CN224066653U - 一种石英坩埚内壁涂层检验设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检验设备技术领域，尤其是一种石英坩埚内壁涂层检验设备，包括工作台、以及设置在所述工作台上的坩埚本体，所述工作台上设置有两个相对设置用于夹持所述坩埚本体的夹持组件，所述工作台的下侧设置有用于驱使所述夹持组件移动的驱动组件，所述驱动组件与两个所述夹持组件之间均设置有用于调节所述夹持组件高度的调节组件，所述工作台的一侧设置有检测组件，本实用新型通过夹持组件对石英坩埚进行固定，通过齿轮和齿条联动机构实现自适应夹持，当坩埚外壁与齿条接触时，齿条受压后移并驱动齿轮旋转，进而带动另外两个板块同步运动，最终使三个轮件均匀贴合坩埚表面，从而可以自适应不同尺寸的坩埚。

Description

一种石英坩埚内壁涂层检验设备

技术领域

本实用新型涉及检验设备技术领域，尤其涉及一种石英坩埚内壁涂层检验设备。

背景技术

石英坩埚内壁涂层在生产的过程中可能会产生裂缝和气泡等，在使用过程中可能导致多种问题，尤其是在高温的情况下，裂缝和气泡的区域可能会因为长期高温使用，从而引发更大的裂纹甚至破裂，因此石英坩埚在生产完成后需要对内壁涂层进行检测。

如现有技术中国专利公告号“CN219142680U”公布的一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备，属于光伏直拉单晶硅技术领域。主要包括底座、旋转平台、石英坩埚、支架、横梁、CCD相机、工控机，所述的底座正中央安装有旋转平台，石英坩埚平稳放置在旋转平台上，底座边缘处固有一个垂直于底座主平面的支架,滑动件安装在支架上，横梁通过弓形卸扣安装在支架上，CCD相机安装在横梁上，工控机安装在底座边缘；本实用新型直接代替了人工肉眼检测，检测人员只需要操作工控机即可完成检测。

但是现有的大多数石英坩埚检测装置普遍采用旋转平台对石英坩埚进行旋转，然后通过CCD相机进行拍摄，对石英坩埚内壁进行检测，但是缺少夹持居中装置，因此在使用的过程中可能会因为旋转平台的旋转力将石英坩埚甩飞，造成设备损坏和人员受伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在上述缺点，而提出的一种石英坩埚内壁涂层检验设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种石英坩埚内壁涂层检验设备，包括工作台、以及设置在所述工作台上的坩埚本体，所述工作台上设置有两个相对设置用于夹持所述坩埚本体的夹持组件，所述工作台的下侧设置有用于驱使所述夹持组件移动的驱动组件，所述驱动组件与两个所述夹持组件之间均设置有用于调节所述夹持组件高度的调节组件，所述工作台的一侧设置有检测组件。

进一步的，所述调节组件包括滑块，所述工作台上开设有滑槽，所述滑块滑动连接在所述滑槽内，所述滑块的上端固定连接有套管，所述套管内滑动连接有支撑杆，所述套管内固定连接有第一电机，所述第一电机的轴端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆与所述支撑杆螺纹连接。

进一步的，所述夹持组件包括与所述支撑杆上端固定连接的外壳，所述外壳内滑动连接有齿条，所述齿条的两侧均转动连接有齿轮，两个所述齿轮均与所述齿条啮合，所述齿轮的周面上固定连接有板块，所述板块与所述齿条的前端均转动连接有轮件，所述齿条的另一端固定连接有连接板，所述连接板与所述外壳之间固定连接有拉簧。

进一步的，所述驱动组件包括固定连接在所述工作台下侧的气缸，所述气缸的伸缩端两侧均转动连接连接杆，各所述连接杆的自由端销接一个所述滑块。

进一步的，所述检测组件包括与所述工作台固定连接的U型架、以及滑动连接在所述U型架两端之间的滑板，所述U型架与所述工作台间转动连接有螺杆，所述滑板与所述螺杆螺纹连接，所述U型架的上端固定连接有第三电机，所述螺杆的一端穿设所述U型架并与所述第三电机的轴端固定连接，所述滑板的一侧固定连接有视觉单元。

