DE10022054A1 - Optischer Distanzsensor - Google Patents

Optischer Distanzsensor

Info

Publication number
DE10022054A1
DE10022054A1 DE10022054A DE10022054A DE10022054A1 DE 10022054 A1 DE10022054 A1 DE 10022054A1 DE 10022054 A DE10022054 A DE 10022054A DE 10022054 A DE10022054 A DE 10022054A DE 10022054 A1 DE10022054 A1 DE 10022054A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
distance sensor
sensor according
oscillator
transmitter
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10022054A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10022054B4 (de
Inventor
Martin Argast
Manfred Schoenhardt
Roland Haag
Siegfried Fauth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leuze Electronic GmbH and Co KG
Original Assignee
Leuze Electronic GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leuze Electronic GmbH and Co KG filed Critical Leuze Electronic GmbH and Co KG
Priority to DE10022054A priority Critical patent/DE10022054B4/de
Priority to EP01110813A priority patent/EP1152259B1/de
Priority to DE50111609T priority patent/DE50111609D1/de
Publication of DE10022054A1 publication Critical patent/DE10022054A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10022054B4 publication Critical patent/DE10022054B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only
    • G01S17/32Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
    • G01S17/36Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated with phase comparison between the received signal and the contemporaneously transmitted signal
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • G01S7/486Receivers

Abstract

Die Erfindung betrifft einen optischen Distanzsensor (1) mit einem Sendelichtstrahlen (3) emittierenden Sender (4), wenigstens einem Oszillator (13) zur Modulation der Sendelichtstahlen (3), einem Empfangslichtstrahlen (5) empfangenden Empfänger (6) und Mitteln zur Bestimmung der laufzeitbedingten Verzögerung der von einem Objekt (12) reflektierten Empfangslichtstrahlen. Die Phasenverschiebung zwischen Sende- (3) und Empfangslichtstrahlen (5) ist auf einen vorgegebenen Wert geregelt.

