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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät, mit einem
in einem Gehäuse
beweglich gelagerten Taststift und mit einer Sensoranordnung zum
Erfassen von Auslenkungen des Taststiftes relativ zu dem Gehäuse, wobei
die Sensoranordnung einen ersten Magneten und ein Hallelement aufweist.
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Die
Erfindung betrifft ferner ein Koordinatenmessgerät zum Vermessen einer Objektform
eines Messobjekts, mit einem Verschiebegestell, an dem ein Tastkopf
mit einem Taststift zum Antasten des Messobjekts angeordnet ist,
und mit einer Auswerteeinheit, die dazu ausgebildet ist, eine aktuelle
Raumposition des Tastelements zu bestimmen.
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Ein
gattungsgemäßer Tastkopf
für ein
entsprechendes Koordinatenmessgerät ist beispielsweise aus
DE 37 21 682 A1 bekannt.
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Gattungsgemäße Koordinatenmessgeräte werden
u.a. dazu verwendet, die Objektform eines Messobjekts mit großer Genauigkeit
zu vermessen. Beispielsweise wird auf diese Weise die Objektform von
maschinell hergestellten Werkstücken
zur Qualitätskontrolle überprüft. Für den Messvorgang
wird der Tastkopf des Koordinatenmessgerätes mit dem Verschiebegestell
so weit an das Messobjekt herangefahren, bis der beweglich gelagerte
Taststift einen gewünschten
Messpunkt am Messobjekt berührt.
Anschließend
kann aus der Stellung des Tastkopfes und der relativen Lage des
Taststiftes zum Tastkopf die Raumkoordinate des angetasteten Messpunktes
mit hoher Genauigkeit bestimmt werden.
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Der
in der eingangs genannten
DE
37 21 682 A1 beschriebene Tastkopf ist von seiner Bauart
nur dazu ausgelegt, eindimensionale Messungen, d.h. Messungen in
nur einer Raumrichtung, vorzunehmen. Die Auslenkung des Taststiftes
relativ zum Tastkopf wird in einem konkreten Ausführungsbeispiel
mit Hilfe von induktiven Längssensoren
bestimmt. Alternativ hierzu werden ganz allgemein weitere Lagesensoren
vorgeschlagen, u.a. ein Hallelement. Einzelheiten eines messenden
Tastkopfes mit einem Hallelement als Bestandteil der Sensoranordnung
sind jedoch nicht beschrieben.
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Aus
DE 26 20 099 C2 ist
ein Tastkopf mit allseitig auslenkbarem Taststift bekannt. Zur messtechnischen
Erfassung der Bewegung des Taststiftes wird hier ebenfalls eine
induktive Sensoranordnung verwendet. Hierzu sind in allen drei Achsen
jeweils zwei induktive Sensoren vorgesehen, die auf gegenüberliegenden
Sei ten eines Endes des Taststiftes angeordnet sind. Die induktiven
Sensoren sind zu einer Brückenschaltung
verschaltet.
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Aus
DE 37 20 524 A1 ist
eine sogenannte Messkluppe bekannt, bei der ein Hallelement verwendet
wird, um die Längsposition
eines verschieblichen Läufers
zu bestimmen. Das Hallelement ist im Abstand von und im Wesentlichen
symmetrisch zu einem Paar von nebeneinanderliegenden Magneten angeordnet.
Zur Messung der Längsposition
des Läufers
wird das Hallelement im Abstand an den Magneten vorbeigeführt.
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Aus
DE 37 08 105 A1 ist
ein Koordinatenmessgerät
mit einem Tastkopf für
dreidimensionale Messungen bekannt. Für die Sensoranordnung, die die
Auslenkung des Taststiftes erfasst, werden magnetoresistive Elemente,
d.h. magnetabhängige
Widerstände,
vorgeschlagen. Um eine gewisse Ortsauflösung zu erreichen, wird ein
Raster aus einer Vielzahl derartiger Widerstände verwendet.
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Die
Verwendung von Hallelementen bei einer Sensoranordnung zur messtechnischen
Positionserfassung ist darüber
hinaus aus einer Vielzahl anderer Anwendungen bekannt. Bei einer
Vorrichtung gemäß
DE 198 23 059 C2 wird
eine Ortsauflösung ähnlich wie
bei
DE 37 08 105 A1 durch
eine Matrixanordnung der Hallelemente ermöglicht. Nach
DE 197 12 829 A1 werden
Hallelemente zur Bestimmung der Kolbenposition in Pneumatikzylindern
verwendet.
