DE10085498T5 - Chemisch inerte Strömungssteuerung mit kontaminationsfreiem Gehäuse - Google Patents

Chemisch inerte Strömungssteuerung mit kontaminationsfreiem Gehäuse Download PDF

Info

Publication number
DE10085498T5
DE10085498T5 DE10085498T DE10085498T DE10085498T5 DE 10085498 T5 DE10085498 T5 DE 10085498T5 DE 10085498 T DE10085498 T DE 10085498T DE 10085498 T DE10085498 T DE 10085498T DE 10085498 T5 DE10085498 T5 DE 10085498T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
fluid
control module
controller
line
fluid control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE10085498T
Other languages
English (en)
Inventor
Chuck Minneapolis Gould
Jane Minneapolis Lanctot
Jerry Minneapolis Cucci
Tom Chanhassen Peterson
Dan Maple Grove Wink
Bob Victoria Chinnock
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Entegris Inc
Original Assignee
NT International Inc Fridley
NT International Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NT International Inc Fridley, NT International Inc filed Critical NT International Inc Fridley
Publication of DE10085498T5 publication Critical patent/DE10085498T5/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/37Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction the pressure or differential pressure being measured by means of communicating tubes or reservoirs with movable fluid levels, e.g. by U-tubes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/38Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction the pressure or differential pressure being measured by means of a movable element, e.g. diaphragm, piston, Bourdon tube or flexible capsule
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00Control of flow
    • G05D7/06Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/0318Processes
    • Y10T137/0324With control of flow by a condition or characteristic of a fluid
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/7722Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7759Responsive to change in rate of fluid flow
    • Y10T137/776Control by pressures across flow line valve

Abstract

Chemisch inertes Fluidsteuermodul zum Anschluß an einen Fluidströmungskreislauf, wobei das Modul folgendes umfaßt:
eine chemisch inerte Fluidleitung;
ein mit der Leitung gekoppeltes, einstellbares Steuerventil, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Ventils chemisch inert ist;
einen ersten mit der Leitung gekoppelten Drucksensor, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Drucksensors chemisch inert ist;
eine in der Leitung angeordnete Drossel, wobei die Drossel eine verringerte Querschnittsfläche aufweist und dadurch den Fluidstrom innerhalb der Leitung drosselt, und
ein chemisch inertes Gehäuse, welches das Steuerventil und den ersten Drucksensor umgibt.

