DE10132489A1

DE10132489A1 - Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung

Info

Publication number: DE10132489A1
Application number: DE2001132489
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl; Hubertus Heigl
Original assignee: Heigl Cornelia
Current assignee: HEIGL, HUBERTUS, 80995 MUENCHEN, DE
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2001-07-05
Publication date: 2003-04-17
Anticipated expiration: 2021-07-06
Also published as: DE10132489B4

Abstract

Eine Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs (40) an einer Prüfeinrichtung, ist mit einer Halterung (30) für einen Testkopf (40) und mit einer Säule (10) versehen. An der Säule (10) sind mit dem Testkopf (40) verbundene Positionierungsmittel (20) in vertikaler Richtung verstellbar angeordnet. Eine solche Handhabungsvorrichtung zeichnet sich bei einfacher und kompakter Bauweise durch eine exakt wiederholbare und leichtgängige Bewegung des Testkopfs (40) aus. DOLLAR A Grund hierfür ist, daß die Positionierungsmittel (20) wenigstens ein Paar voneinander beabstandeter Gelenkarme (21a, 22a, 22b) aufweisen, die jeweils an ihrem einen Ende an der Halterung (30) und an ihrem anderen Ende an einem in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten angelenkt sind. Die Gelenkarme (21a, 22a, 22b) sind um eine vertikale Achse schwenkbar angeordnet. Die Schlitten (23a, 23b) sind unabhängig voneinander bewegbar.

Description

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung, mit einer Halterung für einen Testkopf und mit einer Säule, an der mit der Halterung verbundene Positionierungsmittel in vertikaler Richtung verstellbar angeordnet sind.

Eine derartige Handhabungsvorrichtung oder auch Manipulator dient dazu, einen Testkopf bezüglich einer Prüfeinrichtung exakt zu positionieren. Bei der Prüfeinrichtung, üblicherweise auch als Device Handler bezeichnet, handelt es sich beispielsweise um eine Einrichtung, mittels der elektronische Bauelemente, etwa integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer, bereitgestellt werden, so daß der Testkopf die Funktionsfähigkeit der Bauelemente ermitteln kann. Um ein unverfälschtes Meßergebnis zu erhalten, ist es erforderlich, den relativ schweren Testkopf möglichst nahe an die Prüfeinrichtung heranzufahren, um ein genaues Andocken zu gewährleisten. Dabei ist eine präzise und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung in allen Raumrichtungen erstrebenswert. Darüber hinaus ist eine kompakte Bauweise der Handhabungsvorrichtung geboten, da Prüfeinrichtungen für ICs oder Wafer im allgemeinen in Rein- oder Reinsträumen eingesetzt werden, für die ein geringer Raumbedarf wünschenswert ist.

Eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art ist in der DE 40 07 011 A1 beschrieben. Die bekannte Handhabungsvorrichtung weist eine vertikale Führungssäule auf, an der eine Verstelleinrichtung höhenverschiebbar angeordnet ist. Die Verstelleinrichtung weist einen in horizontaler Ebene schwenkbaren Ausleger auf, an dem ein Paar Doppelgelenkarme angeordnet ist. Die Doppelgelenkarme sind an ihrem dem Ausleger abgewandten Ende mit einer Halterung verbunden, die der Befestigung eines Testkopfs dient.

Eine gattungsgemäße Handhabungsvorrichtung offenbart ferner die DE 35 24 348 A1. Bei dieser Handhabungsvorrichtung ist ein Paar Doppelgelenkarme an einem Ende mit einer Halterung für einen Testkopf und am anderen Ende mit einer höhenverstellbaren Gewindespindel verbunden. Die Doppelgelenkarme können durch Klemmschrauben in ihrer jeweiligen Stellung arretiert werden.