Description

Die Erfindung betrifft einen optischen Distanzsensor gemäß der Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein derartiger Distanzsensor ist aus der DE 43 03 804 C2 bekannt. Dieser Dis­ tanzsensor umfasst einen Sendelicht emittierenden Laser, dessen Sendelicht­ strahl mit zwei vorgegebenen Modulationsfrequenzen amplitudenmoduliert ist, sowie einen Empfänger und einen Phasendetektor zur Ermittlung der Phasen­ differenz des Sendelichtstrahls und des von einem Objekt reflektierten Emp­ fangslichtstrahls. Der Phasendetektor umfasst im wesentlichen zwei phasen­ empfindliche Gleichrichter, welchen das Empfangssignal des Empfängers um 90° phasenversetzt zugeführt wird. Zur Bestimmung der Entfernung eines Ob­ jektes werden diese beiden Signale dividiert. Die Modulationen des Sendelicht­ strahls erfolgen mit den jeweiligen Modulationsfrequenzen zeitlich getrennt. Zur Ermittlung der Distanz eines Objekts zur Einrichtung wird das Objekt mit beiden Modulationsfrequenzen vermessen. Die Beträge der Modulationsfre­ quenzen sind teilerfremde Zahlen gleicher Größenordnung. Die Änderung der Modulationsfrequenz erfolgt innerhalb vorgegebener, an die Geschwindigkeit der Objekte relativ zur Einrichtung angepasster Intervalle.
Ein wesentlicher Nachteil dieser Vorrichtung besteht darin, dass die hohe An­ forderung an die Phasenmessgenauigkeit einen hohen Schaltungsaufwand be­ dingt.
Insbesondere ist nachteilig, dass die Division der Ausgangssignale der phasen­ empfindlichen Gleichrichter einen hohen Zeitaufwand erfordert. Zudem ergibt sich ein hoher Schaltungsaufwand dadurch, dass den phasenempfindlichen Gleichrichtern das Empfangssignal zeitgleich zugeführt werden muss. Schließ­ lich variiert entsprechend den Änderungen des Empfangssignals der Arbeits­ punkt des Phasendetektors, wodurch Schaltspitzen erzeugt werden, die zu er­ heblichen Messfehlern führen können.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs ge­ nannten Art zu schaffen, die mit geringem Schaltungsaufwand eine sichere Detektion von Objekten mit weitgehend beliebigen Oberflächen in einem gro­ ßen Entfernungsbereich gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des Anspruchs 1 vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfin­ dung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Bei dem erfindungsgemäßen Distanzsensor wird die Phasenverschiebung zwi­ schen Sende- und Empfangslichtstrahlen auf einen vorgegebenen Wert gere­ gelt.
Vorzugsweise ist zur Ermittlung der Phasendifferenz ein Synchrongleichrichter vorgesehen, welchem die Empfangssignale am Ausgang des Empfängers sowie die Ausgangssignale des den Sender modulierenden Oszillators oder eines Taktoszillators, dessen Frequenz im wesentlichen mit der Frequenz aus dem Sender modulierenden Oszillator übereinstimmt, zugeführt werden.
Die Phasenverschiebung zwischen Sende- und Empfangslichtstrahlen wird dann vorzugsweise auf einen Wert eingeregelt, bei welchem der Mittelwert des Ausgangssignals des Synchrongleichrichters zumindest näherungsweise den Wert null annimmt.
Die Distanzmessung erfolgt dann entweder durch eine Zeit- oder Frequenzmes­ sung.
In einer ersten Ausführungsform ist zwischen dem Sender und dem Oszillator ein Verzögerungsglied angeordnet, dessen Verzögerungszeit zur Regelung der Phasenverschiebung einstellbar ist. Die so eingestellte Verzögerungszeit wird als Maß für die Objektdistanz ausgewertet.
In einer zweiten Ausführungsform ist der Sender durch den Oszillator mit einer festen Frequenz f2 moduliert, während der Ausgang des Taktoszillators auf den Synchrongleichrichter geführt ist. Dabei ist die Frequenz f1 des Taktoszillators zur Regelung der Phasenverschiebung einstellbar.
Durch Vergleich der Frequenzen f1 und f2 wird ein Maß für die Objektdistanz abgeleitet.
In einer dritten Ausführungsform ist die Frequenz des Oszillators zur Regelung der Phasenverschiebung veränderbar, wobei die so eingestellte Frequenz des Oszillators ein Maß für die Objektdistanz liefert.
Bei allen Ausführungsformen wird der Synchrongleichrichter bei einem gleich­ bleibenden Arbeitspunkt betrieben. Dadurch wird eine hohe Reproduzierbarkeit und Genauigkeit der Entfernungsmessung erhalten.
Weiterhin ist vorteilhaft, dass zur Durchführung der Distanzbestimmung keine zeitaufwendige Division durchgeführt werden muss.
Die Entfernungsmessung erfolgt durch Zeit- oder Frequenzmessungen, die mit geringem Schaltungsaufwand bewerkstelligt werden können.
Die Erfindung wird im nachstehenden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1a: Schnitt der Seitenansicht des Aufbaus der optischen Kompo­ nenten des erfindungsgemäßen Distanzsensors.
Fig. 1b: Schnitt der Draufsicht der Darstellung gemäß Fig. 1a.
Fig. 1c: Schnitt der Rückansicht der Darstellung gemäß Fig. 1a.
Fig. 2: Blockschaltbild eines ersten Ausführungsbeispiels des erfin­ dungsgemäßen Distanzsensors.
Fig. 3: Impulsdiagramme der Signalamplituden von Komponenten des Distanzsensors gemäß Fig. 2.
Fig. 4: Blockschaltbild eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfin­ dungsgemäßen Distanzsensors.
Fig. 5: Impulsdiagramme der Signalamplituden von Komponenten des Distanzsensors gemäß Fig. 4.
Fig. 6: Blockschaltbild eines dritten Ausführungsbeispiels des erfin­ dungsgemäßen Distanzsensors.
Fig. 7: Impulsdiagramme der Signalamplituden von Komponenten des Distanzsensors gemäß Fig. 6.
Fig. 8a: Distanzabhängigkeit der Verzögerungszeiten des Empfangssig­ nals gegenüber dem Sendesignal für den Distanzsensor gemäß Fig. 6.
Fig. 8b, c: Distanzabhängigkeit der Frequenzen des Oszillators des Dis­ tanzsensors gemäß Fig. 6 für verschiedene Distanzbereiche.
