DD158152A5

DD158152A5 - Verfahren und anrichtung zum herausschneiden von metallischen scheiben

Info

Publication number: DD158152A5
Application number: DD22981381A
Authority: DD
Inventors: Hiroshi Tanaka
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co
Priority date: 1981-05-07
Filing date: 1981-05-07
Publication date: 1982-12-29

Abstract

Das Verfahren und die Vorrichtung zum Aetzen einer Metallfolie sind insbesondere fuer die Herstellung von Lochmasken fuer Farbbildroehren gedacht. Die Erfindung hat das Ziel, ein massgerechtes Einaetzen von Oeffnungen in Metallfolie mit geringstem Bearbeitungs-, Material- sowie Energieaufwand zu ermoeglichen. Ihre Aufgabe besteht in der Entwicklung eines Verfahrens und einer Vorrichtung, mittels welchen kontinuierlich Oeffnungen hoher Praezision in einer Metallfolie herstellbar sind. Erfindungsgemaess wird dies durch ein Verfahren erreicht, nach welchem zunaechst die Metallfolie auf beiden Seiten mit einer Korrosionsschutzschablone versehen wird, deren Oeffnungen auf der Oberseite etwas kleiner sind als auf der Unterseite, sodann die Oberseite dieser Folie zum Entfernen der Oxidschicht und Freilegen der blanken Metalloberflaeche leicht und die Unterseite durch Aufspruehen einer Aetzloesung auf eine vorbestimmte Tiefe geaetzt wird, dem sich ein Simultanaufspruehen einer Aetzloesung auf beiden Metallfolienseiten zur Bildung von Oeffnungen anschliesst. Es folgt ein Simultanaufspruehen von Wasser.-Fig.6-

Description

Berlin, 27« 8. 1981

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C 23 F/229 813/8

Verfahren und. Vorrichtung zum Ätzen von Metallfolien

Anwendungsgebiet der Erfindung .

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Ätzen einer Folie aus metallischem Material, insbesondere zuff·. maßlich exakten Ätzen von Löchern oder Off-ι-

nungen in eine kontinuierliche Metallfolie, sowie auf eine Vorrichtung zur praktischen Durchführung dieses Verfahrens· i

Dieses Verfahren und die Vorrichtung sind für die Herstellung von Lochmasken für Farbbildröhren, im besonderen für Farbbildröhren zu Überwachungs- oder Wiedergabezwecken, bei welchen eine hohe Feinbildqualität verlangt wird, gedacht. Die Loch- oder Öffnungsmaske, die an einer solchen Farbbildröhre angebracht ist, muß über winzig kleine Öffnungen oder Löcher mit einer hohen Präzision verfügen, durch die die Elektronenbündel hindurchtreten.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Es sind bereits Verfahren und Vorrichtungen zur Herstellung von Öffnungen in Metallfolien bekannt, bei denen die Folie von beiden Oberflächen aus geätzt wird·

Die Herstellung von Öffnungen hoher Präzision mit geringer Abweichung durch Ätzen in einer außerordentlich dünnen Metallfolie ist leicht möglich, denn die Zeit für das Ätzen ist kurz· Da jedoch eine solche dünne, mit Löchern versehene Metallfolie keine ausreichende mechanische Festigkeit aufweist, wenn sie in die Form der Lochmaske gestanzt oder die umgeformte Lochmaske im Innern der Farbbildröhre angebracht wird, kann sie leicht deformiert werden. Der Einsatz dickerer Metallfolien ist deshalb vorteilhafter.