Description

  • I. Gebiet der Erfindung
  • Diese Erfindung bezieht sich allgemein auf Fluidsteuerungen und insbesondere auf ein chemisch inertes Fluidsteuermodul, das innerhalb eines chemisch korrosiven Fluidströmungskreislaufs, der Fluide in flüssigem oder gasförmigem Zustand transportiert, in Reihe angeschlossen werden kann. Das Fluidsteuermodul nach der vorliegenden Endung kann zum Steuern der Strömung, des Drucks oder des Volumens eines Fluids, das durch den Fluidströmungskreislauf fließt, eingesetzt werden und ist in der Lage, das Modul automatisch einzustellen oder "zu eichen", um Änderungen des Atmosphärendrucks oder eine Drift der Drucksensoren des Fluidsteuermoduls auszugleichen.
  • II. Hintergrund der Erfindung
  • Kaustische Fluide werden häufig während der Hochreinverarbeitung empfindlicher Materialien eingesetzt. Die Kontaminationsanfälligkeit der empfindlichen Materialien im Fertigungsablauf stellt die Hersteller vor ein großes Problem. Es wurden verschiedene Fertigungssysteme entwickelt, um die Kontamination der empfindlichen Materialien mit beim Fertigungsablauf erzeugten Fremdteilchen und Dämpfen zu verringern. Die Verarbeitung empfindlicher Materialien beinhaltet oft einen direkten Kontakt mit kaustischen Fluiden. Daher ist es kritisch, daß die kaustischen Fluide in kontaminationsfreiem Zustand und ohne Fremdteilchen zur Verarbeitungsstelle geliefert werden. Allgemein sind verschiedene Bauelemente der Verarbeitungsanlagen dazu ausgelegt, die Menge an erzeugten Teilchen zu verringern und die Verarbeitungschemikalien gegenüber kontaminierenden Einflüssen zu isolieren.
  • Die Verarbeitungsanlagen umfassen typischerweise Flüssigkeitstransportsysteme, welche die kaustischen Chemikalien von Zuführtanks durch Pump- und Regulierstationen und durch die Verarbeitungsanlagen selbst fördern. Die Flüssigchemikalien-Transportsysteme, die Rohre, Schläuche, Überwachungseinrichtungen, Sensoreinrichtungen, Ventile, Armaturen und ähnliche Einrichtungen umfassen, bestehen häufig aus Kunststoff, der den schädigenden Wirkungen der kaustischen Chemikalien standhält. Metalle, die üblicherweise bei solchen Überwachungseinrichtungen verwendet werden, können der korrosiven Umgebung nicht über längere Zeiträume zuverlässig standhalten. Daher müssen Überwachungs und Sensoreinrichtungen austauschbare Materialien umfassen oder von den kaustischen Fluiden isoliert bleiben.
  • Die üblicherweise bei der Halbleiterfertigung verwendete Verarbeitungsanlage weist eine oder mehrere Überwachungs-, Ventil- und Sensoreinrichtungen auf. Diese Vorrichtungen sind typischerweise in einer Regelungsbeziehung miteinander verbunden und werden zur Überwachung und Steuerung der Anlage eingesetzt. Diese Überwachungs- und Sensoreinrichtungen müssen auch dazu ausgelegt sein, jegliche möglicherweise eingeführte Kontamination zu beseitigen.
  • Um den Fluß oder den Druck innerhalb des Flüssigkeitstransportsystems zu steuern, kann die Transportanlage Informationen nutzen, die von jeder der Überwachungs-, Ventil- und Sensoreinrichtungen erhalten wurden. Die Genauigkeit der von jeder der Einrichtungen erhaltenen Informationen kann durch thermische Veränderungen innerhalb des Systems beeinträchtigt werden. Zudem kann die Ungenauigkeit einer Einrichtung die Ungenauigkeit einer der anderen Einrichtungen, die von den Informationen dieser einen Einrichtung abhängt, verstärken. Ferner kann häufig eine unabhängige Eichung erforderlich sein, um die Genauigkeit jeder einzelnen Einrichtung aufrechtzuerhalten, wobei sich eine unabhängige Eichung der Einrichtungen jedoch als schwierig und zeitaufwendig erweisen kann.
  • Daher wird ein kontaminationsfreies Fluidsteuermodul benötigt, das innerhalb eines korrosive Materialien transportierenden Fluidströmungskreislaufs in Reihe angeordnet werden kann, wobei das Modul in der Lage ist, die Strömungsgeschwindigkeit aufgrund einer Druckunterschiedsmessung, die im Fluidströmungskreislauf vorgenommen wurde, zu bestimmen, und wobei die Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit nicht durch thermische Veränderungen innerhalb des Fluidströmungskreislaufs nachteilig beeinflußt wird und die Eichung der Drucksensoren des Fluidsteuermoduls zudem keine vorherige oder unabhängige Eichung des Ventils erfordert. Ebenso wird ein Fluidsteuermodul benötigt, das den Eintrag von Teilchen, unerwünschten Ionen oder Dämpfen in den Strömungskreislauf vermeidet. Diese und andere Anforderungen, die aus dem Studium der Beschreibung der vorliegenden Erfindung noch ersichtlich werden, erfüllt die vorliegende Erfindung.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung stellt ein Fluidsteuermodul bereit, das in Reihe mit einem Fluidströmungskreislauf, der korrosive Fluide transportiert, gekoppelt werden kann, wobei das Fluidsteuermodul Druck und Strömungsgeschwindigkeiten bestimmen und den Druck, den Fluß oder das Volumen in dem Fluidströmungskreislauf steuern kann. Die Strömungsgeschwindigkeit kann anhand einer im Strömungskreislauf vorgenommenen Druckunterschiedsmessung bestimmt werden. Das Fluidsteuermodul gleicht Temperaturveränderungen in dem Fluidströmungskreislauf aus und bietet ein Nulleinstellungsmerkmal, das Druckunterschiede ausgleicht, wenn das Fluid ruht, und die Einflüsse des Ventils auf das System beseitigt. Bei der bevorzugten Ausführungsform umfassen die Bauteile des Fluidsteuermoduls ein Gehäuse, das eine chemisch inerte Fluidleitung aufweist, ein einstellbares Steuerventil, das mit der Leitung gekoppelt ist, an die Leitung angeschlossene Drucksensoren und eine innerhalb der Leitung angeordnete Drosseleinrichtung mit verringertem Querschnitt, um dadurch den Fluidstrom innerhalb der Leitung zu drosseln und eine zuverlässige Strömungsmessung zuzulassen. Das chemisch inerte Gehäuse umgibt das Steuerventil und die Drucksensoren.
  • Wenn zwei Drucksensoren vorgesehen sind, ist die Drosseleinrichtung zwischen den beiden Drucksensoren in der Fluidströmungsleitung gelagert. Wie nachfolgend noch näher beschrieben, sieht das Fluidsteuermodul mit zwei Drucksensoren einen bidirektionalen Fluidstrom vor und kann mit einer benachbarten, bereits vorhandenen Anlage in Reihe gekoppelt werden. Bei einer alternativen bevorzugten Ausführungsform weist das Fluidsteuermodul nur einen Drucksensor auf, wobei die Drosseleinrichtung innerhalb der Fluidleitung stromabwärts von Drucksensor und Ventil angeordnet sein muß. Zudem muß das nur einen einzigen Drucksensor aufweisende Fluidsteuermodul in einem vorbestimmten Abstand von der bereits vorhandenen, in Reihe mit dem Fluidströmungskreislauf gekoppelten Anlage angeordnet sein.
  • Die Steuerung oder Betätigung des Steuerventils kann entweder mechanisch, elektrisch oder pneumatisch durch eine Betätigungseinrichtung mit einer geeigneten, bekannten Bauweise erfolgen, und die Ventilteile in dem Steuerventil können jede von mehreren geeigneten, bekannten Bauweisen haben, einschließlich – ohne darauf beschränkt zu sein – als Tellerventil, Membran, redundante Membran, Überlaufventil und/oder Quetschventil, wobei die in direktem Kontakt mit dem Fluid stehenden Bauteile des Fluidströmungskreislaufs aus chemisch inerten Materialien gebaut sind.
  • Mit dem Steuerventil und dem (den) Drucksensoren) kann ein Controller oder eine integrierte Schaltung elektrisch gekoppelt sein. Der Controller kann ein Signal, das proportional zu einer Fluidströmungsgeschwindigkeit innerhalb der Fluidleitung ist, und/oder ein Signal erzeugen, das proportional zu einem Druck innerhalb der Fluidleitung ist. Der Controller kann den Druck, die Strömungsgeschwindigkeit oder das Volumen so steuern, daß ein gewünschter Einstellpunkt beibehalten wird. Der Einstellpunkt kann vom Benutzer festgelegt oder durch den Controller (z. B. während einer Makroeinstellung des Steuerventils) automatisch bestimmt werden. Zudem kann der Controller das Fluidströmungsgeschwindigkeitssignal oder das Drucksignal in Abhängigkeit von Veränderungen des Atmosphären- oder des Fluiddrucks einstellen. Ebenso kann der Controller eine Einrichtung zur Makro- und Mikroeinstellung des Steuerventils als Reaktion auf Veränderungen des Innenfluid- oder des Atmosphärendrucks aufweisen und die Drucksensoren auf Null zurückstellen, wenn die Strömung im Fluidströmungskreislauf zum Stillstand kommt.
  • Das Gehäuse, das das Steuerventil und die Drucksensoren umgibt, weist eine sich durch dieses erstreckende Durchgangsbohrung auf, die einen Durchlaß oder eine Leitung bildet, durch die Fluide strömen, wenn das Gehäuse in einem Fluidströmungskreislauf in Reihe geschaltet ist. Druckarmaturen sind fluchtend und dichtend an die einander gegenüberliegenden offenen Enden der Bohrung angeschlossen. Die Druckarmaturen sind aus einem chemisch inerten Material gefertigt und dem Fachmann ohne weiteres verfügbar und bekannt.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung umfaßt das Gehäuse zwei sich von einer Außenfläche desselben aus erstreckende Hohlräume zur Aufnahme von Druckwandlern, wobei jeder dieser Hohlräume unabhängig mit der Bohrung in Verbindung steht. Ein Isolationsteil kann verhindern, daß der Fluidstrom mit den Hohlräumen zur Aufnahme von Druckwandlern in Kontakt kommt. Die Isolationsteile können einstückig mit dem Gehäuse geformt oder abnehmbar ausgebildet sein. Die Bohrung verjüngt sich zu einem Drosselbereich hin, der zwischen den beiden Hohlräumen liegt. Der eingeschnürte Bereich bewirkt einen Druckabfall innerhalb der Bohrung an den beiden Hohlräumen benachbarten Stellen. Diese Druckveränderung kann durch Drucksensorwandler erfaßt werden, die in jedem der beiden Hohlräume angeordnet sind. Die Strömungsgeschwindigkeit kann anhand des Druckabfalls bestimmt werden. Die Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit mit den beiden Drucksensoren wird nachfolgend noch näher beschrieben.