Fig. 9: Blockschaltbild eines vierten Ausführungsbeispiels des erfin­ dungsgemäßen Distanzsensors.
Fig. 10: Impulsdiagramme der Signalamplituden von Komponenten des Distanzsensors gemäß Fig. 9.
In den Fig. 1a-c ist schematisch der Aufbau der optischen Komponenten des erfindungsgemäßen optischen Distanzsensors 1 dargestellt.
Der Distanzsensor 1 ist in einem Gehäuse 2 integriert und weist einen Sende­ lichtstrahlen 3 emittierenden Sender 4 sowie einen Empfangslichtstrahlen 5 empfangenden Empfänger 6 auf. Der Sender 4 ist von einer Leuchtdiode oder einer Laserdiode gebildet, der Empfänger 6 besteht aus einer Fotodiode.
Dem Sender 4 ist einer Sendeoptik 7 vorgeordnet, welche von einer Linse ge­ bildet ist. Die Sendeoptik 7 ist in einer Fassung 8 mit einer Blende 9 gelagert. Diese Fassung 8 sitzt in einer zentralen Ausnehmung einer Empfangsoptik 10, die aus zwei Teillinsen besteht, die in der Frontwand des Gehäuses 2 gelagert ist. Neben dem Sender 4 ist ein Referenzempfänger 11 angeordnet. Der Refe­ renzempfänger 11 besteht ebenfalls aus einer Fotodiode.
Der Hauptteil der Sendelichtstrahlen 3 ist durch die Sendeoptik 7 geführt und trifft auf ein Objekt 12, dessen Distanz bestimmt werden soll. Die vom Objekt 12 zurückreflektierten Empfangslichtstrahlen 5 werden über die Empfangsoptik 10 zum Empfänger 6 geführt.
Die Randstrahlen der Sendelichtstrahlen 3 treffen als Streulicht auf die Blende 9 und werden von dort zum Referenzempfänger 11 reflektiert.
Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild eines ersten Ausführungsbeispiels des Dis­ tanzsensors 1.
Dem Sender 4 ist ein Oszillator 13 vorgeordnet. Durch die im Oszillator 13 generierte, fest vorgegebene Frequenz f1 werden die vom Sender 4 emittieren­ den Sendelichtstrahlen 3 mit der entsprechenden Frequenz f1 moduliert. Dabei variiert die Spannung Umod am Eingang des Senders 4 periodisch mit der Fre­ quenz f1, wobei Umod vorzugsweise als Rechteckspannung ausgebildet ist. Dem Empfänger 6 ist ein Verstärker 14 nachgeordnet, in welchem die am Ausgang des Empfängers 6 anstehenden Empfangssignale verstärkt werden. Die ver­ stärkten Empfangssignale Ue werden ebenso wie ein Ausgang des Oszillators 13 einem Synchrongleichrichter 15 zugeführt. Die Ausgangssignale Ug des Synchrongleichrichters 15 werden über einen Tiefpass 16 in eine Auswerteein­ heit 17 eingelesen, die von einem Mikroprozessor gebildet ist. Über einen Aus­ gang der Auswerteeinheit 17 wird ein einstellbares, digitales Verzögerungs­ glied 18 angesteuert, welches zwischen dem Sender 4 und dem Oszillator 13 angeordnet ist.
Zur Ausgabe der Messergebnisse der Distanzmessung ist an die Auswerteein­ heit 17 ein Signalausgang 19 angeschlossen. Der Signalausgang 19 kann als Analogausgang ausgebildet sein, über welchen die in der Auswerteeinheit 17 ermittelten Distanzwerte ausgegeben werden. Alternativ kann der Signalaus­ gang 19 als binärer Schaltausgang ausgebildet sein, über welchen binäre Schaltsignale ausgegeben werden. Zur Generierung der Schaltsignale werden in der Auswerteeinheit 17 die ermittelten Distanzwerte wenigstens mit einem Schwellwert bewertet. Dadurch wird ein binäres Schaltsignal generiert, wel­ ches angibt, ob sich ein Objekt 12 in einem vorgegebenen Distanzbereich be­ findet oder nicht.
Die Arbeitsweise des Distanzsensors 1 wird im folgenden anhand von Fig. 3 erläutert. Die mit der Modulationsfrequenz f1 modulierten Sendelichtstrahlen 3 werden in Richtung des Objekts 12 emittiert und als Empfangslichtstrahlen 5 zum Empfänger 6 reflektiert. Durch die Lichtlaufzeit der Sendelichtstrahlen 3 zum Objekt 12 und wieder zurück zum Empfänger 6 weisen die Empfangs­ lichtstrahlen 5 eine Phasenverschiebung gegenüber Umod und damit der Fre­ quenz des Oszillators 13 auf, die im Synchrongleichrichter 15 ermittelt wird.
Erfindungsgemäß wird in einem Regelkreis diese Phasenverschiebung auf ei­ nen fest vorgegebenen Wert geregelt. Dieser Wert der Phasenverschiebung ist so gewählt, dass der Mittelwert von Ug am Ausgang des Synchrongleichrichters 15 zumindest näherungsweise den Wert null annimmt. Dieser Fall ist im unte­ ren Diagramm von Fig. 3 dargestellt.
Die Regelung der Phasenverschiebung erfolgt über die Auswerteeinheit 17. Hierzu wird in Abhängigkeit des aktuellen Werts von Ug das Verzögerungs­ glied 18 angesteuert, so dass in diesem eine bestimmte Verzögerungszeit td eingestellt wird, mit welchem die periodische Ansteuerung des Senders 4 mit Umod verzögert wird. Die Einregelung wird so lange fortgeführt, bis der Mittel­ wert von Ug etwa den Wert null annimmt. Eine exakte Einstellung auf den Wert null ist im allgemeinen nicht möglich, da die im Verzögerungsglied 18 generierte Verzögerungszeit nur in diskreten Schritten einstellbar ist. Daher wird sowohl für positive als auch negative Werte von Ug die Verzögerungszeit td in Schritten so lange geändert, bis ein Vorzeichenwechsel von Ug auftritt. Anschließend wird vorzugsweise zwischen den so erhaltenen Werten von Ug interpoliert.
Ug nimmt dann den Wert von etwa null an, wenn die laufzeitbedingte Verzöge­ rung dt der Empfangslichtstrahlen 5 gegenüber dem Takt der Frequenz f1 des Oszillators 13 sowie die Verzögerungszeit td zusammen gerade die Phasenver­ schiebung der Empfangssignale Ue und des Taktes des Oszillators 13 von 90° erzeugen. Dabei enthält dt die Verzögerungen durch die Lichtlaufzeit der Sen­ de- 3 und Empfangslichtstrahlen 5 sowie sämtliche bauteilbedingten Verzöge­ rungen. Durch diese Wahl von td liefert nicht nur dt sondern auch die Verzöge­ rungszeit td des Verzögerungsglieds 18, ein direktes Maß für die Entfernung des Objekts 12. Damit kann in der Auswerteeinheit 17 bei einem fest vorgege­ benen Arbeitspunkt des Synchrongleichrichters 15 durch eine einfache Be­ stimmung der Verzögerungszeit td die Distanz des Objektes 12 bestimmt wer­ den.
