaps are mutually perpendicular, wherein the width of the gaps is variable.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum geometrischen Kalibrieren. The invention relates to a method and an apparatus for geometric calibration. von optoelektronischen Messbildkameras. of optoelectronic measuring cameras.
  • Optoelektronische Messbildkameras umfassen typischerweise mindestens einen CCD- oder CMOS-Zeilen-oder-Matrix-Sensor, der das einfallende Licht in elektrische Signale umwandelt. Optoelectronic measuring imaging cameras typically comprise at least one CCD or CMOS line or matrix sensor, which converts the incident light into electrical signals. Nachfolgend wird ohne Beschränkung der Allgemeinheit von CCD-Zeilen-Sensoren gesprochen, wobei die Aussagen auch auf andere Sensorentypen übertragbar sind. Subsequently, the general public of CCD line sensors is spoken without limitation, the statements are applicable to other types of sensors.
  • Bei der geometrischen Kalibrierung von CCD-Messbildkameras besteht die Aufgabe darin, jedem CCD-Pixel seine Winkelkoordinaten (Azimut und Elongation) bezüglich der optischen Achse der Kamera zuzuordnen. In the geometric calibration of the CCD measurement cameras, the object is to associate each pixel CCD its angular coordinates (azimuth and elongation) with respect to the optical axis of the camera.
  • Es gibt dazu eine Reihe von üblichen Verfahren. There is to a number of conventional methods. Sehr gebräuchlich ist die geometrische Kalibrierung einer Messbildkamera mit Hilfe eines Kollimators. Very common is the geometric calibration of a measuring camera using a collimator. Hierbei befindet sich im Brennpunkt des Kollimators ein punktförmiger Lichtfleck, dessen Licht den Kollimator als nahezu paralleles Licht verlässt. Here is the focal point of the collimator a point light spot, the light leaves the collimator as nearly parallel light. Die zu kalibrierende Kamera ist auf dieses aus dem Kollimator austretende Licht ausgerichtet. The calibrated camera is focused on this emerging from the collimator light. Damit wird auf der Fokalebene der Kamera dieser Punkt wieder abgebildet. This will re-imaged on the focal plane of the camera this point. Seine Größe entspricht dem Verhältnis der Brennweiten des Kollimators und der zu kalibrierenden Kamera. Its size corresponds to the ratio of the focal lengths of the collimator and the camera to be calibrated. Üblicherweise hat der Kollimator gegenüber der zu kalibrierenden Kamera eine wesentlich längere Brennweite, wodurch der mit Hilfe eine Pinholes realisierte Leuchtfleck im Kollimator üblicherweise wesentlich verkleinert auf die Fokalebene der Kamera abgebildet wird. Typically, the collimator towards the camera to be calibrated has a much longer focal length, which is usually mapped using a pinhole collimator realized spot in significantly reduced to the focal plane of the camera.
  • Während der Kalibrierung befindet sich die Kamera auf einem Manipulator, der in zwei zueinander senkrechten Ebenen gedreht werden kann. During calibration, the camera is on a manipulator which can be rotated in two mutually perpendicular planes. Die Eintrittspupille der zu kalibrierenden Optik befindet sich dabei im Drehpunkt des Manipulators. The entrance pupil to be calibrated optics is doing at the pivot point of the manipulator. Der Nullpunkt der Winkelkoordinaten (Azimut und Elongation) bezüglich der optischen Achse der Kamera wird durch Justierung der Kamera in Bezug auf die optische Achse des Manipulators festgelegt. The zero point of the angular coordinates (azimuth and elongation) is determined by adjustment of the camera with respect to the optical axis of the manipulator with respect to the optical axis of the camera. Hierzu dient ein Justierspiegel, dh ein Planspiegel, der fest und langzeitstabil mit der Kamera so verbunden ist, dass die Spiegelfläche senkrecht zur optischen Achse der Kamera ausgerichtet ist. This purpose, a alignment mirrors, ie, a plane mirror, which is firmly and long-term stable connected to the camera so that the mirror surface is aligned perpendicular to the optical axis of the camera. In der Grundausrichtung der Kamera auf dem Manipulator muss sich dann nicht nur die Eintrittspupille des Manipulators im Drehpunkt der Kamera befinden, sondern auch die optische Achse des Manipulators muss senkrecht zum Kamerajustierspiegel stehen. In the basic orientation of the camera on the manipulator then not only the entrance pupil of the manipulator at the pivot point of the camera and the optical axis of the manipulator must must be located, but are perpendicular to the Kamerajustierspiegel. Nach der erfolgreichen Justierung des Zustandes wird ein bestimmtes charakteristisches CCD-Pixel (z. B. das Mittelpixel einer CCD-Zeile) durch Schwenken des Manipulators angefahren und die so gefundene Winkelwerte abgespeichert und als Nullpunkt definiert. After successful calibration of the state of a particular characteristic CCD pixel (for. Example, the center pixel of a CCD line) is approached by pivoting of the manipulator and store the angle values ​​thus found and defined as the zero point.