DE 196
39 801 A1 schlägt
vor, einen Hallsensor zur Positionserfassung bei Scheibenwischern
einzusetzen.
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In
den bekannten Anwendungsfällen
wird eine variable Raumposition entweder über eine Vielzahl matrixartig
angeordneter Hall elemente oder über
ein Hallelement mit einer Vielzahl von Magneten als Inkrementalgeber
bestimmt. In den verbleibenden Fällen,
in denen nur ein Hallelement und ein Magnet zur Anwendung kommt,
erfolgt die Positionserfassung im Sinne einer Ja-Nein-Entscheidung, d.h.
es handelt sich hier nicht um eine messtechnische Erfassung einer
variablen Entfernung oder Länge.
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Aus
einer Veröffentlichung
der Firma Allegro MicroSystems Inc., Worcester, Massachusetts, USA unter
dem Titel "Applications
Information 27702A" sind
verschiedene Anordnungen bekannt, wie Hallsensoren in Verbindung
mit Magneten für
Messzwecke eingesetzt werden können.
Anwendungen im Bereich der Koordinatenmesstechnik sind jedoch nicht angedeutet.
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In
einer nicht-vorveröffentlichten
Anmeldung der hiesigen Anmelderin (Aktenzeichen
DE 103 48 887.1 ) ist ein Tastkopf
für ein
Koordinatenmessgerät beschrieben,
bei dem die Auslenkung des Taststiftes mit einer Anordnung kontinuierlich
messender Hallelemente erfasst wird. Die vorliegende Anmeldung unterscheidet
sich von dieser älteren
Anordnung durch die Art, in der die Hallelemente in der Sensoranordnung
verwendet sind.
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Es
ist vor diesem Hintergrund eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
einen Tastkopf der eingangs genannten Art anzugeben, der eine hoch
auflösende
Messung von Raumkoordinaten mit geringem apparativen und wirtschaftlichen
Aufwand ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird mit einem Tastkopf der eingangs genannten Art gelöst, bei
dem die Sensoranordnung einen zweiten Magneten aufweist, der gegenüberliegend
von dem ersten Magneten angeordnet ist, wobei zwischen den beiden
Magneten eine Lücke
ver bleibt, und bei dem das Hallelement derart angeordnet ist, dass
es sich bei einer Auslenkung des Taststiftes relativ zu den Magneten
in der Lücke bewegt.
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Der
neue Tastkopf beruht damit auf der Idee, die Auslenkungen des Taststiftes
mit Hilfe eines Hallelements zu erfassen, das sich zwischen zwei
einander gegenüberliegenden
Magneten bewegt. Durch diese spezielle Anordnung ist eine sehr exakte
Messwertaufnahme über
einen relativ großen
Messbereich hin möglich.
Zudem benötigt
der neue Tastkopf für
die messtechnische Erfassung einer Raumrichtung weder mehrere Hallelemente
noch weitere als die beiden genannten Magnete, wie dies beispielsweise
bei einer Inkrementalmessung erforderlich wäre. Die Auslenkung des Taststiftes
kann vielmehr aus der Amplitude des Ausgangssignals des Hallelements
eindeutig abgeleitet werden. Insofern handelt es sich bei der hier
vorgeschlagenen Anordnung um eine kontinuierliche Messwertaufnahme,
die mit Hilfe eines einzigen Hallelements (pro Raumrichtung) durchführbar ist.
Dabei kann die vorgeschlagene Anordnung sehr kompakt und raumsparend
realisiert werden.
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Die
genannte Aufgabe ist daher vollständig gelöst.
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In
einer Ausgestaltung sind der erste und der zweite Magnet mit jeweils
gleichnamigen Polen aufeinander zuweisend angeordnet und das Hallelement
ist so angeordnet, dass es sich bei einer Auslenkung des Taststiftes
parallel zu einer gedachten Fluchtlinie zwischen den gleichnamigen
Polen bewegt. Vorzugsweise bewegt sich das Hallelement auf der gedachten
Fluchtlinie zwischen den gleichnamigen Polen, d.h. es ist im nicht- ausgelenkten Zustand etwa
zentrisch zwischen den Magneten angeordnet.