  • Eine Hybridschaltung oder eine vollintegrierte elektronische Schaltung, die in dem Gehäuse angeordnet ist, steht mit beiden Drucksensorwandlern und dem Steuerventil in Wirkverbindung. Die elektronische Schaltung entwickelt anhand von durch die Drucksensoren erfaßten Informationen ein Signal, das ein Maß für die Strömungsgeschwindigkeit in dem Strömungskreislauf ist. Zudem kann die elektronische Schaltung ein Signal entwickeln, das dem stromabwärtigen und/oder dem stromaufwärtigen statischen Druck in dem Fluidströmungskreislauf entspricht, so daß die Ausrichtung des Flußmessers innerhalb des Strömungskreislaufs austauschbar ist und die Flußrichtung durch Vergleichen des von jedem Drucksensor erfaßten Drucks angezeigt werden kann. Wenn der statische Druck von durch den Strömungskreislauf fließenden Gasen erfaßt wird, können die erfaßten Druckwerte bezüglich Nicht-Linearität und Strömungsgeschwindigkeiten aufgrund von Gasdichte- und Verdichtbarkeitsunterschieden und -auswirkungen korrigiert werden.
  • Diese elektronische Schaltung kann auch zusammen mit temperaturempfindlichen Bauteilen eingesetzt werden, um die mit jedem Hohlraum verbundene Druckmessung aufgrund von Temperaturänderungen innerhalb des Strömungskreislaufs einzustellen. Zudem kann die elektronische Schaltung oder der Controller eine Nullstellung der Drucksensoren und der Ventilsteuerung zulassen. Die elektronische Schaltung ist über Stromkabel mit einem Stromanschluß verbunden, und durch die an eine externe Energieversorgung angeschlossenen Stromkabel kann der elektronischen Schaltung Strom zugeführt werden. Ferner kann ein analoges Ausgangssignal, wie z. B. ein übliches 4–20 Milliamperes-Signal, eine Ausgangsspannung oder ein digitales Protokoll, das proportional zur berechneten Strömungsgeschwindigkeit ist, über zusätzliche Stromkabel an eine Anzeige oder einen externen Controller übertragen werden.
  • Die Isoliermembran, der Drucksensor, die Dichtelemente, der Abstandsring und der Niederhaltering können in jedem Hohlraum des Gehäuses enthalten sein. Diese Bauteile und Variationen derselben sind in den US-Patentschriften Nr. 5,869,766 und 5,852,244 desselben Anmelders wie bei der vorliegenden Anmeldung näher beschrieben, wobei deren gesamte Offenbarung hier durch Bezugnahme aufgenommen sei. Bei einer weiteren alternativen Ausführungsform sind inerte Saphir-Druckwandler in zugeordneten Hohlräumen und in direktem Kontakt mit dem Fluidstrom angeordnet, wodurch die Isolationsmembran wegfällt.
  • Bei Gebrauch ist das Fluidsteuermodul in Reihe an einen Fluidströmungskreislauf angeschlossen. Die Drucksensoren können vorgeeicht sein, oder die Sensoren können zum Zeitpunkt des Anschlusses an den Fluidströmungskreislauf geeicht werden. Bei der Eichung der Drucksensoren kann das Ventil zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung betätigt werden. Wenn die Drucksensoren anzeigen, daß die Strömung zum Stillstand gekommen ist, kann das zum Betätigen des Ventils benötigte Ausgangssignal aufgezeichnet und dadurch ein Näherungswert für die geschlossene Stellung des Ventils festgelegt werden. Es können verschiedene Einstellpunkte identifiziert werden, um die Ventilstellung bei verschiedenen Drücken, Temperaturen und Strömungsgeschwindigkeiten zu identifizieren. Die Eichung eines einzelnen Drucksensors wird nachfolgend noch näher beschrieben.
  • Sobald der Flußmesser geeicht ist, kann der Benutzer dann wählen, ob der Druck, der Fluß oder das Volumen in dem Fluidströmungskreislauf gesteuert werden soll. Zur Steuerung des Druckes werden der Druck und/oder die Strömungsgeschwindigkeit überwacht und das Ventil entsprechend eingestellt, bis ein gewünschter Einstellpunkt erreicht ist. Zur Steuerung des Flusses werden der Druck und/oder der Fluß überwacht und das Ventil betätigt, bis der gewünschte Einstellpunkt erreicht ist. Das Fluidvolumen, das durch die Fluidleitung fließt, kann durch Überwachung sowohl des Druckes als auch der Strömungsgeschwindigkeit und durch entsprechende Einstellung des Steuerventils gesteuert werden, um das gewünschte Volumen des Fluidstroms zu erzeugen. Beispielsweise kann der Benutzer festlegen, daß 2 ml Fluid erwünscht sind. Das Ventil wird geöffnet, und die Strömungsgeschwindigkeiten werden überwacht, so daß festgestellt werden kann, wann 2 ml Fluid durch das Modul geströmt sind, wobei das Steuerventil dann schließt und den Fluidstrom unterbricht.
  • Wenn die Strömung gesteuert wird, kann der Controller das Ausgangssignal der Steuerventil-Betätigungseinrichtung speichern, das zum Erhalten einer gewissen Strömung erforderlich ist. Auf diese Weise stellt der Controller, wenn der Benutzer einen gewünschten Fluß wählt, den Ausgangswert der Betätigungseinrichtung ungefähr einem Ausgangswert gleich, der zuvor die gewünschte Strömungsgeschwindigkeit ergab (Makroeinstellung). Der Controller kann dann das Steuerventil manipulieren oder "feinjustieren", um genau die gewünschte Strömungsgeschwindigkeit zu erhalten (Mikroeinstellung). Wenn die Strömung durch das Modul durch Schließen des Steuerventils unterbrochen ist, kann der Controller dann die Drucksensoren automatisch so einstellen oder auf Null zurückstellen, daß der Unterschied zwischen den gemessenen Druckwerten der beiden Drucksensoren gleich Null ist. Auf diese Weise wird eine Ungenauigkeit aufgrund thermischer Veränderungen und von Sensor-Drift vermieden. Bei einer alternativen bevorzugten Ausführungsform ist ein zweites Ventil vorgesehen, wobei das zweite Ventil ein fest eingestelltes offenes/geschlossenes Ventil ist. Das Ausgangssignal des Controllers oder der elektronischen Schaltung kann einem externen Controller oder einer Anzeige zugeführt werden.
  • Die Vorteile der vorliegenden Erfindung sind für den Fachmann ohne weiteres durch Studium der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform ersichtlich, insbesondere wenn sie zusammen mit den Ansprüchen und den beigefügten Zeichnungen betrachtet wird, in denen gleiche Bezugszeichen in den verschiedenen Ansichten sich auf einander entsprechende Teile beziehen.
  • BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt eine teilweise geschnittene Seitenansicht des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung;
  • 2 stellt eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung dar;
  • 3 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung mit einem pneumatisch betätigten Ventil;
  • 4 zeigt eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung;
  • 5 illustriert eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung;
  • 6 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung;
  • 7 stellt eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung mit einem einzigen Drucksensor dar;
  • 8 zeigt eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer alternativen Ausführungsform des Fluidsteuermoduls nach der vorliegenden Erfindung mit einem einzigen Drucksensor, und
  • 9 ist ein Ablaufschema einer Sequenz, die der Controller einsetzen kann, um das Fluidsteuermodul gemäß der vorliegenden Erfindung zu steuern.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
  • Die vorliegende Erfindung stellt breit anwendbare Verbesserungen bei chemisch inerten Fluidsteuerungen dar. Die hier angegebenen Ausführungsformen sind als repräsentativ oder beispielhaft für diejenigen zu verstehen, in welche die erfindungsgemäßen Verbesserungen aufgenommen werden können, und sollen nicht einschränkend aufgefaßt werden. Es sei zuerst auf 1 Bezug genommen, in der das Fluidsteuermodul allgemein mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist. Das Fluidsteuermodul 10 weist allgemein ein rechteckiges Gehäuse, das aus einem Gehäusekörper 12 und einer Gehäuseabdeckung 14 besteht, eine Montageplatte 16, Druckeinlaß-/-auslaßarmaturen 18, Druckwandler 20 und ein Steuerventil 22 auf. Der Gehäusekörper 12 und die Gehäuseabdeckung 14 sind vorzugsweise aus einem chemisch inerten, kontaminationsfreien Polymer, wie Polytetrafluorethylen (PTFE), gefertigt. Die Abdeckung 14 weist Bohrungen 24 auf, die sich durch sie erstrecken, um die Abdeckung 14 mit geeigneten Schrauben am Gehäuse 12 zu montieren. Zwischen der Abdeckung und dem Gehäuse ist vorzugsweise eine Dichtung bekannter, geeigneter Bauweise angeordnet, um zu ermöglichen, daß die Abdeckung 14 das Gehäuse 12 dicht verschließt. Als nicht einschränkendes Beispiel gestattet eine Dichtung, die aus einem Mehrschichtgewebe hergestellt ist und unter der Marke GOR-TEX von der Firma W.L. Gore & Assoc., Inc., vertrieben wird, das Belüften eines Innenbereiches des Gehäuses 12 für einen wahren Atmosphärendruck-Bezug, während sie den Strom von Flüssigkeiten in den Innenbereich des Gehäuses 12 drosselt.
