CS262663B2 - Bearing system for rotatable element seated on a bearing element - Google Patents
Bearing system for rotatable element seated on a bearing element Download PDFInfo
- Publication number
- CS262663B2 CS262663B2 CS86758A CS75886A CS262663B2 CS 262663 B2 CS262663 B2 CS 262663B2 CS 86758 A CS86758 A CS 86758A CS 75886 A CS75886 A CS 75886A CS 262663 B2 CS262663 B2 CS 262663B2
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- planar surface
- support member
- bearing
- rotatable
- gap
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
- F16C25/02—Sliding-contact bearings
- F16C25/04—Sliding-contact bearings self-adjusting
- F16C25/045—Sliding-contact bearings self-adjusting with magnetic means to preload the bearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0692—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for axial load only
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2340/00—Apparatus for treating textiles
- F16C2340/18—Apparatus for spinning or twisting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Spinning Or Twisting Of Yarns (AREA)
Description
Vynález se týká ložiskové sestavy pro o· točný .člen uložený na nosném Člénu s rovinným povrchem, přičemž otočný člen má rovinný povrch přivrácený к rovinnému povrchu nosného členu a je uložen s alespoň jedním stupněm volnosti к přemístění radiálně nad rovinným povrchem nosného členu.
Jsou známa zařízení, která jsou opatřena například plynovými ložisky pro axiální i radiální uložení otočných členů. Takové zařízení je popsáno například v evropské patentové přihlášce 82 201 555.8 mající publikační číslo 0082'548.
Takové plynové ložisko má nepatrné tření a umožňuje tudíž vysoké rychlosti otáčení bez velkých ztrát výkonu. Použití vysokých rychlostí v tomto známém zařízení vyžaduje přesné vyvážení a středění otočného členu v ložiskové sestavě. Vibrace způsobené nevyvážením by mohly snadno poškodit ložisko a s ním spojené části stroje působením radiálních sil.
V zařízení popsaném ve výše uvedené publikaci je otočný člen zatížen axiální zátěží magnetickými prostředky až do styku v podpěrném ložisku, což má za následek, že otočný člen může být vyjmut axiálním vytažením z centrálního hřídelového ložiska, které vede otočný člen v radiálním směru a má radiální ložiskovou plochu. Výměna otočného členu tedy vyžaduje značný volný prostor v axiálním směru vně zařízení a vyžaduje přesnou souosost otočného členu na hřídeli při sestavení. Hřídelové ložisko a trubkový hřídel otočného členu způsobují velký osový rozměr zařízení.
fsou též známa podpěrná ložiska, ve kterých je otočný člen spolupůsobící s rovinným povrchem na nosném členu volně přemístitelný v radiálním směru na tomto povrchu. Mezera mezi otočným členem a nosným členem může být udržována zavedením tlakového prostředí mezi oba členy, například podle evropské patentové přihlášky 0061016. Tato publikace však neuvádí, jak může být otočný člen udržován v žádané poloze nad rovinným povrchem nosného členu.
Mezera mezi otočným členem a nosným členem může být též udržována elektromagnetickými prostředky, například podle patentového spisu Spojených států amerických č. 4 147 396. Magnetické sílv zde vytvářejí středící účinek na otočný člen. Nicméně je nutné složité řízení elektrického proudu do magnetů к udržování žádané velikosti mezerv, což činí zařízení nákladným a má nepříznivý vliv na spolehlivost obsluhy.
Účelem předloženého vynálezu je vytvorit ložiskovou sestavu pro otočný člen uložený na nosném členu s rovinným povrchem, přičemž otočný Clen má rovinný povrch přivrácený к rovinnému povrchu nosného členu a je uložen s alespoň jedním stupněm volnosti к přemístění radiálně nad rovinným povrchem nosného členu, ve které se otočný člen může otáčet vysokou rychlostí nad nosným členem bez požadavků na přesné středění a složité řízení mezery mezi protilehlými rovinnými povrchy, ipřičemž výměna otočného členu by mohla být provedena bez potřeby velkého prostoru v axiálním směru.