  • Während des weiteren Kalibrierprozesses werden die Winkel für Azimut und Elongation für alle weiteren Pixel der zu kalibrierenden Fokalebene gemessen und abgespeichert. During the further calibration process the angle for azimuth and elongation are measured for all other pixels of the focal plane to be calibrated and stored. In der realen Messpraxis werden bei CCD-Zeilen nicht alle, sondern nur einige Punkte (z. B. 11) exakt vermessen und die Winkelkoordinaten der restlichen Punkte rechnerisch bestimmt. In the real measurement practice in CCD line not all but only a few points (z. B. 11) accurately measured and the angular coordinates of the remaining points determined by calculation. Bei einer Fokalebene mit beispielsweise 4 CCD-Zeilen wären dann 44 Punkte zu vermessen. In a focal plane with example 4 CCD line would then be 44 points to be measured. Das wird für wissenschaftliche Zwecke auch so gemacht, ist aber so zeitaufwendig, dass es zur geometrischen Kalibrierung von industriell gefertigten Messbildkameras nicht durchführbar ist. This is also done for scientific purposes so, but it is so time-consuming that it is not feasible for the geometric calibration of industrially manufactured measuring cameras.
  • Aus der From the DE 197 27 281 C1 DE 197 27 281 C1 ist eine Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung von CCD-Kameras bekannt, umfassend eine kohärente Lichtquelle und ein synthetisches Hologramm zur Erzeugung einer wohldefinierten Teststruktur, wobei die kohärente Lichtquelle und das Hologramm derart zueinander angeordnet sind, dass bei Beleuchtung des Hologramms durch die kohärente Lichtquelle das Hologramm eine dreidimensionale Teststruktur um die Fokalebene der CCD-Kamera herum erzeugt. is a device for the geometric calibration of CCD cameras is known, comprising a coherent light source and a synthetic hologram for generating a well-defined test structure, wherein the coherent light source and the hologram are arranged to one another such that upon illumination of the hologram by the coherent light source, the hologram a generates three-dimensional test structure to the focal plane of the CCD camera around. Die kohärente Lichtquelle ist dabei als Laser oder parallele Weißlichtquelle ausgebildet. The coherent light source is designed as a laser or parallel white light source. Diese prinzipiell sehr vorteilhafte Lösung ist in der praktischen Umsetzung relativ komplex, da entsprechende Kenntnisse zur Herstellung des Hologramms erforderlich sind. This basically very advantageous solution is relatively complex in the practical implementation, as appropriate knowledge to produce the hologram are required.
  • Aus der From the DE 198 56 761 C1 DE 198 56 761 C1 ist ein Verfahren zur Feldkalibrierung einer digital-metrischen Kamera bekannt, mittels eines Aufnahmeadapters zur reproduzierbaren Befestigung einer Vorrichtung an der digital-metrischen Kamera, wobei die Vorrichtung einen Schirm mit definierten, lichtdurchlässigen Strukturen zur Erzeugung einer unscharfen Abbildung der definierten Strukturen auf der Fokalebene der Kamera umfasst, der starr mit dem Aufnahmeadapter verbunden ist. discloses a method for field calibration of a digital-metric camera, by means of a receiving adapter for the reproducible attachment of a device to the digital-metric camera, the apparatus comprising a screen having defined, translucent structures to generate a blurred image of the structures defined on the focal plane of the camera includes, which is rigidly connected to the receiving adapter. Die Vorrichtung umfasst dabei eine Blendeplatte. The device here comprises a diaphragm plate. Die Messungen mit weißem Licht werden dabei mit Referenzmessungen verglichen, wobei bei einer Abweichung innerhalb einer Toleranzschwelle die Kamera noch als kalibriert eingestuft wird. The measurements with white light are compared with reference measurements, wherein the camera is still classified as calibrated at a deviation within a tolerance threshold.
