DE10055943A1 - Vorrichtung zur Messung eines Belastungszustandes - Google Patents

Abstract

Kraftsensor aus einem Meßkörper, der als Kraftaufnehmer die mechanische Belastung aufnimmt, und einem Keramik-DMS (Dehnmeßstreifen auf einem Keramiksubstrat), wobei DOLLAR A a) der Meßkörper aus einer elastischen Metallegierung oder einem Sinterverbundwerkstoff besteht und sich unter mechanischer Belastung elastisch verformt, DOLLAR A b) das Keramiksubstrat an einer seiner Oberflächen mit mindestens einer elektrischen Widerstandsschicht beschichtet ist, die über elektrische Kontaktflächen mit einer Spannungsversorgung und mit einer Meßeinrichtung verbindbar ist, DOLLAR A c) das Keramiksubstrat mit einer anderen seiner Oberflächen auf den Meßkörper kraftschlüssig aufgelötet ist, so daß DOLLAR A d) bei einer durch einen Belastungswechsel hervorgerufenen lokalen Längenänderung des Meßkörpers diese Längenänderung über das Keramiksubstrat auf die Widerstandsschicht übertragen wird und in der Widerstandsschicht eine Widerstandsänderung als Maß für die Änderung des Belastungszustandes des Meßkörpers erfolgt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung eines mechanischen Belastungszustan­ des. Das verwendete Meßprinzip beruht auf der Messung der durch eine Last verursachten Materialdehnung an der Oberfläche eines sich elastisch verformenden Meßkörpers.

Hierzu hat man in der Vergangenheit z. B. sogenannte Dehnungsmeßstreifen (DMS) einge­ setzt. Ein sogenannter Folien DMS ist z. B. in der DE 198 38 349 A1 beschrieben. Derartige Folien-DMS haben auf einem polymeren Foliensubstrat eine elektrische Widerstandsschicht. Der Folien DMS wird mit dem Foliensubstrat auf den Meßkörper geklebt. Vorzugsweise werden hierbei Epoxidharzkleber eingesetzt. Lokale Verformungsänderungen des Meßkör­ pers werden über die Klebeverbindung auf die elektrische Widerstandsschicht übertragen und verursachen eine Widerstandsänderung dieser Widerstandsschicht, die als Meßsignal für das Maß der Verformung des Probekörpers dient.

Das Foliensubstrat ist flexibel und kann sich optimal der Oberflächenkontur des Meßkörpers anpassen. Der Polymerwerkstoff des Foliensubstrats beeinträchtigt jedoch auch die Einsatz­ möglichkeiten derartiger Folien-DMS. Der relativ niedere Schmelzpunkt der Foliensubtrate beschränkt den Temperaturbereich der Folien-DMS auf Temperaturbereiche unter 200°C. Die Foliensubtrate altern relativ schnell und werden bei häufigen Belastungswechseln schnell brüchig.

Um diese Nachteile der Folien-DMS zu überwinden, hat man in der Vergangenheit bereits Formänderungsmeßfühler entwickelt, die an Stelle des Foliensubstrats ein Keramiksubstrat aufweisen. Ein Beispiel eines keramischen Formänderungsmeßfühler ist in der DE 38 17 905 C2 beschrieben. Auf einer Keramikmembran werden mehrere elektrische Widerstands­ schichten mittels Siebdruckverfahren angebracht. Weiterhin sind auf der Keramikmembran Leiterbereiche angeordnet mit denen die Widerstandsschichten kontaktiert werden. Die Ke­ ramikmembran wird in einer Druckdose als Druckmeßmembarn eingesetzt.

Dehnmeßstreifen auf Keramiksubstraten können hohe Temperaturen überstehen und zeigen auch eine hohe Zeitstandfestigkeit. Keramiksubstrate haben gegenüber den Foliensubstraten allerdings den Nachteil, daß die Keramiksubstrate spröde sind und in der Regel bei punktu­ eller Belastung leicht brechen. Beim Einbau der Keramiksubstrate in Druckmeßdosen wird deshalb sorgfältig darauf geachtet, daß durch die mechanischen Einspannvorrichtungen keine Spannungsspitze in die Keramikmembran eingebracht werden. Die Bruchempfindlichkeit der Keramisubstrate ist auch ein Grund dafür, daß der Einsatz dieser Dehnmeßstreifen auf Kera­ miksubstraten bisher auf Druckmeßdosen, zur Bestimmung von Drücken in Flüssigkeiten beschränkt blieb. In Flüssigkeiten herrscht bekanntlich überall der gleiche Druck, so daß punktuelle Spannungsspitzen auf der Keramikmembran durch die zu messende Flüssigkeit nicht auftreten können. Eine Bruchgefahr des keramischen Meßfühlers in Druckmeßdosen also nicht gegeben ist.