Vynález tudíž vytváří ložiskovou sestavu pro otočný člen uložený na nosném členu s rovinným povrchem, přičemž otočný člen má rovinný povrch přivrácený к rovinnému povrchu nosného členu a je uložen s alespoň jedním stupněm volnosti к přemístění radiálně nad rovinným povrchem nosného členu, jejíž podstata spočívá v tom, že mezi rovinným povrchem otočného členu a rovinným povrchem nosného členu je vytvořena mezera, přičemž alespoň část jednoho z rovinných povrchů vymezujících mezeru je opatřena vstupním otvorem pro tlakový plyn v mezeře mezi oběma rovinnými povrchy, a v otočném členu je uložena magnetická vložka a v nosném členu je uložena magnetická vložka, kteréžto magnetické vložky jsou uspořádány podél osy otáčení otočného členu.
Ložisková sestava podle předloženého vynálezu může být navržena s malým rozměrem v osovém směru a může pracovat, aniž by vysoká rychlost otáčení otočného členu působila pozorovatelné vibrace nosného členu.
Příklad provedení vynálezu je znázorněn na výkrese, kde obr. 1 znázorňuje osový řez ložiskovou sestavou podle vynálezu a obr. 2 pohled ve směru kolmém к ose otáčení otočného členu.
Znázorněné zařízení sestává z otočného členu 1, například ze spřádacího hubnu spřádacího stroje s otevřeným koncem, otočně uloženého na nosném členu 2, Otočný člen 1 a nosný člen 2 mají každý jeden rovinný povrch, kteréžto povrchy tvoří protilehlé ložiskové plochy a jsou odděleny tlakovým prostředím, zejména vzduchem, přičemž zmíněné povrchy jsou uspořádány tak, že tlakové prostředí může být zaváděno do mezery 3 mezi nimi. To lze docílit tím, že alespoň část jednoho z povrchů vymezujících mezeru 3 je uspořádána tak, že tlakové prostředí může vnikat ido mezery 3 například vstupním otvorem 4 vymezujícím část mezery 3 nebo materiálem, ve kterém jsou vytvořeny kanály pro průtok plynu.
Takový plyn může (být přiváděn alespoň jedním přívodem ze zdroje tlakového plynu. Toto uspořádání může být vytvořeno rozličnými způsoby a není na výkrese znázorněno. Dráha iplynu vstupním otvorem 4 a mezerou 3 je znázorněna šipkami.
Nosný člen 2 i otočný člen 1 jsou podle vynálezu opatřeny prostředky, které způsobují, že části nosného členu 2 a otočného členu 1 na sebe působí přitažlivými silami s možností jejich vzájemného přemísťování ve směru kolmém к ose otáčení otočného
262S83 členu 1. Pro tento účel jsou nosný člen 2 i otočný člen 1 opatřeny každý jednou magnetickou vložkou 5, 6, které se navzájem přitahují. Během činnosti zařízení působí tlakový plyn proudící do mezery 3 její roztahování, zatímco magnetické vložky 5, В mají snahu mezeru 3 sevřít Normálně nastává rovnováha sil tehdy, když šířka mezery 3 je menší než 1 mm a magnetické vložky 5, 6 jsou přesně proti sobě.
Pohon otočného členu 1 může být obvykle prováděn o sobě známým způsobem, například elektromotorem uspořádaným tak, že jeho statorové vinutí je uloženo u povrchu nosného členu 2, například v drážce 7, a rotor elektromotoru je spojen s otočným členem 1 nebo je jím tvořen. Jélikož mezi statorem a rotorem elektromotoru je vytvořena rovinná vzduchová mezera a rotor elektromotoru Je tedy radiálně pohyblivý, je umožněno, aby rotor elektromotoru a potažmo otočný člen 1 se otáčely kolem dynamického těžiště, takže otočný člen 1 je vždy vyvážen a způsobuje pouze bezvýznamné vibrace. Uspořádání podle vynálezu je zejména výhodné v případech, kdy otočný člen 1 během činnosti obsahuje hmotu, jejíž poloha a velikost jsou proměnlivé, takže zařízení je samočinně vyvažováno otočným členem 1, který sám nastavuje rovnovážnou polohu.
