DE10007052A1 - Production of components of a drop generator comprises etching peripheral slits in a first wafer to form frame plates, etching nozzles having pre-chambers in a second wafer - Google Patents

Production of components of a drop generator comprises etching peripheral slits in a first wafer to form frame plates, etching nozzles having pre-chambers in a second wafer

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DE10007052A1
DE10007052A1 DE2000107052 DE10007052A DE10007052A1 DE 10007052 A1 DE10007052 A1 DE 10007052A1 DE 2000107052 DE2000107052 DE 2000107052 DE 10007052 A DE10007052 A DE 10007052A DE 10007052 A1 DE10007052 A1 DE 10007052A1
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bending
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drop generator
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Abstract

Production of components of a drop generator comprises: (i) etching peripheral slits in a first wafer to form frame plates (5) on three sides and an open liquid longitudinal channel on one side surface; (ii) etching nozzles (3) having pre-chambers (3c) in a second wafer; (iii) connecting the wafers by bonding to the side surfaces; and (iv) cutting out a number of bending converters from the bonded wafers as base plate.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Komponenten eines Tropfener zeugers für Mikrotropfen, insbesondere eines Düsenkopfes für Tintendrucker, mit in einem Gehäuse angeordnetem, mehrschichtigem, piezoelektrischem Biegewandler, der einen Biegekamm aufweist, dessen rückwärtiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne durch einen Verbindungsdamm und dessen vorderer, den Düsen zuge ordneter Bereich, den aktiven, aus Biegezungen bestehenden Abschnitt bildet. The invention relates to a method for manufacturing of components of a Tropfener zeugers for micro drops, in particular a nozzle head for inkjet printers, with disposed in a housing, a multi-layer, piezoelectric bending transducer having a flexural comb, whose rear region a passive portion of the comb teeth by a connecting dam and its front, the nozzles associated area constitutes the active, consisting of bending tongues section.

Ein derartiger Biegewandler ist aus der DE 691 20 806 T2 bekannt. Such bending transducer is known from DE 691 20 806 T2. Dabei ist der Trop fenerzeuger relativ kompliziert aufgebaut und stellt sehr hohe Anforderungen an die Herstellung und Montage der Einzelteile. Here, the Trop fenerzeuger is a relatively complicated and very high demands on the manufacture and assembly of the items. Teiletoleranzen und Montagestreuungen führen zu Unterschieden in der Tropfengröße, dem Ausstoßwinkel und in der Frequenz der einzelnen Paarungen, so dass die damit erzielbaren Ausdrucke (Punktmuster) ungleichmäßig sind, weil die Lage der Tropfenaufschläge undefiniert ist. Part tolerances and assembly variations lead to differences in the droplet size, the ejection angle and frequency of the individual pairs, so that the achievable printouts (dot patterns) are unevenly because the location of the drop spreads is undefined. Dadurch können Informationsverfälschungen auftreten. This distortion of information may occur. Die Montage stellt mit Positionsgenauig keiten im 1 µm-Bereich höchste Anforderungen. The assembly makes the highest demands with Positionsgenauig speeds in the 1 micron range. Voraussetzung für eine entsprechend hochgenaue Montage ist aber die hochgenaue Herstellung der Einzelteile. The prerequisite for a correspondingly high precision assembly is the high-precision production of the items.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, durch einfachere und deshalb hochwertige Herstellung einer reduzierten Anzahl von Einzelteilen die Montage genauer zu gestal ten. The invention is based on the object of the assembly ten more accurately decor with dark through simpler and therefore quality production of a reduced number of individual parts.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß aufgrund einer ersten Alternative dadurch gelöst, dass in einen ersten Wafer zur Erzeugung von Rahmenplatten jeweils an drei Seiten Umfangs-Schlitze für den aktiven Abschnitt der Kammzähne und an einer Sei tenfläche ein offener Flüssigkeitslängskanal geätzt werden, dass in einen zweiten Wafer, zur Erzeugung von Grundplatten, Düsen mit Düsenvorkammern geätzt werden und der erste Wafer und der zweite Wafer durch Bonden an der Seitenfläche miteinan der verbunden werden und dass eine Vielzahl von Biegewandlern als Basisplatte aus den gebondeten Wafern ausgeschnitten werden. The stated object is achieved due to a first alternative, characterized in that in a first wafer to generate frame plates respectively on three sides circumferential slots tenfläche for the active portion of the comb teeth and a is an open liquid longitudinal channel are etched, that in a second wafer , for the production of base plates, nozzles are etched with nozzles atria and the first wafer and the second wafer are bonded by bonding to the side surface miteinan of and that a plurality of bending transducers are cut out as the base plate of the bonded wafers. Dieses Herstellverfahren vereinfacht nicht nur die Einzelteile, sondern trägt zur Einhaltung von äußerst geringen Herstelltole ranzen bei. This production not only simplifies the items, but also contributes to comply with extremely low tolerances in Herstelltole. Die Herstelltoleranzen werden nur noch durch die Auflösungsgenauigkeit des Herstellverfahrens (z. B. der Fotolitografie) bestimmt. The manufacturing tolerances are only determined by the resolution accuracy of the manufacturing process (eg. As the photolithography). Durch Ätzen der Rahmen platte im Wafer wird allerhöchste Genauigkeit erzielt. By etching the frame plate in the wafer highest accuracy. So wird nicht nur die Fluidlen kung, dh der Flüssigkeitslängskanal, sondern gleichzeitig die Biegezunge geätzt. So not only is Fluidlen kung, ie the liquid longitudinal channel but etched bending tongue simultaneously. Es verbindet sich daher bei minimalen Herstelltoleranzen eine minimale Herstellzeit. therefore it connects with minimal manufacturing tolerances minimal preparation time.

Dabei kann der gesamte Wafer gebondet werden. The entire wafer can be bonded. Das Bonden stellt an den Kontaktflä chen eine solche Verbindung her, dass ein monolithischer Körper entsteht, so dass Rahmenwände, der passive Abschnitt und die Deckschicht im Bereich der Düsen ohne Klebstoff auskommen und keine Klebstoffüberhänge entstehen können. The bonding provides the Kontaktflä chen forth such a compound that a monolithic body is formed so that frame walls, the passive portion and the cover layer in the region of the nozzle do without adhesive and adhesive may arise no overhangs.