  • Aus der From the DE 100 13 299 C2 DE 100 13 299 C2 ist eine Vorrichtung zur geometrischen Kalibrierung einer Matrix- oder Zeilenkamera auf Basis pixelorientierter photosensitiver Elemente bekannt, umfassend eine kohärente Lichtquelle und ein Hologramm zur Erzeugung einer wohldefinierten Teststruktur, wobei das Hologramm als Gitter ausgebildet ist, das eine definierte, diskrete Punktmusterverteilung um die pixelorientierten photosensitiven Elemente erzeugt, wobei mittels einer Vorrichtung zur Drehung des Gitters oder einer Variation der Wellenlänge der Lichtquelle die Punktmusterverteilung über die Pixel bewegbar ist. discloses a device for the geometric calibration of a matrix or line camera on the basis of pixel-oriented photosensitive element comprising a coherent light source and a hologram for generating a well-defined test structure, wherein the hologram is designed as a grid comprising a defined discrete point pattern distribution around the pixel oriented photosensitive elements generated, by means of a device for rotation of the grating or a variation of the wavelength of the light source, the dot pattern distribution over the pixels can be moved.
  • Der Erfindung liegt daher das technische Problem zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum geometrischen Kalibrieren von optoelektronischen Messbildkameras zu schaffen, die bei einem einfachen Aufbau eine exakte Kalibrierung erlauben. The invention is therefore based on the technical problem of providing a method and an apparatus for geometrical calibration of optoelectronic measuring imagers that allow an exact calibration with a simple structure.
  • Die Lösung des technischen Problems ergibt sich mittels der Gegenstände mit den Merkmalen der Patentansprüche 1 und 4. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. The solution of the technical problem is solved by the subject matters having the features of claims 1 and 4. Further advantageous embodiments of the invention emerge from the subclaims.
  • Hierzu ist das Mittel als Doppel-Spaltblende ausgebildet, wobei die beiden Spalte aufeinander senkrecht stehen. For this purpose the means is formed as a double-slit diaphragm, the two gaps are perpendicular. Dadurch werden zwei zueinander senkrecht stehende Beugungsbilder erzeugt die voneinander unabhängig sind, was die Auswertung erheblich erleichtert. Characterized two mutually perpendicular diffraction images are produced which are independent from each other, which considerably simplifies the analysis. Prinzipiell müssen die beiden Spalte nicht senkrecht aufeinander stehen, wobei dann jedoch ein Lichtmuster in einem Winkel über dem optoelektronischen Sensor verläuft, was wiederum die Auswertung erschwert. In principle, the two gaps need not be perpendicular to each other, in which case, however, a pattern of light extends at an angle to the optoelectronic sensor, which in turn makes the evaluation. Dabei wird ausgenutzt, dass die Beugungsbilder eines Spaltes eine Lichtstruktur bilden, deren Helligkeitsverteilung einer analytisch bestimmbaren Winkelzuordnung entspricht. This exploits that the diffraction images of a gap forming a light structure, which corresponds to brightness distribution of an analytically detectable angle assignment. Dabei kann nach Definition eines Nullpunktes durch eine einzige Messung die gesamte Fokalebene kalibriert werden. The entire focal plane can be calibrated by defining a zero point by a single measurement. Dabei wird ausgenutzt, dass sich in der Richtung senkrecht zum Spalt eine Lichtstruktur bildet, deren Intensität mit einer sin x/x-Charakteristik symmetrisch zum Spalt variiert. This exploits that the gap forms a light structure in the direction perpendicular whose intensity varies with a sin x / x characteristic symmetrical to the gap. Bei Verwendung von monochromatischem Licht bekannter Wellenlänge sowie bekannter Spaltbreite und Brennweite sind dabei die Nulldurchgänge mit mathematischer Exaktheit berechenbar. When using monochromatic light of known wavelength, as well known gap width and focal length while the zero crossings with mathematical precision are calculated. Bei einer Spaltbreite von 0,5 mm und einer Wellenlänge von 500 nm wiederholen sich die Nulldurchgänge der Spaltfunktion äquidistant alle 0,1 mm. At a gap width of 0.5 mm and a wavelength of 500 nm, the zero crossings of the sinc function equidistantly repeat every 0.1 mm. Allgemein lässt sich die Intensität beschreiben durch In general, the intensity can be described by