进一步的，所述工作台的上端中心处转动连接有转轴，所述转轴的轴端固定连接有圆盘，所述圆盘与所述工作台转动连接，所述坩埚本体设置在所述圆盘的上端。

本实用新型提出的一种石英坩埚内壁涂层检验设备，有益效果在于：本实用新型通过夹持组件对石英坩埚进行固定，通过齿轮和齿条联动机构实现自适应夹持，当坩埚外壁与齿条接触时，齿条受压后移并驱动齿轮旋转，进而带动另外两个板块同步运动，最终使三个轮件均匀贴合坩埚表面，从而可以自适应不同尺寸的坩埚并对其进行稳固的夹持，显著提升了装置的适用范围和夹持稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的夹持组件结构剖视示意图；

图4为本实用新型的图2A区域结构放大示意图；

图5为本实用新型的图2B区域结构放大示意图。

图中：1、工作台；11、坩埚本体；12、滑槽；13、转轴；14、圆盘；2、夹持组件；21、外壳；22、齿条；23、齿轮；24、板块；25、轮件；26、连接板；27、拉簧；3、驱动组件；31、气缸；32、连接杆；4、检测组件；41、U型架；42、滑板；43、螺杆；44、第三电机；45、视觉单元；5、调节组件；51、滑块；52、套管；53、第一电机；54、螺纹杆；55、支撑杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-5，一种石英坩埚内壁涂层检验设备，包括工作台1、以及设置在所述工作台1上的坩埚本体11，所述工作台1上设置有两个相对设置用于夹持所述坩埚本体11的夹持组件2，所述工作台1的下侧设置有用于驱使所述夹持组件2移动的驱动组件3，所述驱动组件3与两个所述夹持组件2之间均设置有用于调节所述夹持组件2高度的调节组件5，所述工作台1的一侧设置有检测组件4。

需要说明的是，所述调节组件5包括滑块51，所述工作台1上开设有滑槽12，所述滑块51滑动连接在所述滑槽12内，所述滑块51的上端固定连接有套管52，所述套管52内滑动连接有支撑杆55，所述套管52内固定连接有第一电机53，所述第一电机53的轴端固定连接有螺纹杆54，所述螺纹杆54与所述支撑杆55螺纹连接，其中套管52和支撑杆55均为长方形，通过第一电机53转动带着螺纹杆54转动，通过螺纹杆54转动带着支撑杆55移动，支撑杆55带着夹持组件2上下移动，从而使夹持组件2接近不同大小的坩埚本体11的重心，增加夹持的稳定性。

在本实施例中，所述夹持组件2包括与所述支撑杆55上端固定连接的外壳21，所述外壳21内滑动连接有齿条22，所述齿条22的两侧均转动连接有齿轮23，两个所述齿轮23均与所述齿条22啮合，所述齿轮23的周面上固定连接有板块24，所述板块24与所述齿条22的前端均转动连接有轮件25，所述齿条22的另一端固定连接有连接板26，所述连接板26与所述外壳21之间固定连接有拉簧27，当齿条22与坩埚本体11外壁接触时，齿条22受压后移并驱动齿轮23旋转，进而带动另外两个板块24同步运动，最终使六个轮件25均匀贴合坩埚本体11表面，检测完成后滑块51复位，齿条22通过拉簧27进行复位从而便于下次夹持，且在夹持两个齿条22分别与坩埚本体11进行抵触，坩埚本体11如果倾斜，齿条22在与坩埚本体11进行抵触时会导致齿条22的伸出量不同，当齿条22伸出的量不同，拉簧27的伸展长度也会不一样，伸展较多的拉簧27会产生更大的拉力，从而使该齿条22在外壳21内的位置不再移动，但是两个滑块51通过气缸31进行同步运动，带着齿条22向内挤压，从而通过伸展长度较长的齿条22将坩埚本体11进行居中，居中完成后齿条22继续与坩埚本体11进行抵触从而带着另外两个板块24同步运动，使六个轮件25均匀贴合坩埚本体11表面。

进一步的来说，所述驱动组件3包括固定连接在所述工作台1下侧的气缸31，所述气缸31的伸缩端两侧均转动连接连接杆32，各所述连接杆32的自由端销接一个所述滑块51，通过气缸31伸缩端收缩从而通过连接杆32带着两个滑块51同步向中心移动，滑块51移动时会带着夹持组件2移动从而对坩埚本体11进行夹持。

