CN223946381U - 一种用于流道的可调节台风清洁设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及了一种用于流道的可调节台风清洁设备，包括流道机构、安装于流道机构上方的台风清洁机构、与台风清洁机构通过管道连接的过滤吸尘机构；流道机构具有流道；台风清洁机构包括外壳框架、安装于位于外壳框架内侧的台风清洁组件；外壳框架的后侧设置有排风箱；排风箱的出风口通过管道与过滤吸尘机构的进风口连接；排风箱上还设置有负压检测表；台风清洁机构还包括安装于外壳框架内侧的XYZ轴移动机构，台风清洁组件固定于XYZ轴移动机构的移动端。本实用新型一种用于流道的可调节台风清洁设备，通过XYZ轴移动机构、台风清洁技术、双层过滤吸尘机构的设计，有效解决了传统清洁设备在清洁精度、过滤效果和运行监控方面的不足。

Description

一种用于流道的可调节台风清洁设备

技术领域

本实用新型涉及清洁设备技术领域，特别是涉及一种用于流道的可调节台风清洁设备。

背景技术

在电子制造、精密仪器生产等众多对生产环境洁净度要求极高的行业中，生产过程中产生的微小颗粒、灰尘等污染物，会对产品质量产生严重影响。例如在芯片制造过程中，哪怕是极其细微的灰尘颗粒，都可能导致芯片短路或性能下降。因此，高效的清洁设备对于保障产品质量、提高生产效率至关重要。

以往的清洁设备主要包括以下几种：

一、固定式清洁设备：清洁机构固定，无法灵活调整清洁位置，适用于单一场景，但灵活性差；

二、手动清洁设备：依赖人工操作，清洁效率低，且难以保证清洁一致性。

三、半自动清洁设备：具备一定的自动化功能，但清洁范围和精度有限，无法满足高精度清洁需求。

四、吸尘设备：传统吸尘设备通常采用单层过滤，过滤效果有限，且缺乏负压检测功能，难以实时监控设备运行状态。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于流道的可调节台风清洁设备，通过XYZ轴移动机构、台风清洁技术、双层过滤吸尘机构的设计，有效解决了传统清洁设备在清洁精度、过滤效果和运行监控方面的不足；具有广阔的应用前景，能够显著提升清洁效率和质量，推动相关行业的技术进步。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于流道的可调节台风清洁设备，包括流道机构、安装于流道机构上方的台风清洁机构、与台风清洁机构通过管道连接的过滤吸尘机构；所述流道机构具有流道；所述台风清洁机构包括外壳框架、安装于位于外壳框架内侧的台风清洁组件；所述外壳框架的后侧设置有排风箱；所述排风箱的进风口与台风清洁组件的出风口通过软管连通，排风箱的出风口通过管道与过滤吸尘机构的进风口连接；所述排风箱上还设置有负压检测表，用于检测排风箱内的负压状态；所述台风清洁机构还包括安装于外壳框架内侧的XYZ轴移动机构，所述台风清洁组件固定于XYZ轴移动机构的移动端，用于通过XYZ轴移动机构调节台风清洁组件相对于流道的前、后、左、右、上、下的方位。

进一步的，所述XYZ轴移动机构包括两个分别固定于外壳框架左右两侧的安装板，每个安装板上皆安装有竖向的丝杆组件，丝杆组件包括丝杆及与丝杆配合的丝杆螺母，所述丝杆螺母上固定有Z轴移动板；所述Z轴移动板上还固定有前后方向的Y轴滑杆，Y轴滑杆上装配有一前一后的两个Y轴滑块；左右两侧相对应的Y轴滑块之间还安装有左右方向的X轴滑杆，X轴滑杆上装配有X轴滑块，两个X轴滑块一前一后的固定于台风清洁组件的顶侧。

进一步的，所述XYZ轴移动机构还包括与丝杆组件连接的调节轮。

进一步的，所述台风清洁组件包括外罩和安装于外罩内侧的内罩，所述外罩与内罩的左右两侧之间具有吸风腔；所述外罩的顶侧设置有与吸风腔连通的出风口；所述出风口通过软管与排风箱的进风口连通；所述内罩内安装有呈前后分布的多个气动旋转喷嘴，所述内罩内位于多个气动旋转喷嘴的左右两侧还分别设置有离子风刀。