Aufgrund der Ausbildung als Doppelgelenkarm ermöglichen die bekannten Handhabungsvorrichtungen zwar sowohl ein Verschieben als auch ein Verschwenken des Testkopfs in horizontaler Ebene. Nachteilig dabei ist aber, daß die Bewegung der Doppelgelenkarme nicht mit der erforderlichen Genauigkeit wiederholbar ist, wenn eine Translationsbewegung mit einer Rotationsbewegung überlagert wird. Daran ändern auch nichts, daß die aus der DE 40 07 011 A1 bekannte Handhabungsvorrichtung einen Ausleger aufweist, der eine Rotationsbewegung in horizontaler Ebene gestattet. Denn durch die Rotationsbewegung allein ist es beispielsweise nicht möglich, den Testkopf in seitlicher Richtung zu verlagern.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, daß sich bei einfacher und kompakter Bauweise eine exakt wiederholbare und zudem leichtgängige Bewegung des Testkopfs in horizontaler Ebene erzielen läßt.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist in Übereinstimmung mit Anspruch 1 bei einer Handhabungsvorrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Positionierungsmittel wenigstens ein Paar voneinander beabstandeter Gelenkarme aufweisen, die jeweils an ihrem einen Ende an der Halterung und an ihrem anderen Ende an einem in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten angelenkt sind, wobei die Gelenkarme um eine vertikale Achse schwenkbar und die Schlitten unabhängig voneinander bewegbar an der Säule angeordnet sind.

Eine solchermaßen ausgebildete Handhabungsvorrichtung macht sich die Erkenntnis zu eigen, daß eine exakt wiederholbare Bewegung des Testkopfs dann erreicht wird, wenn ein Paar in horizontaler Ebene schwenkbarer Gelenkarme mit in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten gekoppelt ist. Auf diese Weise wird eine beliebige Bewegung des Testkopfs in eine Translationsbewegung der Schlitten und eine Rotationsbewegung der Gelenkarme aufgeteilt. Indem die einzelnen Bewegungsarten unterschiedlichen Verstellgliedern, nämlich den Gelenkarmen einerseits und den Schlitten andererseits, zugeordnet sind, ist eine reproduzierbare Bewegung des Testkopfs sichergestellt. Im Unterschied zum Stand der Technik ist es somit möglich, eine das Andocken des Testkopfs an einer Prüfeinrichtung bewirkende Verriegelungsvorrichtung an der Halterung für den Testkopf anzuordnen. Denn eine Justierung des Testkopfs in Bezug auf die Halterung, wie bei den bekannten Handhabungsvorrichtungen erforderlich, ist aufgrund der exakt reproduzierbaren Verstellbewegung des Testkopfs hinfällig.

Die in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten ermöglichen darüber hinaus ein leichtgängiges Verstellen des Testkopfs. Indem die Schlitten unabhängig voneinander bewegbar ausgestaltet sind, lassen sich die Translationsbewegung der Schlitten und die Schwenkbewegung der Gelenkarme zu einer Rotationsbewegung der Halterung und damit des Testkopfs in horizontaler Ebene überlagern. Eine raumsparende Drehung des Testkopfs ist damit sichergestellt.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Unteransprüche dar.

So ist es etwa in konstruktiver Hinsicht günstig, wenn die Säule sich in vertikaler Richtung erstreckende Geradführungen aufweist, durch die ein Mitnehmer linear verschiebbar ist, wobei der Mitnehmer mit Führungen für die Schlitten versehen ist. Die etwa in an sich bekannter Weise als Flach- oder Schwalbenschwanzführung ausgebildeten Geradführungen gestatten eine präzise Verstellung des Mitnehmers und damit der Halterung für den Testkopf in vertikaler Richtung. Indem der Mitnehmer die beispielsweise gleichfalls als Flach- oder Schwalbenschwanzführung ausgebildeten Führungen für die Schlitten trägt, ist eine synchrone Verstellung der Schlitten in vertikaler Richtung sichergestellt.