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Für die Herstellung der Öffnungen in einer dicken Metallfolie wird mehr Zeit zum Ätzen benötigt, was' zu einem Überätzen und unregelmäßigen Ätzen führt. Das Überätzen ruft jedoch seitliches Ätzen und große Öffnungen hervor. Die Bildung von'Öffnungen hoher Präzision mit geringen Abweichungen ist äußerst schwierig. Die Probleme, die durch das seitliche Ätzen hervorgerufen werden, konnten nicht gelöst werden. Zum Eliminieren dieser Probleme ist ein Verfahren entwickelt worden, bei welchem zunächst eine Oberfläche der Metallfolie auf eine vorbestimmte Tiefe geätzt, gewaschen und getrocknet wird« Die geätzte Oberfläche ist sodann mit einem Lack oder Harz zu überziehen. Anschließend erfolgt ein Ätzen der anderen Folienoberfläche zur Bildung der Öffnungen* Ein weiteres Verfahren zum Eliminieren dieser Probleme ist in dem US-Patent Nr. 4 013 498 beschrieben* Gemäß diesem Patent wird eine Oberfläche der Metallfolie mit einer ätzmittelbeständigen Schablone und nachfolgend beide Oberflächen mit einem entfernbaren Schutz versehen» Die nicht mit einer Schablone versehene Oberfläche wird dann nach Entfernen der Schutzschicht geätzt. Nachfolgend schließt sich ein Ätzen beider Seiten der Folien~Oberflache zur Herstellung der Öffnungen an. Bei beiden Verfahren wird zwar das seitliche Ätzen weitestgehend ausgeschlossen, wofür aber durch das Versehen der einen Folienoberfläche mit einem Überzugsmaterial und dem Entfernen dieser Schutzschicht vor dem Ätzen zusätzliche Bearbeitungsstufen erforderlich sind. Dies hat eine Erhöhung der Herstellungskosten des zu fertigenden Erzeugnisses zur Folge,

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung besteht .darin, das maßgerechte .Einätzen von Öffnungen in Metallfolie durch weitestgehendes Ausschließen des unkontrollierten seitlichen Ätzens, des

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Überätzens oder auch des unregelmäßigen Ätzens bei gleichzeitiger Senkung des Bearbeitungs-, Material- und Energieaufwandes kostengünstiger zu gestalten,

Darlegung des Y/esens der Erfindung

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ätzen einer Metallfolie zu entwickeln, mittels welchen Öffnungen hoher Präzision kontinuierlich mit geringen Abweichungen im Durchmesser der Öffnungen hergestellt werden können.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein die nachfolgenden Bearbeitungsstufen umfassendes Verfahren gelöst:

1« Bearbeitungsstufe

Bildung einer Korrosionsschutzschablone mit Öffnungen auf einer Oberfläche der Metallfolie und einer Korrosionsschutzschablone mit gegenüber den erstgenannten kleineren Öffnungen auf der anderen Oberfläche dieser Folie;

2, Bearbeitungsstufe

Leichtes Ätzen der mit der kleinere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehenen Oberfläche der Metallfolie zum Entfernen der Oxidschicht, auf deren Oberfläche und damit zum Freilegen der blanken Metalloberfläche;

3· Bearbeitungsstufe

Aufsprühen einer Ätzlösung auf die mit größere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehene Oberfläche zum Zwecke des Ätzens dieser auf eine vorbestimmte Tiefe;

4· Bearbeitungsstufe

Simultanaufsprühen einer Ätzlösung auf beide Oberflächen der Metallfolie zum Zwecke der Bildung der Öffnungen in

dieser; . ' ·

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5. Bearbeitungsstufe

Simultanaufsprühen von Wasser auf beide Oberflächen der Metallfolie.

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung ist -es auch möglich, die zweite und dritte Bearbeitungsstufe gleichzeitig durchzuführen. Das Aufsprühen der Ätzlösung auf die mit der größere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehene Oberfläche der Metallfolie in der dritten Bearbeitungsstufe erfolgt vorteilhafterweise von unten. Die nach diesem Verfahren hergestellte Metallfolie Wird erfindungsgemäß, als Material für eine Lochmaske einer Farbbildröhre verwendet.

Die Vorrichtung zur Durchführung des Metallfolienätzverfahrens ist gekennzeichnet durch eine erste Kammer mit einer Vielzahl von Überzugs- und Saugwalzen zum abwechselnden Aufbringen und Absaugen einer Ätzlösung auf die obere Oberfläche sov/ie einer Vielzahl von Düsen zum Aufsprühen einer Ätzlösung auf die untere Oberfläche der Metallfolie; durch eine zweite Kammer mit Einrichtungen, beispielsweise Düsen, zum gleichzeitigen Aufsprühen einer weiteren Ätzlösung auf die obere und untere Oberfläche der Metallfolie und eine dritte Kammer mit Düsen zum Besprühen der oberen und unteren Metallfolienoberfläche mit Wasser sowie durch eine Einrichtung zum kontinuierlichen Transport dieser Metallfolie durch die einzelnen Kammern,

Die Vorrichtung ist weiterhin dadurch gekennzeichnet, daß die Überzugswalzen für das Aufbringen der Ätzlösung auf die obere Oberfläche der Metallfolie eine Zuleitung für die Ätzlösung mit einer Reihe von Löchern und eine die Zuleitung umgebende Schwammwalze aufweisen. Die Saugwalzen zum Absaugen der Überzugsätzlösung sind mit einem Saugrohr für die Ätzlösung versehen, welches eine Reihe von Löchern

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und eine das Saugrohr umgebende Schwammwalze besitzt.