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In
dieser Ausgestaltung bewegt sich das Hallelement bei einer Auslenkung
des Taststiftes in etwa senkrecht zu den aufeinander zuweisenden
Oberflächen
der Magnete. Alternativ hierzu wäre
es grundsätzlich
auch möglich,
das Hallelement bei einer Auslenkung des Taststiftes parallel zu
den genannten Oberflächen
der Magnete zu führen,
wie dies vom Grundsatz her in der nicht-vorveröffentlichten Anmeldung
DE 103 48 887.1 beschrieben
ist (dort bewegt sich das Hallelement allerdings nicht zwischen
zwei einander gegenüberliegenden
Magneten). Die hier bevorzugte Ausgestaltung ermöglicht eine besonders hohe
Messgenauigkeit über
einen großen Messbereich
sowie eine sehr kompakte und nach außen hin abgrenzbare Bauform.
Darüber
hinaus ist die bevorzugte Ausgestaltung relativ unempfindlich gegenüber Montagetoleranzen,
was die Herstellung des neuen Tastkopfes erleichtert.
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In
einer weiteren Ausgestaltung ist das Hallelement bei nicht-ausgelenktem Taststift
in gleichem Abstand zu dem ersten und dem zweiten Magneten angeordnet.
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Diese
Ausgestaltung besitzt den Vorteil, dass die Ausgangsspannung des
Hallelements im nicht-ausgelenkten Zustand des Taststiftes etwa
bei 0 Volt liegt, so dass sich die Richtung einer Auslenkung bereits
am Vorzeichen der Ausgangsspannung ablesen lässt. Hierdurch wird die Auswertung
vereinfacht und der Messbereich symmetrisch ausgenutzt. Daher ermöglicht diese
Ausgestaltung auch eine besonders hohe Messgenauigkeit über einen
großen Messbereich
hinweg.
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In
einer weiteren Ausgestaltung besitzen der erste und der zweite Magnet
quer zur Bewegungsrichtung des Hallelements jeweils eine Breite,
die etwa 5 mm oder mehr beträgt.
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Mit
anderen Worten sind der erste und zweite Magnet quer zur Bewegungsrichtung
des Hallelements "sehr
groß". Typischerweise
besitzt ein kommerziell erhältliches
Hallelement eine magnetisch wirksame Fläche, deren Breite in der bevorzugten Ausgestaltung
etwa 1/10 oder weniger der Breite der Magnete beträgt. Wie
sich bei praktischen Versuchen der Anmelderin gezeigt hat, ist es
in dieser Ausgestaltung sehr einfach möglich, die erhaltenen Messwerte
exakt einer einzigen Raumrichtung zuzuordnen. Mit anderen Worten
ist das Ausgangssignal des Hallelements in dieser Ausgestaltung
nahezu unabhängig
von Auslenkungen des Taststiftes quer zur gewünschten (relativen) Bewegungsrichtung
des Hallelements. Andererseits ermöglicht die gewählte Abmessung
der Magnete immer noch eine kompakte Bauform, was insbesondere bei
dynamischen Messvorgängen
von Vorteil ist.
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In
einer weiteren Ausgestaltung sind der erste und der zweite Magnet
mit dem beweglichen Taststift gekoppelt, während das Hallelement auf einer Basis
angeordnet ist, die relativ zu den Magneten feststehend ist.
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Alternativ
hierzu wäre
es grundsätzlich
auch möglich,
das Hallelement mit dem beweglichen Taststift zu koppeln und die
Magnete feststehend anzuordnen. Die bevorzugte Ausgestaltung führt jedoch zu
genaueren Messergebnissen, da Hystereseeffekte aufgrund von Zuleitungskabeln
minimiert sind.
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In
einer weiteren Ausgestaltung weist die Sensoranordnung zumindest
ein weiteres Hallelement auf, das um etwa 90° verdreht zu dem ersten Hallelement
angeordnet ist.
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Diese
Ausgestaltung ermöglicht
es auf sehr einfache Weise, die Auslenkung des Taststiftes in zwei
oder mehr Raumrichtungen zu bestimmen.
