CN2753476Y - 石英晶片切角自动分选装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种石英晶片切角自动分选装置，包括上料装置、测量装置、分料装置。测量装置包括x射线发生器(1)、单色反射器(2)、测量台(3)、x射线接收器装置(4)。其特征是通过改变单色反射器(2)的方位来调整入射角的大小，达到x射线扫描晶片的目的。单色反射器(2)为双路，使双束x射线同时照射到被测晶片(5)上，双束x射线分别对应由于被测晶片(5)放置的方位不同而需要的两个不同的入射角度，俗称蜡上、蜡下。

Description

石英晶片切角自动分选装置
技术领域
本实用新型涉及一种X射线晶体切角测量装置，特别是一种石英晶片切角自动分选装置。
背景技术
利用石英晶体本身的物理特性制造的电子器元件，具有很高的频率稳定性，作为频率基准或频率源，在数字电路、计算机、通讯等领域得到了广泛应用。由于石英晶体是各项异性的，晶片的切割方位稍有不同，温度特性就有很大差别。因此在晶片制造过程中必须对石英晶片的切角误差进行严格的检测，以保证产品满足技术指标。X射线定向是目前准确测定晶片切角的最佳方法。X射线测角仪成为生产石英晶体产品必不可少的设备。其基本原理是：X光管发出的X射线经平行处理后打到晶片样品上，产生相干衍射，此衍射线被计数管接收，得到其衍射角。
传统的X射线测角仪以我国丹东射线仪器有限公司的“YX型x射线晶体定向仪(手动型)和德国EFG公司的QSA30L全自动X射线角分类机为代表，它主要由X光管、计数管和测角器组成，测角器控制着被测晶片的方位。它是通过手动或自动方式旋转放置被测晶片的刻度盘，改变被测晶片的方位，以调整x射线入射角的大小，达到用x射线扫描被测晶片的目的。衍射光线被计数管接收，并通过放大器的微安表或计算机屏幕显示出来。从而得到被测晶片的衍射角。上述设备实现了对石英晶片的定向和切角误差的检测，但我国的“YX型x射线晶体定向仪，明显存在以下缺点：
1.由于定向仪为手动型，效率较低。
2.衍射角由刻度盘人工读数得到，检测精度较低(±30秒)。
德国的QSA30L全自动X射线角分类机实现了检测的自动化，使检测精度明显提高。但存在缺点：机械结构复杂，由步进电机控制的测角仪要求的机械加工精度高。检测速度慢，每小时900-1000片。
发明内容
本实用新型目的，在于提供一种结构简单，检测速度快，精度高的石英晶片切角自动分选装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：
一种石英晶片切角自动分选装置，由上料装置、测量装置、分料装置三部分组成。测量装置包括x射线发生器、单色反射器、测量台、x射线接收装置。单色反射器为双路，使双束x射线同时照射到被测晶片上。双束x射线分别对应由于晶片放置的方位不同而需要的两个不同的入射角度(俗称蜡上蜡下)。通过改变单色反射器方位来调整入射角的大小，达到X射线扫描晶片的目的。单色反射器为双路，使双束x射线同时照射到被测晶片上。双束x射线分别对应由于晶片放置的方位不同而需要的两个不同的入射角度(俗称蜡上蜡下)。
上料装置由圆振送料器、直线送料器和上料机械手组成，其功能是使晶片行进式移动至直线送料器的出料端，上料机械手将晶片送至测量台的中心位置。
测量装置由x射线发生器1、单色反射器2、测量台3、x射线接收器装置4组成，均固定在基板9上，基板9通过螺栓与支架10相连。单色反射器2固定在悬臂7的下端，悬臂7可以绕转动轴8摆动，x射线发生器1发出的X射线经单色反射器2入射到被测晶片5上，入射角因单色反射器2的摆动而发生改变，被测晶片5的衍射光线由X射线接收装置4接收，转换成电信号显示出来，得到该晶片的衍射角；单色反射器2由双路组成，分别为2A和2A1，光线AB和A1B分别对应着由于被测晶片5放置的方位不同而需要的两个不同的入射角度。
分料装置由分料电机13、下料机械手14、料盒15和下料管16组成，晶片测量完毕经下料管16落入下料机械手14中，分料电机13带动下料机械手14转动，将晶片放入相应的料盒15中。
本实用新型与现有技术相比，其显著优点如下：
1.采用改变单色反射器方位的方式来调整入射角的大小，使机械结构简单化，减小了由于机械精度造成的测量误差。
2.采用双路单色反射器，使两束x射线同时入射到被测晶片上，提高了检测效率，每小时可达3000片。
附图说明
图1是本实用新型的总体结构及测量部分示意图；
图2是本实用新型的上料部分示意图；
图3是本实用新型的分料装置示意图；
1.X射线发生器  2.单色反射器(单色反射器2由双路组成，分别为2A、2A1)  3.测量台  4.X射线接收装置  5.被测晶片  6.上料机械手  7.悬臂  8.转动轴  9.基板  10.支架  11.圆振送料器  12.直线送料器  13.分料电机  14.下料机械手  15.料盒  16.下料管。
具体实施方式
如图1、2、3所示，本实用新型由上料装置、测量装置、分料装置三部分构成，上料装置参见图2：由圆振送料器11、直线送料器12和上料机械手6组成，其功能是使晶片行进式移动至直线送料器12的出料端，上料机械手将晶片送至测量台3的中心位置。
测量装置参见图1，由x射线发生器1、单色反射器2、测量台3、x射线接收器装置4组成，均固定在基板9上，基板9通过螺栓与支架10相连。单色反射器2固定在悬臂7的下端，悬臂7可以绕转动轴8摆动，x射线发生器1发出的X射线经单色反射器2入射到被测晶片5上，入射角因单色反射器2的摆动而发生改变，被测晶片5的衍射光线由X射线接收装置4接收，转换成电信号显示出来，得到该晶片的衍射角；单色反射器2由双路组成，分别为2A和2A1，光线AB和A1B分别对应着由于被测晶片5放置的方位不同而需要的两个不同的入射角度。
上料装置将被测晶片5自动放置在测量台3的中心位置，此时，由x射线发生器1发出的x射线经单色反射器2入射到被测晶片3上，调整单色反射器2的位置，改变入射角，使x射线扫描被测晶片，当入射角满足条件时，x射线在被测晶片上发生衍射，衍射光被x射线接收装置接收，转换成电信号由计算机显示出来，得到该晶片的衍射角。
分料装置由分料电机13、下料机械手14、料盒15和下料管16组成，晶片测量完毕经下料管16落入下料机械手14中，分料电机13带动下料机械手14转动，将晶片放入相应的料盒15中。

Claims (2)

1、一种石英晶片切角自动分选装置，由上料装置、测量装置和分料装置三部分组成，其特征在于：所述的测量装置由X射线发生器(1)、单色反射器(2)、测量台(3)、X射线接收装置(4)组成，X射线发生器(1)、单色反射器(2)、测量台(3)、X射线接收装置(4)均固定在基板(9)上，基板(9)通过螺栓与支架(10)相连，单色反射器(2)固定在基板(9)上方悬臂(7)的下端。
2、根据权利要求1所述的石英晶片切角自动分选装置，其特征在于：单色反射器(2)设计为双组。
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