    Figure 00040001
    b= Spaltbreite, f= Brennweite der Optik, λ= Wellenlänge der Lichtquelle. b = gap width, f = focal length of the optics, λ = wavelength of the light source. Als Randbedingung muss dabei beachtet werden, dass der Intensitätsunterschied zwischen zwei Pixeln größer als die Unterscheidungsstufe der radiometrischen Auflösung ist, was aber bei typischen Auflösungen von 10 Bit (1024 Graustufen) kein Problem darstellt. As a boundary condition must be noted here that the intensity difference between two pixels is larger than the discrimination level of radiometric resolution, but 10-bit at typical resolutions (1024 grayscale) is not a problem. Aufgrund der Stetigkeit der Funktion ist es dabei ausreichend, wenn dieses Kriterium im Nulldurchgang der Verteilung zu den beiden benachbarten Pixeln erfüllt ist. Due to the continuity of the function, it is sufficient if this criterion is met at the zero crossing of the distribution to the two adjacent pixels. Es sei angemerkt, dass neben einem Spalt noch andere beugende Strukturen in Frage kommen, wenn diese eine eindeutige mathematisch errechnete Winkelbeziehung in der Beugungsstruktur aufweisen. It should be noted that in addition to a gap other diffracting structures are eligible if they have a unique mathematically calculated angular relationship in the diffraction structure. Voraussetzung für diese eindimensionale Intensitätsverteilung ist die Annahme, dass der Spalt eine unendliche Länge aufweist. A prerequisite for this one-dimensional intensity distribution is the assumption that the gap has an infinite length. Bei endlicher Spaltbreite entsteht eine zweidimensionale Verteilung, die prinzipiell verwendbar ist, jedoch eine etwas komplexere Berechnung erfordert. At finite gap width a two-dimensional distribution that is used in principle, but requires a more complex calculation results. Daher wird vorzugsweise die Spaltlänge größer/gleich dem Durchmesser der Optik gewählt, so dass die Annahme eines unendlich langen Spaltes gerechtfertigt ist. Therefore, the gap length is preferably greater than or equal chosen / the diameter of the optic, so that the assumption of an infinitely long slit is justified.
  • Weiter ist die Breite der Spalte veränderbar. Further, the width of the gaps is variable. Hierdurch kann einerseits eine Feinabstimmung erfolgen, so dass beispielsweise die Minima möglichst zentral ein Pixel treffen. This allows on the one hand carried out a fine-tuning, so that for example the minima as centrally as possible to meet a pixel. Andererseits kann hierdurch sehr einfach und schnell eine zweite Messung durchgeführt werden, um mittels Korrelation die geometrische Kalibrierung zu verbessern. On the other hand, thereby a second measurement can be carried out very simply and quickly in order to improve the geometric calibration means correlation. Selbstverständlich können auch mehr als zwei Messungen durchgeführt werden. Of course, more than two measurements can be performed. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die Wellenlänge der Lichtquelle veränderbar, was eine ähnliche Wirkung wie die Veränderung der Breite des Spaltes hat. In a further preferred embodiment, the wavelength of the light source is changeable, which has a similar effect as the change in the width of the gap.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert. The invention is explained in more detail below with reference to a preferred embodiment. Die Figuren zeigen: The figures show:
  • 1 1 eine Teildarstellung der Intensitätsverteilung einer Beugungsstruktur an einem Spalt und a part of the intensity distribution of a diffraction pattern at a gap and
  • 2 2 eine schematische Darstellung zum geometrischen Kalibrieren einer optoelektronischen Messbildkamera. a schematic representation of the geometric calibration of an optoelectronic measuring camera.