  • Durch das Gehäuse 12 erstreckt sich eine Längsbohrung 28, die eine Leitung bildet. Wenn also das Fluidsteuermodul 10 über Druckarmaturen 18 in Reihe an einen Fluidströmungskreislauf angeschlossen ist, dient die Bohrung 28 daher als Fluidströmungsdurchlaß innerhalb des Fluidströmungskreislaufes. Die Ausrichtung des Fluidsteuermoduls 10 in dem Fluidströmungskreislauf kann umgekehrt werden, ohne seine Wirksamkeit zu beeinträchtigen. In der Bohrung 28 ist ein Drosselbereich 30 zwischen den beiden Drucksensoren 20 gebildet, um einen Druckabfall zu erzeugen, wenn der Fluidstrom den Drosselbereich oder die Öffnung 30 durchströmt.
  • Bei der bevorzugten Ausführungsform erstrecken sich zylindrische Hohlräume 32 von einer Außenfläche des Gehäuses 12 zur Bohrung 28 hin. Für den Fachmann ist ersichtlich, daß sich die Hohlräume 12 jeweils von unterschiedlichen Seitenwänden des Gehäuses aus in das Gehäuse erstrecken können. Die beiden Hohlräume 32 sind durch eine Trennwand 34 um einen vorbestimmten Abstand voneinander getrennt. Nahe dem Bereich innerhalb des Gehäuses, in dem sich die Hohlräume 32 und die Bohrung 28 schneiden, wird eine ringförmige Lippe 36 gebildet. Jede Lippe 36 umgibt und definiert die Öffnung von der Bohrung 28 zu jedem Hohlraum 32. Auf der Lippe 36 jedes Hohlraumes 32 ist eine dünne, flexible Polymerscheibe oder Isoliermembran 38 angeordnet. Ohne eine Einschränkung darzustellen, ist die Membran vorzugsweise so aufgebaut, daß sie eine Dicke im Bereich von 0,001 und 0,040 Inch aufweist. Die biegsame Membran 38 ist vorzugsweise aus Fluorkohlenstoff-Polymeren gefertigt. Ein solches Tetrafluorethylenfluorkohlenstoff-Polymer wird unter der Marke TEFLON von E.I. duPont Nemours verkauft. Alternativ dazu kann das Isolationsteil 38 aber auch einstückig mit dem Gehäuse 12 geformt sein, um eine dünne Wand zu bilden, die den Hohlraum 32 und die Bohrung 28 voneinander trennt.
  • Jeder Druckwandler 20 wird durch einen Abstandsring 48 und einen Niederhaltering 50 mit einem Außengewinde in seinem jeweiligen Hohlraum 32 festgehalten. Die Isoliermembranen 38 und die Wandler 20 sind innerhalb des Gehäuses 12 durch chemisch inerte O-Ringdichtungen 52 abgedichtet. Durch die Ausrichtung eines O-Rings 54 wird eine redundante Dichtung gebildet. Die Dichtungen 52 und 54 sind ohne weiteres erhältlich und von einem Fachmann bekannter Bauweise.
  • Es kann ein Abfluß oder eine Leitung 40 gebildet werden, der/die sich durch das Gehäuse 12 in jeden Hohlraum 32 zwischen den redundanten Dichtungen 52 und 54 erstreckt und dadurch den Bereich zwischen den redundanten Dichtungen entleert. Auf diese Weise wirkt der Abfluß als Drainage, Durchlaß oder Auslaß für den Fall, daß Fluide aus dem Fluidströmungskreislauf durch die Dichtung 52 hindurchtreten. Im Abfluß 40 kann ein Sensor 42 angeordnet und (mit nicht gezeigten Kabeln) elektrisch an eine integrierte Schaltung oder einen Controller 46 angeschlossen sein. Für den Fachmann versteht sich, daß auch ein leitfähiger Sensor, ein kapazitiver Sensor oder ein nicht-elektrischer Faseroptiksensor eingesetzt werden kann, um das Vorliegen von Fluiden im Abfluß 40 festzustellen. Wenn Fluid durch die erste Dichtung hindurchtritt, aktiviert das Fluid den Sensor 42, wodurch ein Signal an die elektrische Schaltung 46 übertragen wird, die anschließend eine Leckage-Anzeige auslöst. Die redundante Dichtungsanordnung trägt dazu bei, zu verhindern, daß der Druckwandler 20 und der Controller 46 den potenziell schädigenden Einwirkungen der kaustischen Fluide ausgesetzt werden. Die redundante Dichtung isoliert zudem den Fluidstrom zusätzlich und verringert dadurch die mögliche Kontamination der Fluide.
  • Jeder Drucksensor 20 kann ein dem Fachmann bekannter Kondensator- oder Piezowiderstandssensor sein. Die Basis jedes Drucksensors steht in direktem Kontakt mit der Membran 38 und kann entweder in Druckkontakt mit der Membran stehen oder mit einem Klebemittel, durch Thermoschweißen oder durch eine andere bekannte Befestigungsart mit dieser verbunden sein. Bei einer alternativen Ausführungsform kann ein Aluminiumoxid-Keramik-Drucksensor verwendet werden, wobei der Aluminiumoxid-Keramik-Drucksensor eine dünne, allgemein nachgiebige Keramikschicht mit einem isolierenden Abstandsring umfaßt, der zwischen eine dickere, unnachgiebige Keramikschicht eingefaßt ist. Die erste, dünne Keramikschicht oder Membran hat eine Dicke von etwa 0,005 bis 0,050 Inch, wobei eine typische Dicke 0,020 Inch beträgt. Die dickere Keramikschicht hat eine Dicke im Bereich von 0,100 bis 0,400 Inch. Der Abstandsring kann aus einem geeigneten Material, wie Glas oder Polymer gefertigt sein, oder die Keramikschichten können zusammengelötet sein. Die sich gegenüberliegenden Flächen von Keramikscheiben werden mit Metallen, wie Gold, Nickel oder Chrom, metallisiert, um Platten für einen Kondensator herzustellen. Ein ähnlicher kapazitiver Druckwandler ist von Bell et al. in dem US-Patent Nr. 4,177,496 (Patent '496) beschrieben. Andere kapazitive Druckwandler, die dem im Patent '496 beschriebenen ähnlich sind, sind erhältlich und dem Fachmann bekannt. Es ist denkbar, daß auf die biegsame Membran 38 verzichtet werden könnte, wenn der benutzte Drucksensor einer vom Typ eines kapazitiven Saphir-Druckwandlers ist. Ein Kondensator- oder Piezowiderstandswandler aus Saphir ist inert und verschleißfest, wenn er kaustischen Fluiden ausgesetzt ist. Wenn ein Saphir-Sensor in direkter Verbindung mit dem Fluidstrom steht, kann dies die Druckmessungen jedes Wandlers noch verbessern.
  • Der Controller 46 kann in verschiedenen Formen vorliegen, wie z. B. als fest eingestellte Vorrichtung oder als Mikroprozessor mit Code, und kann einen Festwertspeicher (ROM) zum Speichern von Programmen, die durch den Controller auszuführen sind, und einen Schreib-/Lesespeicher (RAM) zum Speichern von Operanden umfassen, die zur Durchführung der Berechnungen durch den Controller verwendet werden. Der Controller 46 ist elektrisch an eine Stromversorgung angeschlossen und steuert die elektrische Schaltung zur Druckerfassung und zur Betätigung des Steuerventils, wobei Fluß, Druck und/oder Volumen gesteuert werde können.
  • Der Controller 46 wird dazu eingesetzt, die Druckmeßwerte der beiden Wandler 42 und 44 oder alternativ dazu einen Druckmeßwert des stromabwärtigen Druckwandlers in eine analoge oder digitale Flußdarstellung umzuwandeln. Das unverarbeitete Analogsignal des stromaufwärtigen Wandlers wird einem Eingangsterminal und ebenso das unverarbeitete analoge Wandlerausgangssignal des stromabwärtigen Wandlers einem Eingangsterminal zugeführt. Der Controller 46 berechnet die momentanen Druckunterschiede, die von den stromaufwärtigen und stromabwärtigen Wandlern erfaßt werden, und führt gegebenenfalls notwendige Nulleinstellungen oder Skalierungen durch.
  • Die Strömungsgeschwindigkeit ist bei einem stetig fließenden Strom bekanntlich an jeder Stelle gleich. Die Strömungsgeschwindigkeit (I) kann als Im = ρνA ausgedrückt werden. Dabei steht ρ für die Dichte des Fluids, ν für die Geschwindigkeit des Fluids und A für die Fläche, durch die das Fluid strömt. Bei Anwendung der Kontinuitätsgleichung A1ν1 = A2ν2 ist die Strömungsgeschwindigkeit innerhalb des Fluidsteuermoduls 10 gleich einer mit
    Figure 00110001
    multiplizierten Konstante. Daher berechnet der Controller 46 den Druck und die Strömungsgeschwindigkeit anhand der von den beiden Drucksensoren erhaltenen Daten. Für den Fachmann ist ersichtlich, daß sich die Strömungsgeschwindigkeit bei einer laminaren Strömung eher einer mit P1 – P2 multiplizierten Konstante nähert. Daher könnte eine niedrige Strömungsgrenze in das System eingebaut werden, so daß der Strömungsmesser die Strömungsgeschwindigkeit als Null identifiziert, wenn die "Reynolds-Zahl" unterhalb einer bestimmten Schwelle liegt. Der Controller 46 kann dann die berechnete Strömungsgeschwindigkeit in ein digitales oder ein analoges Signal umwandeln, das in den Bereich von 4 mA bis 20 mA fällt, der bei den bestehenden Steuersystemen eingesetzt wird.
  • Wenn Fluid durch den Strömungskreislauf fließt, wird der den beiden Hohlräumen benachbarte Druck durch den Controller 46 erfaßt, wobei die Strömungsgeschwindigkeit anhand der zwei erfaßten Druckwerte berechnet werden kann. Gleichermaßen kann auch der Manometerdruck oder der Absolutdruck verwendet werden. Für den Fachmann ist erkennbar, daß die Strömungsgeschwindigkeit so geeicht werden kann, daß gewünschte Mindest-Ausgangswerte mit minimalem Druck und gewünschte Höchstdruck-Ausgangswerte mit maximalem Druck verbunden sind.
  • Beispielsweise kann ein auf einen Meßbereich von 0 bis 100 psig (Pound-pro-Inch2-Manometer) geeichter Drucksensor so geeicht werden, daß er bei 0 psig einen Wert von 4 mA (Milliampères) und bei 100 psig einen Wert von 20 mA anzeigt.