Nach einem letzten Merkmal der Erfindung schließlich gleitet die Metallfolie zum kontinuierlichen Transport innerhalb der ersten Kammer in Führungsnuten, deren untere Teile zum dichten Abschluß der aus den Düsen auf die untere Oberfläche der Metallfolie aufgesprühten Ätzlösung gegen die obere Oberfläche der Metallfolie mit elastischem, magnetische Eigenschaften auf v/eisendem Material versehen sind·

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Pig. 1: den Grundriß rechteckiger Öffnungen in einer Metallfolie ;

Fig. 2: den Schnitt II - II nach Fig. 1;

Fig. 3: den Grundriß runder Öffnungen in einer Metallfolie; Fig. 4: den Schnitt IV- IY nach Fig. 3;

Fig. 5: den Grundriß der Vorrichtung zum kontinuierlichen Ätzen von Metallfolie;

Fig. 6: eine modellmäßige Innenansicht der Atzvorrichtung gemäß Fig. 5;

. Fig. 7: die perspektivische Ansicht einer Überzugswalze zum Auftragen der Ätzlösung;

FIg. 8: die perspektivische Ansicht einer Saugwalze zum Absaugen der Ätzlösung und

.Fig. Sx eine perspektivische Darstellung des Aufsprühens der Ätzlösung von unten her auf die untere Oberfläche der Metallfolie in der ersten Kammer.

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Der in Pig. 1 gezeigte Grundriß einer rechteckigen Öffnung in einer Metallfolie entspricht einem vergrößerten Ausschnitt einer Lochmaske, Hier sind rechteckige Öffnungen in der Metallfolie 1 vorhanden, durch welche Elektronenbündel 3 (Fig« 2) auf die Leuchtschicht des Schirmtragers einer Farbbildröhre (nicht wiedergegeben) treten. Um zu verhindern, daß die Elektronenstrahlen im Innern der Öffnungen 2 reflektiert werden, besteht jede Öffnung 2 aus zv/ei Teilen, und zwar aus einer Öffnung 2A mit kleinem Durchmesser auf der den Elektronenstrahlerzeugern gegenüberliegenden Seite und aus einer Öffnung 2 B mit großem Durchmesse» auf der dem Leuchtschirm gegenüberliegenden Seite* Die Tiefe t der Öffnung 2A mit dem kleinen Durchmesser ist dabei geringer als die Tiefe T der Öffnung 2B mit dem großen Durchmesser, In Pig, 3 sind anstelle der rechteckigen Öffnungen 2 runde Öffnungen 12 in einer Metallfolie 11 vorhanden. Wie aus Pig, 4 ersichtlich ist, setzt sich auch hier aus dem gleichen Grund jede Öffnung .aus einer Öffnung 12A mit kleinem Durchmesser auf der den Elektronenstrahlerzeugern gegenüberliegenden Seite und aus einer Öffnung 12B mit großem Durchmesser auf der dem Leuchtschirm gegenüberliegenden Seite zusammen. Die Tiefe t' der Öffnung 12A mit dem kleinen Durchmesser ist geringer als die Tiefe T^f.der Öffnung 12B mit dem großen Durchmesser, Auf die runden Öffnungen 12 treffen Elektronenbündel 13 auf.

In der Ätzvorrichtung gemäß den Pig, 5 und 6 wird eine Metallfolie 20 horizontal in Pfeilrichtung transportiert. Eine Fotolackschablone (nicht wiedergegeben) mit Öffnungen kleinen Durchmessers befindet sich auf der oberen Oberfläche dieser Metallfolie 20 und eine weitere Fotolackschablone (nicht wiedergegeben) mit Öffnungen etwas größeren Durchmessers auf deren unteren Oberfläche, Bei Einsatz dieser Metallfolie '20 als Lochmaske für eine Farbbildröhre v/erden die Öffnungen mit dem kleinen Durchmesser

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auf der Seite gebildet, die den Elektronenstrahlerzeuger^ gegenüberliegt, und die Öffnungen mit dem großen Durchmesser auf der dem Leuchtschirm gegenüberliegenden Seite.