Stabilita zařízení podle vynálezu je nejvyšší, když tlakový plyn nesoucí otočný člen 1 je přiváděn v nejvýhodnější vzdálenosti od vnějšího okraje otočného členu 1. Kdyby vznikla snaha o naklonění osy otáčení otočného členu 1, nastalo by zmenšení mezery 3 v určité oblasti, čímž by tam stoupl tlak plynu a naklonění osy otáčení otočného členu 1 by bylo potlačeno.
V některých případech může být vhodné, aby poloha otočného členu 1 byla stabilizována, například když je nutné, aby poloha jeho osy otáčení byla přesně nastavena. V tomto případě je možné opatřit zařízení podle vynálezu prostředkem 8 pro rariální ovládání otočného členu 1 к zajištění výstředné polohy proti středícímu působení navzájem se přitahujících magnetických vložek 5, 6.
Prostředek 8 může obsahovat nosné ložisko spolupůsobící s vnější válcovou plochou otočného členu 1, která je puzena к nosnému ložisku šitou působící mezi magnetickými vložkami 5, 6.
V rámci myšlenky vynálezu jsou možná i jiná provedení zařízení podle vynálezu. Tlak prostředí v mezeře 3 místo přivádění plynu z vnějšího zdroje může být vytvářen otáčením otočného členu 1, nebo jako přídavný tlak к tlaku prostředí ze zdroje. Alespoň jedna z magnetických vložek 5, 6 může být vytvořena jako prstenec. Magnetismus může ibýt vytvářen elektrickým proudem. Pohon oitočného členu 1 může být vytvářen jinak než elektromotorem, například pneumatickými nebo mechanickými prostředky.
Claims (1)
- Ložisková sestava pro otočný člen uložený na nosném členu s rovinným povrchem, přičemž otočný člen má rovinný povrch přivrácený к rovinnému povrchu nosného členu a je uložen s alespoň jedním stupněm volnosti к přemístění radiálně nad rovinným povrchem nosného členu, vyznačující se tím, že mezi rovinným povrchem otočného členu (1) a rovinným povrchem nosného členu (2) je vytvořena mezera (3), přičemž alespoň část jednoho z rovinných povrchů vymezujících mezeru (3) je opatřena vstupním otvorem (4) pro tlakový plyn v mezeře (3) mezi oběma rovinnými povrchy, a v otočném členu (1) je uložena magnetická vložka (5) a v nosném členu (2) je uložena magnetická vložka (6), kteréžto magnetické vložky (5, 6) jsou uspořádány podél osy otáčení otočného členu (1).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE8500481A SE453419B (sv) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Anordning med axiallager der lagringsytorna innefattar magnetiska partier |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS75886A2 CS75886A2 (en) | 1988-08-16 |
CS262663B2 true CS262663B2 (en) | 1989-03-14 |
Family
ID=20358984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS86758A CS262663B2 (en) | 1985-02-04 | 1986-02-03 | Bearing system for rotatable element seated on a bearing element |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4970422A (cs) |
EP (1) | EP0190440B1 (cs) |
JP (1) | JPS61179329A (cs) |
CN (1) | CN86100495B (cs) |
CS (1) | CS262663B2 (cs) |
DE (1) | DE3568211D1 (cs) |
SE (1) | SE453419B (cs) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE467212B (sv) * | 1990-07-10 | 1992-06-15 | Skf Ab | Axelloes oeppen-aend-spinnrotor |
SE467213B (sv) * | 1990-07-10 | 1992-06-15 | Skf Ab | Anordning foer en spinnmaskin med drivning och lagring foer en axelloes oeppen-aend-spinnrotor |