更进一步的来说，所述检测组件4包括与所述工作台1固定连接的U型架41、以及滑动连接在所述U型架41两端之间的滑板42，所述U型架41与所述工作台1间转动连接有螺杆43，所述滑板42与所述螺杆43螺纹连接，所述U型架41的上端固定连接有第三电机44，所述螺杆43的一端穿设所述U型架41并与所述第三电机44的轴端固定连接，所述滑板42的一侧固定连接有视觉单元45，通过第三电机44带着螺纹杆转动，从而带着滑板42上下移动，带着视觉单元45移动，其中视觉单元45由视觉检测模块、云台和照射灯组成为现有技术在此不进行赘述，通过视觉模块对涂层进行检测观察气泡和裂缝等，通过云台带着视觉模块和照射灯旋转角度。

在上述实施例的基础上，所述工作台1的上端中心处转动连接有转轴13，所述转轴13的轴端固定连接有圆盘14，所述圆盘14与所述工作台1转动连接，其中圆盘14上设置有橡胶防滑垫防止打滑，所述坩埚本体11设置在所述圆盘14的上端，将坩埚本体11放置到圆盘14上端，当视觉模块检测到有裂缝时工作人员空心对坩埚本体进行旋转，然后使用记号笔对裂缝处进行标记以便于统计。

工作方式；工作时，将坩埚本体11放置到圆盘14是上端，然后根据坩埚本体11的大小启动调节组件5，从而将夹持组件2调整到合适高度，之后启动气缸31，通过气缸31将夹持组件2向内推，当夹持组件2上的六个轮件25都均匀贴合坩埚本体11表面后，启动第三电机44，使坩埚本体11旋转和视觉单元45下降，当视觉单元45下降到合适位置后即可停下第三电机44，使视觉单元45对坩埚本体11进行检测。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种石英坩埚内壁涂层检验设备，包括工作台(1)、以及设置在所述工作台(1)上的坩埚本体(11)，其特征在于：所述工作台(1)上设置有两个相对设置用于夹持所述坩埚本体(11)的夹持组件(2)，所述工作台(1)的下侧设置有用于驱使所述夹持组件(2)移动的驱动组件(3)，所述驱动组件(3)与两个所述夹持组件(2)之间均设置有用于调节所述夹持组件(2)高度的调节组件(5)，所述工作台(1)的一侧设置有检测组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚内壁涂层检验设备，其特征在于：所述调节组件(5)包括滑块(51)，所述工作台(1)上开设有滑槽(12)，所述滑块(51)滑动连接在所述滑槽(12)内，所述滑块(51)的上端固定连接有套管(52)，所述套管(52)内滑动连接有支撑杆(55)，所述套管(52)内固定连接有第一电机(53)，所述第一电机(53)的轴端固定连接有螺纹杆(54)，所述螺纹杆(54)与所述支撑杆(55)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚内壁涂层检验设备，其特征在于：所述夹持组件(2)包括与所述支撑杆(55)上端固定连接的外壳(21)，所述外壳(21)内滑动连接有齿条(22)，所述齿条(22)的两侧均转动连接有齿轮(23)，两个所述齿轮(23)均与所述齿条(22)啮合，所述齿轮(23)的周面上固定连接有板块(24)，所述板块(24)与所述齿条(22)的前端均转动连接有轮件(25)，所述齿条(22)的另一端固定连接有连接板(26)，所述连接板(26)与所述外壳(21)之间固定连接有拉簧(27)。

4.根据权利要求2所述的一种石英坩埚内壁涂层检验设备，其特征在于：所述驱动组件(3)包括固定连接在所述工作台(1)下侧的气缸(31)，所述气缸(31)的伸缩端两侧均转动连接连接杆(32)，各所述连接杆(32)的自由端销接一个所述滑块(51)。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚内壁涂层检验设备，其特征在于：所述检测组件(4)包括与所述工作台(1)固定连接的U型架(41)、以及滑动连接在所述U型架(41)两端之间的滑板(42)，所述U型架(41)与所述工作台(1)间转动连接有螺杆(43)，所述滑板(42)与所述螺杆(43)螺纹连接，所述U型架(41)的上端固定连接有第三电机(44)，所述螺杆(43)的一端穿设所述U型架(41)并与所述第三电机(44)的轴端固定连接，所述滑板(42)的一侧转动连接有视觉单元(45)。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚内壁涂层检验设备，其特征在于：所述工作台(1)的上端中心处转动连接有转轴(13)，所述转轴(13)的一端固定连接有圆盘(14)，所述圆盘(14)与所述工作台(1)转动连接，所述坩埚本体(11)设置在所述圆盘(14)的上端。