Die gestellte Aufgabe wird ferner erfindungsgemäß aufgrund einer zweiten Alternative dadurch gelöst, dass in einen ersten Wafer zur Erzeugung von Rahmenplatten jeweils an drei Seiten Umfangs-Schlitze für den aktiven Abschnitt der Kammzähne sowie ein unterer Flüssigkeitslängskanal in Richtung der Kammzähne und jeweils eine Düse geätzt werden, dass ein zweiter Wafer zur Erzeugung von ebenen Grundplatten vorge sehen wird und dass der erste und der zweite Wafer durch Bonden auf der Seite des Flüssigkeitslängskanals miteinander verbunden werden und dass eine Vielzahl von solchen aneinandergereihten Biegewandlern als Basisplatte aus den gebondeten Wafern ausgeschnitten werden. The above object is further achieved according to the invention due to a second alternative, characterized in that are etched in a first wafer to generate frame plates respectively on three sides circumferential slots for the active portion of the comb teeth and a lower liquid longitudinal channel in the direction of the comb teeth and in each case a nozzle, that a second wafer see provided for producing flat base plates, and that the first and second wafers are joined by bonding on the side of the liquid longitudinal channel and that a plurality of such juxtaposed bending transducers are cut out as the base plate of the bonded wafers. Dadurch entstehen ebenfalls die bereits zur ersten Alternativen geschilderten Vorteile. Thus, the mentioned already to the first alternative benefits also arise.

Hierbei ist es ferner alternativ vorteilhaft, dass die Düse entweder in der Rahmenplatte in Richtung des Flüssigkeitslängskanals oder in der Grundplatte in Richtung des Flüs sigkeitslängskanals geätzt werden. Here, it is furthermore alternatively preferred that the nozzle be etched either in the frame plate in the direction of liquid or longitudinal channel in the base plate in the direction of the flues sigkeitslängskanals. Im ersten Fall ist überhaupt nur ein Wafer zu ätzen, währenddem der andere wie handelsüblich hergestellt verwendet werden kann. In the first case to be etched at all, only a wafer, whereas the other can be used commercially produced as.

Eine dritte Alternative für die Herstellung der Düse besteht darin, dass die Düse in die ebene Grundplatte senkrecht zur Grundplatten-Ebene geätzt wird. A third alternative for the preparation of the nozzle is that the nozzle is etched in the flat base plate perpendicular to the base plate plane. Dadurch kann der Tropfenaustoß nach einer anderen Richtung je nach Einbau des Biegewandlers statt finden. This allows the Tropfenaustoß take place in a different direction depending on the installation of the bending transducer.

Ein anderer Schritt zur Herstellung ist dadurch gegeben, dass der erste Wafer und der zweite Wafer anodisch oder nach dem Direct-Silicon-Fusion-Verfahren gebondet wer den. Another step of preparation is given by the fact that the first wafer and the second wafer bonded anodically or after the direct-silicon fusion method to who. Dadurch wird ermöglicht, die Wafer mit ihren unveränderten Oberflächen ohne Zusatzstoffe zu verbinden. This makes it possible to bond the wafers with their unaltered surfaces without additives.

Nach weiteren Merkmalen kann um die Biegezunge ringsum ein Spalt von ca. 2-10 µm eingeätzt werden, wobei in die Rahmenplatte die Ausnehmungen für den aktiven Ab schnitt des Biegekamms unter Berücksichtigung des rückwärtigen passiven Abschnitts eingeätzt werden. According to other features, a gap of approximately 2-10 microns can be etched around the bending round tongue, wherein in the frame plate, the recesses for the active section from the bending comb, taking account of the rear portion are etched passive. Eine exakte Lagerlänge und der Bewegungsraum für die Biegezun ge wird durch ein gestuftes Abätzen vom Bereich des passiven Abschnitts her erreicht. An accurate bearing length and the movement space for the Biegezun ge is achieved by a stepped etching from the area of ​​the passive portion forth. Dabei bleibt zwischen den Einheiten noch eine Rahmenwand zum Nachbarkanal erhalten, so dass Probleme des Übersprechens zwischen zwei Biegezungen nicht auftreten können. While still a frame wall to the adjacent channel is maintained between the units, so that problems of cross-talk between two bending tongues can not occur. Diese Struktur lässt sich mit den zur Verfügung stehenden Silizium- Ätztechniken wie z. This structure can be combined with the available silicon etch techniques such. B. reaktives Ionen-Ätzen oder dem bekannten Advanced Silicon Etching, sicher und genau herstellen. As reactive ion etching or the well-known Advanced Silicon Etching, safe and produce accurate. Dadurch können Strukturtiefen von 250-300 µm und Aspektverhältnisse von 1 : 75 realisiert werden. Characterized structure depths of from 250-300 microns and aspect ratios can range from 1: realized 75 miles. Die Anzahl der Düsenkanäle ist in eine Fotomaske integriert. The number of nozzle channels is integrated into a photomask. Bei Änderung der Düsenanzahl braucht nur die Fotomaske geändert zu werden. When changing the number of nozzles only the photomask needs to be changed. Dabei eignet sich Silizium als ein Werkstoff ohne Eigenspannun gen. Der E-Modul liegt bei 130-188 Gpa. Here, silicon is gen as a material without Eigenspannun. The modulus is 130-188 GPa. Alle diese Eigenschaften werden hier ausge nutzt. All these properties are exploited out here.

Die Ausnehmungen können dahingehend gestaltet werden, dass in die Ausnehmungen für den aktiven Abschnitt des Biegekamms längliche Ausbuchtungen eingeätzt werden. The recesses may be designed to the effect that elongate recesses are etched into the recesses for the active portion of the bending ridge. Dadurch wird der Zulauf der Flüssigkeit (wie z. B. Tinte auf Öl- oder Wasserbasis) verstärkt. Characterized the supply of the liquid is increased (such. As ink on an oil or water basis).

Alle Schritte können an geeigneten Werkstoffen ausgeführt werden. All steps can be performed on suitable materials. Vorteilhafterweise werden der erste Wafer und der zweite Wafer entweder aus Silizium oder aus Glas gewählt werden. Advantageously, the first wafer and the second wafer will be selected either silicon or glass.