Ausgehend von dem vorbeschriebenen Stand der Technik stellt sich die erfindungsgemäße Aufgabe die Einsatzmöglichkeiten der keramischen Formänderungsmeßfühler zu erweitern und die Vorteile der Dehnmeßstreifen auf Keramiksubstraten auch für die Messung von me­ chanischen Belastungszuständen zugänglich zu machen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch die Merkmale des unabhängigen An­ spruchs. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen enthalten.

Die Lösung gelingt durch eine Kombination aus einem Meßkörper, der als Kraftaufnehmer die mechanische Belastung aufnimmt, und einem Keramik-DMS (Dehnmeßstreifen auf ei­ nem Keramiksubstrat), wobei

• a) der Meßkörper aus einer elastischen Metallegierung oder einem Sinterverbundwerkstoff besteht und sich unter mechanischer Belastung elastisch verformt,
• b) das Keramiksubstrat an einer seiner Oberflächen mit mindestens einer elektrischen Wider­ standsschicht beschichtet ist, die über elektrische Kontaktflächen mit einer Spannungsversor­ gung und mit einer Meßeinrichtung verbindbar ist,
• c) das Keramiksubstrat mit einer anderen seiner Oberflächen auf den Meßkörper kraftschlüs­ sig aufgelötet ist, so daß
• d) bei einer durch einen Belastungswechsel hervorgerufenen lokalen Längenänderung des Meßkörpers diese Längenänderung über das Keramiksubstrat auf die Widerstandsschicht übertragen wird und in der Widerstandsschicht eine Widerstandsänderung als Maß für die Änderung des Belastungszustandes des Meßkörpers erfolgt.

Der mit der Erfindung hauptsächlich erzielte Vorteil wird darin gesehen, daß die Vorteile von Keramik-DMS auch für die Bestimmung mechanischer Belastungszustände zugänglich wer­ den. Durch die Verwendung einer Lotverbindung zwischen Keramiksubstrat und Meßkörper, gelingt es, das Keramiksubstrat spannungsfrei auf dem Meßkörper zu befestigen. Im Gegen­ satz zu den vorbekannten Folien-DMS, die mit einer Klebeverbindung auf dem Meßkörper befestigt werden, kann die Lotverbindung hergestellt werden, ohne daß das Keramiksubstrat auf den Meßkörper aufgepresst werden muß. Die mechanischen Spannungen, die durch eine Belastung des Meßkörpers hervorgerufen werden, werden von dem Meßkörper aufgenommen und über die Lotverbindung auf die Keramik-DMS übertragen. Der Meßkörper wirkt als Kraftaufnehmer und ist aus einer Metallegierung gefertigt. Die erfindungsgemäße Vorrich­ tung ist weitgehend unempfindlich gegenüber Umwelteinflüssen wie Temperatur, Feuchte und Umgebungsdruck. Bei Verwendung von korrosionsbeständigen Metallegierungen für den Meßkörper, die Kontaktierungen und die Widerstandsschichten hat der erfindungsgemäße Kraftsensor eine höchste Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität über mindestens 15 Jahre.

Dadurch, daß die Kräfte nicht direkt in den Keramik-DMS eingeleitet werden, sondern in einen elastischen Kraftaufnehmer wird eine hohe Bruchlast der erfindungsgemäßen Vorrich­ tung erzielt.

Für die Herstellung der Einzelelemente wie Keramik-DMS und Meßkörper kann auf etab­ lierte Prozesse industrieller Massenproduktion zurückgegriffen werden, so daß sich die erfin­ dungsgemäße Vorrichtung zuverlässig und kostengünstig fertigen läßt.