  • Die Leitung 28 ist mit dem Steuerventil 22 verbunden, wobei in der Fluidleitung ein Ventilsitz 60 gebildet ist. Eine Doppelmembran 62 wird vorne und hinten betätigt, wobei der Fluidstrom am Ventilsitz vorbei beendet wird, wenn die Membran zum Eingriff mit dem Ventilsitz 60 betätigt wird. Als Alternative kann eine einzige Membran eingesetzt werden, um den Fluidstrom am Ventilsitz 60 vorbei zu steuern (siehe 2). Für den Fachmann ist ersichtlich, daß die Doppelmembran 62 von Änderungen des Atmosphärendrucks unbeeinträchtigt bleibt. Die in 1 gezeigte Betätigungseinrichtung 66, die zum Betätigen der Membran 62 verwendet wird, ist von der Art eines Elektromotors. Für den Fachmann ergibt sich, daß die Betätigung des Ventils zwischen der offenen und der geschlossenen Stellung mit einer von mehreren mechanischen, elektrischen oder pneumatischen Betätigungseinrichtungen bekannter, geeigneter Bauweise erreicht werden kann. Ferner kann der Mechanismus zum Öffnen und Schließen des Stromes z. B., aber nicht einschränkend, eine Membran, ein Tellerventil, ein Überlaufventil oder ein Quetschventil umfassen, wobei die Membran und der Ventilsitz bevorzugt sind.
  • 3 zeigt eine alternative Ausführungsform der Betätigungseinrichtung 66, die von pneumatischem Typ ist. Ein Kolben 68 ist in einer abgedichteten Kammer 70 eingeschlossen, wobei die mechanische Kraft einer Druckfeder 72 den Kolben 68 in eine abwärtige oder erste Richtung drückt und eine Druckluftleitung 74 den Druck am unteren Ende 76 des Kolbens erhöht, um den Kolben 68 hoch- und dabei die Feder 72 zusammenzudrücken. Auf diese Weise kann der Luftdruck innerhalb der Kammer 70 um ein gesteuertes Maß erhöht oder verringert werden, um den Kolben 68 und damit die am Kolben 68 angebrachte Membran 64 zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung zu betätigen. Das untere Ende der Membran 64 kann ein sich von diesem aus erstreckendes, konisches Element 78 enthalten, das die Abdichtung zwischen dem Ventilsitz 60 und der Membran 64 verstärken kann (siehe 4). Alternativ dazu kann ein Ventilschaft 80, der sich vom Kolben 68 weg erstreckt, durch die Kammerwand 82 über eine Bohrung 82 mit einer Dichtung 84 zum Abdichten der Luftkammer 70 und für eine Vor- und Zurückbewegung des Ventilschaftes 80 in der Bohrung 82 hindurchlaufen (siehe 5). Das untere Ende 86 des Ventilschaftes 80 dichtet in der geschlossenen Stellung direkt mit dem Ventilsitz 60 ab. Das untere Ende 86 kann sich verjüngen, um die Abdichtung zwischen dem Ventilschaft 80 und dem Ventilsitz 60 in der geschlossenen Stellung weiter zu verstärken (siehe 6).
  • Es sei nun auf die 7 und 8 Bezug genommen, in denen alternative Ausführungsformen des Fluidsteuermoduls 10 mit einem einzigen Drucksensor zur Bestimmung von Strömungsgeschwindigkeiten in der Fluidströmungsleitung gezeigt sind. Das in 7 gezeigte Steuerventil 22 wird, wie oben noch näher beschrieben, pneumatisch betätigt. Das in 8 gezeigte Steuerventil 22 wird, wie zuvor näher beschrieben, über den Motor 66 betätigt. Wenn Strömungsgeschwindigkeiten mit dem Fluidsteuermodul der in den 7 und 8 gezeigten Art bestimmt werden, muß die Öffnung 30 stromabwärts des Drucksensors 20 und des Steuerventils 22 liegen, und das Auslaßende 90 des Fluidsteuermoduls 10 muß an eine Leitung, einen Schlauch, einen Hohlraum oder an einen anderen Durchlaß angeschlossen sein, in dem sich der Druck auf Atmosphärendruck befindet (eine bekannte Konstante). Auf diese Weise kann die Strömungsgeschwindigkeit, wie zuvor beschrieben, bestimmt werden, wobei der Druck P auf der stromabwärtigen Seite der Öffnung eine Konstante ist. Zusätzlich kann ein Schlauch, dessen Länge und Durchmesser bekannt sind, an das Auslaßende 90 des Fluidsteuermoduls 10 angeschlossen werden, wobei der Druckunterschied zwischen dem Druck am Auslaßende 90 und dem Druck innerhalb des Schlauches konstant ist. Bei Benutzung kann der Schlauch mit Fluid gefüllt und dann das Steuerventil 22 geschlossen werden. Dann wird der Drucksensor so geeicht, daß er den Nulldruck anzeigt. Wenn das Steuerventil geöffnet wird, zeigt der Drucksensor die Druckänderung an.
  • Nachdem die baulichen Merkmale der Erfindung beschrieben wurden, sei als nächstes im Zusammenhang mit 9 ihre Einsatzweise beschrieben. Der Controller 46 eicht die Drucksensoren 20 und das Steuerventil 22 entweder automatisch oder auf Anfrage des Benutzers (siehe Block 100). Während des Eichvorganges erzeugt und speichert der Controller Werte, die der Ventilstellung, der Strömungsgeschwindigkeit sowie dem Innen- und Außendruck an vorbestimmten Einstellpunkten entsprechen. Wenn die Ventilstellung, die Strömung und der Druck für gewünschte Einstellpunkte bekannt sind, kann der Controller die Ventilstellung aufgrund des ermittelten Strömungsdruckes oder auf Anforderung durch den externen Ablauf automatisch einstellen. Alternativ hierzu kann auch der Benutzer einen gewünschten Einstellpunkt wählen, und der Controller stellt die Ventilstellung aufgrund der Meßwerte für Druck und Strömungsgeschwindigkeiten ein (siehe Block 102). Dann bestimmt der Controller, ob eine Steuerung des Druckes erwünscht ist (siehe Entscheidungsblock 104). Soll der Druck gesteuert werden, überwacht der Controller den Druck und/oder die Strömungsgeschwindigkeit und stellt das Ventil so ein, daß der Druck eine gesteuerte Größe beibehält (siehe Block 106). Ist eine Steuerung des Druckes nicht erwünscht, so ermittelt der Controller dann, ob es erwünscht ist, die Strömung zu steuern (siehe Entscheidungsblock 108). Soll die Strömung gesteuert werden, überwacht der Controller den Druck und/oder die Strömung und stellt das Ventil so ein, daß die Strömungsgeschwindigkeit einen gesteuerten Wert beibehält (siehe Block 110).
  • Die Steuerung kann eine Makro- und Mikroeinstellung des Steuerventils umfassen, wobei der Controller der Strömungsgeschwindigkeit, dem Druck, der Temperatur und der Ventilstellung zugeordnete Werte für die Einstellpunkte speichert. Wenn z. B. die Strömung gesteuert wird, stellt der Controller das Ventil so ein, daß die Ventilstellung grob an die vorherigen Meßwerte für Druck, Temperatur und Ventilstellung für die gewünschte Strömung angenähert ist (Makroeinstellung). Damit kann die Strömungsgeschwindigkeit relativ schnell näherungsweise bestimmt werden, und dann kann die Steuerung kleinere Anpassungen der Ventilstellung vornehmen, um eine noch genauere Steuerung der Strömung zu erreichen (siehe Block 112). Soll das Volumen gesteuert werden (siehe Entscheidungsblock 114), so werden Strömungsgeschwindigkeit und Druck überwacht, und das Ventil wird ausreichend lange geöffnet, um zuzulassen, daß das kontrollierte Fluidvolumen durch das Steuerventil 22 hindurchströmt (siehe Block 116). Wenn weder der Druck noch die Strömungsgeschwindigkeit oder das Volumen gesteuert werden sollen, wartet der Controller auf eine Eingabe (siehe Schleife 118 und Block 102).
  • Während der Fluidbehandlung kann der Controller 46 die Drucksensoren automatisch auf Null zurückstellen oder eichen, wenn das Steuerventil 22 geschlossen ist (siehe Block 120). Alternativ dazu kann ein zweites, fest eingestelltes Ventil vorgesehen sein, das entweder in einer offenen oder in einer geschlossenen Stellung betrieben werden kann. Der Controller kann so programmiert sein, daß er die Drucksensoren auf Null zurückstellt, wenn sich das zweite fest eingestellte Ventil in der geschlossenen Stellung befindet. Während des Prozesses kann der Druck in der Strömungsleitung merklichen Schwankungen unterliegen, wodurch Änderungen der Ventilstellung erforderlich werden, um z. B. die Strömungsgeschwindigkeit konstant zu halten (siehe Block 122). Der Controller 46 wartet auf die nächste Eingabe (siehe Schleife 124 und Block 102). Damit fallen beim Steuermodul nach der Erfindung die zusätzlichen Bauteile und Nachteile des Anschlusses einzelner Drucksensoren und einzelner Steuerventile weg.
  • Diese Erfindung wurde hier sehr ausführlich beschrieben, um den Patentvorschriften Genüge zu tun und dem Fachmann die Informationen zu geben, die zur Anwendung der neuen Prinzipien sowie zum Bau und Einsatz der erforderlichen Spezialteile benötigt werden. Es versteht sich jedoch, daß die Erfindung mit im einzelnen unterschiedlichen Geräten und Vorrichtungen ausgeführt werden kann und daß verschiedene Abwandlungen, sowohl hinsichtlich der Geräte wie auch der Betriebsabläufe, vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der Erfindung selbst abzuweichen.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Ein Fluidsteuermodul, das innerhalb eines chemisch korrosiven oder ultrareinen Fluidströmungskreislaufs, der Fluide in flüssigem oder gasförmigem Zustand transportiert, in Reihe angeschlossen werden kann. Das Fluidsteuermodul nach der Erfindung kann zum Steuern der Strömung, des Drucks oder des Volumens eines Fluids, das durch den Fluidströmungskreislauf fließt, eingesetzt werden und ist in der Lage, das Modul automatisch einzustellen oder "zu eichen", um Änderungen des Atmosphärendrucks oder eine Drift der Drucksensoren des Fluidsteuermoduls auszugleichen. Das Fluidsteuermodul umfaßt auch eine Schnell- oder Makroeinstellung des Steueriventils, um die gewünschte Strömungsgeschwindigkeit schneller zu erreichen.