Von Vorteil ist es, wenn der Mitnehmer und/oder die Schlitten und/oder die Gelenkarme in ihren jeweiligen Stellungen arretierbar sind, um etwa die Halterung und damit den Testkopf nacheinander in unterschiedlichen Raumrichtungen positionieren zu können. Die Arretierung hängt von der Art der Betätigung der einzelnen Stellglieder, beispielsweise elektrisch oder manuell, ab. So ist es insbesondere für eine manuelle Betätigung zweckmäßig, Feststellhebel vorzusehen, durch welche der Mitnehmer, die Schlitten und/oder die Gelenkarme in ihren jeweiligen Positionen kraftschlüssig fixiert werden können.

Von Vorteil ist ferner, wenn die Halterung ein Tragteil aufweist, an dem die Gelenkarme angelenkt sind. Eine solche Ausgestaltung ist mit dem Vorteil verbunden, daß sich die Halterung bequem austauschen läßt. Damit können unterschiedlich ausgebildete Testköpfe ohne größere Umrüstarbeiten an der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung befestigt werden.

Bevorzugt ist die Halterung um eine horizontale Querachse schwenkbar an dem Tragteil angeordnet, so daß sich ein zusätzlicher Freiheitsgrad für die Bewegung des Testkopfs ergibt. Dies kommt besonders bei einem Testkopf zum Tragen, der über ein vergleichsweise großes Gewicht verfügt. In diesem Fall läßt sich eine durch die hohe Gewichtsbelastung hervorgerufene Biegung der Gelenkarme durch eine entsprechende Neigung der Halterung in Bezug auf das Tragteil kompensieren. Eine präzise Einstellung der Neigung zwischen Halterung und Tragteil ist dann gewährleistet, wenn in Weiterbildung der vorliegenden Erfindung die Halterung durch einen verstellbaren Abstandshalter an dem Tragteil abgestützt ist.

Die Anzahl der Möglichkeiten, den Testkopf frei im Raum zu bewegen, wird erhöht, wenn in vorteilhafter Weise die Halterung um ihre Längsachse drehbar an dem Tragteil angeordnet ist. Dies läßt sich in konstruktiver Hinsicht besonders einfach durch ein Drehlager realisieren, das zwischen Halterung und Tragteil angeordnet ist. Um den bei einem Testkopf üblicherweise vorhandenen Kabelstrang ohne schädliche Knickungen von dem Testkopf wegzuführen, hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, die Halterung und das Tragteil mit einer Durchgangsöffnung zu versehen. Die den Kabelstrang beispielsweise mittig der Halterung aufnehmende Durchgangsöffnung trägt darüber hinaus zu einer kompakten Ausgestaltung bei.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung weist die Säule zwei voneinander beabstandete Vertikalträger auf, an denen jeweils wenigstens eine Geradführung angeordnet ist, wobei der Mitnehmer zwei einander gegenüberliegende Außenflächen der Vertikalträger umgreift. Diese zweiteilige Ausgestaltung der Säule ermöglicht, den Kabelstrang des Testkopfs zwischen den beiden Vertikalträgern hindurch knicksicher zu führen. Darüber hinaus läßt sich auf diese Weise ein vergleichsweise geringer Abstand zwischen Halterung und Säule realisieren, der sowohl zu einer kompakten als auch zu einer in Hinsicht auf das in der Regel verhältnismäßig große Gewicht eines Testkopfs beanspruchungsgerechten Ausgestaltung führt. Indem jeder der beiden Vertikalträger mit Geradführungen für den Mitnehmer versehen ist, ergibt sich ein auf beide Vertikalträger gleichmäßig aufgeteilter Kraftfluß in der Säule. Durch das Umgreifen zweier einander gegenüberliegender Außenflächen der Vertikalträger durch den Mitnehmer ist zudem ein synchrones Auf- und Abwärtsfahren des Mitnehmers entlang der beiden Vertikalträger sichergestellt.

Bevorzugt ist die Säule auf einem Drehteller befestigt, um eine zusätzliche vertikale Drehbewegung zu erreichen. Eine solche Drehbewegung findet vor allem dann Anwendung, wenn der Testkopf zwischen mehreren Prüfeinrichtungen oder zu einer Servicestellung verfahren werden soll. Alternativ oder zusätzlich kann in vorteilhafter Weise die Säule auch auf Schienen geführt sein, um die Handhabungsvorrichtung möglichst rasch zwischen zwei Stellungen zu verfahren.