Aufgrund des im Vergleich zu Folien-DMS erheblich härteren keramischen Substratmateri­ als, lassen sich mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung erheblich höhere Kräfte auf die Wi­ derstandsschichten übertragen. Hierzu trägt auch die Lotverbindung bei, die in einer beson­ ders bevorzugten Ausführungsform als chemisch aktives Lot ausgebildet ist, das während des Lötvorgangs mit dem Keramiksubstrat chemisch reagiert und so einen besonders guten Kraftschluß zwischen Meßkörper und Keramik-DMS bewirkt.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand von Zeichnungen darge­ stellt und näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine dreidimensionale Darstellung und einen Längsschnitt eines erfindungsgemäßen Kraftsensors,

Fig. 2 eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung, bei der die Keramik-DMS zwei Schichtwiderstände in Teilbrückenschaltung enthält, und der Meßkörper als Biege­ balken ausgestaltet ist,

Fig. 3 eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung, bei der die Keramik-DMS vier Schichtwiderstände in Vollbrückenschaltung enthält, und der Meßkörper als Biege­ balken ausgebildet ist,

Fig. 4 eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung, bei der vier einzelne Schichtwider­ stände als Keramik-DMS auf einem Meßkörper angeordnet sind, und der Meßkörper als Biegebalken ausgebildet ist,

Fig. 5 exemplarisch eine an sich bekannte Vollbrückenschaltung als Verschaltungsvorschrift für die Schichtwiderstände der Fig. 4.

Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines separaten Kraftsensors. Auf ei­ nem Meßkörper 1, der als Kraftaufnehmer dient, ist ein Keramik-Substrat 2 mit einer Lotver­ bindung 5 befestigt. Auf dem Keramik-Substrat sind wiederum ein Schichtwiderstand 3 an­ gebracht, der über zwei metallische Kontaktflächen 4 mit einer Spannungsversorgung Vu und einer Meßeinrichtung ME verbunden ist. Zusätzlich ist auf dem Keramiksubstrat noch ein Temperaturfühler 6 angeordnet. Der Temperaturfühler ist ein Widerstandsthermometer, das ebenfalls als Schichtwiderstand ausgebildet ist und mit einer Temperaturmeßeinrichtung T verbunden ist. Mittels Bohrungen 7, die im Meßkörper 1 eingebracht sind, kann der Meßkör­ per im Kraftnebenschluß oder im Krafthauptschluß z. B. über eine Schraubverbindung oder eine Nietverbindung mit einem nicht dargestellten Meßobjekt verbunden werden. Alternativ zur getrennten Ausbildung eines Kraftsensors, kann die Keramik-DMS aus Keramiksubstrat 2 und Schichtwiderstand 3, auch direkt auf das Meßobjekt aufgelötet werden; falls die Ober­ fläche des Meßobjektes dies erlaubt. Im Sinne der Erfindung bildet dann das Meßobjekt selbst den in Fig. 1 dargestellten Meßkörper 1. In den weiter unten gezeigten Ausführungs­ beispielen ist der Meßkörper als Biegebalken ausgebildet.

Zur Herstellung des Meßkörpers eignen sich besonders Kaltverform- und Sinterprozesse. Beide Prozesse eignen sich besonders zur Produktion hoher Stückzahlen und bedürfen nahezu keiner spanenden Nachbearbeitung. Die Herstellung des Meßkörpers aus Pulvermetall, ermöglicht eine komplexe Formgebung des Meßkörpers. So können etwa lokale Schwächungen zur Steigerung der Empfindlichkeit des Kraftsensors oder Hilfen zur Aufnahme und Befesti­ gung sowie zur Ausrichtung der Keramik-DMS auf dem Meßkörper, in diesen eingearbeitet sein.

Aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten von Keramik und Stahl kann es am Übergang beider Werkstoffe zu thermisch bedingten Spannungen kommen, die sich ne­ gativ auf die Haltbarkeit der Lotverbindung zwischen Meßkörper und Keramik-DMS auswir­ ken können. Zur Verminderung der Spannungen zwischen Meßkörper und Keramik-DMS können für den Meßkörper spezielle Metallegierungen mit besonders kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizienten eingesetzt werden, oder man verwendet geeignete Verbundwerk­ stoffe oder Sinterverbundwerkstoffe. Bei der Herstellung des Meßkörpers in Sinterverfahren bieten sich Verbundwerkstoffe aus Metall und Keramik an. Auch das Keramiksubstrat kann durch teilweise Infiltration von Metallen in seinem thermischen Ausdehnungskoeffizienten an den Meßkörper angepaßt werden. Dies ist besonders vorteilhaft, wenn der Keramik-DMS direkt auf ein unabhängig vorgefertigtes Meßokjekt aufgelötet werden soll. Ziel beider Maß­ nahmen ist es, die Ausdehnungskoeffizienten von Meßkörper und Keramiksubstrat einander anzunähern.