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In
einer weiteren Ausgestaltung weist die Sensoranordnung zumindest
einen dritten und einen vierten Magneten auf, zwischen denen zumindest das
weitere Hallelement angeordnet ist.
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In
dieser Ausgestaltung besitzt jedes der Hallelemente seine „eigenen" Magnete. Daher ist hier
eine sehr gute Entkopplung zwischen den einzelnen Raumrichtungen
gegeben. Die Messgenauigkeit wird verbessert.
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In
einer weiteren Ausgestaltung sind der dritte und vierte Magnet sowie
das weitere Hallelement räumlich
getrennt von dem ersten und zweiten Magneten angeordnet.
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Die
vollständige
räumliche
Trennung ermöglicht
noch höhere
Messgenauigkeit, da die einzelnen Teil-Sensoranordnungen noch besser
voneinander entkoppelt sind.
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In
einer weiteren Ausgestaltung sind das erste und das weitere Hallelement
zwischen dem ersten und dem zweiten Magneten angeordnet.
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In
dieser Ausgestaltung sind die Teil-Sensoranordnungen räumlich miteinander
kombiniert. Wie sich aus Versuchen der Anmel derin gezeigt hat, kann auch
in diesem Fall eine hinreichende Messgenauigkeit erreicht werden.
Darüber
hinaus ist diese Ausgestaltung besonders kleinbauend und mit geringerem Gewicht
zu realisieren.
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In
einer weiteren Ausgestaltung sind die Magnete an einem gemeinsamen
Trägerelement
befestigt. Bevorzugt ist das gemeinsame Trägerelement ein Flussführungselement,
d.h. es besteht aus einem Material mit geringem magnetischem Widerstand, welches
die magnetischen Feldlinien in sich konzentriert.
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Die
Anordnung der Magnete an einem gemeinsamen Trägerelement führt zu einem
modulartigen Aufbau der Sensoranordnung. Hierdurch wird die Montage
vereinfacht und der neue Tastkopf somit kostengünstiger. Die Verwendung eines
magnetisch leitfähigen
Materials für
das Trägerelement,
d.h. die Ausbildung des Trägerelements
als Flussführungselement
für die
magnetischen Feldlinien, führt
darüber hinaus
zu einer Erhöhung
der Messgenauigkeit, da die magnetische Feldverteilung hierdurch
exakter bestimmt ist. Zudem werden Einflüsse von externen Störfeldern
reduziert.
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In
einer weiteren Ausgestaltung weist das Flussführungselement einen ersten
und einen zweiten Ringabschnitt auf, wobei der erste Ringabschnitt den
ersten und zweiten Magneten ringförmig verbindet und wobei der
zweite Ringabschnitt den dritten und vierten Magneten ringförmig verbindet.
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Durch
diese Ausgestaltung wird eine noch bessere Entkopplung zwischen
den beiden Teil-Sensoranordnungen erreicht, wodurch sich die Messgenauigkeit
nochmals steigern lässt.
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In
einer weiteren Ausgestaltung weist das Flussführungselement einen Brückenabschnitt
auf, der den ersten und zweiten Ringabschnitt miteinander verbindet,
wobei der Brückenabschnitt
mit dem Taststift gekoppelt ist.
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Diese
Ausgestaltung führt
zu einem besonders kompakten und kostengünstigen Aufbau der Sensoranordnung.
Außerdem
erhält
die Sensoranordnung in dieser Ausgestaltung eine symmetrische Gewichtsverteilung,
was vor allem bei dynamischen Messvorgängen von Vorteil ist und eine
gleichmäßig hohe
Messgenauigkeit ermöglicht.
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In
einer weiteren Ausgestaltung besitzt der Tastkopf Federelemente,
die eine Auslenkung des Taststiftes in zumindest zwei Raumrichtungen
ermöglichen,
wobei die Sensoranordnung räumlich
getrennt von den Federelementen angeordnet ist.