进一步的，所述外壳框架包括固定外壳框架、可翻转外壳框架；所述固定外壳框架与流道机构固定安装；所述可翻转外壳框架的顶侧后端与固定外壳框架通过铰链连接，所述XYZ轴移动机构与可翻转外壳框架固定安装；所述可翻转外壳框架具有绕铰链相对于固定外壳框架翻转打开或关闭的自由度。

进一步的，所述可翻转外壳框架还具有可翻转窗；所述可翻转窗通过铰链与可翻转外壳框架连接，所述可翻转窗具有绕铰链相对于可翻转外壳框架翻转打开或关闭的自由度。

进一步的，所述可翻转窗具有透明区域。

进一步的，所述过滤吸尘机构包括初级过滤箱、次级过滤箱、负压机构；所述初级过滤箱具有初级风腔；初级风腔的进风口通过管道与排风箱的出风口连接；初级风腔的底侧出口处设置有初级过滤芯；所述次级过滤箱的顶侧与初级过滤箱衔接，次级过滤箱具有次级风腔，次级风腔的底侧出口处设置有次级过滤芯；所述负压机构的进风口与次级风腔的底侧出口衔接。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种用于流道的可调节台风清洁设备，通过XYZ轴移动机构、台风清洁技术、双层过滤吸尘机构的设计，有效解决了传统清洁设备在清洁精度、过滤效果和运行监控方面的不足；具有广阔的应用前景，能够显著提升清洁效率和质量，推动相关行业的技术进步。

附图说明

图1为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的立体示意图；

图2为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的台风清洁机构的立体示意图；

图3为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的台风清洁机构除去可翻转窗的立体示意图；

图4为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的台风清洁组件和XYZ轴移动机构组装的立体示意图；

图5为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的台风清洁组件和XYZ轴移动机构组装的另一角度的立体示意图；

图6为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的台风清洁组件的左视示意图；

图7为图6的A-A的剖视示意图；

图8为实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备的过滤吸尘机构的主视示意图；

图9为图8的B-B的剖视示意图；

其中，1-流道机构，2-台风清洁机构，3-过滤吸尘机构，4-管道，21-外壳框架，22-排风箱，23-台风清洁组件，24-XYZ轴移动机构，25-软管，26-负压检测表，211-固定外壳框架，212-可翻转外壳框架，2121-可翻转窗，21211-透明区域，231-外罩，232-内罩，233-气动旋转喷嘴，234-离子风刀，235-出风口，241-安装板，242-丝杆组件，243-Z轴移动板，244-Y轴滑杆，245-Y轴滑块，246-X轴滑杆，247-X轴滑块，248-调节轮，31-初级过滤箱，32-次级过滤箱，33-负压机构，311-初级风腔，312-初级过滤芯，321-次级风腔，322-次级过滤芯。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不对本实用新型的保护范围构成限定。

实施例

请参照图1至图9所示，本实施例提供了一种用于流道的可调节台风清洁设备，包括流道机构1、安装于流道机构1上方的台风清洁机构2、与台风清洁机构2通过管道4连接的过滤吸尘机构3；所述流道机构1具有流道；所述台风清洁机构2包括外壳框架21、安装于位于外壳框架21内侧的台风清洁组件23；所述外壳框架21的后侧设置有排风箱22；所述排风箱22的进风口与台风清洁组件23的出风口通过软管25连通，排风箱22的出风口通过管道4与过滤吸尘机构3的进风口连接；所述排风箱22上还设置有负压检测表26，用于检测排风箱22内的负压状态；所述台风清洁机构2还包括安装于外壳框架21内侧的XYZ轴移动机构24，所述台风清洁组件23固定于XYZ轴移动机构24的移动端，用于通过XYZ轴移动机构调节台风清洁组件23相对于流道的前、后、左、右、上、下的方位。

本实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备，采用XYZ轴移动机构，可实现台风清洁组件的多方位调节，可适应复杂的清洁需求；负压检测表可实时监测过滤吸尘机构的运行状态，确保设备高效、稳定运行。