Die erfindungsgemäße Herstellung von Kraftsensoren auf der Basis von Keramik-DMS, die auf einen Meßkörper aufgelötet wird, kann für die notwendige Herstellung der einzelnen Be­ standteile des Kraftsensors, wie z. B. Meßkörper und Keramik-DMS, auf etablierte Prozesse zurückgreifen. Die Herstellung von Keramik-DMS ist beispielsweise aus der Herstellung von keramischen Drucksensoren für Fluide bekannt. Zur Herstellung einer Keramik-DMS wird ein Keramiksubstrat z. B. in Dünnschichttechnik oder Dickschichttechnik mit einem Schicht­ widerstand und mit metallischen Kontaktflächen versehen. Der Schichtwiderstand wird zu­ sätzlich durch Aufbringen eines Glases passiviert. Dünnschichtwiderstände eignen sich auf­ grund ihrer geringeren Temperaturdrift prinzipiell besser als Dickschichtwiderstände, sind jedoch in der Herstellung geringfügig teurer. Auch die Integration eines temperaturempfindli­ chen Widerstandes als NTC-Temperaturfühler 6 (NTC = Negativ Temperature Coefficient) oder PTC-Temperaturfühler 6 (PTC = Positive Temperature Coefficient) auf das Keramiksub­ strat ist in dieser Technologie möglich.

Die Verbindung zwischen Keramik-Substrat 2 und Meßkörper 1 erfolgt erfindungsgemäß durch eine Lotverbindung 5. Besonders gut eignen sich chemisch aktive Lote, die während des Lötvorgangs mit dem Keramiksubstrat reagieren. Der Lötprozess erfordert typischerweise Temperaturen von 650°C. Die Dicke der Lotverbindung 5 bewegt sich im Rahmen von weni­ gen Mikrometern, da der überwiegende Teil des Lotes in die poröse Struktur der Keramik und, wenn der Meßkörper aus Sintermetall gefertigt ist, des Meßkörpers 1 eindringt. Weitere potentielle Verbindungstechniken zur Verbindung von Keramik-DMS und Meßkörper sind zum Beispiel Sintern, Laserschweißen oder die Verwendung eines Glaslotes.

Um die temperaturbedingte Offsetdrift, welche sich bei dem erfindungsgemäßen Kraftsensor nicht vollständig vermeiden läßt, zu kompensieren, wird die Temperatur des Kraftsensors mit einem auf dem Keramiksubstrat integrierten Temperaturfühler gemessen. Die Kompensation erfolgt digital in einer nicht dargestellten, nachgeordneten Meßwertverarbeitung, in der durch Subtraktion der temperaturabhängige Offset des Keramik-DMS von jeweiligen Wi­ derstandsmeßwert des Schichtwiderstandes 3 abgezogen wird.