US5075605A (en) * | 1990-11-01 | 1991-12-24 | Penn Engineering & Manufacturing Corp. | Inner-rotor commutation device |
DE4207673C1 (cs) * | 1992-03-11 | 1993-03-11 | Skf Textilmaschinen-Komponenten Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
US5584435A (en) * | 1993-04-23 | 1996-12-17 | E. Fischer Ag | Bell atomizer with air/magnetic bearings |
DE4342582A1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-06-22 | Skf Textilmasch Komponenten | Magnet-Gaslager eines als Läufer eines Axialfeldmotors ausgebildeten schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine |
DE4342584A1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-06-22 | Skf Textilmasch Komponenten | Einzelmotorischer Antrieb eines schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine |
DE4342583A1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-06-22 | Skf Textilmasch Komponenten | Schaftloser Spinnrotor einer Offenend-Spinnmaschine |
US5578881A (en) * | 1994-09-29 | 1996-11-26 | Glacier Rpb Inc. | Axial vibration damping arrangement |
FR2751028B1 (fr) * | 1996-07-10 | 1998-10-23 | Sames Sa | Turbine a suspension magnetofluidique |
DE19630477A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-29 | Rieter Ingolstadt Spinnerei | Offenend-Spinnvorrichtung |
DE19630476A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-29 | Rieter Ingolstadt Spinnerei | Offenend-Spinnvorrichtung |
WO1998024165A1 (en) * | 1996-11-27 | 1998-06-04 | Emerson Electric Co. | Counterbored rotors for natural frequency variation |
DE19953118A1 (de) * | 1999-11-04 | 2001-05-17 | Foehrenbach Manfred Gmbh | Antriebsmodul mit Lager |
CN1157545C (zh) * | 2000-10-25 | 2004-07-14 | 李国坤 | 磁悬浮轴承 |
JP5042479B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2012-10-03 | Ntn株式会社 | 空気サイクル冷凍冷却システム |
DE102007028905B3 (de) * | 2007-06-22 | 2008-12-11 | Siemens Ag | Lagereinrichtung zur berührungsfreien Lagerung eines Rotors gegen einen Stator |
CN101158376B (zh) * | 2007-11-15 | 2010-04-14 | 苏州大学 | 磁悬浮电机轴承结构 |
FR2924285B1 (fr) * | 2007-11-28 | 2015-04-24 | Tecddis | Machine electrique a flux axial |
FR2944836A1 (fr) * | 2009-04-23 | 2010-10-29 | Roumen Antonov | Dispositif de stockage inertiel d'energie |
JP5886614B2 (ja) * | 2011-11-25 | 2016-03-16 | オイレス工業株式会社 | エアスライド装置 |
JP2013113344A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Oiles Corp | 静圧気体軸受構造 |
CN104565054A (zh) * | 2013-10-24 | 2015-04-29 | 武汉理工大学 | 一种轴向磁力轴承冗余结构 |
CN104747596B (zh) * | 2013-12-30 | 2017-06-30 | 李国坤 | 有支点无摩擦径向永磁悬浮轴承 |
CN104061245A (zh) * | 2014-05-09 | 2014-09-24 | 安徽安风风机有限公司 | 主轴用滚动轴承轴向随动装置 |
CN110966303A (zh) * | 2018-09-30 | 2020-04-07 | 至玥腾风科技投资集团有限公司 | 一种推力轴承及其制作方法和转子系统 |
CN109210073B (zh) * | 2018-10-15 | 2023-11-07 | 杭州电子科技大学 | 气磁混合球铰关节及其使用时的装配方法 |
CN111572361B (zh) * | 2020-04-27 | 2021-10-22 | 库卡机器人制造(上海)有限公司 | 气磁耦合悬浮装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE82548C (cs) * | ||||
DE854730C (de) * | 1949-04-15 | 1952-11-06 | Gustav Rath | Lagerung und Zentrierung von sich drehenden Koerpern |
FR1347020A (fr) * | 1962-08-22 | 1963-12-27 | Commissariat Energie Atomique | Machine tournante |
US3791704A (en) * | 1971-08-06 | 1974-02-12 | Cambridge Thermionic Corp | Trimming apparatus for magnetic suspension systems |
