CN224011945U - 一种石英舟托打磨设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种石英舟托打磨设备，其包括机架以及设于机架上的定位机构和打磨机构。定位机构包括定位座、定位块和侧向夹紧气缸，定位座具有在第一方向上相对的第一端和第二端以及在第二方向上相对的第一侧和第二侧，第一方向与第二方向相互垂直；第一端、第一侧分别设有至少一个定位块，第二端、第二侧分别设有至少一个侧向夹紧气缸。第一侧、第二侧还分别设有旋转压紧气缸。两组打磨机构分别设于定位机构两侧；打磨机构包括三轴移动模组、打磨电机和打磨轮。定位机构能够对石英舟托进行精确定位和有效固定，两侧的焊接机构能够自动对石英舟托的侧板进行打磨，提高打磨效率和打磨精度，降低人力成本，提升石英舟托的产品质量。

Description

一种石英舟托打磨设备

技术领域

本实用新型涉及石英制品生产技术领域，尤其涉及一种石英舟托打磨设备。

背景技术

石英制品是半导体、光伏行业工艺制程设备的关键部件，一般使用石英舟承载硅片，石英舟放置在石英舟托上送入工艺炉内。如图7所示，石英舟托200一般包括平行设置的两块托板201以及平行设置的两块侧板202，两块侧板202分别位于两块托板201的两端。每块侧板202的两角位置还分别设置有乳白色的定位块203，以便于石英舟托200在工艺炉内进行定位。目前一般通过焊接方式在侧板的两角位置焊接定位块，焊接后还需要对焊接处进行精细打磨。但是，目前多采用人工打磨操作，难以对石英舟托进行精确定位，劳动强度大，且打磨效率较低，打磨精度较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石英舟托打磨设备，能够对石英舟托进行有效固定，提高石英舟托打磨效率和打磨精度。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

本实用新型提供一种石英舟托打磨设备，所述石英舟托打磨设备包括机架以及设于所述机架上的定位机构和打磨机构。

所述定位机构包括定位座、定位块和侧向夹紧气缸，所述定位座沿第一方向设于所述机架上，所述定位座具有在第一方向上相对的第一端和第二端以及在第二方向上相对的第一侧和第二侧，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述第一端、所述第一侧分别设有至少一个所述定位块，所述第二端、所述第二侧分别设有至少一个所述侧向夹紧气缸。

所述打磨机构有两组，两组打磨机构分别设于所述定位机构的第一方向上的两侧；所述打磨机构包括三轴移动模组、打磨电机和打磨轮，所述打磨电机可移动地设于所述三轴移动模组上，所述打磨电机的输出轴沿竖直方向向下设置，所述打磨轮与所述打磨电机的输出轴连接。

优选地，所述侧向夹紧气缸的活塞杆沿水平方向设置，且所述侧向夹紧气缸的活塞杆端部设有推板。

优选地，所述定位座上沿所述第二方向设有底板，所述底板的两端分别设有旋转压紧气缸。

优选地，所述底板对应于所述第二侧的一端设有导槽，所述导槽沿所述第二方向延伸；对应于所述第二侧的旋转压紧气缸的底部设有滑块，所述滑块的结构与所述导槽的结构相匹配，所述滑块可滑动地设于所述导槽内。

优选地，所述旋转压紧气缸的压臂上设有压块。

优选地，所述压臂上设有腰型孔，所述压块上设有连杆，所述连杆穿设于所述腰型孔内并通过螺母进行固定。

优选地，所述机架的第一方向的两端分别设有电子尺。

优选地，所述机架的上方侧部设有防护板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型的石英舟托打磨设备中，定位机构能够对石英舟托进行精确定位和有效固定，两侧的焊接机构能够自动对石英舟托的侧板进行打磨，提高打磨效率和打磨精度，降低人力成本，提升石英舟托的产品质量。

