CN223844211U - 一种晶圆检测用除尘装置 - Google Patents
一种晶圆检测用除尘装置Info
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆检测用除尘装置，应用在除尘装置领域，包括底座，所述底座的顶部滑动套接有固定筒，所述固定筒的内部安装有隔板，所述隔板的底部栓接有电机，所述电机的输出端固定套接有传动轴，所述传动轴的另一端安装有承载板，所述固定筒的内部设置有除尘机构，所述固定筒的内部设置有滤网板，所述固定筒的表面固定套接有第二固定框，所述固定筒的表面固定套接有与第二固定框连通的吸风管。能够具备自动旋转功能，可提高晶圆表面的除尘效果，减少了人员的在旁协助负担，灵活性好，同时能够便于对异物进行收集和处理，操作简单方便，减轻了人员的清理负担，实用性高。
Description
技术领域
本实用新型涉及除尘装置领域，特别涉及一种晶圆检测用除尘装置。
背景技术
目前，公告号为CN209843674U的中国实用新型，公开了一种晶圆检测用除尘装置。该除尘装置虽然可通过吹拂方式将晶圆表面的杂质吹落，但是在使用过程中还存在其他问题，如不具备自动旋转功能，吹气口在开设后其位置是固定的，无法从上方覆盖晶圆的全面，会导致晶圆表面受风吹拂不够均匀，而且不便于对异物进行收集和处理，晶圆表面的灰尘经过风力吹拂后会飘散并沉淀在底端，如果将其从装置内部吹出的话会对周围环境造成污染，增加了人员的清理负担，为了解决上述所存在的问题，我们提出一种晶圆检测用除尘装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种晶圆检测用除尘装置，解决了现有的除尘装置不具备自动旋转功能而且不便于对异物进行收集和处理的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆检测用除尘装置，包括底座，所述底座的顶部滑动套接有固定筒，所述固定筒的内部安装有隔板，所述隔板的底部栓接有电机，所述电机的输出端固定套接有传动轴，所述传动轴的另一端安装有承载板，所述固定筒的内部设置有除尘机构，所述固定筒的内部设置有滤网板，所述固定筒的表面固定套接有第二固定框，所述固定筒的表面固定套接有与第二固定框连通的吸风管，所述固定筒的表面开设有与第二固定框连通的吸风口。
采用上述技术方案，能够具备自动旋转功能，可提高晶圆表面的除尘效果，减少了人员的在旁协助负担，灵活性好，同时能够便于对异物进行收集和处理，操作简单方便，减轻了人员的清理负担，实用性高。
本实用新型进一步设置为：所述除尘机构包括风机，所述风机通过固定件栓接在隔板的底部，所述固定筒的顶部栓接有第一固定框，所述固定筒的表面固定套接有与第一固定框连通的吹风管，所述固定筒的顶部开设有与第一固定框连通的吹风口。
采用上述技术方案，通过风机、第一固定框、吹风管和吹风口的设置，能够对晶圆表面的异物进行吹拂时去除，提高了晶圆表面的清洁性，方便晶圆后续进行检测。
本实用新型进一步设置为：所述底座、固定筒和隔板的表面均涂覆有防腐涂料。
采用上述技术方案，通过防腐涂料的设置，能够提高底座、固定筒和隔板表面的防腐蚀和防潮效果。
本实用新型进一步设置为：所述承载板的顶部粘接有防滑垫。
采用上述技术方案，通过防滑垫的设置，能够提高晶圆放置到承载板上的摩擦力度。
本实用新型进一步设置为：所述滤网板的顶部和底部均卡接有卡座，两个所述卡座的另一侧分别与隔板和底座栓接。
采用上述技术方案，通过卡座的设置，能够对滤网板进行限位，防止滤网板在放置后发生倾倒和移位。
本实用新型进一步设置为：所述底座的顶部开设有安装孔。
采用上述技术方案，通过安装孔的设置，能够便于人员用螺丝对底座进行安装固定。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
1.本实用新型通过将晶圆从上方开口处放入到固定筒内的防滑垫上，晶圆放置后启动电机，电机在启动后会通过隔板的固定下带动传动轴进行旋转，传动轴在旋转时会带动承载板进行转动，承载板在转动时会带动晶圆一起转动，能够具备自动旋转功能，可提高晶圆表面的除尘效果，减少了人员的在旁协助负担，灵活性好；
2.本实用新型通过启动风机，风机在启动后会将空气吸入并压缩推送到吹风管中，推送到吹风管中的空气会通过第一固定框从吹风口处向下吹出，风机的一端在吹风时另一端也会产生吸力，在吸力作用下会使固定筒内从晶圆上分离的异物从吸风口处进入到底座上，滤网板会对气体中的异物进行吸附和拦截，能够便于对异物进行收集和处理，操作简单方便，减轻了人员的清理负担，实用性高。
附图说明
图1是本实用新型结构立体图；
图2是本实用新型结构正面剖视图；
图3是本实用新型图2中A处结构放大图。
附图标记：1、底座；2、固定筒；3、隔板；4、电机；5、传动轴；6、承载板；7、除尘机构；71、风机；72、第一固定框；73、吹风管；74、吹风口；8、滤网板；9、第二固定框；10、吸风管；11、吸风口；12、防滑垫；13、卡座；14、安装孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
实施例1：
参考图1、图2和图3，一种晶圆检测用除尘装置，包括底座1，底座1的顶部滑动套接有固定筒2，固定筒2的内部安装有隔板3，隔板3的底部栓接有电机4，电机4的输出端固定套接有传动轴5，传动轴5的另一端安装有承载板6，通过将晶圆从上方开口处放入到固定筒2内的防滑垫12上，晶圆放置后启动电机4，电机4在启动后会通过隔板3的固定下带动传动轴5进行旋转，传动轴5在旋转时会带动承载板6进行转动，承载板6在转动时会带动晶圆一起转动，能够具备自动旋转功能，可提高晶圆表面的除尘效果，减少了人员的在旁协助负担，灵活性好。
参考图1、图2和图3，底座1、固定筒2和隔板3的表面均涂覆有防腐涂料，通过防腐涂料的设置，能够提高底座1、固定筒2和隔板3表面的防腐蚀和防潮效果。