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Im
Gegensatz hierzu ist es bei vielen gattungsgemäßen Tastköpfen üblich, Messsensoren in den
Führungsebenen
der Federelemente, bei Federparallelogrammen also beispielsweise
zwischen den parallelen Federteilen, anzuordnen. Die von den Federelementen
räumlich
abgesetzte Anordnung besitzt demgegenüber den Vorteil, dass Ablauf-
und Führungsfehler
der Federelemente mit erfasst werden können, wodurch die Messgenauigkeit
weiter erhöht
ist. Dieser Vorteil lässt
sich durch die neue Verwendung des Hallelements zwischen den beiden
Magneten besonders einfach und kostengünstig erreichen.
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In
einer weiteren Ausgestaltung beinhalten die Federelemente eine Membranfeder,
die die Auslenkung des Taststiftes in zwei Raumrichtungen entlang
einer Kardanebene ermöglicht,
wobei die Sensoranordnung außerhalb
der Kardanebene angeordnet ist.
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Diese
Ausgestaltung ist eine besonders bevorzugte Realisierung, da sie über einen
großen Messbereich
hinweg eine hohe Messgenauigkeit bei einfacher und kompakter Bauform
ermöglicht.
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Es
versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend
noch zu erläuternden Merkmale
nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in
anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne
den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der
nachfolgenden Beschreibung näher
erläutert.
Es zeigen:
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1 ein
Koordinatenmessgerät
mit einem Ausführungsbeispiel
des neuen Tastkopfes,
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2 die
Aufhängung
des beweglichen Taststiftes bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel
des neuen Tastkopfes,
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3 ein
erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
einer Sensoranordnung für
den neuen Tastkopf,
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4 ein
weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel
für eine
Sensoranordnung,
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5 ein
weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel
für eine
Sensoranordnung, und
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6 ein
weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel
für eine
Sensoranordnung.
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In 1 ist
ein Koordinatenmessgerät
in seiner Gesamtheit mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet. Das
Koordinatenmessgerät 10 besitzt
eine Grundplatte 12, auf der ein Portal 14 in
Längsrichtung
verschieblich angeordnet ist. Diese Längsrichtung wird üblicherweise
als Y-Achse bezeichnet. Am oberen Querträger des Portals 14 ist
ein in X-Richtung verschieblicher Schlitten 16 angeordnet,
der wiederum eine in Z-Richtung verstellbare Pinole 18 trägt. Mit den
Bezugsziffern 20, 22, 24 sind Skalen
bezeichnet, an denen sich die jeweilige Verstellposition des Portals 14,
des Schlittens 16 und der Pinole 18 in den drei
Raumrichtungen X, Y, Z ablesen lässt.
Die Skalen 20, 22, 24 können dabei
typische Messskalen sein, die von einem Bediener des Koordinatenmessgerätes 10 abgelesen
werden. Alternativ und/oder ergänzend
handelt es sich hier jedoch um Wegmessgeber, die maschinell ausgelesen
werden können.
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Am
unteren freien Ende der Pinole 18 ist in an sich bekannter
Weise ein Tastkopf 26 angeordnet, der einen hier nicht
maßstabsgetreu
dargestellten Taststift 28 trägt. Mit dem Taststift 28,
der auch eine andere Form als hier dargestellt besitzen kann und der
auch auswechselbar sein kann, werden definierte Messpunkte eines
Messobjekts 30 angetastet. Das Messobjekt 30 ist
dabei auf der Grundplatte 12 des Koordinatenmessgeräts 10 angeordnet.
Aus der Stellung des Tastkopf es 26 im Messvolumen des
Koordinatenmessgerätes 10 sowie
der Auslenkung des Taststiftes 28 relativ zum Tastkopf
kann dann die Raumkoordinate des angetasteten Messpunktes in an
sich bekannter Weise bestimmt werden.
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Mit
der Bezugsziffer 32 ist eine Auswerte- und Steuereinheit
bezeichnet, über
die das Koordinatenmessgerät 10 gesteuert
wird. Des Weiteren wertet die Auswerte- und Steuereinheit 32 die
jeweilige Position von Tastkopf 26 und Taststift 28 aus,
und sie stellt die Messergebnisse zur Dokumentation und/oder weiteren
Verarbeitung bereit. Mit der Bezugsziffer 34 ist ein Bedienpult
bezeichnet, über
das der Tastkopf 26 hier auch manuell gesteuert werden kann.
Ein solches Bedienpult kann jedoch auch fehlen.