Fig. 4 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des Distanzsensors 1.
Der Sender 4 wird wiederum vom Oszillator 13 angesteuert, in welchem eine fest vorgegebene Frequenz f2 erzeugt wird. Durch die dementsprechend perio­ disch variierende Spannung Umod am Eingang des Senders 4 werden die Sen­ delichtstrahlen 3 mit der Frequenz f2 amplitudenmoduliert.
Die Empfangssignale am Ausgang des Empfängers 6 werden wiederum im Verstärker 14 verstärkt und dann dem Synchrongleichrichter 15 zugeführt.
Im Gegensatz zum Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 wird in diesem Fall nicht das Ausgangssignal des Oszillators 13, sondern das Ausgangssignal eines separaten Taktoszillators 20 auf den Synchrongleichrichter 15 geführt. Der Taktoszillator 20 ist als VCO (voltage controlled oscillator) ausgebildet und erzeugt eine einstellbare Frequenz f1, die gegenüber f2 nur geringfügig ab­ weicht.
Das Ausgangssignal Ug des Synchrongleichrichters 15 wird einem Integrator 21 zugeführt und dann auf einen Eingang des Taktoszillators 20 rückgekoppelt. Die Ausgangssignale des Oszillators 13 und des Taktoszillators 20 werden ei­ nem Phasendetektor 22 zugeführt, der von einem Exklusiv-Oder-Glied gebildet ist.
Die Ausgangssignale UPD des Phasendetektors 22 werden über einen Tiefpass in die Auswerteeinheit 17 eingelesen.
Wie aus Fig. 5 ersichtlich, wird durch die Rückkopplung des Ausgangssignals Ug des Synchrongleichrichters 15 auf den Taktoszillator 20 die Phasenver­ schiebung zwischen der Frequenz f1 des Taktoszillators 20 und des verstärkten Empfangssignals Ue durch Verändern von f1 so eingeregelt, dass der Mittelwert von Ug den Wert null annimmt.
Die dadurch erhaltene Phasenverschiebung zwischen f1 und f2 liefert dann ent­ sprechend dem Ausführungsbeispiel gemäß den Fig. 2 und 3 ein direktes Maß für die Objektdistanz. Die Phasenverschiebung zwischen f1 und f2 wird im Phasendetektor 22 als Spannung UPD ermittelt, über den Tiefpass 23 in die Auswerteeinheit 17 eingelesen und dort ausgewertet. Dabei bildet der Tiefpass 23 im wesentlichen den Mittelwert der Spannung UPD.
Fig. 6 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel des Distanzsensors 1.
Die Empfangssignale des Empfängers 6 oder des Referenzempfängers 11 sind wahlweise über einen Schalter S1. einer Verstärkerstufe bestehend aus zwei Verstärkern 14, 14' zuführbar. Der zweite Verstärker 14' der Verstärkerstufe ist über einen zweiten Schalter S2 wahlweise zu- oder abschaltbar. Die Schalter S1, S2 werden über die Auswerteeinheit 17 angesteuert. Die verstärkten Emp­ fangssignale Ue werden wiederum dem Synchrongleichrichter 15 zugeführt.
Der Sender 4 wird wieder über den Oszillator 13 angesteuert. In diesem Fall ist der Oszillator 13 als VCO ausgebildet und erzeugt eine einstellbare Frequenz f1. Die Spannung Umod variiert entsprechend der Frequenz f1 des Oszillators 13, so dass die Sendelichtstrahlen 3 dementsprechend amplitudenmoduliert wer­ den.
Die Ausgangssignale Ug des Synchrongleichrichters 15 werden über den In­ tegrator 21 auf den Oszillator 13 rückgekoppelt. Die Ausgangssignale des Os­ zillators 13 werden in die Auswerteeinheit 17 eingelesen.
Fig. 7 zeigt die Arbeitsweise dieses Distanzsensors 1, wobei die Diagramme Signalverläufe zeigen, bei welcher entsprechend der Stellung des Schalters S1 die Empfangssignale des Empfängers 6 auf die Verstärkerstufe geführt sind, in welcher der Schalter S2 dauerhaft in einer vorgegebenen Schalterstellung ver­ bleibt.
Durch die Rückkopplung des Ausgangssignals Ug des Synchrongleichrichters 15 über den Integrator 21 auf den Oszillator 13 wird der Wert von Ug wieder­ um so eingeregelt, dass dessen Mittelwert den Wert null annimmt.
Durch diesen Regelprozess wird die Frequenz f1 des Oszillators 13 und damit die Modulation der Sendelichtstrahlen 3 eingestellt.
In diesem Fall liefert die eingestellte Frequenz f1 ein Maß für die Objektdis­ tanz, welche in der Auswerteeinheit 17 ermittelt wird.
Zur Kompensation von Alterungen von Bauteilen, Temperaturdriften und der­ gleichen, wird der Schalter S1. periodisch umgeschaltet, so dass alternierend die Empfangssignale des Empfängers 6 und des Referenzempfängers 11 auf die Verstärkerstufe geführt sind.
Mit einer Referenzmessung, bei welcher die Randbereiche der Sendelicht­ strahlen 3 als Streulicht definiert über die Blende 9 zum Referenzempfänger 11 geführt sind, können die vorgenannten Störeinflüsse kompensiert werden.
Durch Umschalten des Schalters 52 kann der Distanzbereich, innerhalb dessen Objekte 12 erfassbar sind, variiert werden. Dies ist in den Fig. 8a-c veran­ schaulicht.
In Fig. 8a sind die Distanzabhängigkeiten der laufzeitbedingten Verzöge­ rungszeiten dt der Empfangslichtstrahlen 5 für den Fall, dass nur der Verstärker 14 aktiviert ist und für den Fall, dass beide Verstärker 14, 14' über S2 aktiviert sind, aufgetragen. Dabei bildet tv1 die Laufzeitverzögerung durch den ersten Verstärker 14 und tv2 die Laufzeitverzögerung des Verstärkers 14'. Daraus ist ersichtlich, dass durch die im Verstärker 14' zusätzlich bewirkte Verzögerung tv2 ein entsprechend größerer Wert für dt erhalten wird.
In den Fig. 8b und 8c ist jeweils die maximale Frequenz fmax und die mi­ nimale Frequenz fmin dargestellt, die im Oszillator 13 einstellbar ist. Durch die Größe des Intervalls fmax-fmin ist der Distanzbereich innerhalb dessen Objekte 12 erfassbar sind, begrenzt, da nur in diesem Intervall die Frequenz f1 des Os­ zillators 13 streng monoton mit steigender Objektdistanz abnimmt und somit ein Maß für die Objektdistanz liefert.