Nach weiteren Merkmalen wird vorgeschlagen, dass auf den jeweiligen aktiven Ab schnitt des Biegekamms ein Piezo-Aktor mit monomorpher oder bimorpher Struktur aufgeklebt wird. According to other characteristics, it is proposed that the respective active from the bending comb cut a piezo actuator with monomorphic or bimorph structure is glued. Dadurch entstehen weitere Vorteile: Die Silizium-Biegezunge (elek trisch nicht leitend) und der Piezowerkstoff können von unterschiedlicher Umfangsbe grenzung sein, wobei der Grad der Genauigkeit der Positionierung sinken kann. This gives rise to further advantages: The silicon bending tongue (no electric conductivity) and the piezoelectric material may be of different Umfangsbe limitation, wherein the degree of accuracy of positioning may decrease. Es genügt dabei eine Genauigkeit zwischen 1-10 µm. It is sufficient accuracy between 1-10 microns. Ein Rücksprung des Piezowerk stoffs stellt eine Massenreduzierung dar und bedeutet eine mögliche Frequenzsteige rung. A return of piezoelectric superb material represents a reduction in mass and represents a possible frequency walkways tion.

Der Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere als Düsenkopf für Tintendrucker (Vorrichtung), ist in einem Gehäuse angeordnet, weist einen mehrschichtigen, piezo elektrischen Biegewandler auf mit einem Biegekamm, dessen rückwärtiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne durch einen quer verlaufenden Verbindungs damm und dessen vorderer, den Düsen zugeordneter Bereich den aktiven, aus Biege zungen bestehenden Abschnitt bilden. The drop generator for micro drops, in particular as a nozzle head for ink printer (device) is disposed in a housing which has a multilayer piezoelectric bending transducer with a bending comb, whose rear region a passive portion of the comb teeth by a transverse connection embankment and its front, the nozzles associated area form the active, tongues from bending existing section.

Die Aufgabe, einen einfachen und genauer hergestellten Biegewandler zu schaffen, wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine Basisplatte, bestehend aus einer Grundplatte mit einer aufgebondeten Rahmenplatte und mit auf den Biegezungen jeweils aufgeklebtem Piezo-Aktor, vorgesehen ist, wobei in der Grundplatte oder in der Rahmenplatte im vorderen Bereich jeweils ein Düsenkanal geätzt ist, der mit einem langgestreckten Flüssigkeitslängskanal, der an der Unterseite der Rahmenplatte einge arbeitet ist, in Verbindung steht. The object is to provide a simple and more precisely manufactured bending transducer is inventively achieved in that a base plate consisting of a base plate with the bonded frame plate and on the bending tongues respectively glued piezoelectric actuator, is provided, wherein in the base plate or in the frame plate in the front region a respective nozzle channel is etched in communication with an elongated longitudinal fluid channel which is working on the underside of the frame plate is in connection. Dadurch befinden sich die Biegezungen unmittelbar eingeätzt zusammen mit dem Flüssigkeitslängskanal in der Rahmenplatte und die Düsen (ggfs. mit Düsenvorkammern) in der Grundplatte, die mit hoher Genauigkeit in den beiden Wafern hergestellt werden können und erst nach dem Zusammenfügen der Wafer ausgeschnitten werden, wodurch fertige Basisplatten für einen Biegewandler entstehen. This places bending tongues directly etched together with the liquid longitudinal channel in the frame plate and the nozzle (optionally. With nozzles atria) in the base plate, which can be manufactured with high accuracy in the two wafers and are cut out after the joining of the wafers, which finished base plates for a bending transducer arise. Die Genauigkeit der Lage der einzelnen Flächen, Wände und Böden ist daher extrem hoch. The accuracy of the position of the individual surfaces, walls and floors is therefore extremely high.

Eine Besonderheit besteht außerdem darin, dass bei in der Grundplatte im vorderen Bereich angeordneten Düsen an dem Düsenkanal eine Düsenvorkammer angeschlos sen ist. A special feature is also that when arranged in the base plate at the front of the nozzle to the nozzle channel, a nozzle antechamber is integrally Schlos sen. Dadurch wird der Zufluss der Flüssigkeit (z. B. der Tinte) verbessert. Characterized the inflow of the liquid (eg. As the ink) is improved.

Nach anderen Merkmalen ist mittels des auf der Biegezunge jeweils aufgebrachten Piezo-Aktors jeweils eine Vorspannkraft auf die Biegezunge übertragbar. According to other features each have a biasing force on the flexible tongue is transferable by means of the bending on the tongue, respectively applied the piezoelectric actuator. Bei Bestrom ung wird die Vorspannkraft erzeugt und beim Abschalten wird die Federkraft freigege ben, die den Tintentropfen ausstößt. In Bestrom ung the biasing force is generated, and when switching off the spring force is ben woks, which ejects the ink drop.

Eine andere Ausgestaltung besteht darin, dass der Piezo-Aktor auf der Biegezunge einen Absatz zur Rahmenplatte bildet und dass innerhalb der Absatzfläche durch das Ende der Biegezunge eine Verbindung zum Flüssigkeitslängskanal in der Rahmenplatte gebildet ist. Another embodiment is that the piezoelectric actuator formed on the flexible tongue to the frame plate and a shoulder that is formed within the shoulder surface by the end of the bending tongue connects to the liquid longitudinal channel in the frame plate. Dadurch wird eine Massenreduzierung bei gleichbleibenden Druckverhält nissen erzielt. This mass reduction is achieved nissen under constant pressure conditions.

Die Vorbereitung fertiger Basisplatten in den aufeinander gebondeten Wafern erfolgt derart, dass aus den Wafern die Biegewandler durch Trennschnitte entlang des Umris ses heraustrennbar sind. The preparation of finished base plates in the successive bonded wafers is performed such that from the wafers the flexural transducers are detachable by separating cuts along the Umris ses.

Ein anderes Merkmal dient der Vorbereitung elektrischer Anschlüsse und sieht vor, dass ein Feld ohne Metall im rückwärtigen Bereich gebildet ist. Another feature is the preparation of electrical terminals and provides that a field is formed without metal in the rear region.

Weiterhin wird vorgeschlagen, dass das Feld ohne Metall im rückwärtigen Bereich elektrisch getrennt ist von einer gemeinsamen elektrischen Anschlussplatte. It is further proposed that the field is electrically separated without metal in the rear region of a common electrical connection plate.

