CN223651388U - 一种便于调节的晶圆检测固定夹具 - Google Patents
一种便于调节的晶圆检测固定夹具Info
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Abstract
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开了一种便于调节的晶圆检测固定夹具，包括固定台和工作台，工作台顶部连接设有固定组件，固定台顶部连接设有调整组件；调整组件包括固定架，固定架一端固定连接在固定台顶部，固定架外侧固定连接有电机；本实用新型与现有技术相比的优点在于：可以在需要从倾斜角度观察晶圆时，将晶圆调整到合适的倾斜角度，利于检测设备获取更清晰、更全面的图像，从而提高了便于调节的晶圆检测固定夹具的灵活性；能够牢固地固定晶圆，确保其在倾斜调整过程中位置精准，避免了因位置变化而导致的检测误差，提高了便于调节的晶圆检测固定夹具的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种便于调节的晶圆检测固定夹具。
背景技术
晶圆检测是指在半导体制造过程中，对晶圆(通常是硅晶圆)的物理特性、电学特性、材料特性和表面质量等多个方面进行检查和测量的过程。其目的是确保晶圆符合芯片制造的质量要求，筛选出有缺陷的晶圆，避免将有问题的晶圆用于后续的芯片制造工序，从而提高芯片的成品率和质量。现有的便于调节的晶圆检测固定夹具在需要从倾斜角度观察晶圆时，不能够将晶圆调整到合适的倾斜角度，不利于检测设备获取更清晰、更全面的图像，灵活性不够；且在倾斜调整过程中晶圆位置容易发生变化，导致检测存在误差，稳定性较低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于调节的晶圆检测固定夹具。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种便于调节的晶圆检测固定夹具，包括固定台和工作台，所述工作台顶部连接设有固定组件，所述固定台顶部连接设有调整组件；
所述调整组件包括固定架，所述固定架一端固定连接在固定台顶部，所述固定架外侧固定连接有电机，所述电机的输出轴穿过固定架固定连接有固定轴，所述固定轴一端在固定架内壁转动，所述固定轴外部固定套接有主动齿轮，所述主动齿轮底部啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮内部固定套接有主动杆，所述主动杆两端均穿过固定架固定连接有从动板，所述从动板一端与工作台侧面转动连接，所述工作台一端两侧均转动连接有限位板，所述限位板底部固定连接有连接板，所述连接板底部固定连接有导向板，所述导向板内部开设有导向槽，所述导向槽内部滑动连接有导向块，所述导向块底部固定连接在固定台顶部。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定组件包括连接架，所述连接架设有两组，两组所述连接架底部均固定连接在工作台顶部，一组所述连接架内部转动连接有双向丝杆，另一组所述连接架内壁固定连接有限位杆，所述双向丝杆一端穿过连接架固定连接有转把，所述双向丝杆外部螺纹连接有连接块，所述连接块顶部固定连接有固定盘。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定盘底部固定连接有限位块，所述限位块一端在限位杆外部滑动。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定台底部固定连接有两组支撑架。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述从动板的形状为L形。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定盘设有两组，两组所述固定盘为对称方向。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定台和工作台相平行。
本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型中，通过调整组件调整工作台的倾斜度，可以在需要从倾斜角度观察晶圆时，将晶圆调整到合适的倾斜角度，利于检测设备获取更清晰、更全面的图像，从而提高了便于调节的晶圆检测固定夹具的灵活性。
2、本实用新型中，通过固定组件，能够牢固地固定晶圆，确保其在倾斜调整过程中位置精准，避免了因位置变化而导致的检测误差，提高了便于调节的晶圆检测固定夹具的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种便于调节的晶圆检测固定夹具的整体结构示意图一；
图2为本实用新型提出的一种便于调节的晶圆检测固定夹具的整体结构示意图二；
图3为本实用新型提出的一种便于调节的晶圆检测固定夹具的正视图；
图4为图2中A部分的放大结构示意图。
图例说明：
1、固定台；2、工作台；3、调整组件；4、固定架；5、电机；6、固定轴；7、主动齿轮；8、从动齿轮；9、主动杆；10、从动板；11、限位板；12、连接板；13、导向板；14、导向槽；15、导向块；16、固定组件；17、连接架；18、双向丝杆；19、限位杆；20、转把；21、连接块；22、固定盘；23、限位块；24、支撑架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1-图4，本实用新型提供的一种实施例：一种便于调节的晶圆检测固定夹具，包括固定台1和工作台2，工作台2顶部连接设有固定组件16，固定台1顶部连接设有调整组件3；