参考图1和图3，承载板6的顶部粘接有防滑垫12，通过防滑垫12的设置，能够提高晶圆放置到承载板6上的摩擦力度。
参考图1，底座1的顶部开设有安装孔14，通过安装孔14的设置，能够便于人员用螺丝对底座1进行安装固定。
使用过程简述：通过将晶圆从上方开口处放入到固定筒2内的防滑垫12上，晶圆放置后启动电机4，电机4在启动后会通过隔板3的固定下带动传动轴5进行旋转，传动轴5在旋转时会带动承载板6进行转动，承载板6在转动时会带动晶圆一起转动。
实施例2：
参考图1和图2，一种晶圆检测用除尘装置，固定筒2的内部设置有除尘机构7，固定筒2的内部设置有滤网板8，固定筒2的表面固定套接有第二固定框9，固定筒2的表面固定套接有与第二固定框9连通的吸风管10，固定筒2的表面开设有与第二固定框9连通的吸风口11，通过启动风机71，风机71在启动后会将空气吸入并压缩推送到吹风管73中，推送到吹风管73中的空气会通过第一固定框72从吹风口74处向下吹出，风机71的一端在吹风时另一端也会产生吸力，在吸力作用下会使固定筒2内从晶圆上分离的异物从吸风口11处进入到底座1上，滤网板8会对气体中的异物进行吸附和拦截，能够便于对异物进行收集和处理，操作简单方便，减轻了人员的清理负担，实用性高。
参考图1和图2，除尘机构7包括风机71，风机71通过固定件栓接在隔板3的底部，固定筒2的顶部栓接有第一固定框72，固定筒2的表面固定套接有与第一固定框72连通的吹风管73，固定筒2的顶部开设有与第一固定框72连通的吹风口74，通过风机71、第一固定框72、吹风管73和吹风口74的设置，能够对晶圆表面的异物进行吹拂时去除，提高了晶圆表面的清洁性，方便晶圆后续进行检测。
参考图2，滤网板8的顶部和底部均卡接有卡座13，两个卡座13的另一侧分别与隔板3和底座1栓接，通过卡座13的设置，能够对滤网板8进行限位，防止滤网板8在放置后发生倾倒和移位。
使用过程简述：通过启动风机71，风机71在启动后会将空气吸入并压缩推送到吹风管73中，推送到吹风管73中的空气会通过第一固定框72从吹风口74处向下吹出，风机71的一端在吹风时另一端也会产生吸力，在吸力作用下会使固定筒2内从晶圆上分离的异物从吸风口11处进入到底座1上，滤网板8会对气体中的异物进行吸附和拦截。
本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (6)
1.一种晶圆检测用除尘装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部滑动套接有固定筒(2)，所述固定筒(2)的内部安装有隔板(3)，所述隔板(3)的底部栓接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定套接有传动轴(5)，所述传动轴(5)的另一端安装有承载板(6)，所述固定筒(2)的内部设置有除尘机构(7)，所述固定筒(2)的内部设置有滤网板(8)，所述固定筒(2)的表面固定套接有第二固定框(9)，所述固定筒(2)的表面固定套接有与第二固定框(9)连通的吸风管(10)，所述固定筒(2)的表面开设有与第二固定框(9)连通的吸风口(11)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于，所述除尘机构(7)包括风机(71)，所述风机(71)通过固定件栓接在隔板(3)的底部，所述固定筒(2)的顶部栓接有第一固定框(72)，所述固定筒(2)的表面固定套接有与第一固定框(72)连通的吹风管(73)，所述固定筒(2)的顶部开设有与第一固定框(72)连通的吹风口(74)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于，所述底座(1)、固定筒(2)和隔板(3)的表面均涂覆有防腐涂料。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于，所述承载板(6)的顶部粘接有防滑垫(12)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于，所述滤网板(8)的顶部和底部均卡接有卡座(13)，两个所述卡座(13)的另一侧分别与隔板(3)和底座(1)栓接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于，所述底座(1)的顶部开设有安装孔(14)。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202520034176.2U CN223844211U (zh) | 2025-01-06 | 2025-01-06 | 一种晶圆检测用除尘装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN223844211U true CN223844211U (zh) | 2026-01-27 |
Family
ID=98509018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202520034176.2U Active CN223844211U (zh) | 2025-01-06 | 2025-01-06 | 一种晶圆检测用除尘装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN223844211U (zh) |
-
2025
- 2025-01-06 CN CN202520034176.2U patent/CN223844211U/zh active Active
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