In Fig. 8b ist der Fall dargestellt, dass in der Verstärkerstufe nur der erste Verstärker 14 aktiviert ist. Zudem sind die Phasenlagen der Sendelichtstrahlen 3 in den Empfangssignalen Ue so gewählt, dass diese einen Phasenunterschied von 90° aufweisen, bei welchem der Mittelwert von Ug den Wert null annimmt. Für die Einstellung wird der in Fig. 8b dargestellte distanzabhängige Fre­ quenzgang von f1 erhalten, so dass entsprechend Objekte 12 in einem mit "Be­ reich 1 gekennzeichneten Distanzbereich erfassbar sind.
In Fig. 8c ist der Fall dargestellt, dass beide Verstärker 14, 14' der Verstär­ kerstufen aktiviert sind. Zudem ist gegenüber dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 8b das dem Synchrongleichrichter 15 zugeführte Ausgangssignal des Oszillators 13 oder das verstärkte Empfangssignal invertiert. Dementsprechend stellt sich der Mittelwert von Ug erst dann auf den Wert null ein, wenn die Pha­ sendifferenz der Eingangssignale des Synchrongleichrichters 15 270° beträgt. Dementsprechend wird der in Fig. 8c dargestellte distanzabhängige Verlauf von f1 erhalten, so dass nun Objekte 12 innerhalb des mit "Bereich 2 gekenn­ zeichneten Distanzbereich erfassbar sind, welcher gegenüber dem Bereich 1 zu größeren Distanzen verschoben ist.
Fig. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des Distanzsensors 1, welches eine Erweiterung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 7 darstellt.
Der Sender 4 wird wiederum vom Oszillator 13 angesteuert, welcher als VCO ausgebildet ist, so dass die Sendelichtstrahlen 3 mit einer Frequenz f1 amplitu­ denmoduliert werden.
Zudem wird mit der Frequenz f1 des Oszillators 13 ein Zähler 24 angesteuert, dessen Ausgang auf die Auswerteeinheit 17 geführt ist. Über einen Ausgang der Auswerteeinheit 17 ist der Zähler 24 über ein Resetsignal (Reset) rücksetz­ bar.
Die Empfangssignale des Empfängers 6 werden im Verstärker 14 verstärkt und dann zwei Synchrongleichrichtern 15, 15' zugeführt.
Die Ausgangssignale U1, U2 der beiden Synchrongleichrichter 15, 15' werden einem Subtrahierer 25 zugeführt, in welchem die Differenz
Ud = U1 - U2
der Ausgangssignale U1, U2 der Synchrongleichrichter 15, 15' gebildet wird. Das so gebildete Differenzsignal Ud wird über den Integrierer 21 der Auswerte­ einheit 17 zugeführt.
Dem Oszillator 13 ist ein Frequenzteiler 26 nachgeordnet, in welchem durch Frequenzteilung Taktsignale erzeugt werden, die bezüglich der Frequenz f1 des Oszillators 13 von 0°, 90°, 270° phasenverschoben sind.
Das Taktsignal mit 0° Phasenverschiebung wird auf den ersten Synchrongleich­ richter 15 geführt. Über einen Schalter S3, der von der Auswerteeinheit 17 ge­ steuert ist, wird wahlweise das Taktsignal mit 90° oder mit 270° Phasenver­ schiebung dem zweiten Synchrongleichrichter 15' zugeführt.
Über einen ebenfalls von der Auswerteeinheit 17 gesteuerten Schalter S4 wird der Oszillator 13 wahlweise mit einer festen Spannung Umin angesteuert oder das integrierte Differenzsignal Ud auf den Eingang des Oszillators 13 rückge­ koppelt.
Die Arbeitsweise des Distanzsensors 1 gemäß Fig. 9 ist in Fig. 10 veran­ schaulicht.
Die Frequenz f1 des Oszillators 13 wird durch die Rückkopplung von Ud auf den Oszillator 13 so eingeregelt, dass der Mittelwert des Differenzsignals den Wert null annimmt. Die so eingestellte Frequenz gibt ein Maß für die Objekt­ distanz. Die Frequenz f1 wird durch Zählen der Perioden des Oszillatorsignals im Zähler 24 bestimmt und in der Auswerteeinheit 17 in einen Distanzwert umgerechnet.
Da im Gegensatz zum Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7 die Differenz der Ausgangssignale zweier Synchrongleichrichter 15, 15' zur Einstellung von verwendet wird, können bauteilbedingte Störeinflüsse eliminiert werden.
Durch die Umschaltung des Schalters S3 kann analog zum Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7 der Distanzbereich, innerhalb dessen Objekte 12 erfassbar sind, variiert werden.
Durch vorzugsweise zyklisches Umschalten des Schalters S4 auf Umin wird der Oszillator 13 bei seiner Minimalfrequenz betrieben. Hierdurch kann eine Kon­ trolle des Mindestpegels von U1 erfolgen, wobei im fehlerfreien Betrieb fol­ gende Bedingungen erfüllt sind: U1 muss größer als Umin sein und für die Span­ nung Uint am Ausgang des Integrators 21 muss gelten Uint < 0.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 10 wird das Empfangssignal an den Eingängen der Synchrongleichrichter 15, 15' mit den Flanken des 0°- Taktsignals bzw. 90°-Taktsignals multipliziert. Dadurch nimmt der Mittelwert von Ud dann den Wert null an, wenn eine Phasenverschiebung zwischen Emp­ fangssignal und dem 0° Taktsignal von 45° vorliegt.
Für den Fall, dass der zweite Synchrongleichrichter 15' anders als in Fig. 10 dargestellt nicht mit dem 90°-Taktsignal, sondern dem 270°-Taktsignal angesteuert wird, nimmt der Mittelwert von Ud dann den Wert null an, wenn eine Phasenverschiebung t1 zwischen Empfangssignal und dem 0° Taktsignal von 135° vorliegt.
Bezugszeiszenliste
1
Distanzsensor
2
Gehäuse
3
Sendelichtstrahlen
4
Sender
5
Empfangslichtstrahlen
6
Empfänger
7
Sendeoptik
8
Fassung
9
Blende
10
Empfangsoptik
11
Referenzempfänger
12
Objekt
13
Oszillator
14
Verstärker
14
' Verstärker
15
Synchrongleichrichter
15
' Synchrongleichrichter
16
Tiefpass
17
Auswerteeinheit
18
Verzögerungsglied
19
Signalausgang
20
Taktoszillator
21
Integrator
22
Phasendetektor
23
Tiefpass
24
Zähler
25
Subtrahierer
26
Frequenzteiler
S1
Schalter
S2
Schalter
S3
Schalter
S4
Schalter