  • In der In the 1 1 ist die Intensität der Beugungsstruktur an einem Spalt über dem Abstand dargestellt, wobei die Wellenlänge λ= 500 nm, die Brennweiter der Optik f= 0,1 m und die Spaltbreite b= 0,5 mm beträgt, wobei der Abstand in m dargestellt ist. the intensity of the diffraction structure is shown at a nip over the distance, wherein the wavelength λ = 500 nm, the focal length of the optics f = 0.1 m, and the gap width is b = 0.5 mm, wherein the distance in meters is shown. Wie man erkennt, weist die Intensitätsverteilung alle 0,1 mm ein Minimum auf. As can be seen, has the intensity distribution of every 0.1 mm to a minimum. Ist der Spalt in Y-Richtung ausgerichtet, so stellt sich die dargestellte Intensitätsverteilung in X-Richtung ein. If the gap in the Y direction oriented, then the intensity distribution shown provides an in X-direction.
  • In der In the 2 2 ist nun schematisch die Vorrichtung is now schematically the apparatus 1 1 zum Kalibrieren einer optoelektronischen Messbildkamera dargestellt. shown for calibrating an opto-electronic measuring camera. Die Vorrichtung The device 1 1 umfasst eine kohärente, monochromatische Lichtquelle includes a coherent, monochromatic light source 2 2 , eine Doppel-Spaltblende , A double-slit diaphragm 3 3 und eine Messbildkamera and a measurement camera 4 4 . , Die Messbildkamera The measuring camera 4 4 umfasst eine Optik comprises an optical system 5 5 und eine Fokalebene and a focal plane 6 6 , auf der mindestens ein optoelektronischer Sensor On which at least an optoelectronic sensor 7 7 angeordnet ist. is arranged. Die Doppel-Spaltblende The double-slit 3 3 umfasst einen Spalt, der sich in X-Richtung erstreckt und einen Spalt der sich in Y-Richtung erstreckt. comprises a gap extending in the X direction and a gap extending in the Y direction. Es sein nun angenommen, dass auf der Fokalebene It is now believed to be that on the focal plane 6 6 mehrere CCD-Zeilen angeordnet sind, die sich in X-Richtung erstrecken. a plurality of CCD rows are arranged extending in the X direction.
  • Die Doppel-Spaltblende wird durch die, beispielsweise als Laser ausgebildete Lichtquelle The double-slit diaphragm is determined by the, formed for example as a laser light source 2 2 beleuchtet. illuminated. Aufgrund des Spaltes in Y-Richtung wird ein Beugungsmuster in X-Richtung erzeugt. Because of the gap in the Y-direction, a diffraction pattern in the X direction is generated. Dieses Beugungsmuster wird über die Optik This diffraction pattern is on optics 5 5 auf die Fokalebene on the focal plane 6 6 bzw. die optoelektronischen Sensoren or photoelectric sensors 7 7 abgebildet. displayed. Da das Beugungsmuster theoretisch unendlich lang ist, wird die CCD-Zeile über die volle Länge beleuchtet, wobei jedoch praktisch sicherzustellen ist, dass die Intensität an den Rändern der CCD-Zeile noch ausreichend groß ist im Verhältnis zur radiometrischen Auflösung der CCD-Zeile. Since the diffraction pattern is theoretically infinite length, the CCD array is illuminated over the full length, but is virtually ensure that the intensity at the edges of the CCD line is still sufficiently large in relation to the radiometric resolution of the CCD-line. Kann dies nicht gewährleistet werden, so muss die geometrische Länge der Randpixel durch die anderen Werte extrapoliert werden. Can not guarantee this, the geometric length of the edge pixels by the other values ​​must be extrapolated. Entsprechend liefert der Spalt in X-Richtung ein Beugungsmuster in Y-Richtung, so dass die CCD-Zeilen auch in Y-Richtung geometrisch kalibriert werden können. Accordingly, the gap provides in the X-direction, a diffraction pattern in the Y direction, so that the CCD line can be geometrically calibrated in the Y direction. Anschließend werden die CCD-Zeilen ausgelesen. Then the CCD lines are read. Da die Orte der Nullpunkte exakt ermittelbar sind, kann auch die geometrische Lage jedes Pixels in X- und Y-Richtung exakt bestimmt werden. Since the locations of the zero points are precisely determined, the geometrical position of each pixel in X and Y direction can be determined accurately.