US3955858A (en) * | 1974-01-03 | 1976-05-11 | Societe Nationale Industrielle Aerospatiale | Satellite momentum wheel |
DE2433712C3 (de) * | 1974-07-12 | 1978-11-02 | Maschinenfabrik Augsburg Nuernberg Ag, 8000 Muenchen | Antrieb und Lagerung eines Rotors |
JPS6028502B2 (ja) * | 1977-01-25 | 1985-07-05 | 株式会社モリタ製作所 | 歯科用空気軸受ハンドピ−スの軸受機構 |
US4147396A (en) * | 1977-02-22 | 1979-04-03 | Cambridge Thermionic Corporation | High speed rotor system |
DE3110712C2 (de) * | 1981-03-19 | 1986-08-07 | Joachim Prof. Dr.-Ing. 8000 München Heinzl | Aerostatisches Lager |
CH663968A5 (de) * | 1981-12-22 | 1988-01-29 | Bbc Brown Boveri & Cie | Offen-end-spinnvorrichtung. |
-
1985
- 1985-02-04 SE SE8500481A patent/SE453419B/sv not_active IP Right Cessation
- 1985-12-10 EP EP85115723A patent/EP0190440B1/en not_active Expired
- 1985-12-10 DE DE8585115723T patent/DE3568211D1/de not_active Expired
-
1986
- 1986-01-22 CN CN86100495A patent/CN86100495B/zh not_active Expired
- 1986-02-03 CS CS86758A patent/CS262663B2/cs not_active IP Right Cessation
- 1986-02-03 JP JP61020305A patent/JPS61179329A/ja active Granted
-
1989
- 1989-08-08 US US07/391,400 patent/US4970422A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6335731B2 (cs) | 1988-07-15 |
DE3568211D1 (en) | 1989-03-16 |
SE8500481D0 (sv) | 1985-02-04 |
CN86100495B (zh) | 1987-12-30 |
JPS61179329A (ja) | 1986-08-12 |
CS75886A2 (en) | 1988-08-16 |
EP0190440A2 (en) | 1986-08-13 |
US4970422A (en) | 1990-11-13 |
CN86100495A (zh) | 1986-10-01 |
SE453419B (sv) | 1988-02-01 |
EP0190440B1 (en) | 1989-02-08 |
SE8500481L (sv) | 1986-08-05 |
EP0190440A3 (en) | 1986-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CS262663B2 (en) | Bearing system for rotatable element seated on a bearing element | |
US5686772A (en) | Magnetic bearing and an assembly comprising a stator portion and a rotor portion suspended via such a bearing | |
JP3686093B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
US4811906A (en) | Rotary spray head suitable for electrostatic painting | |
JPH06200937A (ja) | 磁気軸受装置 | |
CZ293543B6 (cs) | Rotační dynamický stroj pro dopravu fluida a způsob jeho ovládání | |
EP3542079B1 (en) | Thrust active magnetic bearing for shaft slow roll control | |
KR950013215B1 (ko) | 공작 기계용 공구 고정장치 | |
US4519205A (en) | Drive and mounting for an open-end spinning unit | |
US4251119A (en) | Gas bearing for rapidly rotating parts | |
JPH06311698A (ja) | アキシャルギャップタイプモータ用磁気浮上型気体動圧軸受 | |
JPH0712091A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPS5879695A (ja) | 磁気軸受を応用した軸流分子ポンプ | |
CS263114B1 (cs) | Uložení zejména elektrovřetcna | |
JP3930834B2 (ja) | アキシャル型磁気浮上回転機器及び遠心ポンプ | |
JPH0216390A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2805317B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH04271287A (ja) | 磁気浮上アクチュエータ | |
JP4427828B2 (ja) | 磁気軸受 | |
JPS61210290A (ja) | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 | |
JPH05284686A (ja) | アウターロータ形高速回転電機 | |
JP2727357B2 (ja) | 回転体支持装置 | |
JPH03255221A (ja) | 回転体の駆動支持機構 | |
JPS60212717A (ja) | 光偏向装置 | |
JPH03153919A (ja) | 磁気軸受 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
IF00 | In force as of 2000-06-30 in czech republic | ||
MK4A | Patent expired |
Effective date: 20010203 |