Schließlich wird in vorteilhafter Weiterbildung der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung vorgeschlagen, eine Gewichtsausgleichsanordnung vorzusehen, die ein Gegengewicht aufweist, das durch ein über eine Umlenkrolle geführtes Zugmittel, vorzugsweise ein Drahtseil, ein Riemen oder eine Kette, mit dem Mitnehmer verbunden ist. Eine solche Gewichtsausgleichsanordnung entlastet die mit dem Gewicht des Testkopfs beaufschlagten Gelenkarme und Schlitten und trägt somit zu einer leichtgängigen und präzisen Verstellbarkeit des Testkopfs in allen Raumrichtungen bei.

Einzelheiten und weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispieles. In den das Ausführungsbeispiel vornehmlich schematisch darstellenden Zeichnungen zeigen im einzelnen:
Fig. 1 eine Seitenansicht einer Handhabungsvorrichtung mit einem Testkopf;
Fig. 2a eine Vorderansicht der Handhabungsvorrichtung gemäß Fig. 1;
Fig. 2b eine Vorderansicht gemäß Fig. 2a bei entferntem Testkopf;
Fig. 3 eine gesplittete Hinteransicht der Handhabungsvorrichtung gemäß Fig. 1;
Fig. 4a eine Draufsicht auf die Handhabungsvorrichtung gemäß Fig. 1, die Positionierungsmittel in einer ersten Stellung zeigt;
Fig. 4b eine Draufsicht gemäß Fig. 4a, welche die Positionierungsmittel in einer zweiten Stellung zeigt;
Fig. 4c eine Draufsicht gemäß Fig. 4a, welche die Positionierungsmittel in einer dritten Stellung zeigt; und
Fig. 4d eine Draufsicht gemäß Fig. 4a, welche die Positionierungsmittel in einer vierten Stellung zeigt.
Die in den Fig. 1 bis 3 dargestellte Handhabungsvorrichtung dient zum Positionieren eines Testkopfs 40 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtung für beispielsweise ICs oder Wafer. Zu diesem Zweck weist die Handhabungsvorrichtung eine Säule 10 auf, die sich aus zwei voneinander beabstandeten Vertikalträgern 11a und 11b zusammensetzt. Die Säule 10 ist auf einem Drehteller 50 angeordnet, der auf einem Fundament 60 befestigt ist. Mittels des Drehtellers 50 ist die Säule 10 um ihre vertikale Mittelachse drehbar. Je nach Anwendungsfall kann der Drehteller 50 zusätzlich auf Schienen geführt sein, die auf dem Fundament 60 befestigt sind und eine größtmögliche Verstellbarkeit der gesamten Säule 10 gewährleisten.
An den beiden Vertikalträgern 11a, 11b der Säule 10 sind jeweils zwei Geradführungen 12a, 12b angeordnet, durch die ein zwei einander gegenüberliegende Außenflächen 15a, 15b der Vertikalträger 11a, 11b umgreifender Mitnehmer 13 entlang der Säule 10 in vertikaler Richtung verfahrbar ist. Der Mitnehmer 13 kann dabei manuell, hydraulisch und/oder pneumatisch oder elektrisch angetrieben werden. In letzterem Fall sind die Geradführungen 12a, 12b zweckmäßigerweise Bestandteile eines Linearmotors. Mittels eines Feststellhebels 16a ist der Mitnehmer 13 in seinen jeweiligen Stellungen arretierbar.
Wie insbesondere in Fig. 1 zu erkennen, sind an dem Mitnehmer 13 in horizontaler Ebene verfahrbare Positionierungsmittel 20 angeordnet. Die Positionierungsmittel 20 weisen paarweise übereinander angeordnete Gelenkarme 21a, 22a, 22b auf. Die Gelenkarme 21a, 22a, 22b sind jeweils an ihrem einen Ende an einem Tragteil 31 angelenkt und an ihrem anderen Ende mit Schlitten 23a, 23b verbunden. Den Schlitten 23a, 23b sind Führungen 14a, 14b zugeordnet, durch welche die Schlitten 23a, 23b in horizontaler Richtung verfahrbar sind. Die als Geradführungen ausgebildeten Führungen 14a, 14b sind an dem Mitnehmer 13 angeordnet und lassen sich unabhängig