Zunächst tritt die Metallfolie 20 in eine erste Kammer 21 ein. Hier wird deren obere Oberfläche leicht bis zu einem solchen Grade geätzt, daß die Meta11oxidschicht entfernt und die blanke Metalloberfläche freigelegt ist. Gleichzeitig erfolgt eine Ätzung der unteren Oberfläche dieser Metallfolie 20 auf eine vorbestimmte Tiefe, indem eine Ätzlösung:aus unterhalb dieser befindlichen Düsen 22 aufgesprüht wird. Ein·Vorzugsverfahren für die "Durchführung des leichten Ätzens der oberen Oberfläche der Metallfolie 20 besteht darin, diese abwechselnd mit Überzugswalzen 23 für das Aufbringen der Ätzlösung und Saugwalzen 24 für das Absaugen der Ätzlösung in Berührung zu bringen, wobei der Abstand zwischen den V/alzen konstant ist. Jede der Überzugswalzen 23 für das Aufbringen der Ätzlösung auf die obere Oberfläche der Metallfolie 20 weist eine Zuleitung 26 für die Ätzlösung mit einer Reihe von Löchern 25 im Bereich einer diese umgebenden Schwammwalze 27 auf (Fig. 7)« Die Ätzlösung wird über die Löcher 25 und die Schwammwalze 27 auf die obere Oberfläche der Metallfolie 20 aufgebracht. Jede der Saugwalzen 24 für das Absaugen der Ätzlösung besteht aus einem Saugrohr 29 für die Ätzlösung, welches mit einer Schwammwalze 30 umgeben, in diesem Bereich eine Reihe von Löchern 28 aufweist (Pig. 8) Die Ätzlösung, die durch die Schwammwalze 30 abgesaugt wird, gelangt über die Löcher 28 in das Innere des Saugrohres 29# Die Schwammwalzen 27; 30 bestehen aus Schwamm, damit der Fotolack nicht beschädigt-wird.

Um zu verhindern, daß die aus den Düsen 22 auf die untere Oberfläche der Metallfolie 20 aufgesprühte Ätzlösung beim

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Transportieren der Metallfolie 20. in Pfeilrichtung auf die obere Oberfläche der Metallfolie 20 gelangt, sind gemäß der Darstellung in Pig, 9 Führungselemente 31 vorgesehen. Beide Seiten der Metallfolie 20 gleiten in Führungsnuten 32 der Führungselemente 31« Die unteren Teile 33 der Führungsnuten 32 bestehen aus einem elastischen Material mit magnetischen Eigenschaften, beispielsweise einem magnetischen Harz, Die unteren Oberflächenteile am Rand der Metallfolie 20 werden so von den unteren Teilen 33 der Führungsnuten 32 magnetisch angezogen. Ein Pendeln der transportierten Metallfolie 20 und damit ein Anhaften der auf die untere Oberfläche der Metallfolie 20 aus den Düsen 22 aufgesprühten Ätzlösung an der oberen Oberfläche der Metallfolie 20 sind ausgeschlossen. Als Ätzlösung, die auf die untere Oberfläche der Metallfolie 20 aus den Düsen 22 im Innern der ersten Kammer 21 aufgesprüht wird, ist beispielsweise eine Lösung aus Ei sen( III) «-Chlorid (FeClO verwendbar. Die Temperatur dieser Lösung beträgt vorteilhäfterweise 68 ⁰C, das spezifische Gewicht 1,047 und der Sprühdruck 2,0 kp/crn , Sie wird in einem unterhalb der ersten Kammer 21 befindlichen Vorratsbehälter 34 aufbewahrt. Die auf -die obere Oberfläche der Metallfolie 20 durch die Überzugswalzen 23 aufgebrachte Ätzlösung setzt sich aus 50 cm konzentrierter Schwefelsäure, 1,25 kp Oxalsäure fest, 750 cur 50 %iger Wasserstoffperoxidlösung und 50 1 Wasser zusammen«,

nachdem die Metallfolie 20 die erste Kammer 21 durchlaufen hat, gelangt sie in die zweite Kammer 35· In,der zweiten Kammer 35 werden die obere und die untere Oberfläche der Metallfolie 20 simultan mit Ätzlösung aus Düsen 36; besprüht. Es kommt zur Bildung von Öffnungen 'bzw. Löchern in der Metallfolie 20. . .