Claims (22)

1. Optischer Distanzsensor mit einem Sendelichtstrahlen emittierenden Sender, wenigstens einem Oszillator zur Modulation der Sendelicht­ strahlen, einem Empfangslichtstrahlen empfangenden Empfänger und Mitteln zur Bestimmung der Laufzeit der von einem Objekt reflektierten Empfangslichtstrahlen, dadurch gekennzeichnet, dass die Phasenver­ schiebung zwischen Sende- (3) und Empfangslichtstrahlen (5) auf einen vorgegebenen Wert geregelt ist.
2. Distanzsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Be­ stimmung der Phasenverschiebung zwischen Sende- (3) und Empfangs­ lichtstrahlen (5) wenigstens ein Synchrongleichrichter (15) vorgesehen ist, welchem die am Ausgang des Empfängers (6) anstehenden Emp­ fangssignale und die Ausgangssignale des den Sender (4) modulierenden Oszillators (13) oder eines Taktoszillators (20), dessen Frequenz im we­ sentlichen mit der Frequenz des den Sender (4) modulierenden Oszilla­ tors (13) übereinstimmt, zugeführt werden.
3. Distanzsensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Os­ zillator (13) und/oder der Taktoszillator (20) von einem spannungsgere­ gelten Oszillator (VCO) gebildet ist.
4. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeich­ net, dass die Phasenverschiebung zwischen Sende- (3) und Empfangs­ lichtstrahlen (5) auf einen Wert eingeregelt ist, bei welchem der Mittel­ wert des Ausgangssignals Ug des Synchrongleichrichters (15) den Wert null annimmt.
5. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 2-4, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestimmung der Objektdistanz in einer Auswerteeinheit (17) er­ folgt.
6. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Regelung der Phasenverschiebung zwischen Sende- (3) und Empfangslichtstrahlen (5) ein auf den Sender (4) wirkendes, einstellbares Verzögerungsglied (18) vorgesehen ist.
7. Distanzsensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Ver­ zögerungsglied (18) dem Oszillator (13) nachgeordnet und dem Sender (4) vorgeordnet ist.
8. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeich­ net, dass das Ausgangssignal Ug des Synchrongleichrichters (15) in die Auswerteeinheit (17) eingelesen wird, und dass in Abhängigkeit des ak­ tuellen Wertes von Ug das Verzögerungsglied (18) über die Auswerteein­ heit (17) eingestellt wird.
9. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 6-8, dadurch gekennzeichnet, dass die im Verzögerungsglied (18) eingestellte Verzögerungszeit td als Maß für die Objektdistanz ausgewertet wird.
10. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 2-5, dadurch gekennzeichnet, dass der Sender (4) durch den diesen vorgeordneten Oszillator (13) mit einer konstanten Frequenz f2 moduliert ist, und dass der Ausgang des Taktoszillators (20) auf den Synchrongleichrichter (15) geführt ist, wobei die Frequenz f1 des Taktoszillators (20) durch Rückkopplung des Aus­ gangssignals Ug des Synchrongleichrichters (15) einstellbar ist.
11. Distanzsensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Aus­ gangssignal Ug des Synchrongleichrichters (15) in einem Integrator (21) integriert wird.
12. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekenn­ zeichnet, dass in einem Phasendetektor (22) die Phasendifferenz zwi­ schen den Signalen des Oszillators (13) und des Taktoszillators (20) be­ stimmt und in der Auswerteeinheit (17) als Maß für die Objektdistanz ausgewertet wird.
13. Distanzsensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Pha­ sendetektor (22) von einem Exklusiv-Oder-Glied gebildet ist.
14. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass dem Phasendetektor (22) ein Tiefpass (23) nachgeordnet ist, dessen Ausgangssignal in die Auswerteeinheit (17) eingelesen wird.
15. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung der Phasenverschiebung zwischen Sende- (3) und Empfangslichtstrahlen (5) die Modulationsfrequenz der Sendelichtstrah­ len (3) einstellbar ist.
16. Distanzsensor nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ein­ stellung der Modulationsfrequenz auf den dem Sender (4) vorgeordneten Oszillator (13) das integrierte Ausgangssignal Ug des Synchrongleich­ richters (15) rückgekoppelt ist.
17. Distanzsensor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die im Oszillator (13) eingestellte Modulationsfrequenz in der Auswerteeinheit (17) als Maß für die Objektdistanz ausgewertet wird.
18. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 15-17, dadurch gekennzeich­ net, dass dem Empfänger (6) zwei Verstärker (14, 14') nachgeordnet sind, wobei der zweite Verstärker (14') über einen Schalter S2 zur Varia­ tion des Distanzbereichs zu- oder abschaltbar ist.
19. Distanzsensor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vari­ ation des Distanzbereichs das dem Synchrongleichrichter (15) zugeführte Ausgangssignal des Oszillators (13) oder das Empfangssignal des Emp­ fängers (6) invertierbar ist.
20. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 1-19, dadurch gekennzeich­ net, dass dieser einen Referenzempfänger (11) aufweist, auf welchen Streulicht des Senders (4) eingekoppelt ist.
21. Distanzsensor nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass dem Sender (4) eine Sendeoptik (7) vorgeordnet ist, die von einer Blende (9) umgeben ist, und dass das vom Sender (4) emittierte Streulicht von der Blende (9) zum Referenzempfänger (11) reflektiert wird.
22. Distanzsensor nach einem der Ansprüche 20 oder 21, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Empfangssignale des Empfängers (6) und des Refe­ renzempfängers (11) über einen Schalter S1 alternierend dem Synchron­ gleichrichter (15) zugeführt werden.
DE10022054A 2000-05-06 2000-05-06 Optischer Distanzsensor Expired - Fee Related DE10022054B4 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10022054A DE10022054B4 (de) 2000-05-06 2000-05-06 Optischer Distanzsensor
EP01110813A EP1152259B1 (de) 2000-05-06 2001-05-04 Optischer Distanzsensor
DE50111609T DE50111609D1 (de) 2000-05-06 2001-05-04 Optischer Distanzsensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10022054A DE10022054B4 (de) 2000-05-06 2000-05-06 Optischer Distanzsensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10022054A1 true DE10022054A1 (de) 2001-11-15
DE10022054B4 DE10022054B4 (de) 2006-05-24