voneinander verfahren. Der Antrieb der Schlitten 23a, 23b kann in an sich bekannter Weise manuell, pneumatisch und/oder hydraulisch oder elektrisch erfolgen. Bei einem elektrischen Antrieb ist es zweckmäßig, wenn die Führungen 14a, 14b und die Schlitten 23a, 23b Bestandteile eines Linearmotors darstellen. In diesem Fall ist es praxisgerecht, in kinematischer Umkehrung die Schlitten 23a, 23b an dem Mitnehmer 13 anzuordnen und die Gelenkarme 21a, 22a, 22b mit den Enden der Führungen 14a, 14b zu verbinden. Durch jeweils einen Feststellhebel 26a sind die Schlitten 23a, 23b in ihren jeweiligen Stellungen arretierbar.
Die um eine vertikale Achse schwenkbar an den Schlitten 23a, 23b und dem Tragteil 31 angeordneten Gelenkarme 21a, 22a, 22b sind gleichfalls in ihren jeweiligen Stellungen arretierbar. Zu diesem Zweck ist wenigstens eine Klemmplatte 24a vorgesehen, an der ein bevorzugt als Exzentergetriebe ausgebildeter Feststellhebel 25a angeordnet ist, der die Gelenkarme 21a, 22a, 22b kraftschlüssig fixiert.
Das Tragteil 31 weist an seinem oberen Enden eine sich in horizontaler Richtung erstreckende Querachse 32 auf, an der mit den Gelenkarmen 21a, 22a, 22b verbundene Schwenkarme 36a, 36b angelenkt sind. An dem unteren Ende der Schwenkarme 36a, 36b ist jeweils ein verstellbarer Abstandshalter 33a angeordnet, durch den die Neigung der Schwenkarme 36a, 36b in Bezug auf eine an dem Tragteil 31 befestigte Halterung 30 für den Testkopf 40 präzise einstellbar ist.
Die Halterung 30 ist mittels eines Drehlagers 35 an der den Schwenkarmen 36a, 36b gegenüberliegenden Seite des Tragteils 31 angeordnet. Durch das Drehlager 35 ist die im wesentlichen gabelförmige Halterung 30 um ihre sich in y-Richtung erstreckende Längsachse drehbar. Der Testkopf 40 ist zudem um eine sich in x-Richtung erstreckende horizontale Drehachse 41 schwenkbar an der Halterung 30 angeordnet, so daß eine Fläche 42 des Testkopfs 40 jede beliebige Position im Raum einnehmen kann. Die Halterung 30 und das Tragteil 31 sind mit einer Durchgangsöffnung 34 versehen, wie insbesondere Fig. 2b erkennen läßt. Die Durchgangsöffnung 34 dient dazu, einen Kabelstrang des Testkopfs 40 aufzunehmen und zwischen den Vertikalträgern 11a, 11b hindurch wegzuführen.
Der Mitnehmer 13 ist durch einen Riemen 72, der über eine Umlenkrolle 71 am oberen Ende der Säule 10 geführt ist, mit einem Gegengewicht 73 verbunden. Die auf diese Weise gebildete Gewichtsausgleichsanordnung 70 dient dazu, die durch das in der Regel vergleichsweise große Gewicht des Testkopfs 40 hervorgerufene Belastung der Positionierungsmittel 20 in an sich bekannter Weise zu kompensieren. Aus Gründen einer gleichmäßigen Belastung ist das Gegengewicht 73 in zwei Teilstücke aufgeteilt, die sich jeweils innerhalb der Vertikalträger 11a, 11b bewegen, wie insbesondere in Fig. 3 zu erkennen ist.
Die zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung zeichnet sich durch eine exakt wiederholbare und zudem leichtgängige Bewegung des Testkopfs 40 aus. Grund hierfür ist zum einen die vertikale Verstellbarkeit des Mitnehmers 13 in z-Richtung. Darüber hinaus läßt sich der Testkopf 40 in horizontaler Ebene durch die Gelenkarme 21a, 22a, 22b und die Schlitten 23a, 23b reproduzierbar verfahren. Unterschiedliche Stellungen dieser Positionierungsmittel 20 sind in den Fig. 4a bis 4d dargestellt. In Fig. 4a befinden sich die Positionierungsmittel 20 in einer Grundstellung. Die Schlitten 23a, 23b liegen zurückgezogen an dem Mitnehmer 13 an und die Gelenkarme 21a, 22a, 22b befinden sich in einer Position parallel zu den Schlitten 23a, 23b. Die Fig. 4b zeigt die Positionierungsmittel 20 in einer den Testkopf 40 geradlinig verfahrenden Stellung. Die Gelenkarme 21a, 22a, 22b sind unverändert und die Schlitten 23a, 23b sind ein Stück weit in y-Richtung verfahren.