Andere Merkmale dienen der Dynamik von Bewegungen. Other features are the dynamics of movements. So ist vorgesehen, dass die Biegezunge zwischen einem rückwärtigen Bereich und einem vorderen Bereich eine vom parallelen Schlitzverlauf abweichende, schmalere Grundform aufweist. Thus, it is provided that the flexible tongue between a rear portion and a front portion having a slot deviating from the parallel course, narrower basic shape.

Dieser Gedanke ist dahingehend weitergebildet, dass die Biegezunge im vorderen Bereich einen gleichbleibend breiten Längsabschnitt, daran anschließend einen seitlich zurücktretenden Längsabschnitt und auf diesen folgend einen kegelförmig anwachsen den Längsabschnitt bildet. This concept is further developed in that the flexible tongue at the front of a conically grow forms a consistently wide longitudinal section, thereafter a laterally receding longitudinal section and on these following the longitudinal portion.

Eine andere Verbesserung besteht noch darin, dass an dem Ende der Biegezunge ein Stößel angeformt ist, der etwa auf der Achse der Düse aufgrund der Piezo-Kraft be wegbar ist. Another improvement consists in the fact that at the end of the flexible tongue, a tappet is formed, which be approximately on the axis of the nozzle due to the piezo force is wegbar.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, die nachstehend näher erläutert werden. In the drawing embodiments of the invention are illustrated, which will be explained in more detail below.

Es zeigen: Show it:

Fig. 1 einen senkrechten Querschnitt durch den Biegewandler (ohne Gehäu se), als erste Alternative, Fig. 1 is a vertical cross section of the bending transducer (s without Gehäu), as a first alternative,

Fig. 2 die zu Fig. 1 gehörende Draufsicht, Fig. 2 that belongs to Fig. 1, top view,

Fig. 3 einen senkrechten Querschnitt durch die separat gezeichnet Rahmen platte, Fig. 3 drawn frame plate is a vertical cross-section through the separately,

Fig. 4 die zu Fig. 3 gehörende Draufsicht, Fig. 4 belonging to FIG. 3 top view,

Fig. 5 eine separate, perspektivische Ansicht des Piezo-Aktors, Fig. 5 is a separate perspective view of the piezoelectric actuator,

Fig. 6 einen senkrechten Querschnitt durch den Biegewandler als zweite Alternative, Fig. 6 is a vertical cross section of the bending transducer as the second alternative,

Fig. 7 eine Einzelheit A aus Fig. 6 in vergrößertem Maßstab, Fig. 7 shows a detail A of Fig. 6 in an enlarged scale,

Fig. 8 einen Ausschnitt aus den Fig. 6 und 7 in perspektivischer Darstellung und Fig. 8 shows a detail of FIGS. 6 and 7 in a perspective view and

Fig. 9 einen senkrechten Querschnitt durch den Biegewandler als dritte alternative Ausführungsform. Fig. 9 is a vertical cross section of the bending transducer as the third alternative embodiment.

Der Biegewandler 1 ist in einem nicht näher dargestellten Gehäuse angeordnet und weist einen Biegekamm 2 auf. The bending transducer 1 is arranged in a not shown housing and has a flexural comb 2. Der rückwärtige Bereich 2 a bildet einen passiven Ab schnitt der Kammzähne 2 c unter einem quer verlaufenden Verbindungsdamm, der als Verbindungsbalken ausgeführt sein kann und die Kammzähne 2 c verbindet. The rear portion forms a passive Ab 2 a section of the comb teeth 2 c under a transverse connecting dam, which can be designed as connecting beams and connecting the comb teeth 2 c. Der vorde re Bereich 2 b, der aktive Bereich, ist den Düsen 3 zugeordnet und besteht aus aktiven Biegezungen 4 , die piezo-elektrisch angetrieben werden. The re prede region 2 b, the active area is assigned to the nozzle 3 and consists of active bending tongues 4 which are piezo-electrically driven.

Gemäß Fig. 1 ist eine Basisplatte 8 aus einer Grundplatte 6 und einer Rahmenplatte 5 zusammengesetzt. Referring to FIG. 1, a base plate 8 of a base plate 6 and a frame plate 5 is assembled. Die Biegezungen 4 tragen einen durch Kleben verbundenen Piezo- Aktor 7 , der jeweils für jede Biegezunge 4 und den ihr zugeordneten Stromanschluss vorgesehen ist. The bending tongues 4 carry a connected by bonding piezoelectric actuator 7, which is provided for each flexible tongue 4 and its associated power supply. In der Grundplatte 6 sind im vorderen Bereich 2 b obere Düsenkanäle 3 a und untere Düsenkanäle 3 b eingeätzt, so dass die Rahmenplatte 5 auch an der Unterseite 5 d angeordnet sein kann, dh es können mehrere solcher Biegewandler 1 aufeinander oder aneinander angesetzt werden. In the base plate 6 upper nozzle channels 3 a and lower nozzle channels 3 b are etched in the front region 2 b, so that the frame plate 5 may be arranged on the underside 5 d, ie a number of such bending transducer 1 attached to each other or to each other. Die Düsen 3 sind dann wie gezeichnet als oberer Düsenkanal 3 a und unterer Düsenkanal 3 b eingeätzt. The nozzles 3 are then etched as drawn as the upper nozzle channel 3 a and lower nozzle channel 3 b. Der jeweilige Düsen kanal 3 a, 3 b steht mit dem langgestreckten Flüssigkeitslängskanal 9 durch eine Düsen vorkammer 3 c in Verbindung. The respective nozzle channel 3 a, 3 b is engaged with the elongated liquid longitudinal channel 9 by a nozzle prechamber 3 c in connection. Der Flüssigkeitslängskanal 9 bewirkt gleichzeitig die Bildung der Biegezunge 4 und ist daher von seiner Länge auf den vorderen Bereich 2 b der Biegezunge 4 abgestimmt, wobei der hintere Bereich 2 a als Biegelager wirkt und in den Verbindungsdamm des Biegekamms 2 übergeht. The liquid longitudinal channel 9 simultaneously causes the formation of the flexible tongue 4, and is therefore of its length on the front portion 2b of the flexible tongue 4 adapted, wherein the rear portion 2 a acts as a flexure bearing and passes into the connection dam of the bending ridge. 2

Der Piezo-Aktor 7 auf der Biegezunge 4 bildet einen Absatz 11 zur Rahmenplatte 5 mit einer Absatzfläche 11 a, so dass eine Verbindung 12 zum Flüssigkeitskanal 9 entsteht, wobei eine ausreichende Fluidzufuhr unter die Biegezunge 4 zusammen mit d Aus buchtungen 5 c geschaffen wird. The piezo actuator 7 on the flexible tongue 4 forms a shoulder 11 to the frame plate 5 with a step surface 11 a, so that a connection 12 is formed to the liquid channel 9 wherein a sufficient supply of fluid concavities under the flexible tongue 4, together with D from 5 c is provided.