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Das
Koordinatenmessgerät 10 ist
hier in sogenannter Portalbauweise dargestellt. Die Erfindung ist
hierauf jedoch nicht beschränkt
und kann gleichermaßen
bei Koordinatenmessgeräten
in anderen Bauformen, beispielsweise in Horizontalarmbauweise, angewendet
werden.
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In 2 ist
das sogenannte Kinematikmodul eines bevorzugten Ausführungsbeispiels
des Tastkopfes 26 in seiner Gesamtheit mit der Bezugsziffer 36 bezeichnet.
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Das
Kinematikmodul 36 besitzt einen feststehenden Teil 38,
der mit dem Gehäuse
des Tastkopfes 26 verbunden ist oder auch Bestandteil des Tastkopfgehäuses sein
kann. Das Gehäuseteil 38 besitzt
hier eine zylindrische Bauform. In seinem Inneren ist ein erstes
und ein zweites zylinderschalenförmiges
Teil 40, 42 angeordnet. Das erste zylinderschalenförmige Teil 40 ist über zwei
Blattfedern 44, 46 beweglich an dem Gehäuseteil 38 befestigt.
Das zweite zylinderschalenförmige
Teil 42 ist über
zwei weitere Blattfedern 48, 50 beweglich an dem
ersten beweglichen Teil 40 befestigt. Dabei stehen sich
die beiden beweglichen Teile 40, 42 diametral
gegenüber.
Insgesamt wird durch die Anordnung aus Gehäuseteil 38, den beweglichen
Teilen 40, 42 sowie den Blattfedern 44 bis 50 ein
sogenanntes Doppelfederparallelogramm gebildet. Dieses ermöglicht eine Auslenkung
des Taststiftes in Z-Richtung gegenüber dem Gehäuseteil 38.
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Innerhalb
des Doppelfederparallelogramms ist eine Membranfeder 52 angeordnet.
Die Membranfeder 52 sitzt etwa mittig zwischen den Blattfedern 44, 48 auf
der einen Seite des Doppelfederparallelogramms und den Blattfedern 50, 46 auf
der anderen Seite. Sie ist ferner zwischen den beiden beweglichen
Teilen 40, 42 befestigt und trägt eine Taststiftverlängerung 54.
Die Taststiftverlängerung 54 ist
ihrerseits mit dem Taststift 28 verbunden.
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Durch
die gezeigte Anordnung der Federelemente 44 bis 52 kann
die Taststiftverlängerung 54 (und
mit ihr der Taststift 28) in drei Raumrichtungen relativ
zu dem feststehenden Gehäuseteil 38 ausgelenkt
werden. In X- und Y-Richtung erfolgt die Auslenkung in einer Kardanebene 56,
die durch die Membranfeder 52 festgelegt wird. Die Auslenkung
senkrecht dazu, d.h. in Z-Richtung, wird durch das Doppelfederparallelogramm
ermöglicht.
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Um
die Größe der Auslenkungen
des Taststiftes 28 relativ zum Tastkopf 26 zu
bestimmen, wird in dem bevorzugten Ausführungsbeispiel eine Sensoranordnung
verwendet, wie sie nachfolgend anhand der 3 bzw. 4 beschrieben
wird. Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass die nachfolgend beschriebenen
Ausführungsbeispiele
von Sensoranordnungen grundsätzlich
auch mit anderen Kinematikmodulen verwendet werden können.
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In 3 ist
ein erstes Ausführungsbeispiel einer
Sensoranordnung in seiner Gesamtheit mit der Bezugsziffer 60 bezeichnet.
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Die
Sensoranordnung 60 besitzt ein erstes und ein zweites Hallelement 62, 64,
die über
jeweils eine senkrecht stehende Trägerplatte 66 an einer waagerechten
Grundplatte 68 befestigt sind. Die Hallelemente 62, 64 sind
kommerziell erhältliche
ICs, die über
die Trägerplatte 66 mit
allen erforderlichen elektrischen Kontakten kontaktiert sind. Die
Grundplatte 68 ist in der Darstellung in 3 weitgehend
kreisförmig.
Sie besitzt im Bereich unterhalb der Hallelemente 62, 64 zwei
Ausnehmungen 70, die jedoch für die vorliegend beschriebene
Funktion ohne Bedeutung sind.