Fig. 4c zeigt eine Stellung der Positionierungsmittel 20, durch die der Testkopf 40 zwar sowohl in x-Richtung als auch in y-Richtung verschwenkt wird, seine Fläche 42 aber stets parallel zu der Säule 10 ausgerichtet bleibt. Um ein Verschieben des Testkopfs 40 ausschließlich in x-Richtung zu gewährleisten, kann der durch das Schwenken der Gelenkarme 21a, 22a, 22b hervorgerufene Versatz in y-Richtung durch ein entsprechendes Verfahren der Schlitten 23a, 23b ausgeglichen werden.
Eine weitere Möglichkeit, den Testkopf 40 durch die Positionierungsmittel 20 zu bewegen, ist in Fig. 4d dargestellt. Die unabhängig voneinander verfahrbaren Schlitten 23a, 23b sind unterschiedlich weit aus ihrer in Fig. 4a gezeigten Grundstellung ausgefahren. Die Gelenkarme 21a, 22a, 22b werden auf diese Weise derart verschwenkt, daß sich der Testkopf 40 in Bezug auf seine in Fig.4a gezeigte Ausgangsstellung dreht. Die Fläche 42 des Testkopfs 40 verläuft demzufolge in der in Fig. 4d gezeigten Stellung schräg zu beispielsweise der dem Testkopf 40 zugewandten Seite des Mitnehmers 13. Die Drehung des Testkopfs 40 allein durch die Positionierungsmittel 20 kann überlagert werden mit der Drehung der Säule 10 durch den Drehteller 50. Auf diese Weise läßt sich der Testkopf 40 schnell und bequem in jede beliebige Position im Raum bewegen.
Die zuvor geschilderte Handhabungsvorrichtung ist überdies durch eine einfache und kompakte Bauweise gekennzeichnet. Grund hierfür ist in erster Linie die Aufteilung der Säule 10 in zwei voneinander beabstandete Vertikalträger 11a, 11b. Denn auf diese Weise ist es möglich, den durch die Durchgangsöffnung 34 hindurchgeführten Kabelstrang des Testkopfs 40 ohne Knickbeanspruchung zwischen den beiden Vertikalträgern 11a, 11b wegzuführen. Der Abstand der Vertikalträger 11a, 11b voneinander wird zweckmäßigerweise in Abhängigkeit von der Dicke des Kabelstrangs gewählt. In Hinsicht auf eine knicksichere Führung des Kabelstrangs ist es zudem von Nutzen, die Vertikalträger 11a, 11b symmetrisch auf dem Drehteller 50 anzuordnen. Weiterhin ermöglichen die Schwenkarme 36 des Tragteils 31 eine präzise Ausrichtung der Halterung 30 in Bezug auf die Positionierungsmittel 20, die aufgrund des im allgemeinen verhältnismäßig großen Gewichts des Testkopfs 40 einer nicht unerheblichen Biegebeanspruchung unterliegen. Nicht zuletzt wird durch das Vorsehen der Gewichtsausgleichsanordnung 70 einer vergleichsweise leichtgängigen Verstellbarkeit der Positionierungsmittel 20 Rechnung getragen. Bezugszeichenliste 10 Säule
11a Vertikalträger
11b Vertikalträger
12a Geradführung
12b Geradführung
13 Mitnehmer
14a Führung
14b Führung
15a Außenfläche
15b Außenfläche
16a Feststellhebel
20 Positionierungsmittel
21a Gelenkarm
22a Gelenkarm
22b Gelenkarm
23a Schlitten
23b Schlitten
24a Klemmplatte
25a Feststellhebel
26a Feststellhebel
30 Halterung
31 Tragteil
32 Querachse
33a Abstandshalter
34 Durchgangsöffnung
35 Drehlager
36a Schwenkarm
36b Schwenkarm
40 Testkopf
41 Drehachse
42 Fläche
50 Drehteller
60 Fundament
70 Gewichtsausgleichsanordnung
71 Umlenkrolle
72 Riemen
73 Gegengewicht
x Koordinate
y Koordinate
z Koordinate

