CN224192386U - 硅片导电装置及激光强化设备、测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅片生产设备技术领域，具体涉及一种硅片导电装置及激光强化设备、测试装置。该硅片导电装置包括：支架；多个平行设置的导电丝，设置在支架上；其中所述导电丝的至少一端通过张力调节组件安装在支架上。实用新型的硅片导电装置通过设置多个平行设置的导电丝用于和硅片接触进行通电，代替现有技术中的探针排，对激光无遮挡，可以实现激光一次性扫描整个硅片。此外，通过设置张力调节组件可以根据需要调节导电丝的张力。

Description

硅片导电装置及激光强化设备、测试装置

技术领域

本实用新型属于硅片生产设备技术领域，具体涉及一种硅片导电装置及激光强化设备、测试装置。

背景技术

晶硅太阳能电池的表面电极与背面电极之间的接触电阻对填充因子和转换效率有极大的影响，接触电阻越低，填充因子和转换效率就越高，降低接触电阻已经成为各大电池制造商的迫切需求。传统气流热循环烧结炉对电池片上的浆料烧结时难以形成较好的欧姆接触。

为了降低接触电阻，现有技术中已有改善晶硅太阳能电池金属接触与发射极之间欧姆接触的方法，德国Cell Engineering GmbH提出了一种LECO(Laser-enhanced contactoptimization，激光增强接触优化)工艺，该方案以点光源照射电池片正面形成局部感应电流，并施加反向偏置电压分离自由载流子，形成高反向电流，最终通过引导点光源扫掠整片电池实现金属与发射极之间欧姆接触的改善。

在此基础上，现有技术一般采用探针排压在硅片的栅线上施加电压。然而，由于探针排遮挡区域较大，激光无法打到其遮挡区域，硅片进行激光冲击强化时只能先扫描一半，然后移动探针排的位置后再扫描另一半，无法一次性对硅片进行全面加工。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片导电装置及激光强化设备、测试装置，以解决上述技术问题。

本申请提供一种硅片导电装置。该硅片导电装置包括：

支架；

多个平行设置的导电丝，设置在支架上；其中

所述导电丝的至少一端通过张力调节组件安装在支架上。

在本申请的一实施例中，所述张力调节组件包括：

弹性件，其一端与导电丝的端部连接；

调节件，连接在弹性件的另一端，用于调节导电丝的张力。

在本申请的一实施例中，所述调节件包括：调节螺杆，设置在支架上；

所述调节螺杆与弹性件连接。

在本申请的一实施例中，所述张力调节组件还包括：

安装块，其上端连接在支架上；

所述调节螺杆与安装块螺纹配合。

在本申请的一实施例中，所述安装块竖向设置，且其下端设置有导向轮；

所述导电丝的端部经导向轮与弹性件连接。

在本申请的一实施例中，所述调节螺杆的一端穿过安装块后与弹性件连接；

所述调节螺杆的另一端的杆身上设置有紧固螺母。

在本申请的一实施例中，所述导电丝横向设置；

所述支架包括横向杆，以及连接在横杆两端的纵向杆；

多个所述安装块安装在纵向杆上。

在本申请的一实施例中，所述纵向杆上设置有安装槽；

所述安装块的上端嵌装在安装槽内；

所述安装块上设置有固定孔，用于在安装块移动至安装槽内相应位置后，供紧固穿过进行固定。

相应的，本申请提供一种硅片激光强化设备，包括：

硅片导电治具，用于对硅片下表面进行导电；所述硅片导电治具上设置有硅片放置区，以及位于硅片放置区外周的绝缘区；

如上所述的硅片导电装置，用于对硅片上表面进行导电。

相应的，本申请提供一种硅片测试装置，包括如上所述的硅片导电装置。

本实用新型的有益效果是：

区别于现有技术，本申请提供一种硅片导电装置。该硅片导电装置包括：支架；多个平行设置的导电丝，设置在支架上；其中所述导电丝的至少一端通过张力调节组件安装在支架上。实用新型的硅片导电装置通过设置多个平行设置的导电丝用于和硅片接触进行通电，代替现有技术中的探针排，对激光无遮挡，可以实现激光一次性扫描整个硅片。此外，通过设置张力调节组件可以根据需要调节导电丝的张力。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的一优选实施例的硅片导电装置的立体图；

图2是本实用新型的一优选实施例的硅片导电装置的侧视图；

图3是本实用新型的一优选实施例的张力调节组件的示意图；

图4是本实用新型的一优选实施例的硅片激光强化设备的示意图；

图5是本实用新型的一优选实施例的硅片导电治具的示意图。

图中：

支架1、横向杆11、纵向杆12、安装槽121、导电丝2、张力调节组件3、弹性件31、调节件32、调节螺杆321、紧固螺母322、安装块33、固定孔331、导向轮34、硅片导电治具100、硅片放置区101、绝缘区102、硅片导电装置200。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请提供一种硅片导电装置及激光强化设备、测试装置，以下分别进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对本申请实施例优选顺序的限定。且在以下实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

参见图1和图2，在一实施例中，硅片导电装置包括：支架1；多个平行设置的导电丝2，设置在支架1上；其中所述导电丝2的至少一端通过张力调节组件3安装在支架1上。

在本实施例中，相较于现有技术采用探针排的导电方式，本实施例的硅片导电装置采用多个平行设置的导电丝2用于和硅片导电，可以对激光无遮挡，使得激光可以一次性扫描整个硅片，提升了生产效率。此外，通过设置张力调节组件可以根据需要调节导电丝的张力。

在一些实施例中，导电丝2的一端可以通过张力调节组件3安装在支架1上，另一端可以直接固接于支架。在一些实施例中，导电丝2的两端可以是均通过张力调节组件3安装在支架1上。

参见图3，可选的，所述张力调节组件3包括：弹性件31，其一端与导电丝2的端部连接；调节件32，连接在弹性件31的另一端，用于调节导电丝2的张力。

在本实施例中，采用弹性件31可以自适应导电丝2工作中所受张力变化；调节件32可以调节弹性件31的松紧，从而可以实现导电丝2的张力调节。且弹性件31与调节件32的配合，可以方便的将每一个导电丝2的张力调节至一致大小。

可选的，弹性件31可以是弹簧，导电丝2的端部可以是通过八字环与弹簧连接。当然，在其他实施例中，弹性件31也可以是其他具有弹性的线缆材质。

进一步的，所述调节件32包括：调节螺杆321，设置在支架1上；所述调节螺杆321与弹性件31连接。

在本实施例中，转动调节螺杆321可以调节其伸出的长度，从而可以实现张力调节。

参见图3，具体的，所述张力调节组件3还包括：安装块33，其上端连接在支架1上；所述调节螺杆321与安装块33螺纹配合。

在一种应用场景中，调节螺杆321可以是竖向设置在安装块33上，调节螺杆321与安装块33螺纹配合，所述调节螺杆321的下端穿过安装块33后与弹性件31连接，转动调节螺杆321可以调节其下端伸出的长度，从而调节弹簧的弹力以调节导电丝2的张力。

进一步的，所述调节螺杆321的另一端的杆身上设置有紧固螺母322。参见图3，具体的，紧固螺母322可以是设置在调节螺杆321的上端的杆身上，待调节螺杆321调节到位后，可以拧紧紧固螺母322防止调节螺杆321松动。

在本实施例中，可选的，所述安装块33竖向设置，其上端安装在支架1上，且其下端设置有导向轮34；所述导电丝2的端部经导向轮34与弹性件31连接。

进一步的，参见图1和图3，所述导电丝2横向设置；所述支架1包括横向杆11，以及连接在横向杆11的两端的纵向杆12；多个所述安装块33安装在纵向杆12上。

在本实施例中，支架1为框形设置，其中部没有遮挡，不会阻碍激光工作。每一个导电丝2的端部均设置有张力调节组件3，可以实现各导电丝2的单独调节，可以适应不同的应用场景。

进一步的，所述纵向杆12上设置有安装槽121；所述安装块33的上端嵌装在安装槽121内；所述安装块33上设置有固定孔331，用于在安装块33移动至安装槽121内相应位置后，供紧固件穿过进行固定。

可选的，安装槽121可以是沿纵向杆12的长度方向延伸。安装块33可以在安装槽121内移动，可以根据硅片尺寸型号调整各安装块33的位置。待安装块33位置确定后，可以通过紧固件穿过固定孔331将安装块33与纵向杆12固定。

可选的，导电丝2可以但不限于是钼丝等一些导电材料。

在上述实施例的基础上，参见图4，本申请的一实施例还提供了一种硅片激光强化设备，包括：硅片导电治具100，用于对硅片下表面进行导电；所述硅片导电治具100上设置有硅片放置区101，以及位于硅片放置区101外周的绝缘区102；如上所述的硅片导电装置200，用于对硅片上表面进行导电。

在一种应用场景中，硅片导电装置200可以是安装在升降机构上，硅片导电装置200下降时可以将导电丝2压紧在硅片表面实现电连接。通过对导电丝2和硅片导电治具100施加电压后，通过激光扫描硅片，可以实现硅片激光强化。硅片的上方无遮挡，激光可以一次性扫描完一整张硅片。

在上述实施例的基础上，本申请的一实施例还提供了一种硅片测试装置，包括如上所述的硅片导电装置。

可选的，上述硅片导电装置可以通过导电丝对硅片上表面电连接，可以应用于需要对硅片施加电压或者电流的测试场景，或者是检测硅片的发电性能等测试场景。

需要说明的是，本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本领域技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (8)

1.一种硅片导电装置，其特征在于，包括：

支架（1）；

多个平行设置的导电丝（2），设置在支架（1）上；其中

所述导电丝（2）的两端均通过张力调节组件（3）安装在支架（1）上；

所述张力调节组件（3）包括：

弹性件（31），其一端与导电丝（2）的端部连接；

调节件（32），连接在弹性件（31）的另一端，用于调节导电丝（2）的张力；

所述调节件（32）包括：调节螺杆（321），设置在支架（1）上；

所述调节螺杆（321）与弹性件（31）连接。

2.根据权利要求1所述的硅片导电装置，其特征在于，

所述张力调节组件（3）还包括：

安装块（33），其上端连接在支架（1）上；

所述调节螺杆（321）与安装块（33）螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的硅片导电装置，其特征在于，

所述安装块（33）竖向设置，且其下端设置有导向轮（34）；

所述导电丝（2）的端部经导向轮（34）与弹性件（31）连接。

4.根据权利要求3所述的硅片导电装置，其特征在于，

所述调节螺杆（321）的一端穿过安装块（33）后与弹性件（31）连接；

所述调节螺杆（321）的另一端的杆身上设置有紧固螺母（322）。

5.根据权利要求2所述的硅片导电装置，其特征在于，

所述导电丝（2）横向设置；

所述支架（1）包括横向杆（11），以及连接在横向杆（11）的两端的纵向杆（12）；

多个所述安装块（33）安装在纵向杆（12）上。

6.根据权利要求5所述的硅片导电装置，其特征在于，

所述纵向杆（12）上设置有安装槽（121）；

所述安装块（33）的上端嵌装在安装槽（121）内；

所述安装块（33）上设置有固定孔（331），用于在安装块（33）移动至安装槽（121）内相应位置后，供紧固件穿过进行固定。

7.一种硅片激光强化设备，其特征在于，包括：

硅片导电治具（100），用于对硅片下表面进行导电；所述硅片导电治具（100）上设置有硅片放置区（101），以及位于硅片放置区（101）外周的绝缘区（102）；

如权利要求1-6任一项所述的硅片导电装置（200），用于对硅片上表面进行导电。

8.一种硅片测试装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的硅片导电装置。