CN223856171U - 一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，包括电机、轴流风叶、出风百叶、吸风百叶、箱体、电热管、主控箱、主轴、导流板、进风口和翅片；电机的输出端固定连接有主轴，主轴上固定连接有轴流风叶，且轴流风叶设置于箱体内；本实用新型设计有均匀性风道结构，通过电机带动轴流风叶高速旋转，有效地将底部风道内电热管所释放的热量均匀地吹送至出风百叶区域，通过出风百叶进行风量风向调节，确保气流保持水平层流状态，使其能够平稳地进入样品层，并从另一端排出，这一气流循环机制不仅实现了内部温度的均匀分布，而且显著提升了加热效率与温度均匀性，为样品试验提供了更为稳定且可靠的热环境。

Description

一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道

技术领域

本实用新型涉及厌氧高温气氛炉技术领域，特别涉及一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道。

背景技术

随着智能科技的迅猛发展，特别是半导体行业的迅猛发展，对高温烘烤设备的需求量越来越大，设备质量的要求越来越高；目前无论是在半导体行业晶圆(光刻胶PI、PBO、BCB)固化，还是在LED制造行业烘烤玻璃基板，因为需要在无氧、高温环境中进行，因此会经常用到厌氧高温气氛炉；厌氧高温气氛炉是一种在军工、汽车、电子等行业都经常会用到的设备。

目前国内市场上的高温烘烤设备主要以高温老化为主，结构简单，功能单一，已不能满足半导体行业和高性能电子行业的发展，主要存在以下缺陷：一，试验箱为上出风下回风结构，上层样品会挡着风吹到下层样品，温度均匀性较差；二，如果上层样品截面较大或摆放的样品间隙较密，底层样品没风吹过，影响样品试验数据的准确性；三，样品层一般配置2层，不能满足大批量样品试验，工作效率低；四，加热器摆放需要的空间较大，浪费摆放空间，增加设备成本；目前同类的厌氧高温气氛炉总体上烘烤效果不好，没法满足半导体行业和高性能电子行业的使用，特别是在晶圆固化和PC多层样品烘烤方面，样品受热均匀性较差，容易造成样品损坏，造成经济损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，包括箱体，所述箱体的一侧外壁上固定连接有电机，电机的输出端固定连接有主轴，主轴上固定连接有轴流风叶，且轴流风叶设置于箱体内，轴流风叶的一侧设置有导流板，且导流板固定连接于箱体的内壁上，导流板上固定连接有框架，导流板的底端设置有电热管，且电热管固定连接于箱体的内壁上。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述框架的一侧设置有出风百叶，框架的另一侧设置有吸风百叶，且出风百叶和吸风百叶均固定连接于导流板上，导流板的一侧外壁上开设有进风口。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述框架的内壁上固定连接有横隔板和竖隔板。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述箱体的一侧外壁上固定连接有主控箱，且电机设置于主控箱内，主控箱的一侧外壁上固定连接有散热风扇，主控箱的一侧外壁上对应散热风扇的位置处开设有散热孔。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述电热管上固定连接有翅片，翅片上开设有通孔。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述箱体的一侧外壁上铰接有防护门，箱体的下表面固定连接有支脚。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述主控箱的一侧外壁上固定连接有显示屏。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型设计有均匀性风道结构，通过电机带动轴流风叶高速旋转，有效地将底部风道内电热管所释放的热量均匀地吹送至出风百叶区域，通过出风百叶进行风量风向调节，确保气流保持水平层流状态，使其能够平稳地进入样品层，并从另一端排出，这一气流循环机制不仅实现了内部温度的均匀分布，而且显著提升了加热效率与温度均匀性，为样品试验提供了更为稳定且可靠的热环境，且设计多层样品层框架结构，可以满足大批量样品试验，不仅大幅提升了工作效率，而且确保了样品之间间隙的均匀性，进一步保障了温度分布的均匀性，从而有效避免了因温度不均而导致的试验误差，显著提升了样品试验数据的准确性，设计有翅片加热管结构，不仅充分利用了设备内部空间，而且通过翅片显著扩大了与气流的接触面积，从而进一步提升了气流温度的均匀性，翅片的存在不仅加速了热量的传递，而且使得整个加热过程更为高效、均匀，为样品试验提供了更为理想的热交换环境。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体立体结构示意图；