Claims

1. Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs (40) an einer Prüfeinrichtung, mit einer Halterung (30) für einen Testkopf (40) und mit einer Säule (10), an der mit der Halterung (40) verbundene Positionierungsmittel (20) in vertikaler Richtung verstellbar angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionierungsmittel (20) wenigstens ein Paar voneinander beabstandeter Gelenkarme (21a; 22a, 22b) aufweisen, die jeweils an ihrem einen Ende an der Halterung (30) und an ihrem anderen Ende an einem in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten (23a, 23b) angelenkt sind, wobei die Gelenkarme (21a; 22a, 22b) um eine vertikale Achse schwenkbar und die Schlitten (23a, 23b) unabhängig voneinander bewegbar an der Säule (10) angeordnet sind.

2. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Säule (10) sich in vertikaler Richtung erstreckende Geradführungen (12a, 12b) aufweist, durch die ein Mitnehmer (13) linear verschiebbar ist, wobei der Mitnehmer (13) mit Führungen (14a, 14b) für die Schlitten (23a, 23b) versehen ist.

3. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Mitnehmer (13) und/oder die Schlitten (23a, 23b) und/oder die Gelenkarme (21a; 22a, 22b) in ihren jeweiligen Stellungen arretierbar sind.

4. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (30) ein Tragteil (31) aufweist, an dem die Gelenkarme (21a; 22a, 22b) angelenkt sind.

5. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (30) um eine horizontale Querachse (32) schwenkbar an dem Tragteil (31) angeordnet ist.

6. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (30) durch einen verstellbaren Abstandshalter (33) an dem Tragteil (31) abgestützt ist.

7. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (30) um ihre Längsachse drehbar an dem Tragteil (31) angeordnet ist.

8. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (30) und das Tragteil (31) mit einer Durchgangsöffnung (34) versehen sind.

9. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Säule (10) zwei voneinander beabstandete Vertikalträger (11a, 11b) aufweist, an denen jeweils wenigstens eine Geradführung (12a, 12b) angeordnet ist, wobei der Mitnehmer (13) zwei einander gegenüberliegende Außenflächen (15a, 15b) der Vertikalträger (11a, 11b) umgreift.

10. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Säule (10) auf einem Drehteller (50) befestigt ist.

11. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Säule (10) auf Schienen geführt ist.

12. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11, gekennzeichnet durch eine Gewichtsausgleichsanordnung (70), die ein Gegengewicht (73) aufweist, das durch ein über eine Umlenkrolle (71) geführtes Zugmittel, vorzugsweise ein Drahtseil, ein Riemen (72) oder eine Kette, mit dem Mitnehmer (13) verbunden ist.