Claims (6)

  1. Vorrichtung zum geometrischen Kalibrieren von optoelektronischen Messbildkameras, umfassend eine kohärente, monochromatische Lichtquelle und mindestens ein Mittel zur Erzeugung einer definierten Teststruktur, wobei die erzeugte Teststruktur über die Optik der Messbildkamera auf deren Fokalebene abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet , dass das Mittel als Doppel-Spaltblende ( Device for the geometric calibration of optoelectronic measuring cameras, comprising a coherent, monochromatic light source and at least one means for generating a defined test structure, said test structure created is imaged via the optical system of the measuring camera in the focal plane, characterized in that the means (as a double-slit diaphragm 3 3 ) ausgebildet ist, wobei die beiden Spalte aufeinander senkrecht stehen, wobei die Breite der Spalte veränderbar ist. is formed), the two gaps are mutually perpendicular, wherein the width of the gaps is variable.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Spaltes größer/gleich dem Durchmesser der Optik ( Device according to claim 1, characterized in that the length of the gap is greater than / equal to the diameter of the optic ( 5 5 ) ist. ) Is.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenlänge der Lichtquelle ( Device according to claim 1 or 2, characterized in that the wavelength of the light source ( 2 2 ) veränderbar ist. ) Is variable.
  4. Verfahren zum geometrischen Kalibrieren von optoelektronischen Messbildkameras ( A method for the geometric calibration of optoelectronic measuring cameras ( 4 4 ), mittels einer kohärenten, monochromatische Lichtquelle ( ) (By means of a coherent, monochromatic light source 2 2 ) und mindestens einer Doppel-Spaltblende ( ) And at least one double-slit diaphragm ( 3 3 ), wobei die beiden Spalte aufeinander senkrecht stehen, wobei die Doppel-Spaltblende ( ), The two gaps are mutually perpendicular, wherein the double-slit diaphragm ( 3 3 ) zwischen der kohärenten Lichtquelle ( ) (Between the coherent light source 2 2 ) und der Optik ( ) And the optics ( 5 5 ) der Messbildkamera ( () Of the measurement camera 4 4 ) angeordnet ist, wobei durch Bestrahlung der Spaltblende durch die kohärente Lichtquelle ( is arranged), where (by irradiation of the slit diaphragm by the coherent light source 2 2 ) eine mindestens eindimensionale, definierte Teststruktur erzeugt wird, die durch die Optik ( ) At least one-dimensional, defined test structure is produced, which (through the optics 5 5 ) auf die Fokalebene ( ) (On the focal plane 6 6 ) der Messbildkamera ( () Of the measurement camera 4 4 ) abgebildet wird, wobei durch Auswertung der mit der Teststruktur bestrahlten optoelektronischen Sensoren ( ) Is mapped, wherein (by evaluating the area irradiated with the test structure optoelectronic sensors 7 7 ) die räumliche Anordnung der Pixel bestimmt wird und deren Lage abgespeichert wird, wobei die Messung mit einer anderen Spaltbreite wiederholt wird und anschließend die Ergebnisse korreliert werden. ) The spatial arrangement of the pixels is determined and its position is stored, wherein the measurement with a different gap width is repeated, and then the results are correlated.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Spaltes größer/gleich dem Durchmesser der Optik ( A method according to claim 4, characterized in that the length of the gap is greater than / equal to the diameter of the optic ( 5 5 ) gewählt wird. ) Is selected.
  6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung mit einer anderen Wellenlänge der Lichtquelle ( The method of claim 4 or 5, characterized in that the measurement (of a different wavelength of the light source 2 2 ) wiederholt wird und anschließend die Ergebnisse korreliert werden. ) Is repeated and then the results are correlated.
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