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Als Ätzlösung dient eine Lösung von Eisen(III)-chlorid, die aus dem Vorratsbehälter 38 zugeführt wird. Das spezifische Gewicht dieser Lösung liegt bei 1,046, ihre Temperatur beträgt 50 ⁰C Die Lösung wird mit einem Druck von 1,5 kp/cm auf die obere Oberfläche der Metallfolie 20 aufgesprüht. Der Druck für das Aufsprühen der Lösung auf die untere Oberfläche der Metallfolie 20 beträgt 2,0 kp/cm². Nach Durchlauf der zweiten Kammer 35 gelangt die Metallfolie 20 in eine dritte Kammer 39» in der ihre oberen und unteren Oberflächen mit Wasser aus Düsen 40 besprüht werden. Die Metallfolie 20 wird anschließend dem nächsten Bearbeitungsvorgang zugeleitet. ·

Der wichtigste Bearbeitungsschritt dieser Lochmaskenherstellung ist das leichte Ätzen der oberen Oberfläche der Metallfolie 20, ist das Entfernen der Metalloxidschicht, bevor das Metall mit der Ätzlösung besprüht wird. Dadurch kann die Ätzlösung, die auf die obere Oberfläche der Metallfolie 20 während des nächsten Bearbeitungsvorganges aufgesprüht wird, rasch und gleichmäßig an der freigelegten Oberfläche des Metalles anhaften und die seitliche Ätzung, die während der Herausbildung der Öffnungen mit den kleinen Durchmessern auf der Seite vorkommt, wo die Elektronenbündel auftreffen, auf ein Minimum herabgesetzt werden. Somit wird es möglich, kontinuierlich Öffnungen bzw. Löcher hoher Präzision und geringer Abweichung in der Metallfolie herzustellen. Darüber hinaus kann, da eine Oberfläche der Metallfolie zeitv/eilig nicht überzogen zu werden braucht, das Herstellungsverfahren in vorteilhafter Weise einfacher gestaltet werden.

Im Rahmen dieser Erfindung ist es natürlich auch denkbar, die Bearbeitungsschritte des leichten Ätzens der oberen Oberfläche der Metallfolie 20 und des starken Ätzens deren unterer Oberfläche in der ersten Kammer 21 anstatt gleich-

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zeitig auch getrennt für sich vorzunehmen, bevor das Ätzen in der zweiten Kammer 35 erfolgt»

Die Vorteile dieses erfindungsgemäßen Verfahrens und der Vorrichtung fanden in durchgeführten Experimenten ihre Bestätigung. So vmrde z» B* eine Metallfolie mit einer Dicke' von 0,15 mm, die eine Fotolackschablone einer Gesamtabmessung von 0,100 mm für die Bildung der Öffnungen mit einem großen Durchmesser auf der unteren Oberfläche der Metallfolie und eine Fotolackschablone einer Gesamtabmessung von 0,02 mm für die Bildung der Öffnungen mit einem kleinen Durchmesser auf der oberen Oberfläche der Metallfolie aufwies, nach dem im Ausführungsbeispiel erläuterten Verfahren geätzt. Als Folge dieser Bearbeitung entstanden Öffnungen mit einem großen Durchmesser von 0,180 mm auf der unteren Oberfläche der Metallfolie. Die Differenz 0,180 mm « 0,100 mm = 0,080 mm wurde durch das seitliche Ätzen während der Herausbildung der Öffnungen mit dem großen Durchmesser verursacht. Auf der oberen Oberfläche der Metallfolie bildeten sich Öffnungen mit dem kleinen Durchmesser von 0,07 mm. Die Differenz 0,07 mm - 0,02 mm = 0,05 mm ergab sich auch hier durch seitliches Ätzen während der Herausbildung der Öffnungen.

Die Tiefe der Öffnungen mit dem kleinen Durchmesser lag bei etwa 0,03 nm_e' Es wurde eine sehr geringe Reflexion der Elektronenbündel im Innern der Öffnungen mit dem kleinen Durchmesser beobachtet.