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Jedes
der beiden Hallelemente 62, 64 ist von einem Ringabschnitt 72, 74 eines
Trägerelements 76 umgeben.
Die Ringabschnitte 72, 74 besitzen eine etwa quadratische
Grundform und sind über
einen Brückenabschnitt 78 miteinander
verbunden. Auf dem Brückenabschnitt 78 ist
eine zylinderförmige Aufnahme 80 angeordnet.
Hier ist im zusammengebauten Zustand des Tastkopfes 26 die
Taststiftverlängerung 54 eingesteckt,
so dass das Trägerelement 76 den
Auslenkungen des Taststiftes parallel zur Kardanebene 56 (siehe 2)
folgt. Mit anderen Worten ist das Trägerelement 76 also
derartig mit dem Taststift 28 verbunden, dass es dessen
Auslenkungen in Richtung der Pfeile 82 und 84,
im konkreten Anwendungsfall in X- und Y-Richtung, folgt.
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Innerhalb
des ersten Ringabschnitts 72 sind ein erster Magnet 86 und
ein zweiter Magnet 88 so angeordnet, dass das erste Hallelement 62 mittig zwischen
den beiden Magneten 86, 88 sitzt. In gleicher
Weise sind innerhalb des zweiten Ringab schnitts 74 ein
dritter Magnet 90 und ein vierter Magnet 92 angeordnet.
Das zweite Hallelement 74 sitzt mittig zwischen den Magneten 90, 92.
Dabei sind die beiden Magnete 90, 92 und das Hallelement 64 entlang
einer gemeinsamen Fluchtlinie 94 angeordnet, ebenso wie
die beiden Magnete 86, 88 und das erste Hallelement 62 (dort
ist die Fluchtlinie aus Gründen der Übersichtlichkeit
nicht gezeichnet). Die beiden Fluchtlinien sind parallel zur Kardanebene 56 um
90° verdreht
zueinander.
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In
dem gezeigten Ausführungsbeispiel
liegen die Magnete 86, 88 mit gleichnamigen Polen
aufeinander zuweisend gegenüber.
Gleiches gilt für
die Magnete 90, 92 in dem zweiten Ringabschnitt 74.
Diese Anordnung hat zur Folge, dass die beiden Hallelemente 62, 64 bei
nicht ausgelenktem Taststift nicht von magnetischen Feldlinien durchsetzt
sind, da sich die einander entgegengesetzten Feldlinienverläufe mittig
zwischen den gleichnamigen Magnetpolen eliminieren. Sobald das Trägerelement 76 jedoch
relativ zu den Hallelementen in X- und/oder Y-Richtung verschoben
wird, rückt
zumindest eines der Hallelemente 62, 64 aus dem "neutralen" Bereich zwischen den
Magnetpolen heraus. Es kommt dann in den Einfluss der magnetischen
Feldlinien desjenigen Magnetes, auf den es sich zu bewegt und infolgedessen entsteht
an dem betroffenen Hallelement eine Spannung, deren Größe ein Maß für die Annäherung des Hallelements
an den betroffenen Magneten ist.
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Bei
der Bezugsziffer 96 ist in 3 die magnetisch
wirksame Fläche
des Hallelements 62 angedeutet. Aus der Darstellung ergibt
sich, dass die Breite b1 der Magnete 86, 88 deutlich
größer ist
als die entsprechende (parallele) Breite b2 der
magnetisch wirksamen Fläche 96.
In dem aktuell bevorzugten Ausführungsbeispiel
beträgt
die Breite b1 der Magnete etwa 7 mm, während die
Breite b2 der magnetisch wirksamen Flächen der
Hallelemente bei etwa 400 μm
liegt. Darüber
hinaus ist in dem bevorzugten Ausführungsbeispiel auch die Ausdehnung
der Magnete 86 bis 92 in Z-Richtung erheblich
größer als
die entsprechende Ausdehnung der magnetisch wirksamen Fläche 96.
Durch diese Größenabmessungen
wird eine Unabhängigkeit
der jeweiligen Ausgangssignale der Hallelemente 62, 64 von
den Koordinatenrichtungen erreicht, die senkrecht zur gewünschten
(relativen) Bewegungsrichtung 82 bzw. 84 liegen.