附图说明

图1为本实用新型的一种石英舟托打磨设备的整体结构示意图。

图2为本实用新型的一种石英舟托打磨设备的内部结构示意图。

图3为本实用新型中定位机构的结构示意图。

图4为本实用新型中定位座处的结构示意图。

图5为本实用新型中旋转压紧气缸处的结构示意图。

图6为本实用新型中焊接机构的结构示意图。

图7为石英舟托的结构示意图。

图中，100-石英舟托打磨设备，10-机架，11-防护板，12-电子尺，20-定位机构，21-定位座，211-第一端，212-第二端，213-第一侧，214-第二侧，22-定位块，23-侧向夹紧气缸，231-推板，24-底板，241-导槽，25-旋转压紧气缸，251-压臂，252-腰型孔，253-压块，254-连杆，255-螺母，26-滑块，30-打磨机构，31-三轴移动模组，32-打磨电机，33-打磨轮。200-石英舟托，201-托板，202-侧板，203-定位块。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。可以理解，在不冲突的情况下，本文所描述的各个实施例的一些技术手段可相互替换或结合。

在本实用新型的描述中，若存在术语“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。由此，限定有“第一”、“第二”等的对象可以明示或者隐含地包括一个或者多个该对象。并且，“一个”或者“一”等类似词语，不表示数量限制，而是表示存在至少一个，“多个”表示不少于两个。

在本实用新型说明书的描述中，参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本实用新型的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“一个实施例中”、“一些实施例中”、“其他一些实施例中”、“另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。

如图7所示，石英舟托200包括平行设置的两块托板201以及平行设置的两块侧板202，两块侧板202分别位于两块托板201的两端。每块侧板202的两角位置还分别设置有乳白色的定位块203，以便于石英舟托200在工艺炉内进行定位。

本实用新型提供一种石英舟托打磨设备，用于在石英侧板焊接定位块后对石英侧板进行打磨，提高生产效率和产品质量。参照图1，该石英舟托打磨设备100包括机架10以及设于机架10上的定位机构20和打磨机构30。其中，定位机构10用于对石英舟托200进行精确定位和有效固定，打磨机构30用于对石英舟托200的侧板进行打磨。

具体地，结合参照图2至图5，定位机构20包括定位座21、定位块22和侧向夹紧气缸23，定位座21沿第一方向X设于机架10上，定位座21具有在第一方向X上相对的第一端211和第二端212以及在第二方向Y上相对的第一侧213和第二侧214，第一方向X与第二方向Y相互垂直。其中，第一方向X可以对应于机架10的左右方向，第二方向Y可以对应于机架10的前后方向。第一端211、第一侧213分别设有至少一个定位块22，第二端212、第二侧214分别设有至少一个侧向夹紧气缸23。其中，定位块22、侧向夹紧气缸23的数量和间隔可以分别根据实际需求进行合理设定。

参照图1或图2，打磨机构30有两组，两组打磨机构30分别设于定位机构20的第一方向X上的两侧。具体地，参照图6，打磨机构30包括三轴移动模组31、打磨电机32和打磨轮33，打磨电机32可移动地设于三轴移动模组31上，打磨电机32的输出轴沿竖直方向Z向下设置，打磨轮33与打磨电机32的输出轴连接。其中，三轴移动模组31用于带动打磨电机32沿X、Y、Z三个方向移动，打磨电机32用于驱动打磨轮33转动。三轴移动模组31可以采用现有技术中的三轴移动模组产品，例如龙门式三轴模组等；打磨电机32可以采用现有技术中的伺服电机等产品，其结构和工作原理属于现有技术，在此不再赘述。

上述石英舟托打磨设备100中，定位机构20能够对石英舟托200进行精确定位和有效固定，两侧的焊接机构30能够自动对石英舟托200的侧板进行打磨，提高打磨效率和打磨精度，降低人力成本，提升石英舟托的产品质量。

应用中，焊接后的石英舟托200置于定位座21上，利用第一端211的定位块22、第一侧213的定位块22分别对石英舟托200的一个侧板和一个托板进行定位，第二端212的侧向夹紧气缸23沿第一方向X向石英舟托200推进，从而在第一方向X上对石英舟托200进行定位和夹紧，第二侧214的侧向夹紧气缸23沿第二方向Y向石英舟托推进，从而在第二方向Y上对石英舟托200进行定位和夹紧。之后，两组打磨机构30中的三轴移动模组31带动打磨轮33移动至所需打磨的位置，打磨电机32驱动打磨轮33高速转动，从而实现对石英舟托200的侧板的精确打磨。