Das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung beschränkt sich nicht nur auf die Herstellung von Lochmasken, sondern kann auch für andere' Fälle, bei denen feinere Öffnungen, kleiner als die Dicke der Metallfolie, in dieser hergestellt werden müssen, angewendet werden.

Claims

27β 8" 1981 . 59 082 /^25 - 11 - . . C 23 17229 813/8 Erfindung san s ρ ruc h

1, Verfahren zum Ätzen einer Metallfolie, gekennzeichnet durch die Bearbeitungsstufen ' .

-t Bildung einer Korrosionsschutzschablone mit Öffnungen auf einer Oberfläche der Metallfolie (20) und einer Korrosionsschutzschablone mit gegenüber den erstgenannten kleineren Öffnungen auf der anderen Oberfläche dieser Folie;

- Leichtes Ätzen der mit der kleinere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehenen Oberfläche der Metallfolie (20) zum Entfernen der Oxidschicht und Freilegen der blanken Metalloberfläche;

- Aufsprühen einer Ätzlösung auf die mit größere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehene Oberfläche zum Zwecke des Ätzens dieser auf eine vorbestimmte Tiefe;

- Simultanaufsprühen, einer Ätzlösung auf beide Oberflächen der Metallfolie (20) zum Zwecke der Bildung von Öffnungen in dieser;

- Simultanaufsprühen von Wasser auf beide Oberflächen der Metallfolie (20).

2. Verfahren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Bearbeitungsstufen des leichten Ätzens der mit der kleinere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehenen Oberfläche und das Aufsprühen einer Ätzlösung auf die mit der größere Öffnungen aufweisenden Korrosionsschutzschablone versehene . Oberfläche.der Metallfolie (20) gleichzeitig erfolgt«

3» Verfahren nach Punkt 1·, gekennzeichnet dadurch, daß die Ätzlösung auf die mit der größere Öffnungen aufweisenden

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Korrosionsschutzschablone versehene . Oberfläche der Metallfolie (20) von unten aus während der dritten Bearbeitungsstufe aufgesprüht wird,

4· Verfahren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Metallfolie (20) als Material für eine Lochmaske einer Farbbildröhre verwendet wird.

5. Vorrichtung zum Ätzen einer Metallfolie, gekennzeichnet durch eine erste Kammer (21) mit einer Vielzahl von Überzugs- und Saugwalzen (23; 24) zum abwechselnden Aufbringen und Absaugen einer itzlösung auf die obere Oberfläche sowie, einer Vielzahl von Düsen (22) zum Aufsprühen einer Ätzlösung auf die untere Oberfläche der Metallfolie (20), eine zweite Kammer (35) mit Einrichtungen, beispielsweise Düsen (36; 37), zum gleichzeitigen Aufsprühen einer weiteren Ätzlösung auf die obere und untere Oberfläche der Metallfolie (20) und eine dritte Kammer (39) mit Düsen (40) zum Besprühen der oberen und unteren Oberfläche der Metallfolie (20) mit V/asser sowie durch eine Einrichtung zum kontinuierlichen Transport dieser Metallfolie (20) durch die einzelnen Kammern (21; 35; 39).

6. Vorrichtung nach Punkt 5> gekennzeichnet dadurch, daß die Überzugswalzen (23) für das Aufbringen der Ätzlösung auf die obere Oberfläche der Metallfolie (20) eine Zuleitung (26) für die Ätzlösung mit einer Reihe von Löchern (25) und eine die Zuleitung (26) umgebende Schwammwalze (27) aufweisen,

7* Vorrichtung nach Punkt 5,. gekennzeichnet dadurch, daß die Saugwalzen (24) zum Absaugen der Überzugsätzlösung ein Saugrohr (29) für die Ätzlösung mit einer Reihe von

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Löchern (28) und eine das Saugrohr (29) umgebende Schwammv/alze (30) aufweisen, . '

8, Vorrichtung nach Punkt 5 "bis 7» gekennzeichnet dadurch, daß die Metallfolie·(20) zum kontinuierlichen Transport innerhalb der ersten Kammer (21) in Führungsnuten (32) gleitet, deren untere Teile (33) zum dichten Abschluß der aus den Düsen (22) auf die untere Oberfläche der Metallfolie (20) aufgesprühten Ätzlösung gegen die

obere Oberfläche der Metallfolie (20) mit elastischem, magnetische Eigenschaften aufweisendem Material versehen sind·

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