再请参照图3和图4所示，所述XYZ轴移动机构24包括两个分别固定于外壳框架21左右两侧的安装板241，每个安装板241上皆安装有竖向的丝杆组件242，丝杆组件242包括丝杆及与丝杆配合的丝杆螺母，所述丝杆螺母上固定有Z轴移动板243；所述Z轴移动板243上还固定有前后方向的Y轴滑杆244，Y轴滑杆244上装配有一前一后的两个Y轴滑块245；左右两侧相对应的Y轴滑块245之间还安装有左右方向的X轴滑杆246，X轴滑杆246上装配有X轴滑块247，两个X轴滑块247一前一后的固定于台风清洁组件23的顶侧。本实施例中，所述丝杆组件242用于调节Z轴移动板243沿Z轴上下的方位；所述Y轴滑杆244和Y轴滑块245配合用于调节Y轴滑块245沿Y轴前后的方位；所述X轴滑杆246和X轴滑块247配合用于调节X轴滑块247沿X轴左右的方位；而X轴滑块247又与台风清洁组件23固定，进而通过XYZ轴移动机构可调节台风清洁组件23前后左右上下的方位。

再请参照图4所示，所述XYZ轴移动机构24还包括与丝杆组件242连接的调节轮248。通过旋转调节轮248带动丝杆转动，进而对Z轴移动板进行上下方位的调节。

再请参照图5至图7所示，所述台风清洁组件23包括外罩231和安装于外罩231内侧的内罩232，所述外罩231与内罩232的左右两侧之间具有吸风腔；所述外罩231的顶侧设置有与吸风腔连通的出风口235；所述出风口235通过软管25与排风箱22的进风口连通；所述内罩232内安装有呈前后分布的多个气动旋转喷嘴233，所述内罩232内位于多个气动旋转喷嘴233的左右两侧还分别设置有离子风刀234。本实施例中，外罩231的后侧还设置有若干气路接口，若干气路接口分别与多个气动旋转喷嘴、两个离子风刀连接；多个气路接口还与气路电磁阀组连接，通过高压气源为气动旋转喷嘴供气；多个气动旋转喷嘴可形成高速气流(台风效应)清洁工件表面，离子风刀喷出带有正负离子的空气，去除表面的静电，提高清洁效果。

再参图2和图3所示，所述外壳框架21包括固定外壳框架211、可翻转外壳框架212；所述固定外壳框架211与流道机构1固定安装；所述可翻转外壳框架212的顶侧后端与固定外壳框架211通过铰链连接，所述XYZ轴移动机构24与可翻转外壳框架212固定安装；所述可翻转外壳框架212具有绕铰链相对于固定外壳框架211翻转打开或关闭的自由度。本实施例中，可翻转外壳框架212的正面还设置有把手，通过手动向后上翻转可翻转外壳框架，可带动XYZ轴移动机构以及台风清洁组件也同步向上翻开，露出下方的流道，方便进行调整、维护。

再参图2和图3所示，所述可翻转外壳框架212还具有可翻转窗2121；所述可翻转窗2121通过铰链与可翻转外壳框架212连接，所述可翻转窗2121具有绕铰链相对于可翻转外壳框架212翻转打开或关闭的自由度。本实施例中，可翻转窗2121的正面也设置有把手，通过手动向后上翻转可翻转窗，可露出XYZ轴移动机构和台风清洁组件，可方便对台风清洁组件进行方位调整以及相应的维护等操作。

再参图2所示，所述可翻转窗2121具有透明区域21211；方便观察台风清洁组件的运行状态。

再参图8和图9所示，所述过滤吸尘机构3包括初级过滤箱31、次级过滤箱32、负压机构33；所述初级过滤箱具有初级风腔311；初级风腔311的进风口通过管道4与排风箱22的出风口连接；初级风腔311的底侧出口处设置有初级过滤芯312；所述次级过滤箱32的顶侧与初级过滤箱31衔接，次级过滤箱32具有次级风腔321，次级风腔321的底侧出口处设置有次级过滤芯322；所述负压机构33的进风口与次级风腔321的底侧出口衔接。本实施例中，采用两级过滤设计，初级过滤芯箱可过滤较大颗粒，次级过滤芯箱可过滤较小颗粒，确保了过滤效果。

本实施例的一种用于流道的可调节台风清洁设备，以载盘为例，根据载盘在流道机构的方位，通过XYZ轴移动机构调节台风清洁组件的方位；载盘在流道中输送，当输送至台风清洁组件的下方时(可通过到位传感器判断载盘的是否位于指定位置，并反馈相应的信号)，过滤吸尘机构启动(接收载盘的信号)，负压机构(风机)开始工作，通过负压检测表检测排风箱内的负压数值；同步的，通过气路电磁阀组的控制，高压气源为气动旋转喷嘴和离子风刀供给高压气体，气动旋转喷嘴喷气，并在所喷气流的影响下旋转，进而提供类似于台风的高速气流，对载盘表面进行清洁，离子风刀产生正负离子，并被高压气体携带吹向载盘，去除载盘表面的静电；当清洁完成后，流道继续带动载盘移动，直至流出(可通过到位传感器判断载盘的是否位于指定位置，并反馈相应的信号)，气路电磁阀组关闭，负压机构关闭，等待下一载盘的到位。