调整组件3包括固定架4，固定架4一端固定连接在固定台1顶部，固定架4外侧固定连接有电机5，电机5的输出轴穿过固定架4固定连接有固定轴6，固定轴6一端在固定架4内壁转动，固定轴6外部固定套接有主动齿轮7，主动齿轮7底部啮合连接有从动齿轮8，从动齿轮8内部固定套接有主动杆9，主动杆9两端均穿过固定架4固定连接有从动板10，从动板10一端与工作台2侧面转动连接，工作台2一端两侧均转动连接有限位板11，限位板11底部固定连接有连接板12，连接板12底部固定连接有导向板13，导向板13内部开设有导向槽14，导向槽14内部滑动连接有导向块15，导向块15底部固定连接在固定台1顶部。
固定组件16包括连接架17，连接架17设有两组，两组连接架17底部均固定连接在工作台2顶部，一组连接架17内部转动连接有双向丝杆18，另一组连接架17内壁固定连接有限位杆19，双向丝杆18一端穿过连接架17固定连接有转把20，双向丝杆18外部螺纹连接有连接块21，连接块21顶部固定连接有固定盘22，固定盘22底部固定连接有限位块23，限位块23一端在限位杆19外部滑动，提高了固定盘22运动时的稳定性，固定台1底部固定连接有两组支撑架24，确保了稳固性，从动板10的形状为L形，固定盘22设有两组，两组固定盘22为对称方向，固定台1和工作台2相平行。
工作原理：将晶圆放在固定盘22上，转动转把20,转把20带动双向丝杆18转动，双向丝杆18转动带动连接块21运动，连接块21带动固定盘22相互靠近，固定盘22带动限位块23在限位杆19外部滑动，从而使固定盘22固定晶圆，提高稳定性；接着启动电机5,电机5带动固定轴6转动，固定轴6带动主动齿轮7转动，主动齿轮7带动从动齿轮8转动，从动齿轮8通过主动杆9带动从动板10转动，从动板10带动工作台2运动，同时工作台2通过限位板11带动连接板12运动，连接板12带动导向板13在导向块15外部滑动，从而使工作台2一端倾斜，调整晶圆到合适的倾斜角度，提高了灵活性。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，本公开具体实施方式省略了已知功能和已知部件的详细说明，为保证设备的兼容性，所采用的操作手段均与市面器械参数保持一致。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种便于调节的晶圆检测固定夹具，包括固定台(1)和工作台(2)，其特征在于：所述工作台(2)顶部连接设有固定组件(16)，所述固定台(1)顶部连接设有调整组件(3)；
所述调整组件(3)包括固定架(4)，所述固定架(4)一端固定连接在固定台(1)顶部，所述固定架(4)外侧固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出轴穿过固定架(4)固定连接有固定轴(6)，所述固定轴(6)一端在固定架(4)内壁转动，所述固定轴(6)外部固定套接有主动齿轮(7)，所述主动齿轮(7)底部啮合连接有从动齿轮(8)，所述从动齿轮(8)内部固定套接有主动杆(9)，所述主动杆(9)两端均穿过固定架(4)固定连接有从动板(10)，所述从动板(10)一端与工作台(2)侧面转动连接，所述工作台(2)一端两侧均转动连接有限位板(11)，所述限位板(11)底部固定连接有连接板(12)，所述连接板(12)底部固定连接有导向板(13)，所述导向板(13)内部开设有导向槽(14)，所述导向槽(14)内部滑动连接有导向块(15)，所述导向块(15)底部固定连接在固定台(1)顶部。
2.根据权利要求1所述的一种便于调节的晶圆检测固定夹具，其特征在于：所述固定组件(16)包括连接架(17)，所述连接架(17)设有两组，两组所述连接架(17)底部均固定连接在工作台(2)顶部，一组所述连接架(17)内部转动连接有双向丝杆(18)，另一组所述连接架(17)内壁固定连接有限位杆(19)，所述双向丝杆(18)一端穿过连接架(17)固定连接有转把(20)，所述双向丝杆(18)外部螺纹连接有连接块(21)，所述连接块(21)顶部固定连接有固定盘(22)。
3.根据权利要求2所述的一种便于调节的晶圆检测固定夹具，其特征在于：所述固定盘(22)底部固定连接有限位块(23)，所述限位块(23)一端在限位杆(19)外部滑动。
4.根据权利要求1所述的一种便于调节的晶圆检测固定夹具，其特征在于：所述固定台(1)底部固定连接有两组支撑架(24)。
5.根据权利要求1所述的一种便于调节的晶圆检测固定夹具，其特征在于：所述从动板(10)的形状为L形。
6.根据权利要求2所述的一种便于调节的晶圆检测固定夹具，其特征在于：所述固定盘(22)设有两组，两组所述固定盘(22)为对称方向。
7.根据权利要求1所述的一种便于调节的晶圆检测固定夹具，其特征在于：所述固定台(1)和工作台(2)相平行。
Priority Applications (1)
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| CN202423086336.2U CN223651388U (zh) | 2024-12-13 | 2024-12-13 | 一种便于调节的晶圆检测固定夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN223651388U true CN223651388U (zh) | 2025-12-09 |
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ID=97908179
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2024
- 2024-12-13 CN CN202423086336.2U patent/CN223651388U/zh active Active
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