In Fig. 2 ist sichtbar, dass in den Wafern die Biegewandler 1 durch Schlitze 5 a oder Ausätzungen 5 b gebildet werden, so dass in den Wafern Biegezungen 4 durch Schlitze 5 a und/oder Ausätzungen 5 b gebildet werden können. In Fig. 2 is seen that the bending transducer 1 through slots 5 a or 5 b etchings are formed in the wafers, so that b can be formed in the wafers bending tongues 4 through slots 5 a and / or etchings 5. Der Umriss 22 stellt die Au ßenform des Biegewandlers 1 dar, entlang dessen die Trennung aus dem Wafer durch Sägen erfolgt. The outline 22 represents the Au ßenform of the bending transducer 1 is, takes place along which the separation from the wafer by sawing. Das Heraustrennen von fertigen Biegewandlern 1 aus einem durch Bonden verbunden Verbund-Wafer erfolgt durch Sägen entlang der Außenform, dh im Umriss 22 ; The separating out of finished bending transducers 1 of a connected by bonding bonded wafer is carried out by sawing along the outer form, ie in outline 22; dabei werden die Düsen 3 geöffnet. Here, the nozzles 3 are opened.

Im rückwärtigen Bereich 2 a ist ein Feld ohne Metallschicht gebildet. In the rear portion 2 a is formed without a field metal layer. Dieses Feld ist elektrisch getrennt von einer gemeinsamen Anschlussplatte 13 (vgl. Fig. 5). This field is electrically disconnected from a common connecting plate 13 (see. Fig. 5). Die Schlitze 5 a oder Ausätzungen 5 b sind in einem mittleren Längenbereich mit Ausbuchtungen 5 c versehen, wobei der Schlitzverlauf in die Ausbuchtungen mit einbezogen ist. The slots 5 a or 5 b etchings c are provided in a central longitudinal region with bulges 5, wherein the slot profile is incorporated in the bulges with.

Die Fig. 3 und 4 zeigen die Rahmenplatte 5 separat als Einzelteil, so dass dort die Herstellungsschritte leicht erkennbar sind. FIGS. 3 and 4 show the frame plate 5 as a separate item, so that there the manufacturing steps are easily recognizable. Das Ende 4 d der Biegezunge 4 legt gleich zeitig zusammen mit der Verbindung 12 die Biegelänge der Biegezunge 4 fest. The end 4 of the flexible tongue d 4 sets simultaneously together with the compound 12, the bending length of the bending blade 4 fixed. Die Ausätzung 5 b und die Lagerbildung im rückwärtigen Bereich 2 a sind dort erkennbar. The Ausätzung 5 b and the storage form in the rear region 2a there are seen.

Die Verbindung 12 besteht herstelltechnisch aus einem Schlitz 5 a ( Fig. 4) am Ende 4 d der Biegezunge 4 im vorderen Bereich 2 b. The connection 12 consists manufacturing technique from a slit 5a (Fig. 4) at the end 4d of the flexible tongue 4 in the front region 2 b. Im hinteren Bereich 2 a ist die Biegezunge 4 durch die Kammzähne 2 c praktisch festgehalten. In the rear section 2 a, the flexural tongue is virtually 4 retained by the comb teeth 2 c. Der äußere Umriss der Biegezunge 4 (und auch des Piezo-Aktors 7 ) kann variieren. The outer contour of the bending blade 4 (and also of the piezoelectric actuator 7) may vary. Die Biegezunge 4 ist zwischen dem rückwärtigen Bereich 2 a und dem vorderen Bereich 2 b mit einer vom parallelen Schlitz verlauf 10 abweichenden schmalen Grundform 21 geprägt. The bending blade 4 is disposed between the rear portion 2 a and coined the front portion 2 b with a plane parallel from the slot 10 different narrow basic shape 21st Die Biegezunge 4 bildet im vorderen Bereich 2 b erst einen gleichbleibend breiten Längsabschnitt 4 a, daran an schließend einen seitlich zurücktretenden Längsabschnitt 4 b und auf diesen folgend einen kegelförmig anwachsenden Längsabschnitt 4 c. The bending blade 4 is in the front region 2 b until a consistently wide longitudinal section 4 a, because of closing a laterally receding longitudinal portion 4b and to this following a conically increasing longitudinal portion 4 c.

Am Ende 4 d der Biegezunge 4 kann noch ein (nicht gezeigter) Stößel angeformt sein, der etwa auf der Achse der Düse 3 aufgrund der erzeugten Piezo-Kraft hin und her bewegbar ist. At the end 4 of the flexible tongue 4 d may still (not shown) Plunger be formed, which is movable about on the axis of the nozzle 3 due to the generated piezo force back and forth.

Gemäß Fig. 5 sind neben der elektrischen Anschlussplatte 13 die Piezo-Aktoren 7 auf den Biegezungen 4 sichtbar. Referring to FIG. 5, the piezo-actuators 7 are visible alongside the electrical terminal plate 13 on the tongues 4 bending. Ein vorgeformtes Piezo-Aktor-Element mit einzelnen Aktor-Fingern 7 a, die jeweils auf einer Biegezunge 4 durch Kleben befestigt sind, ist in Figur dargestellt. A preformed piezoelectric actuator element with individual actuator fingers 7 a, which are respectively fixed on a bending blade 4 by gluing, is shown in FIG.