Family

ID=7640975

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10022054A Expired - Fee Related DE10022054B4 (de) 2000-05-06 2000-05-06 Optischer Distanzsensor
DE50111609T Expired - Lifetime DE50111609D1 (de) 2000-05-06 2001-05-04 Optischer Distanzsensor

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50111609T Expired - Lifetime DE50111609D1 (de) 2000-05-06 2001-05-04 Optischer Distanzsensor

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP1152259B1 (de)
DE (2) DE10022054B4 (de)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007012501A1 (de) * 2005-07-29 2007-02-01 Gerd Reime Verfahren zur lichtlaufzeitmessung
WO2007012502A1 (de) 2005-07-29 2007-02-01 Gerd Reime Verfahren und vorrichtung zur entfernungsmessung mittels kapazitiven oder induktiven sensoren
DE102007004973A1 (de) * 2007-01-26 2008-07-31 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Umfeldsensor zur Detektion von Objekten und Betriebsverfahren hierfür
WO2008092611A1 (de) * 2007-01-29 2008-08-07 Gerd Reime Verfahren und vorrichtung zur bestimmung einer entfernung zu einem rückstrahlenden objekt
DE102006057495A1 (de) * 2006-12-06 2008-08-21 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe und Vorrichtung hierfür
DE102010041390A1 (de) * 2010-07-28 2012-02-02 Ifm Electronic Gmbh Lichtlaufzeitkamera mit Signalüberwachung
US9448059B2 (en) 2011-04-15 2016-09-20 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with external tactical probe and illuminated guidance
US9453913B2 (en) 2008-11-17 2016-09-27 Faro Technologies, Inc. Target apparatus for three-dimensional measurement system
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
EP1522879B2 (de) 2003-10-06 2017-01-18 ifm electronic gmbh Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Detektion eines Objekts in einem Überwachungsbereich
DE102015116386A1 (de) 2015-09-28 2017-03-30 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Optisches System zum Analysieren eines Mediums
US9638507B2 (en) 2012-01-27 2017-05-02 Faro Technologies, Inc. Measurement machine utilizing a barcode to identify an inspection plan for an object
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
DE102016214167A1 (de) * 2016-08-01 2018-02-01 Ifm Electronic Gmbh Lichtlaufzeitkamerasystem
US10302413B2 (en) 2011-04-15 2019-05-28 Faro Technologies, Inc. Six degree-of-freedom laser tracker that cooperates with a remote sensor
DE102011081560B4 (de) 2011-08-25 2024-03-28 pmdtechnologies ag Lichtlaufzeitkamerasystem mit Signalpfadüberwachung

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1468308B1 (de) * 2002-01-23 2005-07-06 Micro-Optronic-Messtechnik GMBH Verfahren und vorrichtung zur optischen entfernungsmessung
DE10228644A1 (de) * 2002-01-23 2003-08-07 Micro Optronic Messtechnik Gmb Verfahren und Vorrichtung zur optischen Entfernungsmessung
EP1847811B1 (de) 2006-04-21 2010-11-03 Fondazione Torino Wireless System und Verfahren zum Messen von Distanzen, Verschiebungen und mechanischen Einwirkungen
DE102019126084A1 (de) 2019-09-27 2021-04-01 Sick Ag Optoelektronischer Sensor und optisches Element

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH634419A5 (de) * 1978-10-11 1983-01-31 Kern & Co Ag Verfahren zur elektrooptischen distanzmessung, sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens.
DE4027990C1 (en) * 1990-09-04 1992-02-20 Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8012 Ottobrunn, De Laser ranging device - uses modulated semiconductor laser and phase sensitive rectifier
DE4303804C2 (de) * 1993-02-10 1996-06-27 Leuze Electronic Gmbh & Co Einrichtung zur Entfernungsmessung
DE4318623A1 (de) * 1993-06-04 1994-12-08 Ifm Electronic Gmbh Entfernungsmeßgerät nach dem Laufzeitprinzip
US6052190A (en) * 1997-09-09 2000-04-18 Utoptics, Inc. Highly accurate three-dimensional surface digitizing system and methods