图2为本实用新型的整体正视剖切结构示意图；

图3为本实用新型的框架的正视结构示意图；

图4为本实用新型的电热管的立体结构示意图。

图中：1、电机；2、轴流风叶；3、出风百叶；4、横隔板；5、吸风百叶；6、箱体；7、电热管；8、主控箱；9、散热风扇；10、散热孔；11、主轴；12、导流板；13、进风口；14、框架；15、竖隔板；16、翅片；17、通孔；18、支脚；19、防护门；20、显示屏。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图1-附图4，本实用新型提供的一种实施例：一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，包括箱体6，箱体6的一侧外壁上固定连接有电机1，电机1的输出端固定连接有主轴11，主轴11上固定连接有轴流风叶2，且轴流风叶2设置于箱体6内，轴流风叶2的一侧设置有导流板12，且导流板12固定连接于箱体6的内壁上，导流板12上固定连接有框架14，导流板12的底端设置有电热管7，且电热管7固定连接于箱体6的内壁上，轴流风叶2采用SUS304材料加工，直径450mm，出风截面大，可大范围出风，形成层流效果，箱体6内板为高级SUS304不锈钢板加工，外板采用冷轧钢板烤漆处理，并配有加强骨架，内外板之间填充玻璃纤维保温棉，保温材料厚度100mm；框架14的一侧设置有出风百叶3，框架14的另一侧设置有吸风百叶5，且出风百叶3和吸风百叶5均固定连接于导流板12上，导流板12的一侧外壁上开设有进风口13，出风百叶3和吸风百叶5采用高级SUS304不锈钢板加工，可以调节风量大小和风向，使其能够平稳地进入样品层，保证试验区空气形成水平层流；框架14的内壁上固定连接有横隔板4和竖隔板15，横隔板4和竖隔板15用于构建样品层；箱体6的一侧外壁上固定连接有主控箱8，且电机1设置于主控箱8内，主控箱8的一侧外壁上固定连接有散热风扇9，主控箱8的一侧外壁上对应散热风扇9的位置处开设有散热孔10，散热风扇9和散热孔10用于主控箱8内散热；电热管7上固定连接有翅片16，翅片16上开设有通孔17，翅片16用于增加电热管7与气流的接触面积，提高加热和均热效果，通孔17用于气流通过；箱体6的一侧外壁上铰接有防护门19，箱体6的下表面固定连接有支脚18，防护门19用于密封内部空间，支脚18用于支撑箱体6；主控箱8的一侧外壁上固定连接有显示屏20，显示屏20用于显示设备运行状态和数据。

工作原理：使用本实用新型时，首先将样品放入样品层中，样品层由框架14、横隔板4和竖隔板15组成，然后关闭防护门19，试验过程中主控箱8内的电机1通过主轴11带动轴流风叶2转动，轴流风叶2是指叶片进出气流方向沿着轴线的风机叶片，当电机1驱动轴流风叶2旋转时，轴流风叶2上的叶片将空气从底端电热管7加热后的气流从进风口13吸入，并在叶片的推动下沿着轴向方向排出，气流进入出风百叶3进行风量风向调节，确保气流保持水平层流状态，使其能够平稳地进入样品层，并从另一端吸风百叶5排出，沿着导流板12构建的风道通过翅片16上的通孔17进行加热循环，过程中电热管7通过翅片16显著扩大了与气流的接触面积，从而进一步提升了气流温度的均匀性，翅片16的存在不仅加速了热量的传递，而且使得整个加热过程更为高效、均匀，为样品试验提供了更为理想的热交换环境；其中箱体6上的防护门19用于密封内部空间，散热风扇9和散热孔10用于主控箱8内散热，支脚18用于支撑箱体6，显示屏20用于显示设备运行状态和数据。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，包括箱体(6)，其特征在于：所述箱体(6)的一侧外壁上固定连接有电机(1)，电机(1)的输出端固定连接有主轴(11)，主轴(11)上固定连接有轴流风叶(2)，且轴流风叶(2)设置于箱体(6)内，轴流风叶(2)的一侧设置有导流板(12)，且导流板(12)固定连接于箱体(6)的内壁上，导流板(12)上固定连接有框架(14)，导流板(12)的底端设置有电热管(7)，且电热管(7)固定连接于箱体(6)的内壁上。

2.根据权利要求1所述的一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，其特征在于：所述框架(14)的一侧设置有出风百叶(3)，框架(14)的另一侧设置有吸风百叶(5)，且出风百叶(3)和吸风百叶(5)均固定连接于导流板(12)上，导流板(12)的一侧外壁上开设有进风口(13)。

3.根据权利要求2所述的一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，其特征在于：所述框架(14)的内壁上固定连接有横隔板(4)和竖隔板(15)。

4.根据权利要求1所述的一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，其特征在于：所述箱体(6)的一侧外壁上固定连接有主控箱(8)，且电机(1)设置于主控箱(8)内，主控箱(8)的一侧外壁上固定连接有散热风扇(9)，主控箱(8)的一侧外壁上对应散热风扇(9)的位置处开设有散热孔(10)。

5.根据权利要求1所述的一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，其特征在于：所述电热管(7)上固定连接有翅片(16)，翅片(16)上开设有通孔(17)。

6.根据权利要求4所述的一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，其特征在于：所述箱体(6)的一侧外壁上铰接有防护门(19)，箱体(6)的下表面固定连接有支脚(18)。

7.根据权利要求4所述的一种厌氧高温气氛炉水平层流高均匀性风道，其特征在于：所述主控箱(8)的一侧外壁上固定连接有显示屏(20)。