In den Fig. 6 und 7 ist eine zweite Alternative des Biegewandlers 1 gezeigt: Im Gegen satz zur ersten Alternativen ( Fig. 1 bis 4) ist die Grundplatte 6 völlig glatt und eben und ohne die Düsenkanäle 3 a oder 3 b ausgeätzt. In Figs. 6 and 7, a second alternative of the bending transducer 1 is shown: In contrast to the first alternative (Fig. 1 to 4), the base plate 6 is completely smooth and flat and without the nozzle channels 3 a or 3 b etched. Dafür befindet sich die Düse in der Fluchtung mit dem Flüssigkeitslängskanal 9 in der Rahmenplatte 5 . For this, the nozzle is in alignment with the longitudinal fluid channel 9 in the frame plate. 5 Unverändert liegt die Rahmenplatte 5 im rückwärtigen Bereich 2 a als Lagerstelle auf der Grundplatte 6 und ist verfahrensgemäß hergestellt. Unchanged the frame plate 5 is located in the rear portion 2 a as a bearing on the base plate 6, and is prepared according to the method. Der Piezo-Aktor 7 ist ebenfalls wie beschrieben auf jeder Biegezunge 4 angeordnet und befestigt. The piezo actuator 7 is also arranged as described to each bending tongue 4 and fixed. Die Biegezunge 4 schwingt im Flüs sigkeitszulauf 15 entsprechend der Piezokraft am Tropfenaustritt 14 hin und her, so dass kleinste Flüssigkeitstropfen 18 bei jedem Bestromungsimpuls an der Stirnseite 17 ausgestoßen werden. The bending blade 4 vibrates in the flues sigkeitszulauf 15 corresponding to the piezoelectric force at the drop exit 14 back and forth, so that the smallest liquid droplets are ejected at the end face 17 at each Bestromungsimpuls 18th

Gemäß Fig. 8 sind seitlich neben den Biegezungen 4 jeweils Flüssigkeitsspalte 16 ausgebildet, die zwischen der Biegezunge 4 und der entsprechend geätzten Rahmen platte 5 entstehen. Referring to FIG. 8 each liquid column 16 are formed laterally adjacent to the bending tongues 4 that are formed between the bending 4 and the tongue plate 5 corresponding to the etched frame.

Eine dritte Alternative ist in Fig. 9 sichtbar: In der Rahmenplatte 5 , die mit der Grund platte 6 jeweils dicht verbunden ist, ist wiederum der Flüssigkeitslängskanal 9 gebildet. A third alternative is visible in Fig. 9: is in each case tightly connected to the frame plate 5, the plate with the base 6, in turn, the liquid longitudinal channel 9 is formed. In der Grundplatte 6 , an deren Seitenfläche 19 , senkrecht zur Grundplatten-Ebene 20 ist die Düse 3 angeordnet, so dass bei der Bewegungskurve 4 e der Tropfen 18 in die durch die Achse der Düse 3 gegebene Pfeilrichtung ausgestoßen wird. In the base plate 6, on the side surface 19, perpendicular to the base plate plane 20, the nozzle 3 is arranged so that 4 e of the drop is ejected in the given through the axis of the nozzle 3 direction of the arrow 18 during the movement curve.

Das Herstellverfahren wird wie folgt ausgeführt: The production process is carried out as follows:

In einen ersten Wafer zur Erzeugung von Rahmenplatten 5 werden jeweils an drei Seiten Schlitze 5 a mit Ausbuchtungen 5 c bis in den rückwärtigen Bereich 2 a durch Ätzen geführt ( Fig. 2). In a first wafer for the generation of frame plates 5 slots 5 a with bulges 5 are applied to three sides out to c in the rear portion 2 a by etching (Fig. 2). Sodann wird in die Rahmenplatte 5 der Flüssigkeitslängskanal 9 sowie die Verbindung 12 geätzt. Then is etched in the frame plate 5 of the liquid longitudinal channel 9, and the connection 12th Bei Anwendung der zweiten Alternative wird gleichzei tig auch die Düse 3 fluchtend mit dem Flüssigkeitslängskanal 9 eingeätzt. In application of the second alternative, the nozzle 3 is etched gleichzei aligned with the longitudinal fluid channel 9 tig.

Nachdem auch in die Grundplatte 6 der obere Düsenkanal 3 a und der untere Düsenka nal 3 b eingeätzt wurden und auch die Düsenvorkammer 3 c, können der erste Wafer und der zweite Wafer mit den gegeneinanderzulegenden Flächen gebondet werden. After b were etched in the base plate 6, the upper nozzle channel 3 a and the lower Düsenka nal 3 and the nozzle prechamber 3 c, the first wafer and the second wafer may be bonded to the mutually set-aside land. Danach erfolgt das Aufkleben der durch den Biegekamm 2 miteinander verbundenen Piezo-Aktoren 7 auf die bereits vorhandenen Biegezungen 4 . Thereafter, the sticking of the interconnected by the bending comb 2 piezo-actuators 7 to the existing bending tongues 4 is carried out. Das Aufkleben kann jedoch auch zu einem anderen Zeitpunkt geschehen, so daß sich die Reihenfolge der Schritte ändert. However, the bonding can also be done at a different time, so that the order of steps is changed.

Nach dem Bonden erfolgt das Ausschneiden der auf dem Kombinationswafer vorhan denen Vielzahl von Biegewandlern 1 . After bonding, the cutting of the wafer on the combination which EXISTING plurality of bending transducers. 1 takes place

Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1

Biegewandler bending transducer

2 2

Biegekamm bending comb

2 2

a rückwärtiger Bereich a rear portion

2 2

b vorderer Bereich b front portion

2 2

c Kammzähne c comb teeth

3 3

Düsen jet

3 3

a obere Düsenkanäle a top nozzle channels

3 3

b untere Düsenkanäle b lower nozzle channels

3 3

c Düsenvorkammer c nozzle antechamber

4 4

Biegezunge flexible tongue

4 4

a Längsabschnitt a longitudinal section

4 4

b zurücktretender Längsabschnitt b receding longitudinal portion

4 4

c kegelförmiger Längsabschnitt c conical longitudinal portion

4 4

d Ende d end

4 4

e Bewegungskurve e motion curve

5 5

Rahmenplatte frame plate

5 5

a Schlitz a slot

5 5

b Ausätzung b Ausätzung

5 5

c Ausbuchtung c bulge

5 5

d Unterseite d underside

6 6

Grundplatte baseplate

7 7

Piezo-Aktor Piezo actuator

7 7

a Aktor-Finger a finger actuator

8 8th

Basisplatte baseplate

9 9

Flüssigkeitslängskanal Liquid longitudinal channel

10 10

Schlitzverlauf slot profile

11 11

Absatz paragraph

11 11

a Absatzfläche a shoulder surface

12 12

Verbindung connection

13 13

elektrische Anschlussplatte electrical connection plate

13 13

a Einzelelektrode a single electrode

13 13

b Feld ohne Metallschicht b box without metal layer

14 14

Tropfenaustritt drops exit

15 15

Flüssigkeitszulauf liquid inlet

16 16

Flüssigkeitsspalt fluid gap

17 17

Stirnseite front

18 18

(Tinten-)Tropfen (Ink) drops

19 19

Seitenfläche side surface

20 20

Grundplatten-Ebene Baseplates level

21 21

Grundform Basic form

22 22

Umriss outline

Claims (19)