参照图4，在一些优选地实施例中，侧向夹紧气缸23的活塞杆沿水平方向设置，且侧向夹紧气缸23的活塞杆端部设有推板231。推板231能够增加侧向夹紧气缸23与石英舟托200的接触面积，从而避免石英舟托200因受力不均而破裂。进一步地，推板231朝向石英舟托100的一侧还可以设置柔性垫片，以起到缓冲作用，减少对石英舟托200的冲击力。

结合参照图3和图4，在一些优选地实施例中，定位座21上沿第二方向Y设有底板24，底板24的两端分别设有旋转压紧气缸25。当定位块22与侧向夹紧气缸23配合而在第一方向X和第二方向Y上对石英舟托200进行定位和夹紧后，旋转压紧气缸25可以用于在竖直方向Z上压紧石英舟托200，进一步增强石英舟托200的稳定性，避免打磨过程中石英舟托200移位或晃动，进而提升打磨质量。其中，旋转压紧气缸25可以采用现有技术中的旋转压紧气缸产品，其构造和工作原理属于现有技术，在此不再赘述。

进一步地，结合参照图4和图5，底板24对应于第二侧214的一端设有导槽241，导槽241沿第二方向Y延伸；对应于第二侧214的旋转压紧气缸25的底部设有滑块26，滑块26的结构与导槽241的结构相匹配，滑块26可滑动地设于导槽241内。滑块26与导槽241的结构配合，便于根据不同宽度的石英舟托而调整相对的两个旋转压紧气缸25之间的距离，从而提升设备的适用性。

参照图5，旋转压紧气缸25的压臂251上设有压块253。旋转压紧气缸25驱动压臂251旋转并下压，压块253直接抵在石英舟托的托板上。其中，压块253可以采用橡胶等柔性材料，避免对石英舟托造成破坏。

进一步地，压臂251上设有腰型孔252，压块253上设有连杆254，连杆254穿设于腰型孔252内并通过螺母255进行固定。通过调整连杆254在腰型孔252内的固定位置，可以对应调整压块253的位置，从而匹配不同尺寸的石英舟托。

参照图1或图2，机架10的第一方向X的两端分别设有电子尺12。电子尺可以用于校准打磨轮的位置，提高打磨定位精度。

进一步地，机架10的上方侧部设有防护板11，以提升安全性。

本实用新型的石英舟托打磨设备中，定位机构能够对石英舟托进行精确定位和有效固定，两侧的焊接机构能够自动对石英舟托的侧板进行打磨，提高打磨效率和打磨精度，降低人力成本，提升石英舟托的产品质量。

本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。

Claims (8)

1.一种石英舟托打磨设备，其特征在于：所述石英舟托打磨设备包括机架以及设于所述机架上的定位机构和打磨机构；

所述定位机构包括定位座、定位块和侧向夹紧气缸，所述定位座沿第一方向设于所述机架上，所述定位座具有在第一方向上相对的第一端和第二端以及在第二方向上相对的第一侧和第二侧，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述第一端、所述第一侧分别设有至少一个所述定位块，所述第二端、所述第二侧分别设有至少一个所述侧向夹紧气缸；

所述打磨机构有两组，两组打磨机构分别设于所述定位机构的第一方向上的两侧；所述打磨机构包括三轴移动模组、打磨电机和打磨轮，所述打磨电机可移动地设于所述三轴移动模组上，所述打磨电机的输出轴沿竖直方向向下设置，所述打磨轮与所述打磨电机的输出轴连接。

2.如权利要求1所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述侧向夹紧气缸的活塞杆沿水平方向设置，且所述侧向夹紧气缸的活塞杆端部设有推板。

3.如权利要求1所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述定位座上沿所述第二方向设有底板，所述底板的两端分别设有旋转压紧气缸。

4.如权利要求3所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述底板对应于所述第二侧的一端设有导槽，所述导槽沿所述第二方向延伸；对应于所述第二侧的旋转压紧气缸的底部设有滑块，所述滑块的结构与所述导槽的结构相匹配，所述滑块可滑动地设于所述导槽内。

5.如权利要求3或4所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述旋转压紧气缸的压臂上设有压块。

6.如权利要求5所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述压臂上设有腰型孔，所述压块上设有连杆，所述连杆穿设于所述腰型孔内并通过螺母进行固定。

7.如权利要求1所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述机架的第一方向的两端分别设有电子尺。

8.如权利要求1所述的石英舟托打磨设备，其特征在于：所述机架的上方侧部设有防护板。