Zur Vereinfachung der Montage und zur Verbesserung der Meßgenauigkeit können auf ei­ nem Keramiksubstrat mehrer Schichtwiderstände aufgebracht und verschaltet sein. Beispiele dieser Art sind in den Fig. 2 und 3 gezeigt. In Fig. 2 ist ein erfindungsgemäßer Kraftsensor aus einem Meßkörper 1 auf den eine Keramik-DMS aufgelötet ist, gezeigt. Der Meßkörper ist als einfacher Biegebalken gezeigt, der an einem Ende fest eingespannt ist und an dem der Einspannung gegenüberliegenden Ende mit einer Kraft F belastet wird. Die Keramik-DMS besteht aus einem Keramiksubstrat 2, auf dem zwei Schichtwiderstände 3 mit einem Mitten­ abgriff 8 in Teilbrückenschaltung verschaltet sind. Zusätzlich ist auf dem Keramiksubstrat 2 noch ein Temperaturfühler 6 angeordnet, dessen Meßsignal mit einem geeigneten Tempera­ turmessgerät T ausgelesen wird. Die beiden Schichtwiderstände 3 sind in Bezug auf die Ver­ sorgungsspannung Vu in Serie geschaltet und untereinander mit einem Mittenabgriff 8 verbunden. An dem Mittenabgriff 8 wird das Meßsignal des Kraftsensors mit einer Meßeinrich­ tung ME ausgelesen. Exemplarisch mißt die Meßeinrichtung ME das am Mittenabgriff anlie­ gende elektrische Potential gegen ein festes Bezugspotential, das im hier gezeigten Ausfüh­ rungsbeispiel die Masse sein soll. Wird auf den Biegebalken an seinem einen Ende eine Kraft ausgeübt, so biegt sich der Meßkörper 1 und ruft durch seine Biegung in den beiden Wider­ standsschichten 3 jeweils eine Widerstandsänderung hervor. Da die Biegung des Biegebal­ kens an seiner Einspannung am größten und am belasteten freien Ende am kleinsten ist, än­ dert sich der Grad der Biegung über die Länge des Meßkörpers 1. Ein in Längsrichtung des Meßkörpers angeordneter Keramik-DMS mit zwei voneinnader in Längsrichtung beabstan­ deten Schichtwiderständen, wird daher in den beiden Schichtwiderständen eine unterschiedli­ che Widerstandsänderung erfahren, was zu einer Veränderung des am Mittenabgriff anlie­ genden Potentials führt. Das am Mittenabgriff anliegende Meßsignal läßt sich also auf die eingeleitete Kraft kalibrieren. Da die Temperaturdrift für beide Schichtwiderstände annähernd gleich sein wird, ist das Meßsignal am Mittenabgriff nahezu frei von einem Temperaturoffset. Ein restlicher verbleibender Temperaturoffset aufgrund unterschiedlicher Fertigungstoleran­ zen der beiden Schichtwiderstände kann durch eine Temperaturkompensation herausgerech­ net werden. Hierzu verfügt der Keramik-DMS über einen integrierten Temperaturfühler 6, mit dessen Hilfe die jeweilige Einsatztemperatur des Kraftsensors bestimmt werden kann und daraus bei bekannter Temperaturdrift des Kraftsensors der verbleibende Temperaturoffset des Kraftsensors bestimmt werden kann.

Fig. 3 zeigt eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Kraftsensors. In Weiterbildung des Ausführungsbeispiels aus Fig. 2 ist der Kraftsensor nunmehr mit einem Keramik-DMS aus vier Schichtwiderständen 3 in Vollbrückenverschaltung gebildet. Das Meßsignal des Sensors wird an den beiden Mittenabgriffen 8 mit einer Meßeinrichtung ME abgenommen. Auch verfügt der Kraftsensor wieder über einen Temperaturfühler 6 zur Tem­ peraturkompensation eventuell verbleibender Temperatur-Driften. Vorteilhafterweise sind in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 insgesamt vier Schichtwiderstände auf einem Kerami­ substrat integriert und in Vollbrückenschaltung verschaltet. Dadurch muß auf den Meßkörper 1 lediglich ein Keramiksubstrat 2 aufgelötet werden. Außerdem wird das Meßsignal des Kraftsensors durch die Vollbrückenschaltung in an sich aus Vollbrückenschaltungen be­ kannter Weise weiterhin verbessert. Differenzanteile des Meßsignals aus den beiden Halbrü­ cken können am Mittenabgriff 8 der Vollbrücke verstärkt werden, während gleichsinnige Signalanteile der einzelnen Schichtwiderstände am Mittenabgriff der Brückenschaltung kei­ nen Beitrag zum Meßsignal liefern.

Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Kraftsensors, bei dem auf ei­ nen Meßkörper 1 vier einzelne Keramik-DMS mit jeweils einem einzelnen Schichtwiderstand aufgelötet sind. Diese Ausführungsform der Erfindung kann sinnvoll sein in Anwendung, bei denen es z. B. aus Platzgründen nicht möglich ist, ein größeres integriertes Keramik-DMS der Fig. 3 auf dem Meßkörper 1 anzubringen. Oder bei Anwendungen, bei denen die Keramik- DMS an verschiedenen Orten eines Meßobjektes direkt aufgelötet werden sollen und der Ab­ stand dieser Orte zu groß ist, als daß ein einziges großflächiges Keramik-Substrat sinnvoll wäre. Die Meßsignale aus den einzelnen Schichtwiderständen R1, R2, R3, R4 können dann entweder einzeln ausgelesen werden, oder die einzelnen Schichtwiderstände werden auch wieder in Vollbrückenschaltung verschaltet, falls dies sinnvoll ist. Indem gezeigten Ausfüh­ rungsbeispiel sind die beiden Schichtwiderstände R1 und R3 auf der Oberseite des Meßkör­ pers 1 angebracht und die beiden Schichtwiderstände R2 und R4 auf der Unterseite des Meß­ körpers. Bei der angedeuteten Belastung des Meßkörpers 1 durch eine Krafteinleitung auf der Oberseite, werden die beiden Schichtwiderstände R1 und R3 gedehnt, während die beiden Schichtwiderstände R2 und R4 gestaucht werden. In diesem Fall ist eine Vollbrückenschal­ tung der vier einzelnen Schichtwiderstände sinnvoll. Eine für das Ausführungsbeispiel sinn­ volle Verschaltungsvorschrift ist zur Verdeutlichung in Fig. 5 angegeben.

In Fig. 5 ist ein Ersatzschaltbild zur Verschaltung der Schichtwiderstände R1, R2, R3, R4 aus Fig. 4 gezeigt. Einander entsprechende Widerstände sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Zur Verdeutlichung ist bei den einzelnen Widerständen angegeben, in welcher Richtung sich der Widerstand bei einer Belastung des Meßkörpers in Fig. 4 verändern wird.

Bei einer Durchbiegung des Meßkörpers 1 in der angedeuteten Weise wird sich der Schicht­ widerstand der beiden Widerstände R1 und R3 erhöhen, während der Widerstand der Schichtwiderstände R2 und R4 sich verringern wird. Eine Vollbrückenschaltung in der ge­ zeigten Weise ist deshalb sinnvoll, da sich dann an dem Brückenabgriff die Widerstandsände­ rungen, hervorgerufen durch Stauchung einerseits und durch Dehnung andererseits, im Meß­ signal verstärken.

Claims (6)

1. Vorrichtung zur Messung eines mechanischen Belastungszustandes bestehend aus einem Meßkörper (1), mindestens einem Keramiksubstrat (2) und mindestens einer elektrischen Widerstandsschicht (3), wobei

• a) der Meßkörper (1) aus einer elastischen Metallegierung oder aus einem Sinterver­ bundwerkstoff besteht und sich unter mechanischer Belastung elastisch verformt,
• b) das Keramiksubstrat (2) an einer seiner Oberflächen mit mindestens einer elektrischen Widerstandsschicht (3) beschichtet ist, die über elektrische Kontaktflächen (4) mit einer Spannungsversorgung (Vu) und mit einer Meßeinrichtung (ME) verbindbar ist,
• c) das Keramiksubstrat (2) mit einer anderen seiner Oberflächen auf den Meßkörper (1) kraftschlüssig aufgelötet ist, so daß
• d) bei einer durch einen Belastungswechsel hervorgerufenen lokalen Längenänderung des Meßkörpers (1) diese Längenänderung über das Keramiksubstrat (2) auf die Wider­ standsschicht (3) übertragen wird und in der Widerstandsschicht (3) eine Widerstandsän­ derung als Maß für die Änderung des Belastungszustandes des Meßkörpers (1) erfolgt.

2. Vorrichtung nach Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Keramiksubstrat (2) zwei Schichtwiderstände (3) mit einem Mittenabgriff (8) integriert sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Keramiksubstrat (2) vier Schichtwiderstände (3) in Vollbrückenschaltung integriert und verschaltet sind.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Keramiksubstrat (2) ein Temperaturfühler (6) integriert ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lotverbindung (5) aus einem chemisch aktiven Lot gebildet ist, das während des Lötvorgangs mit dem Kera­ miksubstrat chemisch reagiert.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Meßkörper (1) mehrere getrennte Keramiksubstrate (2) mit jeweils einem Schichtwiderstand (3) aufge­ lötet sind.