  1. 1. Verfahren zum Herstellen von Komponenten eines Tropfenerzeugers für Mikrotropfen, insbesondere eines Düsenkopfes für Tintendrucker, mit in einem Gehäuse angeordnetem, mehrschichtigem, piezoelektri schem Biegewandler, der einen Biegekamm aufweist, dessen rückwär tiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne durch einen Verbindungsdamm und dessen vorderer, den Düsen zugeordneter Be reich, den aktiven aus Biegezungen bestehenden Abschnitt bildet, dadurch gekennzeichnet , dass in einen ersten Wafer zur Erzeugung von Rahmenplatten jeweils an drei Seiten Umfangs-Schlitze für den aktiven Abschnitt der Kamm zähne und an einer Seitenfläche ein offener Flüssigkeitslängskanal ge ätzt werden, dass in einen zweiten Wafer zur Erzeugung von Grund platten Düsen mit Düsenvorkammern geätzt werden und der erste Wafer und der zweite Wafer durch Bonden an der Seitenfläche mitein ander verbunden werden und dass eine Vielzahl von Biegewandlern als Basisplatte aus den gebondeten Wa 1. A process for the manufacture of components of a drop generator for micro drops, in particular a nozzle head for inkjet printers, with disposed in a housing, a multi-layer, piezoelectric schem bending transducer having a flexural comb whose rückwär tigers a passive portion of the comb teeth by a connecting dam and its front , the nozzles associated Be, forms rich active group consisting of bending tongues section, characterized in that teeth in a first wafer to generate frame plates respectively on three sides circumferential slots for the active portion of the comb and ge on a side surface, an open liquid longitudinal channel etches be, that are etched in a second wafer to produce base plates nozzles with nozzles atria and the first wafer and the second wafer by means of bonding on the side surface mitein be other, and in that a plurality of bending transducers as a base plate of the bonded Wa fern ausgeschnitten werden. are cut away.
  2. 2. Verfahren zum Herstellen von Komponenten eines Tropfenerzeugers für Mikrotropfen, insbesondere eines Düsenkopfes für Tintendrucker, mit in einem Gehäuse angeordnetem, mehrschichtigem, piezoelektri schem Biegewandler, der einen Biegekamm aufweist, dessen rückwär tiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne durch einen Verbindungsdamm und dessen vorderer, den Düsen zugeordneter Be reich, den aktiven, aus Biegezungen bestehenden Abschnitt bildet, dadurch gekennzeichnet, 2. A method for producing components of a drop generator for micro drops, in particular a nozzle head for inkjet printers, with disposed in a housing, a multi-layer, piezoelectric schem bending transducer having a flexural comb whose rückwär tigers a passive portion of the comb teeth by a connecting dam and its front , the nozzles associated Be rich, forms the active, consisting of tongues bending portion, characterized in that
    dass in einen ersten Wafer zur Erzeugung von Rahmenplatten jeweils an drei Seiten Umfangs-Schlitze für den aktiven Abschnitt der Kamm zähne sowie jeweils ein unterer Flüssigkeitslängskanal in Richtung der Kammzähne und jeweils eine Düse geätzt werden, dass ein zweiter Wafer zur Erzeugung von ebenen Grundplatten vorgesehen wird und that teeth in a first wafer to generate frame plates respectively on three sides circumferential slots for the active portion of the comb and in each case a lower liquid longitudinal channel in the direction of the comb teeth and in each case a nozzle will be etched to a second wafer is provided for the generation of planar base plates and
    dass der erste und der zweite Wafer durch Bonden auf der Seite des Flüssigkeitslängskanals miteinander verbunden werden und dass eine Vielzahl von solchen aneinandergereihten Biegewandlern als Basis platte aus den gebondeten Wafern ausgeschnitten werden. that the first and second wafers are joined by bonding on the side of the liquid longitudinal channel and that a plurality of such juxtaposed bending transducers as a base plate cut from the bonded wafers.
  3. 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse entweder in der Rahmenplatte in Richtung des Flüssig keitslängskanals oder in der Grundplatte in Richtung des Flüssigkeits längskanals geätzt werden. 3. A method according to any one of claims 1 or 2, characterized in that the nozzle be etched either in the frame plate in the direction of the liquid keitslängskanals or in the base plate in the direction of liquid along the channel.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse in die ebene Grundplatte senkrecht zur Grundplatten- Ebene geätzt wird. 4. The method according to claim 2, characterized in that the nozzle is etched in the flat base plate perpendicular to the baseplate plane.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Wafer und der zweite Wafer anodisch oder nach dem Di rect-Silicon-Fusion-Verfahren gebondet werden. 5. The method of claim 1 or 2, characterized in that the first wafer and the second wafer are bonded anodically or after the di rect-silicon fusion method.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass in die Rahmenplatte die Ausnehmungen für den aktiven Abschnitt des Biegekamms unter Berücksichtigung des rückwärtigen passiven Abschnitts durch Schlitzen oder Ätzen eingebracht werden. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the recesses for the active portion of the bending comb, taking account of the rear passive portion by etching slots or be incorporated in the frame plate.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass in die Ausnehmungen für den aktiven Abschnitt des Biegekamms längliche Ausbuchtungen eingeätzt werden. 7. The method according to claim 6, characterized in that elongate recesses are etched into the recesses for the active portion of the bending ridge.
  8. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Wafer und der zweite Wafer entweder aus Silizium oder aus Glas gewählt werden. 8. A method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the first wafer and the second wafer are selected either silicon or glass.