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1522879B2 (de) 2003-10-06 2017-01-18 ifm electronic gmbh Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Detektion eines Objekts in einem Überwachungsbereich
DE102005045993B4 (de) * 2005-07-29 2008-11-13 Gerd Reime Verfahren zur Lichtlaufzeitmessung
WO2007012502A1 (de) 2005-07-29 2007-02-01 Gerd Reime Verfahren und vorrichtung zur entfernungsmessung mittels kapazitiven oder induktiven sensoren
DE102005045993A1 (de) * 2005-07-29 2007-02-01 Gerd Reime Verfahren zur Lichtlaufzeitmessung
WO2007012501A1 (de) * 2005-07-29 2007-02-01 Gerd Reime Verfahren zur lichtlaufzeitmessung
US7821618B2 (en) 2005-07-29 2010-10-26 Gerd Reime Method for light propagation time measurement
DE102006057495A1 (de) * 2006-12-06 2008-08-21 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe und Vorrichtung hierfür
DE102007004973A1 (de) * 2007-01-26 2008-07-31 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Umfeldsensor zur Detektion von Objekten und Betriebsverfahren hierfür
DE102007005187B4 (de) * 2007-01-29 2008-11-20 Gerd Reime Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Entfernung zu einem rückstrahlenden Objekt
DE102007005187A1 (de) 2007-01-29 2008-09-04 Gerd Reime Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Entfernung zu einem rückstrahlenden Objekt
WO2008092611A1 (de) * 2007-01-29 2008-08-07 Gerd Reime Verfahren und vorrichtung zur bestimmung einer entfernung zu einem rückstrahlenden objekt
US8405821B2 (en) 2007-01-29 2013-03-26 Gerd Reime Method and device for determining the distance to a retroreflective object
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
US9453913B2 (en) 2008-11-17 2016-09-27 Faro Technologies, Inc. Target apparatus for three-dimensional measurement system
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
US10480929B2 (en) 2010-04-21 2019-11-19 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
US10209059B2 (en) 2010-04-21 2019-02-19 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
US9462168B2 (en) 2010-07-28 2016-10-04 Ifm Electronic Gmbh Light propagation time camera system having signal path monitoring
DE102010041390B4 (de) * 2010-07-28 2017-12-07 pmdtechnologies ag Lichtlaufzeitkamera mit Signalpfadüberwachung
DE102010041390A1 (de) * 2010-07-28 2012-02-02 Ifm Electronic Gmbh Lichtlaufzeitkamera mit Signalüberwachung
US9448059B2 (en) 2011-04-15 2016-09-20 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with external tactical probe and illuminated guidance
US10119805B2 (en) 2011-04-15 2018-11-06 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US10578423B2 (en) 2011-04-15 2020-03-03 Faro Technologies, Inc. Diagnosing multipath interference and eliminating multipath interference in 3D scanners using projection patterns
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
US9494412B2 (en) 2011-04-15 2016-11-15 Faro Technologies, Inc. Diagnosing multipath interference and eliminating multipath interference in 3D scanners using automated repositioning
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US10302413B2 (en) 2011-04-15 2019-05-28 Faro Technologies, Inc. Six degree-of-freedom laser tracker that cooperates with a remote sensor
US10267619B2 (en) 2011-04-15 2019-04-23 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9453717B2 (en) 2011-04-15 2016-09-27 Faro Technologies, Inc. Diagnosing multipath interference and eliminating multipath interference in 3D scanners using projection patterns
DE102011081560B4 (de) 2011-08-25 2024-03-28 pmdtechnologies ag Lichtlaufzeitkamerasystem mit Signalpfadüberwachung
US9638507B2 (en) 2012-01-27 2017-05-02 Faro Technologies, Inc. Measurement machine utilizing a barcode to identify an inspection plan for an object
US9482514B2 (en) 2013-03-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Diagnosing multipath interference and eliminating multipath interference in 3D scanners by directed probing
DE102015116386A1 (de) 2015-09-28 2017-03-30 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Optisches System zum Analysieren eines Mediums
DE102016214167A1 (de) * 2016-08-01 2018-02-01 Ifm Electronic Gmbh Lichtlaufzeitkamerasystem
DE102016214167B4 (de) * 2016-08-01 2021-07-01 Ifm Electronic Gmbh Lichtlaufzeitkamerasystem

Also Published As

Publication number Publication date
EP1152259A3 (de) 2004-05-26
EP1152259A2 (de) 2001-11-07
DE50111609D1 (de) 2007-01-25
EP1152259B1 (de) 2006-12-13
DE10022054B4 (de) 2006-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10022054A1 (de) Optischer Distanzsensor
EP2189814B1 (de) Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Messung von Entfernungen nach dem Lichtlaufzeitprinzip
EP2189804B1 (de) Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Messung von Entfernungen nach dem Lichtlaufzeitprinzip
EP2189805B1 (de) Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Messung von Entfernungen nach dem Lichtlaufzeitprinzip
EP1051640B1 (de) Vorrichtung zur entfernungsmessung mittels eines halbleiterlasers im sichtbaren wellenlängenbereich nach dem laufzeitverfahren
EP0010064B1 (de) Verfahren zur elektrooptischen Distanzmessung sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP1311873B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur entfernungsmessung
EP2240797B1 (de) Optisch-elektronische entfernungsmessvorrichtung
EP2088453B1 (de) Optoelektronischer Sensor zur Entfernungsmessung
EP2315045A1 (de) Messung von Entfernungen oder Entfernungsänderungen
DE10210000A1 (de) Zeitmessvorrichtung, Abstandsmessvorrichtung, und darin verwendbare Taktsignalerzeugungsvorrichtung
EP1825293A1 (de) Elektronisches messverfahren
EP0076232A2 (de) Verfahren zur elektrooptischen Distanzmessung, sowie Distanzmessgerät zur Durchführung des Verfahrens
DE10047170C2 (de) PMD-System
DE2645545C3 (de) Schaltung zur Messung der zeitlichen Verzögerung zwischen zwei Signalen durch elektronische Korrelation
DE4304290C1 (de) Vorrichtung zur Messung der Laufzeit von elektromagnetischen Wellen
DE10018948B4 (de) Optoelektronische Vorrichtung
EP1540374B1 (de) Verfahren zum bestimmen einer entfernung und entfernungsmessgerät mit verbesserung der effektiven auflösung eines a/d-wandlers durch phasenmodulation des auswertesignals
DE10350489B4 (de) Optischer Sensor
DE10348104B3 (de) Optischer Sensor
DE10308148B4 (de) Optoelektronische Vorrichtung
DE19936954C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Entfernungsmessung
DE10104418C2 (de) Distanzsensor
DE3711634A1 (de) Lasersystem mit heterodyndetektion und unterdrueckung der stoerlichteffekte
DE102010053993A1 (de) Vorrichtung zur Entfernungsmessung nach dem Prinzip der Phasenmessung mit zusätzlicher Trägermodulation

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee