CN224124531U - 一种晶圆载板贴膜装置 - Google Patents

Abstract

一种晶圆载板贴膜装置，包括载板运动传送机构、载板位置偏差校准机构、贴膜料筒机构、载板下料存放收纳机构、限位机构、PLC、空压机、机架板、吹气管机构，机架板安装在载板运动传送机构的下端，两套限位机构横向安装在机架板前上部及中部，载板位置偏差校准机构纵向安装在位于两套限位机构之间的机架板上；吹气管机构横向安装在位于第二套限位机构前侧端出的机架板上，贴膜料筒机构安装在载板运动传送机构的前中部两侧的框架上，载板下料存放收纳机构安装在机架板的后上端。本新型限位机构能保证晶圆产品逐一进入贴膜工位和成品工位，载板位置偏差校准机构能对晶圆板左右方位进行纠偏，载板下料存放收纳机构能自动多层收纳贴好膜的晶圆产品。

Description

一种晶圆载板贴膜装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆辅助生产设备技术领域，特别是一种晶圆载板贴膜装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，具体生产时，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成单硅晶棒，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆（有方形和圆形结构）。晶圆生产后需要对其上端面进行贴膜，现有技术中，通常是工作人员人为手动把晶圆片放在贴膜工位，然后将贴膜贴在晶圆上，上述操作方式会给工作人员带来不便，相应的不利于提高工作效率。综上，提供一种能自动完成晶圆贴膜的机构显得尤为必要。

实用新型内容

为了克服现有晶圆贴膜方式由于结构所限，存在如背景所述弊端，本实用新型提供了在相关机构共同作用下，工作人员将晶圆产品放在相关工位后，设备能自动完成纠位、贴膜和放料工序，由此给工作人员带来了便利、并提高了工作效率的一种晶圆载板贴膜装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆载板贴膜装置，包括载板运动传送机构、载板位置偏差校准机构、贴膜料筒机构、载板下料存放收纳机构、限位机构、PLC、空压机、机架板、吹气管机构，所述载板运动传送机构是电动辊筒式输送机，机架板安装在载板运动传送机构的下端，限位机构至少有两套，两套限位机构横向安装在机架板前上部及中部，载板位置偏差校准机构纵向安装在位于两套限位机构之间的机架板上；所述吹气管机构横向安装在位于第二套限位机构前侧端出的机架板上，贴膜料筒机构安装在载板运动传送机构的前中部两侧的框架上，载板下料存放收纳机构安装在机架板的后上端；所述空压机的储气罐电磁阀和吹气管机构的进气管经管道连接。

进一步地，所述载板位置偏差校准机构包括校准机构安装基板、直线滑轨、滑块板、载板定位轮，直线滑轨有两个滑动块，两只滑动板分别安装在两个滑动块上，每只滑动板的上端外侧分别转动安装有多只载板定位轮。

进一步地，所述限位机构包括电动推杆、档杆，电动推杆的活塞杆上横向安装有连接杆，多只档杆下端分别安装在连接杆上。

进一步地，所述吹气管机构包括进气管、喷气管，喷气管有多只，多只喷气管下分别安装在进气管上，进气管下端和电磁阀另一端连接。

进一步地，所述载板下料存放收纳机构包括电机、主动带轮、从动带轮、丝座、顶板、安装架、支撑杆、直线轴承、下固定板、导向板、丝杠，多套直线轴承的轴承杆分别安装在下固定板四周，多套直线轴承的轴承套外侧分别安装在导向板四周，多套直线轴承的轴承杆上端分别安装在顶板的下端四周，丝座安装在导向板中部开孔内，电机安装在下固定板中部，主动带轮安装在电机转轴下端，丝杆上下端分别安装在顶板下端中部、下固定板上端中部的轴承内圈内，丝杠的中部和丝座经螺纹连接在一起，两套安装架下端分别安装在顶板上端，多只支撑杆分别安装在两套安装架内侧，丝杆下端安装从动带轮，主动带轮和从动带轮之间转动安装有传动带。

进一步地，所述贴膜料筒机构配套有横切设备、贴膜滚轮设备、膜长调节设备，贴膜料筒机构包括侧板、新膜料筒、新膜料筒滑块板、新膜料筒滑动导轨、料筒导轮、重力张紧轮、重力张紧轮滑块板、重力张紧轮升降导轨、横切刀底棍、横切刀、贴膜滚轮、离型膜分离刀、离型膜分离刀旋转气缸、绕膜导轮、夹膜滚轮升降气缸、夹膜滚花轴、电驱夹膜滚轮、夹膜滚轮气缸连接座、电驱动离型膜回收料筒，横切设备、贴膜滚轮设备、膜长调节设备的机架，以及侧板、新膜料筒、新膜料筒滑块板、新膜料筒滑动导轨、料筒导轮、重力张紧轮、重力张紧轮滑块板、重力张紧轮升降导轨、横切刀底棍、横切刀、贴膜滚轮、离型膜分离刀、离型膜分离刀旋转气缸、绕膜导轮、夹膜滚轮升降气缸、夹膜滚花轴、电驱夹膜滚轮、夹膜滚轮气缸连接座、电驱动离型膜回收料筒分别安装在两只侧板内侧端之间。

进一步地，所述两只新膜料筒滑动导轨外两侧分别横向安装在两只侧板前内侧上部之间，新膜料筒两端分别横向转动安装在两只新膜料筒滑动导轨的滑动块之间，两只料筒导轮两端分别横向转动安装在新膜料筒两侧下部前后端位置处，电驱动离型膜回收料筒两端分别转动横向安装在两只侧板前内侧下部，两只重力张紧轮升降导轨的外侧分别安装在新膜料筒后两侧下部位置处，两只重力张紧轮滑块板分别滑动位于两只重力张紧轮升降导轨内，重力张紧轮滑块板外侧具有配重杆，重力张紧轮分别横向转动安装在两只配重杆内侧之间，两只夹膜滚轮升降气缸外侧分别安装在电驱动离型膜回收料筒后端两侧位置处，两只夹膜滚轮气缸连接座下端分别安装在两只夹膜滚轮升降气缸的活塞杆上端，夹膜滚花轴安装在两只侧板内侧，夹膜滚轮安装在两只夹膜滚轮气缸连接件之间，三只绕膜导轮两侧分别横向转动安装在两只夹膜滚轮升降气缸后端， 两只离型膜分离刀旋转气缸外侧分别横向安装在两只侧板内下端中部之间，离型膜分离刀前侧两端和两只离型膜分离刀旋转气缸的轴杆内侧分别安装在一起。

进一步地，所述横切设备包括横切刀机构安装基板、横切刀移动导轨、横切刀移动底块、精密位移微调滑台 、横切刀固定块、横切刀、电驱同步带轮主动轮、同步带、同步带轮从动轮、千分尺微分头、同步带连接块，横切刀机构安装基板两端横向分布分别安装在两只新膜料筒滑动导轨后下端位置处，横切刀移动导轨后侧横向分布安装在横切刀机构安装基板前下端，横切刀移动底块后侧安装在横切刀移动导轨的滑块上，精密位移微调滑台下端安装座安装在横切刀移动底块上， 横切刀固定块下端安装在精密位移微调滑台移动端上部，横切刀上端安装在横切刀固定块下部，电驱同步带轮主动轮、同步带轮从动轮分别转动安装在横切刀机构安装基板上端两侧，同步带环形转动套在连接主动轮与从动轮外侧、千分尺微分头下端安装在横切刀移动底块上，且其测量头下端顶在精密位移微调滑台上移动端的上方，同步带连接块将同步带下右侧安装在横切刀移动底块的顶端。

进一步地，所述贴膜滚轮设备包括贴膜滚轮机构安装基板、贴膜滚轮机构侧板、贴膜滚轮升降驱动气缸、贴膜滚轮固定侧板、贴膜滚轮、贴膜滚轮驱动电机、驱动电机端同步轮、贴膜滚轮端同步轮，贴膜滚轮机构安装基板两端分别安装在两只侧板内后端之间，两只贴膜滚轮机构侧板分别安装在贴膜滚轮机构安装基板外侧，两只贴膜滚轮升降驱动气缸的筒体分别安装在两只贴膜滚轮机构侧板外侧，两只贴膜滚轮固定侧板内侧分别安装在两套贴膜滚轮升降驱动气缸的外侧端，贴膜滚轮两端分别转动安装在两只贴膜滚轮固定侧板下端，贴膜滚轮驱动电机安装在贴膜滚轮固定侧板内前侧，驱动电机端同步轮、贴膜滚轮端同步轮分别安装在贴膜滚轮、驱动电机端同步轮的转轴外侧且位于贴膜滚轮固定侧板右外端之间， 驱动电机端同步轮、贴膜滚轮端同步轮外侧转动套有同步带。

进一步地，所述膜长调节设备包括膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板、滑块、滑轨、夹膜滚轮伸缩气缸、夹膜滚花轴气缸连接件、夹膜滚花轴、夹膜滚轮、夹膜滚轮旋转驱动电机、齿条、电机、齿轮，两只滑轨分别安装在横切刀设备后端处位置，每只滑轨上有滑块，膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板外侧分别安装在两只滑轨的滑动块内侧端，两只夹膜滚轮伸缩气缸分别安装在膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板外端，两只夹膜滚花轴气缸连接件后侧分别安装在两只夹膜滚轮伸缩气缸的活塞杆后端， 夹膜滚花轴两端经由膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板中部开孔向外引出和两只加墨滚花轴气缸连接件后侧内端分别转动安装在一起，夹膜滚轮左端转动安装在膜长调节机构外侧板后部且位于夹膜滚花轴后端，夹膜滚轮右端和夹膜滚轮旋转驱动电机的转轴安装在一起，夹膜滚轮旋转驱动电机安装在膜长调节机构里侧板后外侧下端，电机右侧端安装在右端侧板内后上部，齿轮安装在电机的转轴前端，齿条安装在膜长调节机构里侧板右端上部、且齿轮的下部和齿条的上端啮合。

本实用新型有益效果是：本新型在相关机构共同作用下，工作人员将晶圆产品放在载板运动传送机构上后，限位机构能保证晶圆产品逐一进入贴膜工位和成品工位，载板位置偏差校准机构能自动对晶圆板左右方位进行纠偏、保证了贴膜料筒机构贴膜时晶圆片位置的准确性，载板下料存放收纳机构能自动多层收纳贴好膜的晶圆产品。本新型给工作人员带来了便利，相应提高了工作效率。

附图说明

以下结合附图和实施例将本实用新型做进一步说明。

图1是本实用新型整体结构示意图。

图2是本实用新型局部结构示意图。

图3是本实用新型载板位置偏差校准机构结构示意图。

图4是本实用新型贴膜料筒机构结构示意图。

图5是本实用新型贴膜料筒机构穿膜示意图。

图6是本实用新型横切刀设备结构示意图。

图7是本实用新型贴膜滚轮设备结构示意图。

图8是本实用新型载板下料存放收纳设备结构示意图。

图9是本实用新型膜长调节设备结构示意图。

具体实施方式

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，一种晶圆载板贴膜装置，包括.载板运动传送机构1、载板位置偏差校准机构2、贴膜料筒机构3、载板下料存放收纳机构4、限位机构5、PLC（图中未画出）、空压机（图中未画出）、机架板（图中未画出）、吹气管机构6，所述载板运动传送机构1是电动辊筒式输送机，机架板固定安装在载板运动传送机构1的下端，限位机构5至少有两套，两套限位机构5横向固定安装在机架板前上部，载板位置偏差校准机构2纵向固定安装在位于两套限位机构5之间的机架板上；所述吹气管机构6横向固定安装在位于第二套限位机构5前侧端出的机架板上，贴膜料筒机构3固定安装在载板运动传送机构1的中部两侧的框架上，载板下料存放收纳机构4固定安装在机架板的后上端；所述空压机的储气罐电磁阀和吹气管机构6的进气管经管道固定连接，PLC的电源输入端和交流220V电源两极分别经导线连接，PLC的多路电源输出端和载板运动传送机构的电机，载板位置偏差校准机构的直线滑轨，贴膜料筒机构的电驱离型膜回收料筒、电驱夹膜滚轮、夹膜滚轮升降气缸、离型膜分离尖口旋转气缸、电驱同步带轮主动轮、贴膜滚轮升降驱动气缸、贴膜滚轮驱动电机、夹膜滚轮旋转驱动电机、电机，载板下料存放收纳机构的电机、限位机构的电动推杆、电磁阀的电源输入端等分别经导线连接。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，载板位置偏差校准机构2包括校准机构安装基板21（载板位置偏差校准机构的基准板、支撑板，横向安装在机架板上）、直线滑轨22（作为两侧滑块板23同步反向运动的导向）、滑块板23（载板定位轮24的支撑板）、载板定位轮24（两侧的定位轮可同步反向运动，向中间聚龙，对载板起到纠正的作用，并且定位轮24可绕自身轴心旋转，避免与载板接触时产生磨损），直线滑轨有两个滑动块221，直线滑轨的两个滑动块221、直线滑轨的丝杠两端外螺纹旋向相反、两只滑动板23分别安装在两个滑动块221上，每只滑动板23的上端外侧分别转动安装有多只载板定位轮24，两只滑动板23上的多只载板定位轮24左右分布分别位于载板运动传送机构的两只输送辊101之间、且和输送辊101之间间隔距离，校准机构安装基板21固定安装在机架板上，限位机构包括电动推杆（也可采用气缸）51（实现载板的限位与释放，将挡杆推起起到限位作用，放下则起到释放作用）、档杆52（载板限位），电动推杆51的活塞杆上横向固定安装有一只连接杆，多只档杆52下端左右分布分别安装在连接杆上，多只档杆52左右分布分别位于载板运动传送机构的两只输送辊101之间、且和输送辊101之间间隔距离，电动推杆51的筒体下侧端固定安装在机架板上。吹气管机构包括进气管61、喷气管62，喷气管62有多只，多只喷气管62下端左右分布分别安装在进气管61上，进气管61下端和电磁阀另一端经管道固定连接（空压机输出的空气进入喷气管内，喷气管吹气方向如图5所示，是为了防止贴膜起头处的膜向下卷拢而导致无法将膜正常贴在载板上），喷气管62左右分布分别位于载板运动传送机构的两只输送辊101之间、且和输送辊101之间间隔距离，进气管下侧端固定安装在机架板上。载板下料存放收纳机构包括电机41（为丝杠转动提供动力）、主动带轮42、从动带轮（图中未画出，主动带轮42与从动带轮分别与电机41和丝杠491同轴连接、主动带轮42与从动带轮之间有同步连接，为电机41与丝杠之间提供动力传动作用）、丝座43（丝杠491转动时，可相对于丝座上下运动，丝座作为丝杠运动的导向，配套使用）、顶板44、安装架45（为支撑杆46起到支撑安装作用）、支撑杆46（用来支撑载板）、直线轴承47（如图所示A和B分别为直线轴承座和导向轴，两者配套使用为安装架的整体升降做辅助导向作用）、下固定板48、导向板49（安装在机架上，相对静止，作为载板下料存放收纳机构的安装基板）、丝杠491（整体升降运动的传动作用），四套直线轴承47的轴承杆分别固定安装在下固定板48四周，四套直线轴承47的轴承套外侧分别固定安装在导向板49四周，四套直线轴承47的轴承杆上端分别固定安装在顶板44的下端四周，丝座43固定安装在导向板49中部开孔内，电机41固定安装在下固定板48中部，主动带轮42固定安装在电机41转轴下端且位于下固定板48下侧，丝杆491上下端分别固定安装在顶板44下端中部、下固定板48上端中部固定安装的轴承内圈内，丝杠491的中部和丝座43经螺纹连接在一起，两套安装架45下端分别固定安装在顶板44上端连接，多只支撑杆46分别左右分布固定安装在两套安装架45内侧，丝杆491下端位于下固定板48下侧位置固定安装从动带轮，主动带轮42和从动带轮之间转动安装有一条环形同步传动带，两套安装架45及多只支撑杆46左右分布分别位于载板运动传送机构的两只输送辊101之间、且和输送辊101之间间隔距离，下固定板48的四周下部分别固定安装在机架板上。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，贴膜料筒机构3配套有横切刀设备31（通过横切刀切割，将胶膜（双层）上的带粘性的那一层胶膜割断，底部的离型膜不割断（通过调节横切刀的下刀深度来实现）、贴膜滚轮设备32（通过贴膜滚轮滚压作用将膜粘在载板上）、膜长调节设备33（用来调节横切刀切割处到离型膜分离尖口之间绕膜的长度，因为根据载板的尺寸需要调整两次横切割之间的间距；即切出来每一张膜的长度=横切刀切割处到离型膜分离尖口之间绕膜的长度）、贴膜料筒机构包括侧板7（贴膜料筒机构的整体安装基板）、新膜料筒8（安装新膜）、新膜料筒滑块板9、新膜料筒滑动导轨10（为新膜料筒上下运动的导向）、料筒导轮11（支撑起新膜料筒，新膜料筒在重力的作用下新膜的切面始终与料筒导轮11接触，使得新膜卷起不会蓬松凌乱且贴膜过程中不会改变绕膜角度）、重力张紧轮12（将膜下拉始终处于绷紧状态）、重力张紧轮滑块板13、重力张紧轮升降导轨14（重力张紧轮12的升降运动导向）、横切刀底棍15（膜紧绷在横切刀底棍15上，便于横切刀切割膜）、贴膜滚轮16（滚压贴膜）、离型膜分离刀17（其尖口便于将带粘性的那层胶膜与离型膜分离，为接下来带粘性的那层胶膜贴到载板上做准备）、离型膜分离刀旋转气缸18（调节合适的角度，使得胶膜起头的位置更好被贴膜滚轮滚压到载板上）、绕膜导轮19（膜导向）、夹膜滚轮升降气缸20（驱动夹膜滚轮22的升降运动，实现夹膜滚花轴21与夹膜滚轮22的夹紧与松开）、电驱夹膜滚花轴21、夹膜滚轮22、夹膜滚轮气缸连接座23、电驱动离型膜回收料筒24（将没用的离型膜卷起），横切设备31、贴膜滚轮设备32、膜长调节设备33的机架，以及侧板7、新膜料筒8、新膜料筒滑块板9、新膜料筒滑动导轨10、料筒导轮11、重力张紧轮12、重力张紧轮滑块板14、重力张紧轮升降导轨13、横切刀底棍15、贴膜滚轮16、离型膜分离刀17、离型膜分离刀旋转气缸18、绕膜导轮19、夹膜滚轮升降气缸20、电驱夹膜滚花轴21、夹膜滚轮22、1夹膜滚轮气缸连接座23、电驱动离型膜回收料筒24分别固定安装在两只侧板7内侧端之间。两只新膜料筒滑动导轨10外两侧分别横向固定安装在两只侧板7前内侧上部之间，新膜料筒滑块板9两端分别固定安装在两只新膜料筒滑动导轨10的滑动块之间，新膜料筒8两端分别横向转动安装在两只滑动板9之间，两只料筒导轮11两端分别横向转动安装在新膜料筒8两侧下部前后端位置处，电驱动离型膜回收料筒24两端分别转动横向安装在两只侧板7前内侧下部，两只重力张紧轮升降导轨13的外侧分别固定安装在新膜料筒8后两侧下部位置处，两只重力张紧轮滑块板14分别滑动位于两只重力张紧轮升降导轨13内，重力张紧轮滑块板14外侧具有配重杆（和侧板内侧间隔距离），重力张紧轮12两端分别横向转动安装在两只配重杆内侧之间，两只夹膜滚轮升降气缸20外侧分别固定安装在电驱动离型膜回收料筒24后端两侧位置处，两只夹膜滚轮气缸连接座23下端分别固定安装在两只夹膜滚轮升降气缸20的活塞杆上端，电驱夹膜滚花轴21、夹膜滚轮22两侧分别横向转动安装在两只夹膜滚轮气缸20连接座之间，贴膜滚轮16端同步轮两侧分别横向转动安装在两只重力张紧轮滑块板后端位置处，三只绕膜导轮19两侧分别横向转动安装在两只夹膜滚轮升降气缸20后端、贴膜滚轮端同步轮后端位置处， 两只离型膜分离刀旋转气缸18外侧分别横向固定安装在两只侧板7内下端中部之间，离型膜分离刀17前侧两端和两只离型膜分离刀旋转气缸18的轴杆内侧分别固定连接。如图6所示，为贴膜料筒机构穿膜示意图（绕膜部分）。图中A、B线条为胶膜（双层：粘性胶膜和离型膜）的缠绕走向，其中线条A为带粘性的胶膜，线条B为分离出来的离型膜；胶膜在离型膜分离尖口17的前端分离出带粘性的胶膜，离型膜则继续往后绕至离型膜回收料筒24。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，横切设备包括横切刀机构安装基板311、横切刀移动导轨312（横切刀横向移动的导向)、横切刀移动底块313、精密位移微调滑台314 (配合千分尺微分头3110作用，用来精确调节横切刀的下刀切割深度）、横切刀固定块315、横切刀316、电驱同步带轮主动轮317、同步带318；同步带轮从动轮319、千分尺微分头3110、同步带连接块3111，横切刀机构安装基板311两端横向分布分别固定安装在两只新膜料筒滑动导轨10后下端位置处，横切刀移动导轨312后侧横向分布固定安装在横切刀机构安装基板311前下端，横切刀移动底块313后侧固定安装在横切刀移动导轨312的滑块上，精密位移微调滑台314下端安装座固定安装在横切刀移动底块313上， 横切刀固定块315下端固定安装在精密位移微调滑台314移动端上部，横切刀316上端固定安装在横切刀固定块315下部，电驱同步带轮主动轮317、同步带轮从动轮319分别转动安装在横切刀机构安装基板311上端两侧，同步带318环形转动套在连接主动轮317与从动轮319外侧、千分尺微分头3110下端安装在横切刀移动底块313上，其其测量头下端顶在（千分尺微分头的工作原理：通过调节千分尺可得到与其测量头接触物体的精确位移数据）精密位移微调滑台3144上移动端的上方；同步带连接块3111将同步带下右侧固定在横切刀移动底块313的顶端。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，贴膜滚轮设备包括贴膜滚轮机构安装基板321、贴膜滚轮机构侧板322、贴膜滚轮升降驱动气缸323（为贴膜滚轮升降运动提供动力，实现贴膜滚轮的下压与松开）、贴膜滚轮固定侧板324、贴膜滚轮固定侧板325、贴膜滚轮326、贴膜滚轮驱动电机327（为贴膜滚轮旋转运动提供动力，实现贴膜滚轮的滚压）、驱动电机端同步轮328、贴膜滚轮端同步轮329（驱动电机端同步轮328与贴膜滚轮端同步轮329的共同作用，为驱动电机327与贴膜滚轮之间提供动力传动），贴膜滚轮机构安装基板321两端分别固定安装在两只侧板7内后端之间，两只贴膜滚轮机构侧板322及323分别固定安装在贴膜滚轮机构安装基板7外侧，两只贴膜滚轮升降驱动气缸323的筒体分别固定安装在两只贴膜滚轮机构侧板322及323外侧，贴膜滚轮固定侧板324、贴膜滚轮固定侧板324内侧分别固定安装在两套贴膜滚轮升降驱动气缸323的外侧端，贴膜滚轮326分别转动安装在-贴膜滚轮固定侧板324、贴膜滚轮固定侧板325下端，贴膜滚轮驱动电机327固定安装在贴膜滚轮固定侧板325内前侧，驱动电机端同步轮328、贴膜滚轮端同步轮329分别固定安装在贴膜滚轮326、驱动电机端同步轮328的转轴外侧且位于贴膜滚轮固定侧板325右外端之间，驱动电机端同步轮328、贴膜滚轮端同步轮329外侧转动套有一只环形同步带。膜长调节设备包括膜长调节机构外侧板331、-膜长调节机构里侧板332、滑块333、滑轨324（作为膜长调节机构前进后退运动的导向）、夹膜滚轮伸缩气缸325（驱动夹膜滚轮328的伸缩运动，实现夹膜滚花轴327与夹膜滚轮328的夹紧与松开）、夹膜滚花轴气缸连接件326、夹膜滚花轴327、夹膜滚轮328、夹膜滚轮旋转驱动电机329（为夹膜滚轮328的旋转提供动力、夹膜滚花轴327与夹膜滚轮328的夹紧时，夹膜滚轮328的旋转可带动夹膜滚花轴327同步反向转动，可实现胶膜的带动）、齿条3210、电机3211、齿轮3212（电机3211驱动齿轮3212转动，由于齿条与齿轮的啮合作用，则在电机的驱动下，齿轮会在齿条上滚动，实现膜长调节机构的前进后退运动），两只滑轨324分别固定安装在横切刀设备后端处位置，每只滑轨上有324个滑块333，膜长调节机构外侧板331、膜长调节机构里侧板332外侧分别固定安装在两只滑轨的滑动块333内侧端，两只夹膜滚轮伸缩气缸325分别固定安装在膜长调节机构外侧板331、膜长调节机构里侧板332外端，两只夹膜滚花轴气缸连接件326后侧分别固定安装在两只夹膜滚轮伸缩气缸325的活塞杆后端，夹膜滚花轴337两端经由膜长调节机构外侧板331、膜长调节机构里侧板332中部开孔向外引出和两只加墨滚花轴气缸连接件336后侧内端分别转动安装在一起（开孔具有余量，夹膜滚花轴337两侧能沿开孔前后运动），夹膜滚轮338左端转动安装在膜长调节机构外侧板331后部且位于夹膜滚花轴337后端，夹膜滚轮338右端和夹膜滚轮339旋转驱动电机的转轴固定安装在一起，夹膜滚轮旋转驱动电机339固定安装-膜长调节机构里侧板332后外侧下端，电机3311右侧端固定安装在右端侧板内后上部，齿轮3312固定安装在电机3311的转轴左前端， 齿条3310固定安装在2-膜长调节机构里侧板右端上部，且齿轮3312的下部和齿条的上端啮合。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，1为载板运动输送机构；在整个贴膜过程中，该机构用来输送载板101。载板运动输送机构1由一整排传送轮组成，形成一条“输送带”，由传送轮的转动来完成输送作用；每根传送轮两端通过轴承固定在链轮轴承座上并可以相互转动，且两端各有一个链轮与传送轮连接固定，两端的链轮轴承座分别固定在两端的安装基座上，整个“输送带”可通过链轮传动，设置多个驱动电机，可实现输送带的分段运动，通过限位挡料机构可设定比如进料段、贴膜段、下料段，可分别设置不同的运动速度，且互不干扰；从整个输送机构来看，载板102从前往后依次经过进料段、贴膜段、下料段；进料段与贴膜段之间设有限位挡料机构，在前一片载板贴膜完成并进入下料段之前，后一片载板会一直被限位挡料机构挡在进料段，直到前一片载板贴膜完成并进入下料段，后一片载板才会被释放进入贴膜段进行贴膜；载板进入贴膜段后，由载板位置偏差校准机构先将载板的左右位置偏差进行校准；当载板到达贴膜起始位置时，由贴膜起始位置限位机构先将载板进行限位，待膜起始位置与载板粘贴之后，贴膜起始位置限位机构将释放载板进行贴膜；载板贴膜完成之后，将继续向后运动到输送机构的下料段，随后进入到载板下料存放收纳机构的其中一层进行暂时的存放。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，本新型工作过程如下。（1）.人工将需要贴膜的载板102放在载板运动传送机最前面的传送轮上；载板运动传送机.机器启动后，传送轮开始将载板向后缓慢传送；在传送的过程中，载板位置偏差校准机构会将载板的左右位置偏差进行校准，防止人工位置放偏（具体的，PLC控制电动直线滑台221带动两只滑动块24相向而行、将载板夹持在中间位置，然后PLG控制两只滑动块向外侧端运动，不再夹持紧载板101；载板101运动至贴膜起始位置限位机构将被限位停止运动（PLC控制电动推杆推动档杆51上行高度变高，对载板起到阻挡作用），随后贴膜机构将开始贴膜动作进行贴膜。（3）贴膜机构工作的同时，可进行下一片载板的放置，在前一片载板贴膜完成之前，下一片载板会被限位挡料机构挡住，不影响前一片载板贴膜，待前一片载板贴膜完成之后下一片载板将被释放进入贴膜区域。（5）贴膜完成的载板将被继续往后传送，传送至载板下料存放收纳机构的载板支撑杆46上进行暂放；具体工作时，PLC控制电机41工作，电机经主动带轮42、同步带、从动带乱驱动丝杠491转动，丝杠491推动顶板上安装架逐渐上行，这样，每一张贴好膜的载板就能由前至后逐渐进入一层四只支撑杆46内，对载板起到支撑作用。本新型中，贴膜料筒机构工作原理如下，横切刀设备的横切刀316会作用运动先将膜进行预切割：将胶膜（双层）上的带粘性的那一层胶膜割断，底部的离型膜不割断；当膜的切割口绕到离型膜分离尖口17处，带粘性的那一层胶膜将与离型膜分离，并通过贴膜滚轮的滚压将其贴到载板101的表面；带粘性的那一层胶膜离型膜分离的同时，横切刀机设备会进行再一次切割，以此类推；两次横切割之间的间距（即切出来每一张膜的长度=横切刀切割处到离型膜分离尖口之间绕膜的长度）需要根据载板的尺寸来调整，避免胶膜太长或太短；图8中膜长调节设备则是用来调节横切刀切割处到离型膜分离尖口316之间绕膜的长度，根据图5贴膜料筒设备穿膜示意图可知，当膜长调节机构向左移动时，横切刀切割处到离型膜分离尖口之间绕膜的长度会变短，当膜长调节机构向右移动时，横切刀切割处到离型膜分离尖口之间绕膜的长度会长。

图1、2、3、4、5、6、7、8、9中所示，通过上述，本新型本在相关机构共同作用下，工作人员将晶圆产品放在载板运动传送机构上后，限位机构能保证晶圆产品逐一进入贴膜工位和成品工位，载板位置偏差校准机构能自动对晶圆板左右方位进行纠偏、保证了贴膜料筒机构贴膜时晶圆片位置的准确性，载板下料存放收纳机构能自动多层收纳贴好膜的晶圆产品。本新型给工作人员带来了便利，相应提高了工作效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征及本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，包括载板运动传送机构、载板位置偏差校准机构、贴膜料筒机构、载板下料存放收纳机构、限位机构、PLC、空压机、机架板、吹气管机构，所述载板运动传送机构是电动辊筒式输送机，机架板安装在载板运动传送机构的下端，限位机构至少有两套，两套限位机构横向安装在机架板前上部及中部，载板位置偏差校准机构纵向安装在位于两套限位机构之间的机架板上；所述吹气管机构横向安装在位于第二套限位机构前侧端出的机架板上，贴膜料筒机构安装在载板运动传送机构的前中部两侧的框架上，载板下料存放收纳机构安装在机架板的后上端；所述空压机的储气罐电磁阀和吹气管机构的进气管经管道连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，载板位置偏差校准机构包括校准机构安装基板、直线滑轨、滑块板、载板定位轮，直线滑轨有两个滑动块，两只滑动板分别安装在两个滑动块上，每只滑动板的上端外侧分别转动安装有多只载板定位轮。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，限位机构包括电动推杆、档杆，电动推杆的活塞杆上横向安装有连接杆，多只档杆下端分别安装在连接杆上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，吹气管机构包括进气管、喷气管，喷气管有多只，多只喷气管下分别安装在进气管上，进气管下端和电磁阀另一端连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，载板下料存放收纳机构包括电机、主动带轮、从动带轮、丝座、顶板、安装架、支撑杆、直线轴承、下固定板、导向板、丝杠，多套直线轴承的轴承杆分别安装在下固定板四周，多套直线轴承的轴承套外侧分别安装在导向板四周，多套直线轴承的轴承杆上端分别安装在顶板的下端四周，丝座安装在导向板中部开孔内，电机安装在下固定板中部，主动带轮安装在电机转轴下端，丝杆上下端分别安装在顶板下端中部、下固定板上端中部的轴承内圈内，丝杠的中部和丝座经螺纹连接在一起，两套安装架下端分别安装在顶板上端，多只支撑杆分别安装在两套安装架内侧，丝杆下端安装从动带轮，主动带轮和从动带轮之间转动安装有传动带。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，贴膜料筒机构配套有横切设备、贴膜滚轮设备、膜长调节设备，贴膜料筒机构包括侧板、新膜料筒、新膜料筒滑块板、新膜料筒滑动导轨、料筒导轮、重力张紧轮、重力张紧轮滑块板、重力张紧轮升降导轨、横切刀底棍、横切刀、贴膜滚轮、离型膜分离刀、离型膜分离刀旋转气缸、绕膜导轮、夹膜滚轮升降气缸、夹膜滚花轴、电驱夹膜滚轮、夹膜滚轮气缸连接座、电驱动离型膜回收料筒，横切设备、贴膜滚轮设备、膜长调节设备的机架，以及侧板、新膜料筒、新膜料筒滑块板、新膜料筒滑动导轨、料筒导轮、重力张紧轮、重力张紧轮滑块板、重力张紧轮升降导轨、横切刀底棍、横切刀、贴膜滚轮、离型膜分离刀、离型膜分离刀旋转气缸、绕膜导轮、夹膜滚轮升降气缸、夹膜滚花轴、电驱夹膜滚轮、夹膜滚轮气缸连接座、电驱动离型膜回收料筒分别安装在两只侧板内侧端之间。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，两只新膜料筒滑动导轨外两侧分别横向安装在两只侧板前内侧上部之间，新膜料筒两端分别横向转动安装在两只新膜料筒滑动导轨的滑动块之间，两只料筒导轮两端分别横向转动安装在新膜料筒两侧下部前后端位置处，电驱动离型膜回收料筒两端分别转动横向安装在两只侧板前内侧下部，两只重力张紧轮升降导轨的外侧分别安装在新膜料筒后两侧下部位置处，两只重力张紧轮滑块板分别滑动位于两只重力张紧轮升降导轨内，重力张紧轮滑块板外侧具有配重杆，重力张紧轮分别横向转动安装在两只配重杆内侧之间，两只夹膜滚轮升降气缸外侧分别安装在电驱动离型膜回收料筒后端两侧位置处，两只夹膜滚轮气缸连接座下端分别安装在两只夹膜滚轮升降气缸的活塞杆上端，夹膜滚花轴安装在两只侧板内侧，夹膜滚轮安装在两只夹膜滚轮气缸连接件之间，三只绕膜导轮两侧分别横向转动安装在两只夹膜滚轮升降气缸后端， 两只离型膜分离刀旋转气缸外侧分别横向安装在两只侧板内下端中部之间，离型膜分离刀前侧两端和两只离型膜分离刀旋转气缸的轴杆内侧分别安装在一起。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，横切设备包括横切刀机构安装基板、横切刀移动导轨、横切刀移动底块、精密位移微调滑台 、横切刀固定块、横切刀、电驱同步带轮主动轮、同步带、同步带轮从动轮、千分尺微分头、同步带连接块，横切刀机构安装基板两端横向分布分别安装在两只新膜料筒滑动导轨后下端位置处，横切刀移动导轨后侧横向分布安装在横切刀机构安装基板前下端，横切刀移动底块后侧安装在横切刀移动导轨的滑块上，精密位移微调滑台下端安装座安装在横切刀移动底块上， 横切刀固定块下端安装在精密位移微调滑台移动端上部，横切刀上端安装在横切刀固定块下部，电驱同步带轮主动轮、同步带轮从动轮分别转动安装在横切刀机构安装基板上端两侧，同步带环形转动套在连接主动轮与从动轮外侧、千分尺微分头下端安装在横切刀移动底块上，且其测量头下端顶在精密位移微调滑台上移动端的上方，同步带连接块将同步带下右侧安装在横切刀移动底块的顶端。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，贴膜滚轮设备包括贴膜滚轮机构安装基板、贴膜滚轮机构侧板、贴膜滚轮升降驱动气缸、贴膜滚轮固定侧板、贴膜滚轮、贴膜滚轮驱动电机、驱动电机端同步轮、贴膜滚轮端同步轮，贴膜滚轮机构安装基板两端分别安装在两只侧板内后端之间，两只贴膜滚轮机构侧板分别安装在贴膜滚轮机构安装基板外侧，两只贴膜滚轮升降驱动气缸的筒体分别安装在两只贴膜滚轮机构侧板外侧，两只贴膜滚轮固定侧板内侧分别安装在两套贴膜滚轮升降驱动气缸的外侧端，贴膜滚轮两端分别转动安装在两只贴膜滚轮固定侧板下端，贴膜滚轮驱动电机安装在贴膜滚轮固定侧板内前侧，驱动电机端同步轮、贴膜滚轮端同步轮分别安装在贴膜滚轮、驱动电机端同步轮的转轴外侧且位于贴膜滚轮固定侧板右外端之间， 驱动电机端同步轮、贴膜滚轮端同步轮外侧转动套有同步带。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆载板贴膜装置，其特征在于，膜长调节设备包括膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板、滑块、滑轨、夹膜滚轮伸缩气缸、夹膜滚花轴气缸连接件、夹膜滚花轴、夹膜滚轮、夹膜滚轮旋转驱动电机、齿条、电机、齿轮，两只滑轨分别安装在横切刀设备后端处位置，每只滑轨上有滑块，膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板外侧分别安装在两只滑轨的滑动块内侧端，两只夹膜滚轮伸缩气缸分别安装在膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板外端，两只夹膜滚花轴气缸连接件后侧分别安装在两只夹膜滚轮伸缩气缸的活塞杆后端， 夹膜滚花轴两端经由膜长调节机构外侧板、膜长调节机构里侧板中部开孔向外引出和两只加墨滚花轴气缸连接件后侧内端分别转动安装在一起，夹膜滚轮左端转动安装在膜长调节机构外侧板后部且位于夹膜滚花轴后端，夹膜滚轮右端和夹膜滚轮旋转驱动电机的转轴安装在一起，夹膜滚轮旋转驱动电机安装在膜长调节机构里侧板后外侧下端，电机右侧端安装在右端侧板内后上部，齿轮安装在电机的转轴前端，齿条安装在膜长调节机构里侧板右端上部、且齿轮的下部和齿条的上端啮合。