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass auf den jeweiligen aktiven Abschnitt des Biegekamms ein Piezo- Aktor mit monomorpher oder bimorpher Struktur aufgeklebt wird. 9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that a piezo actuator is glued with monomorphic or bimorph structure on the respective active portion of the bending ridge.
  10. 10. Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere Düsenkopf für Tinten drucker, der einen in einem Gehäuse angeordneten, mehrschichtigen, piezoelektrischen Biegewandler aufweist, der einen Biegekamm auf weist, dessen rückwärtiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne durch einen querverlaufenden Verbindungsdamm und dessen vorderer, den Düsen zugeordneter Bereich den aktiven, aus Biegezungen bestehenden Abschnitt bildet, dadurch gekennzeichnet, dass eine Basisplatte ( 8 ), bestehend aus einer Grundplatte ( 6 ) mit einer aufgebondeten Rahmenplatte ( 5 ) und mit auf den Biegezungen ( 4 ) je weils aufgeklebtem Piezo-Aktor ( 7 ) vorgesehen ist, wobei in der Grund platte ( 6 ) oder in der Rahmenplatte ( 5 ) im vorderen Bereich ( 2 b) jeweils ein Düsenkanal ( 3 a; 3 b) geätzt ist, der mit einem langgestreckten Flüs sigkeitslängskanal ( 9 ), der an der Unterseite ( 5 d) der Rahmenplatte ( 5 ) eingearbeitet ist, in Verbindung steht. 10. Drop generator for micro drops, in particular nozzle head for ink printer having arranged in a housing, multi-layer, piezoelectric bending transducer comprises a bending crest, whose rear region a passive portion of the comb teeth by a transverse connecting dam and its front, the nozzles associated region forms the active, consisting of bending tongues portion, characterized in that a base plate (8), consisting of a base plate (6) with a the bonded frame plate (5) and on the bending tongues (4) each weils glued piezo actuator (7 ) is provided, (in the base plate (6) or in the frame plate (5) in the front region 2 b) each having a nozzle channel (3 a, 3 b) is etched, which (with an elongated flues sigkeitslängskanal 9) on the underside (5 d) is incorporated, the frame plate (5), is in communication.
  11. 11. Tropfenerzeuger nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass bei in der Grundplatte ( 6 ) im vorderen Bereich ( 2 b) angeordneten Düsen ( 3 ) an den Düsenkanal ( 3 a; 3 b) eine Düsenvorkammer ( 3 c) an geschlossen ist. 11. Drop generator according to claim 10, characterized in that, when in the base plate (6) in the front section (2 b) arranged nozzles (3) to the nozzle channel (3 a, 3 b), a nozzle antechamber (3 c) is to be closed.
  12. 12. Tropfenerzeuger nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des auf der Biegezunge ( 4 ) jeweils aufgebrachten Piezo- Aktors ( 7 ) jeweils eine Vorspannkraft auf die Biegezunge ( 4 ) übertrag bar ist. 12. Drop generator according to claim 10 or 11, characterized in that by means of the bending on the tongue (4) are each applied piezo actuator (7) each have a biasing force on the flexible tongue (4) is the carry bar.
  13. 13. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezo-Aktor ( 7 ) auf der Biegezunge ( 4 ) einen Absatz ( 11 ) zur Rahmenplatte ( 5 ) bildet und dass innerhalb der Absatzfläche ( 11 a) durch das Ende ( 4 d) der Biegezunge ( 4 ) eine Verbindung ( 12 ) zum Flüssigkeitslängskanal ( 9 ) in der Rahmenplatte ( 5 ) gebildet ist. 13. Drop generator according to one of claims 10 to 12, characterized in that the piezo actuator (7) on the flexible tongue (4) forms a shoulder (11) to the frame plate (5) and that within the step face (11 a) through the end (4 d) of the bending tongue (4) is formed a compound (12) to the liquid longitudinal channel (9) in the frame plate (5).
  14. 14. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass aus den Wafern die Biegewandler ( 1 ) durch Trennschnitte entlang des Umrisses ( 22 ) heraustrennbar sind. 14. Drop generator according to one of claims 10 to 13, characterized in that the wafers from the bending transducer (1) are detachable by separating cuts along the contour (22).
  15. 15. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Feld ohne Metall im rückwärtigen Bereich ( 2 a) gebildet ist. 15. Drop generator according to one of claims 10 to 14, characterized in that a field without metal in the rear region (2 a) is formed.
  16. 16. Tropfenerzeuger nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Feld ohne Metall im rückwärtigen Bereich ( 2 a) elektrisch ge trennt ist von einer gemeinsamen elektrischen Anschlussplatte ( 13 ). 16. Drop generator according to claim 15, characterized in that the field without metal in the rear region (2 a) electrically separates ge is a common electrical terminal plate (13).
  17. 17. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Biegezunge ( 4 ) zwischen einem rückwärtigen Bereich ( 2 a) und einem vorderen Bereich ( 2 b) eine vom parallelen Schlitzverlauf ( 10 ) abweichende, schmalere Grundform ( 21 ) aufweist. 17. Drop generator according to one of claims 10 to 16, characterized in that the flexural tongue (4) between a rear region (2 a) and a front region (2 b) of the parallel slot profile (10), a different, more narrow basic shape (21) having.
  18. 18. Tropfenerzeuger nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Biegezunge ( 4 ) im vorderen Bereich ( 2 b) einen gleichbleibend breiten Längsabschnitt ( 4 a), daran anschließend einen seitlich zurück tretenden Längsabschnitt ( 4 b) und auf diesen folgend einen kegelförmig anwachsenden Längsabschnitt ( 4 c) bildet. 18, drop generator according to claim 17, characterized in that the flexural tongue (4) in the front section (2 b) a consistently wide longitudinal portion (4 a), subsequently a laterally receding longitudinal portion (4 b) sequentially and in this a cone shaped increasing longitudinal section (4 c) forms.
  19. 19. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Ende ( 4 d) der Biegezunge ( 4 ) ein Stößel angeformt ist, der etwa auf der Achse der Düse ( 3 ) aufgrund der erzeugten Piezo- Kraft hin und her bewegbar ist. 19. Drop generator according to one of claims 10 to 18, characterized in that at the end (4 d) of the flexible tongue (4), a tappet is formed, the out approximately on the axis of the nozzle (3) due to the generated piezoelectric force and is reciprocally movable.
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