本实施例中，还包括PLC，本领域人员为满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考上述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，因此不在对电气控制做说明。

上述实施例不应以任何方式限制本实用新型，凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：包括流道机构(1)、安装于流道机构(1)上方的台风清洁机构(2)、与台风清洁机构(2)通过管道(4)连接的过滤吸尘机构(3)；所述流道机构(1)具有流道；所述台风清洁机构(2)包括外壳框架(21)、安装于位于外壳框架(21)内侧的台风清洁组件(23)；所述外壳框架(21)的后侧设置有排风箱(22)；所述排风箱(22)的进风口与台风清洁组件(23)的出风口通过软管(25)连通，排风箱(22)的出风口通过管道(4)与过滤吸尘机构(3)的进风口连接；所述排风箱(22)上还设置有负压检测表(26)，用于检测排风箱(22)内的负压状态；所述台风清洁机构(2)还包括安装于外壳框架(21)内侧的XYZ轴移动机构(24)，所述台风清洁组件(23)固定于XYZ轴移动机构(24)的移动端，用于通过XYZ轴移动机构调节台风清洁组件(23)相对于流道的前、后、左、右、上、下的方位。

2.根据权利要求1所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述XYZ轴移动机构(24)包括两个分别固定于外壳框架(21)左右两侧的安装板(241)，每个安装板(241)上皆安装有竖向的丝杆组件(242)，丝杆组件(242)包括丝杆及与丝杆配合的丝杆螺母，所述丝杆螺母上固定有Z轴移动板(243)；所述Z轴移动板(243)上还固定有前后方向的Y轴滑杆(244)，Y轴滑杆(244)上装配有一前一后的两个Y轴滑块(245)；左右两侧相对应的Y轴滑块(245)之间还安装有左右方向的X轴滑杆(246)，X轴滑杆(246)上装配有X轴滑块(247)，两个X轴滑块(247)一前一后的固定于台风清洁组件(23)的顶侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述XYZ轴移动机构还包括与丝杆组件(242)连接的调节轮(248)。

4.根据权利要求1所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述台风清洁组件(23)包括外罩(231)和安装于外罩(231)内侧的内罩(232)，所述外罩(231)与内罩(232)的左右两侧之间具有吸风腔；所述外罩(231)的顶侧设置有与吸风腔连通的出风口(235)；所述出风口(235)通过软管(25)与排风箱(22)的进风口连通；所述内罩(232)内安装有呈前后分布的多个气动旋转喷嘴(233)，所述内罩(232)内位于多个气动旋转喷嘴(233)的左右两侧还分别设置有离子风刀(234)。

5.根据权利要求1所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述外壳框架(21)包括固定外壳框架(211)、可翻转外壳框架(212)；所述固定外壳框架(211)与流道机构(1)固定安装；所述可翻转外壳框架(212)的顶侧后端与固定外壳框架(211)通过铰链连接，所述XYZ轴移动机构(24)与可翻转外壳框架(212)固定安装；所述可翻转外壳框架(212)具有绕铰链相对于固定外壳框架(211)翻转打开或关闭的自由度。

6.根据权利要求5所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述可翻转外壳框架(212)还具有可翻转窗(2121)；所述可翻转窗(2121)通过铰链与可翻转外壳框架(212)连接，所述可翻转窗(2121)具有绕铰链相对于可翻转外壳框架(212)翻转打开或关闭的自由度。

7.根据权利要求6所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述可翻转窗(2121)具有透明区域(21211)。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的一种用于流道的可调节台风清洁设备，其特征在于：所述过滤吸尘机构(3)包括初级过滤箱(31)、次级过滤箱(32)、负压机构(33)；所述初级过滤箱具有初级风腔(311)；初级风腔(311)的进风口通过管道(4)与排风箱(22)的出风口连接；初级风腔(311)的底侧出口处设置有初级过滤芯(312)；所述次级过滤箱(32)的顶侧与初级过滤箱(31)衔接，次级过滤箱(32)具有次级风腔(321)，次级风腔(321)的底侧出口处设置有次级过滤芯(322)；所述负压机构(33)的进风口与次级风腔(321)的底侧出口衔接。