Claims (47)

  1. Chemisch inertes Fluidsteuermodul zum Anschluß an einen Fluidströmungskreislauf, wobei das Modul folgendes umfaßt: eine chemisch inerte Fluidleitung; ein mit der Leitung gekoppeltes, einstellbares Steuerventil, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Ventils chemisch inert ist; einen ersten mit der Leitung gekoppelten Drucksensor, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Drucksensors chemisch inert ist; eine in der Leitung angeordnete Drossel, wobei die Drossel eine verringerte Querschnittsfläche aufweist und dadurch den Fluidstrom innerhalb der Leitung drosselt, und ein chemisch inertes Gehäuse, welches das Steuerventil und den ersten Drucksensor umgibt.
  2. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, das ferner einen zweiten an die Leitung gekoppelten Drucksensor aufweist, wobei die Drossel zwischen dem ersten und zweiten Drucksensor angeordnet ist.
  3. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, bei dem das Steuerventil eine redundante, chemisch inerte Membran enthält.
  4. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, bei dem das Steuerventil eine chemisch inerte Membran aufweist.
  5. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, bei dem das Steuerventil durch eine Einrichtung zum Betätigen eines Ventils zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung betätigt wird.
  6. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, bei dem das Steuerventil pneumatisch betätigt wird.
  7. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, das ferner einen mit dem Steuerventil und dem Drucksensor gekoppelten Controller aufweist.
  8. Fluidsteuermodul nach Anspruch 7, bei dem der Controller ein Signal erzeugt, das proportional zu einer Fluidströmungsgeschwindigkeit in der Fluidleitung ist.
  9. Fluidsteuermodul nach Anspruch 7, bei dem der Controller ein Signal erzeugt, das proportional zu einem Druck in der Fluidleitung ist.
  10. Fluidsteuermodul nach Anspruch 7, bei dem der Controller Änderungen des Atmosphärendrucks ausgleicht.
  11. Fluidsteuermodul nach Anspruch 7, bei dem der Controller eine Einrichtung zur Makro- und Mikroeinstellung des Steuerventils aufweist.
  12. Fluidsteuermodul nach Anspruch 2, das ferner einen mit dem Steuerventil und dem Drucksensor gekoppelten Controller aufweist.
  13. Fluidsteuermodul nach Anspruch 12, bei dem der Controller den Drucksensor zurückstellt, wenn die Strömung in der Strömungsleitung zum Stillstand kommt.
  14. Fluidsteuermodul nach Anspruch 12, bei dem der Controller einen Druck innerhalb der Fluidleitung bestimmt.
  15. Fluidsteuermodul nach Anspruch 12, bei dem der Controller eine Strömungsgeschwindigkeit innerhalb der Fluidleitung bestimmt.
  16. Fluidsteuermodul nach Anspruch 15, bei dem der Controller das Signal zum Ausgleich eines Druckunterschiedes einstellt, der vorhanden ist, wenn die Strömungsgeschwindigkeit gleich Null ist.
  17. Fluidsteuermodul nach Anspruch 1, bei dem der dem Fluid ausgesetzte Abschnitt des Drucksensors aus Saphir besteht.
  18. Fluidsteuermodul nach Anspruch 7, bei dem der Controller das Signal zum Ausgleich eines Druckunterschiedes einstellt, der vorhanden ist, wenn die Strömungsgeschwindigkeit gleich Null ist.
  19. Chemisch inertes Fluidsteuermodul zum Anschluß innerhalb eines Fluidströmungskreislaufs, wobei das Modul folgendes umfaßt: ein chemisch inertes Gehäuse mit einer Fluidleitung, die durch das Gehäuse hindurchläuft, wobei die Leitung eine in der Leitung angeordnete Drossel aufweist, die Drossel eine verringerte Querschnittsfläche hat und somit den Strom innerhalb der Leitung drosselt; eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Druckveränderung innerhalb der Fluidleitung, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt der Erfassungseinrichtung chemisch inert ist, und eine Einrichtung zum Steuern der Größe einer Öffnung in einem Ventil, das innerhalb der Fluidströmungsleitung angeordnet ist, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt der Steuereinrichtung chemisch inert ist und die Erfassungseinrichtung sowie die Steuereinrichtung in dem Gehäuse enthalten sind.
  20. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, bei dem die Erfassungseinrichtung erste und zweite Drucksensoren umfaßt, die mit der Leitung verbunden sind, wobei die Drossel zwischen den ersten und zweiten Drucksensoren angeordnet ist.
  21. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, bei dem das Ventil eine redundante, chemisch inerte Membran aufweist.
  22. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, bei dem das Ventil eine chemisch inerte Membran aufweist.
  23. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, bei dem die Steuereinrichtung durch eine Einrichtung zum Betätigen des Ventils zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung betätigt wird.
  24. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, bei dem die Flußsteuereinrichtung pneumatisch betätigt wird.
  25. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, das ferner einen mit der Steuereinrichtung und der Erfassungseinrichtung gekoppelten Controller aufweist.
  26. Fluidsteuermodul nach Anspruch 25, bei dem der Controller einen Druck in der Fluidleitung bestimmt.
  27. Fluidsteuermodul nach Anspruch 25, bei dem der Controller eine Strömungsgeschwindigkeit in der Fluidleitung bestimmt.
  28. Fluidsteuermodul nach Anspruch 25, bei dem der Controller Änderungen des Atmosphärendrucks ausgleicht.
  29. Fluidsteuermodul nach Anspruch 20, das ferner einen mit der Steuereinrichtung und der Erfassungseinrichtung gekoppelten Controller aufweist.
  30. Fluidsteuermodul nach Anspruch 29, bei dem der Controller die Erfassungseinrichtung zurückstellt, wenn die Strömung in der Strömungsleitung zum Stillstand kommt.
  31. Fluidsteuermodul nach Anspruch 29, bei dem der Controller einen Druck innerhalb der Fluidleitung bestimmt.
  32. Fluidsteuermodul nach Anspruch 29, bei dem der Controller eine Strömungsgeschwindigkeit innerhalb der Fluidleitung bestimmt.
  33. Fluidsteuermodul nach Anspruch 29, bei dem der Controller das Signal zum Ausgleich eines Druckunterschiedes einstellt, der vorhanden ist, wenn die Strömungsgeschwindigkeit gleich Null ist.
  34. Fluidsteuermodul nach Anspruch 19, bei dem der dem Fluid ausgesetzte Abschnitt des Drucksensors aus Saphir besteht.
  35. Fluidsteuermodul nach Anspruch 29, bei dem der Controller eine Einrichtung zur Makro- und zur Mikroeinstellung der Steuereinrichtung aufweist.
  36. Chemisch inertes Fluidsteuermodul zum Anschluß an einen Fluidströmungskreislauf, wobei das Modul folgendes umfaßt: ein chemisch inertes Gehäuse mit einer Fluidleitung, die durch das Gehäuse hindurchläuft; ein mit der Leitung gekoppeltes Steuerventil, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Ventils chemisch inert ist; einen ersten mit der Leitung gekoppelten Drucksensor, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Drucksensors chemisch inert ist; einen zweiten an die Leitung gekoppelten Drucksensor, wobei ein dem Fluid ausgesetzter Abschnitt des Drucksensors chemisch inert ist, und eine in der Leitung zwischen dem ersten und dem zweiten Drucksensor angeordnete Drossel, wobei die Drossel eine verringerte Querschnittsfläche aufweist und dadurch den Strom innerhalb der Leitung drosselt.
  37. Fluidsteuermodul nach Anspruch 36, bei dem das Steuerventil eine redundante, chemisch inerte Membran aufweist.
  38. Fluidsteuermodul nach Anspruch 36, bei dem das Steuerventil eine chemisch inerte Membran aufweist.
  39. Fluidsteuermodul nach Anspruch 36, bei dem das Steuerventil durch eine Einrichtung zum Betätigen des Ventils zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung betätigt wird.
  40. Fluidsteuermodul nach Anspruch 36, bei dem das Flußsteuerventil pneumatisch betätigt wird.
  41. Fluidsteuermodul nach Anspruch 36, das ferner einen mit dem Steuerventil und dem Drucksensor gekoppelten Controller aufweist.
  42. Fluidsteuermodul nach Anspruch 40, bei dem der Controller einen Druck in der Fluidleitung bestimmt.
  43. Fluidsteuermodul nach Anspruch 40, bei dem der Controller eine Strömungsgeschwindigkeit in der Fluidleitung bestimmt.
  44. Fluidsteuermodul nach Anspruch 40, bei dem der Controller Änderungen des Atmosphärendrucks ausgleicht.
  45. Fluidsteuermodul nach Anspruch 40, bei dem der Controller den Drucksensor zurückstellt, wenn die Strömung in der Strömungsleitung zum Stillstand kommt.
  46. Fluidsteuermodul nach Anspruch 40, bei dem der Controller das Signal zum Ausgleich eines Druckunterschiedes einstellt, der vorhanden ist, wenn die Strömungsgeschwindigkeit gleich Null ist.
  47. Fluidsteuermodul nach Anspruch 36, bei dem der dem Fluid ausgesetzte Abschnitt des Drucksensors aus Saphir besteht.
DE10085498T 1999-11-23 2000-11-24 Chemisch inerte Strömungssteuerung mit kontaminationsfreiem Gehäuse Ceased DE10085498T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/447,984 US6578435B2 (en) 1999-11-23 1999-11-23 Chemically inert flow control with non-contaminating body
US09/447,984 1999-11-23
PCT/US2000/042242 WO2003071247A1 (en) 1999-11-23 2000-11-24 Chemically inert flow control with non-contaminating body

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10085498T5 true DE10085498T5 (de) 2004-04-29

Family

ID=23778546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10085498T Ceased DE10085498T5 (de) 1999-11-23 2000-11-24 Chemisch inerte Strömungssteuerung mit kontaminationsfreiem Gehäuse

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6578435B2 (de)
EP (1) EP1377807A4 (de)
JP (1) JP2001242940A (de)
KR (1) KR100800088B1 (de)
DE (1) DE10085498T5 (de)
WO (1) WO2003071247A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021130134A1 (de) 2021-11-18 2023-05-25 Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Vorrichtung zur Fluidbegrenzung und Vorrichtung zum Messen einer Eigenschaft eines Prozessfluids

Families Citing this family (81)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100676249B1 (ko) * 2001-05-23 2007-01-30 삼성전자주식회사 기판 절단용 냉매, 이를 이용한 기판 절단 방법 및 이를수행하기 위한 장치
WO2004010474A2 (en) * 2002-07-19 2004-01-29 Mykrolis Corporation Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system
SG144762A1 (en) * 2002-07-19 2008-08-28 Entegris Inc Fluid flow measuring and proportional fluid flow control device
DE10259395A1 (de) * 2002-12-19 2004-07-22 Festo Ag & Co. Anschlussstück für Fluidleitungen
US7131451B2 (en) * 2003-09-04 2006-11-07 Rivatek Incorporated Apparatus for controlling and metering fluid flow
US6973375B2 (en) * 2004-02-12 2005-12-06 Mykrolis Corporation System and method for flow monitoring and control
US7740024B2 (en) * 2004-02-12 2010-06-22 Entegris, Inc. System and method for flow monitoring and control
US7117104B2 (en) * 2004-06-28 2006-10-03 Celerity, Inc. Ultrasonic liquid flow controller
US6993954B1 (en) * 2004-07-27 2006-02-07 Tekscan, Incorporated Sensor equilibration and calibration system and method
JP4461329B2 (ja) 2004-08-31 2010-05-12 旭有機材工業株式会社 流体制御装置
JP2006153677A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 差圧式流量計、流量制御装置および基板処理装置
JP4640947B2 (ja) * 2005-04-27 2011-03-02 シーケーディ株式会社 タンク構造
KR101280832B1 (ko) * 2005-06-07 2013-07-03 사파스고교 가부시키가이샤 유량계 및 이를 사용한 유량제어시스템
US7866337B2 (en) * 2005-07-08 2011-01-11 Entegris, Inc. Chemically inert flow controller with non-contaminating body
CN101258351A (zh) * 2005-07-08 2008-09-03 安格斯公司 具有无污染本体的化学惰性流量控制器
US20070016333A1 (en) * 2005-07-12 2007-01-18 Edwards Grant B Method and apparatus for controlling the valve position of a variable orifice flow meter
US7360448B2 (en) * 2005-08-12 2008-04-22 Celerity, Inc. Ultrasonic flow sensor having reflecting interface
JP2007058352A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 流体制御装置
JP2007058337A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 流体制御装置
US7261003B2 (en) * 2006-01-03 2007-08-28 Freescale Semiconductor, Inc. Flowmeter and method for the making thereof
US20070204912A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-06 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. Fluid mixing system
US20070204913A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-06 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. Fluid mixing system
US20070204914A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-06 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. Fluid mixing system
US7530278B2 (en) * 2006-11-02 2009-05-12 Rivatek, Inc. Fluid flow blender and methods
DE202007001507U1 (de) * 2007-01-29 2007-04-19 Gruner Ag Volumenstromregler
JP5041847B2 (ja) * 2007-03-30 2012-10-03 旭有機材工業株式会社 流体制御装置
JP5079401B2 (ja) * 2007-06-25 2012-11-21 サーパス工業株式会社 圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ
JP5054500B2 (ja) 2007-12-11 2012-10-24 株式会社フジキン 圧力制御式流量基準器
US8403908B2 (en) * 2007-12-17 2013-03-26 Hospira, Inc. Differential pressure based flow sensor assembly for medication delivery monitoring and method of using the same
US8517990B2 (en) 2007-12-18 2013-08-27 Hospira, Inc. User interface improvements for medical devices
KR101028213B1 (ko) * 2007-12-27 2011-04-11 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유량 비율 제어 장치
US8065924B2 (en) * 2008-05-23 2011-11-29 Hospira, Inc. Cassette for differential pressure based medication delivery flow sensor assembly for medication delivery monitoring and method of making the same
US7819838B2 (en) * 2008-09-02 2010-10-26 Hospira, Inc. Cassette for use in a medication delivery flow sensor assembly and method of making the same
US20100114027A1 (en) * 2008-11-05 2010-05-06 Hospira, Inc. Fluid medication delivery systems for delivery monitoring of secondary medications
US8048022B2 (en) * 2009-01-30 2011-11-01 Hospira, Inc. Cassette for differential pressure based medication delivery flow sensor assembly for medication delivery monitoring and method of making the same
JP5220642B2 (ja) * 2009-02-05 2013-06-26 サーパス工業株式会社 差圧式流量計および流量コントローラ
US20100280486A1 (en) * 2009-04-29 2010-11-04 Hospira, Inc. System and method for delivering and monitoring medication
US8042528B2 (en) * 2009-07-31 2011-10-25 Ford Global Technologies, Llc Adaptive EGR control for internal combustion engines
JP5501806B2 (ja) * 2010-03-05 2014-05-28 サーパス工業株式会社 圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ
JP5562712B2 (ja) * 2010-04-30 2014-07-30 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置用のガス供給装置
JP5739261B2 (ja) * 2011-07-28 2015-06-24 株式会社堀場エステック ガス供給システム
AU2012299169B2 (en) 2011-08-19 2017-08-24 Icu Medical, Inc. Systems and methods for a graphical interface including a graphical representation of medical data
US10022498B2 (en) 2011-12-16 2018-07-17 Icu Medical, Inc. System for monitoring and delivering medication to a patient and method of using the same to minimize the risks associated with automated therapy
US9995611B2 (en) 2012-03-30 2018-06-12 Icu Medical, Inc. Air detection system and method for detecting air in a pump of an infusion system
JP5887188B2 (ja) * 2012-04-12 2016-03-16 株式会社堀場エステック 流体制御用機器
ES2743160T3 (es) 2012-07-31 2020-02-18 Icu Medical Inc Sistema de cuidado de pacientes para medicaciones críticas
WO2014190264A1 (en) 2013-05-24 2014-11-27 Hospira, Inc. Multi-sensor infusion system for detecting air or an occlusion in the infusion system
AU2014274146B2 (en) 2013-05-29 2019-01-24 Icu Medical, Inc. Infusion system which utilizes one or more sensors and additional information to make an air determination regarding the infusion system
CA2913918C (en) 2013-05-29 2022-02-15 Hospira, Inc. Infusion system and method of use which prevents over-saturation of an analog-to-digital converter
US20150133861A1 (en) 2013-11-11 2015-05-14 Kevin P. McLennan Thermal management system and method for medical devices
JP2015155845A (ja) * 2014-02-20 2015-08-27 サーパス工業株式会社 差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラ
EP3110474B1 (de) 2014-02-28 2019-12-18 ICU Medical, Inc. Infusionssystem und verfahren mit verwendung von optischer luftblasenerkennung mit zwei wellenlängen
AU2015266706B2 (en) 2014-05-29 2020-01-30 Icu Medical, Inc. Infusion system and pump with configurable closed loop delivery rate catch-up
US10143795B2 (en) 2014-08-18 2018-12-04 Icu Medical, Inc. Intravenous pole integrated power, control, and communication system and method for an infusion pump
US11344668B2 (en) 2014-12-19 2022-05-31 Icu Medical, Inc. Infusion system with concurrent TPN/insulin infusion
US10850024B2 (en) 2015-03-02 2020-12-01 Icu Medical, Inc. Infusion system, device, and method having advanced infusion features
JP6539482B2 (ja) * 2015-04-15 2019-07-03 株式会社フジキン 遮断開放器
AU2016267763B2 (en) 2015-05-26 2021-07-08 Icu Medical, Inc. Disposable infusion fluid delivery device for programmable large volume drug delivery
JP6651323B2 (ja) 2015-10-02 2020-02-19 サーパス工業株式会社 流量調整装置
CN108369425B (zh) 2015-12-25 2021-03-02 株式会社富士金 流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法
JP6055941B2 (ja) * 2016-02-15 2016-12-27 株式会社堀場エステック 流体制御用機器
CN108780332B (zh) * 2016-02-29 2021-10-01 株式会社富士金 流量控制装置
US9909909B2 (en) * 2016-03-16 2018-03-06 Rosemount Inc. Flow measurement system for single-use containers
AU2017264784B2 (en) 2016-05-13 2022-04-21 Icu Medical, Inc. Infusion pump system and method with common line auto flush
EP3468635A4 (de) 2016-06-10 2019-11-20 ICU Medical, Inc. Akustischer durchflusssensor für kontinuierliche medikamentenflussmessungen und feedback-steuerung von infusionen
EP3285018B1 (de) * 2016-08-19 2019-07-10 Gruner AG Volumenstromregler
JP6831200B2 (ja) * 2016-09-21 2021-02-17 リンナイ株式会社 燃焼装置
JP2018080929A (ja) * 2016-11-14 2018-05-24 株式会社堀場エステック 流体機器
JP6871721B2 (ja) * 2016-11-17 2021-05-12 株式会社堀場エステック 圧力式流量計
US9785154B2 (en) * 2017-02-13 2017-10-10 Robert M. McMillan Reconfigurable modular fluid flow control system for liquids or gases
US10089055B1 (en) 2017-12-27 2018-10-02 Icu Medical, Inc. Synchronized display of screen content on networked devices
US10890474B2 (en) * 2018-09-18 2021-01-12 Swagelok Company Fluid monitoring module arrangements
WO2020061127A1 (en) 2018-09-19 2020-03-26 Swagelok Company Flow restricting fluid component
EP3734234B1 (de) * 2019-04-30 2022-05-04 Fas Medic S.A. Fluiderfassungsvorrichtung
USD939079S1 (en) 2019-08-22 2021-12-21 Icu Medical, Inc. Infusion pump
US11278671B2 (en) 2019-12-04 2022-03-22 Icu Medical, Inc. Infusion pump with safety sequence keypad
WO2021184131A1 (es) * 2020-03-17 2021-09-23 New Tech Copper Spa Dispositivo periférico de flujómetro con sensor de temperatura en electrolito
WO2022020184A1 (en) 2020-07-21 2022-01-27 Icu Medical, Inc. Fluid transfer devices and methods of use
US11135360B1 (en) 2020-12-07 2021-10-05 Icu Medical, Inc. Concurrent infusion with common line auto flush
WO2023047870A1 (ja) * 2021-09-22 2023-03-30 株式会社堀場エステック 流体制御装置及びガス供給システム
DE102021133288A1 (de) 2021-12-15 2023-06-15 Faurecia Autositze Gmbh Anordnung und Manipulationssystem sowie Verfahren zur Manipulation des Flusses eines Fluids

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2734526A (en) 1956-02-14 aagaard
US2190713A (en) 1937-02-17 1940-02-20 Zeiss Ikon Ag Piezoelectric pressure indicator
US3196900A (en) * 1961-04-26 1965-07-27 Foxboro Co Electronic control apparatus
US3645139A (en) 1970-06-04 1972-02-29 John R Z Self-retaining diaphragm seal for recording instrument
US3930823A (en) 1972-03-14 1976-01-06 Kulite Semiconductor Products, Inc. High temperature transducers and housing including fabrication methods
US4010769A (en) 1972-11-27 1977-03-08 Plast-O-Matic Valves, Inc. Leak detection arrangement for valve having sealing means
US4192192A (en) 1978-11-02 1980-03-11 General Signal Corporation Diaphragm seal assembly
US4322980A (en) 1979-11-08 1982-04-06 Hitachi, Ltd. Semiconductor pressure sensor having plural pressure sensitive diaphragms and method
US4343456A (en) 1980-05-16 1982-08-10 Galtek Corporation Plastic control valve
US4461181A (en) 1983-01-06 1984-07-24 Becton Dickinson And Company Control for sample volume metering apparatus
US4507973A (en) 1983-08-31 1985-04-02 Borg-Warner Corporation Housing for capacitive pressure sensor
US4600912A (en) 1985-01-25 1986-07-15 Bourns Instruments, Inc. Diaphragm pressure sensor with improved tensile loading characteristics
US4653330A (en) 1985-07-15 1987-03-31 Rosemount Inc. Pressure transmitter housing
US4683755A (en) 1985-11-15 1987-08-04 Imo Delaval Inc. Biaxial strain gage systems
DE3725312A1 (de) * 1987-07-30 1989-02-09 Jiri Hokynar Steuergeraet fuer fluidfluss
US4774843A (en) 1987-08-14 1988-10-04 Gulton Industries, Inc. Strain gage
US4790821A (en) 1987-08-24 1988-12-13 Vance Products Incorporated Pressure gauge and system
WO1989003592A1 (en) 1987-10-07 1989-04-20 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Semiconducteur thin-film pressure sensor and method of producing the same
US4994781A (en) 1988-04-07 1991-02-19 Sahagen Armen N Pressure sensing transducer employing piezoresistive elements on sapphire
US5174926A (en) 1988-04-07 1992-12-29 Sahagen Armen N Compositions for piezoresistive and superconductive application
US5063784A (en) 1988-06-06 1991-11-12 Ridenour Ralph Gaylord Refrigerant transducer assembly and method
JP2814378B2 (ja) * 1988-06-20 1998-10-22 忠弘 大見 マスフローコントローラ
JPH0397639A (ja) 1989-09-08 1991-04-23 Hoya Corp 微粒子分散複合材料およびその製造方法
JPH04258176A (ja) 1991-02-12 1992-09-14 Mitsubishi Electric Corp 半導体圧力センサ
US5183078A (en) 1991-06-24 1993-02-02 Sorrell Harold E Combination shut-off and test-injection valve
US5184514A (en) 1991-07-12 1993-02-09 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
JP3077285B2 (ja) 1991-07-26 2000-08-14 大同特殊鋼株式会社 真空式金属熱処理炉
DE69212129T2 (de) * 1991-12-18 1997-01-23 Pierre Delajoud Massenströmungsmesser mit einschnürendem Element
JP2896725B2 (ja) 1991-12-26 1999-05-31 株式会社山武 静電容量式圧力センサ
JPH06201063A (ja) 1993-01-08 1994-07-19 Saapasu Kogyo Kk 流量調整弁
US5357792A (en) 1993-01-08 1994-10-25 Getenby Alan D Adaptor for testing fuel pressure in an operating engine
US5316035A (en) 1993-02-19 1994-05-31 Fluoroware, Inc. Capacitive proximity monitoring device for corrosive atmosphere environment
JP2552093B2 (ja) 1993-06-29 1996-11-06 サーパス工業株式会社 圧力センサ
EP0720733B1 (de) 1993-09-24 1999-03-17 Rosemount Inc. Drucküberträger mit isoliermembran
WO1995019549A1 (en) 1994-01-14 1995-07-20 Unit Instruments, Inc. Flow meter
US5488946A (en) 1994-03-01 1996-02-06 Calhoun; Clifford A. Emergency breathing device for opening cartridges
US5410916A (en) 1994-06-24 1995-05-02 Honeywell Inc. Flowthrough pressure sensor
US5563347A (en) 1994-09-12 1996-10-08 Ivac Corp Pressure sensing vessel adapted to be preloaded against a sensor
US5604315A (en) 1995-01-12 1997-02-18 Setra Systems, Inc. Apparatus using a feedback network to measure fluid pressures
US5731522A (en) 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
US5654512A (en) 1995-06-09 1997-08-05 Pacer Industries, Inc. Flexible membrane variable orifice fluid flow meter
US5672832A (en) * 1996-02-15 1997-09-30 Nt International, Inc. Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body
US5656780A (en) 1996-03-28 1997-08-12 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer with an integrally formed front housing and flexible diaphragm
US5657001A (en) 1996-04-16 1997-08-12 Oklahoma Safety Equipment Company Fluid flow detector
US5822173A (en) 1996-05-29 1998-10-13 Texas Instruments Incorporated Condition responsive electrical apparatus having improved low cost housing
US5865205A (en) * 1997-04-17 1999-02-02 Applied Materials, Inc. Dynamic gas flow controller
US5861546A (en) * 1997-08-20 1999-01-19 Sagi; Nehemiah Hemi Intelligent gas flow measurement and leak detection apparatus
US5878000A (en) 1997-10-01 1999-03-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Isolated sensing device having an isolation housing
JP3339565B2 (ja) 1998-09-29 2002-10-28 株式会社山武 圧力センサ
US6152162A (en) * 1998-10-08 2000-11-28 Mott Metallurgical Corporation Fluid flow controlling
JP4606290B2 (ja) * 2005-09-26 2011-01-05 本田技研工業株式会社 車両用サスペンション構造

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021130134A1 (de) 2021-11-18 2023-05-25 Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Vorrichtung zur Fluidbegrenzung und Vorrichtung zum Messen einer Eigenschaft eines Prozessfluids

Also Published As

Publication number Publication date
US6578435B2 (en) 2003-06-17
EP1377807A4 (de) 2007-03-14
JP2001242940A (ja) 2001-09-07
EP1377807A1 (de) 2004-01-07
US20030061888A1 (en) 2003-04-03
KR20030090485A (ko) 2003-11-28
WO2003071247A1 (en) 2003-08-28
KR100800088B1 (ko) 2008-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10085498T5 (de) Chemisch inerte Strömungssteuerung mit kontaminationsfreiem Gehäuse
DE69617253T4 (de) Druckwandlereinheit mit nicht-kontaminierendem körper
DE10311977B4 (de) Druckgeber mit Prozeßkopplung
JP5256032B2 (ja) 非汚染体を備えた化学的不活性流制御装置
EP0951308B1 (de) Medikamenten-dosiersystem
DE60110836T2 (de) Selbstzentrierende magnetanordnung zur verwendung in einem linearen wegmesser
DE60005840T2 (de) Gerät zur durchflussmessung in einem regler
EP3074680B1 (de) Ventil
DE2756178A1 (de) Durchflussteuer - durchflussmesswertgebereinrichtung fuer die gaschromatographie u.ae.
DE19982582B3 (de) Reibungsdurchflußmesser
DE2712846A1 (de) Messumformer zum messen von druckunterschieden
DE112004000430T5 (de) Durchflußinstrument mit Mehrfachsensoren
WO2001066955A2 (en) Bi-directional differential pressure flow sensor
DE10392824B4 (de) Preiswerter kapazitiver in sich geschlossener Druckgeber
EP3146303A1 (de) Druckausgleichselement
DE10155839B4 (de) Drucksensor
DE69832460T2 (de) Durchflussmesser mit Steuerventil
US6408879B1 (en) Fluid control device
DE102004021304A1 (de) Durchflussmessgerät
DE3710968C2 (de)
EP0943076B1 (de) Mikromechanisch gefertigte flussrestriktionsvorrichtung
EP1211487B1 (de) Vorrichtung für die Messung und Regelung der Verbrauchswerte von Energieträgerflüssigkeiten
EP3309528B1 (de) Tubusdruckmittler
DE19650116C1 (de) Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung
CH623911A5 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law

Ref document number: 10085498

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20040429

Kind code of ref document: P

8170 Reinstatement of the former position
8125 Change of the main classification

Ipc: G05D 700

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: ENTEGRIS, INC., CHASKA, MINN., US

8131 Rejection