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In
dem bevorzugten Ausführungsbeispiel
gemäß 3 besteht
das Trägerelement 76 aus
Weicheisen, d.h. es handelt sich hier um ein Flussführungselement
für die
magnetischen Feldlinien der Magnete 86 bis 92.
Hierdurch wird ein guter Schutz vor Störfeldern erzielt, was zu der
hohen Messgenauigkeit der Sensoranordnung 60 beiträgt.
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In 4 ist
ein weiteres Ausführungsbeispiel einer
Sensoranordnung in seiner Gesamtheit mit Bezugsziffer 100 bezeichnet.
Im Übrigen
bezeichnen gleiche Bezugszeichen dieselben Elemente wie zuvor.
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Die
Sensoranordnung 100 unterscheidet sich von der Sensoranordnung 60 vor
allem durch die Form des Trägerelements,
an dem die Magnete 86 bis 92 befestigt sind. Im
Unterschied zum vorhergehenden Ausführungsbeispiel ist das Trägerelement (hier
mit Bezugsziffer 102 bezeichnet) scheibenförmig ausgebildet
und damit leichter. Zudem besteht es hier nicht aus einem magnetisch
leitfähigen
Material. Andererseits sind zum Ausgleich dessen die Magnete 86 bis 92 deutlich
stärker
ausgebildet als im Ausführungsbeispiel
gemäß 3.
Die Funktionsweise der Sensoranordnung 100 ist jedoch die
Gleiche wie in 3, wobei die hiesige Ausführung in
Bezug auf die bewegten Massen günstiger
ist.
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5 und 6 zeigen
zwei Ausführungsbeispiele,
bei denen die Hallelemente 62, 64 räumlich miteinander
kombiniert sind. Hierdurch entsteht eine besonders kleinbauende
und leichte Anordnung. In beiden Ausführungsbeispielen sind die beiden
Hallelemente 62, 64 um 90° versetzt zueinander und übereinander
angeordnet. Sie sitzen ferner mittig innerhalb eines (quadrat-)
ringförmigen
Trägerelements 76 aus
einem magnetisch leitfähigen
Material, beispielsweise aus Weicheisen. Konstruktiv kann die gezeigte
Anordnung beispielsweise realisiert sein, indem das Hallelement 62 mechanisch
an einem (hier nicht gezeigten) Deckel befestigt ist, während das Hallelement 64 an
einem (ebenfalls nicht gezeigten) Boden angeordnet ist. Alternativ
hierzu können
die Hallelemente 62, 64 jedoch auch an einer gemeinsamen
Basis, aneinander oder in anderer Weise befestigt sein.
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Das
gemeinsame Trägerelement
trägt im Ausführungsbeispiel
gemäß 6 vier
Magnete 86 bis 92, die um jeweils 90° versetzt
zueinander sind. Die Magnete 86, 88 sind die ersten
und zweiten Magnete im Sinne der vorherigen Ausführungen und sie erzeugen das
Magnetfeld, das mit dem Hallelement 62 zusammenwirkt. Die
Magnete 90, 92 wirken mit dem Hallelement 64 zusammen.
Eine Besonderheit dieses Ausführungsbeispiels
liegt darin, dass die Magnete 86, 88 einerseits
und die Magnete 90, 92 anderseits mit unterschiedlichen
(untereinander aber jeweils gleichnamigen) Polen aufeinander zuweisen. Beispielsweise
liegen sich die Magnete 86, 88 hier mit ihren
Südpolen
gegenüber
und die Magnete 90, 92 mit ihren Nordpolen oder
umgekehrt.
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Das
Ausführungsbeispiel
gemäß 5 besitzt
demgegenüber
nur die beiden Magnete 86, 88. Das Magnetfeld
für das
zweite Hallelement 64 wird von diesen beiden Magneten ausgehend über das Trägerelement 76 erzeugt.
Diese Ausführung
ist besonders leichtbauend.
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In
allen gezeigten Ausführungsbeispielen sind
jeweils die Magnetanordnungen beweglich, während die Hallelemente feststehend
sind. In einer Abwandlung hiervon ist es grundsätzlich auch möglich, dass
die Magnetanordnungen feststehend ausgebildet sind, während die
Hallelemente den Auslenkungen des Taststiftes folgen.