CN223602997U - 滤芯批量清洗系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种滤芯批量清洗系统，包括暂存槽，暂存槽的进液口上设有与其连通的进液管道，其出液口处设有与连通的清洗管道和排液管道，清洗管道上依次设有清洗泵、第一过滤器以及第二过滤器，第一过滤器和第二过滤器的第一输出端连接于主管道，主管道上依次设有流量计和加热器，主管道的输出端与水洗管道连通，水洗管道与一组滤芯的进水端连接，滤芯的出水端与回液管道连接，回液管道的另一端与进液管道连通。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置实现了药液的全自动输送和清洗，全程自动化操作，降低工作强度。另外，在药液清洗输送或清洗完成后，可回收至暂存槽中，留存至下次使用，从而实现重复使用，降低成本，提高使用率。

Description

滤芯批量清洗系统

技术领域

本实用新型涉及清洗技术领域，具体而言，尤其涉及一种滤芯批量清洗系统。

背景技术

半导体硅片抛光生产过程中，涉及研磨液回收再利用的管路上都会在管壁上形成硅和二氧化硅的结晶，这些管路往往都比较长（10～20m）。

不拆取管路将原来的研磨液替换成KOH循环冲洗后，管路中原本蓬松的结晶出现熔融板结的情况，清洗效果极差。

拆取管路在槽式部件洗净机中使用HF浸泡洗，虽然能将接近管口的结晶清洗干净，但是距离管口2m以上位置的结晶清洗效果极差。

目前主流的方案是更换新的管路，其中的PFA管材不仅价格昂贵、货期也很长，更是一种不可持续的优质资源浪费。

如授权公告号CN118268328A公开了一种PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法，包括进液管、冲洗管和药液箱，通过进液管和冲洗管分别与PFA管路两端相管接头进行连接，所述的药液箱内设有隔板，通过隔板将药液箱分成混配腔和回收腔，所述的进液管与回收腔间设有回液管，所述的回液管上设有滤芯，所述的冲洗管与混配腔间设有抽液管，所述的抽液管与冲洗管间设有上设有隔膜泵。然而，该装置虽然实现对了管材内研磨液结晶的全自动清洁，但是却无法保证清洗的洁净度，还需要对其专门检测，导致成本增加，另外，该装置在清洗时无法批量清洗洁净，具有较大的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种滤芯批量清洗系统。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种滤芯批量清洗系统，包括暂存槽，所述暂存槽的进液口上设有与其连通的进液管道，其出液口处设有与连通的清洗管道和排液管道，所述清洗管道上依次设有清洗泵、第一过滤器以及第二过滤器，所述第一过滤器和第二过滤器的第一输出端连接于主管道，所述主管道上依次设有流量计和加热器，所述主管道的输出端与水洗管道连通，所述水洗管道与一组滤芯的进水端连接，所述滤芯的出水端与回液管道连接，所述回液管道的另一端与所述进液管道连通。

优选的，所述第一过滤器和第二过滤器的第二输出端分别连接有洗液分支管，所述洗液分支管的另一端连接洗液主管，所述洗液主管还与所述水洗管道连接，所述洗液主管上设有第一控制阀，所述第一控制阀用以控制所述洗液主管和水洗管道之间的连通。

优选的，所述主管道上还设有第三控制阀，所述第三控制阀位于所述加热器远离所述流量计的一侧。

优选的，所述排液管道上还设有与其连通的取样槽，所述清洗管道的出水口处设有第四控制阀，所述清洗管道的出水口位于所述取样槽的正上方。

优选的，所述清洗管道上设有第五控制阀，所述排液管道上设有第六控制阀，所述第五控制阀和第六控制阀的输出端之间设有第一旁通管道，所述第一旁通管道上设有第一调节阀。

优选的，所述清洗管道上还设有第七控制阀，所述第七控制阀位于所述清洗泵和第一过滤器之间。

优选的，所述清洗泵和第六控制阀之间还设有第二旁通管道，所述第二旁通管道上设有第二调节阀。

优选的，所述第一过滤器和第二过滤器的第二输出端与所述排液管道之间均设有旁支管道，每一所述旁支管道上均设有第三调节阀。

优选的，所述清洗管道上并联设置有两个所述暂存槽。

本实用新型的有益效果主要体现在：

1、设计精巧，布局合理，该装置实现了药液的全自动输送和清洗，全程自动化操作，无需人工操作，极大地提高工作，降低工作强度。另外，在药液清洗输送或清洗完成后，可回收至暂存槽中，留存至下次使用，从而实现重复使用，降低成本，提高使用率。

2、所述第一过滤器和第二过滤器的设置可对药液进行过滤，避免药液中存在颗粒，对晶圆造成损伤，延长使用寿命。

3、可实时通过取样槽将药液或清洗液取出，从而检测取样槽内药液的洁净度或浓度，从而确保药液的洁净度，该取样直接从取样槽中取出即可，可大幅度减少操作难度，极大地提高便捷度，具有较广的适用性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1：本实用新型优选实施例的结构示意图；

图2：本实用新型优选实施例中水洗管道、滤芯以及回液管道的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限于本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1至图2所示，本实用新型揭示了一种滤芯批量清洗系统，包括暂存槽第三调节阀871第三调节阀87，本优选实施例中，设置有两个所述暂存槽1，所述暂存槽1的数量可根据实际需求进行调整，均属于本实用新型的保护范畴，在此不做过多赘述。所述暂存槽第三调节阀871第三调节阀87的进液口上设有与其连通的进液管道第三调节阀872第三调节阀87，所述进液管道2可以由酸碱药液管道、酸性药液管道、氧化物药液管道中的一个或几个组成而成，均属于本实用新型的保护范畴，在此不做过多限定。

所述暂存槽第三调节阀871第三调节阀87的出液口处设有与连通的清洗管道第三调节阀873第三调节阀87和排液管道第三调节阀874第三调节阀87，所述清洗管道第三调节阀873第三调节阀87上依次设有清洗泵第三调节阀8731第三调节阀87、第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87以及第二过滤器第三调节阀8733第三调节阀87，所述第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87和第二过滤器第三调节阀8733第三调节阀87的第一输出端连接于主管道第三调节阀875第三调节阀87，所述主管道第三调节阀875第三调节阀87上依次设有流量计第三调节阀8751第三调节阀87和加热器第三调节阀8752第三调节阀87，所述主管道第三调节阀875第三调节阀87的输出端与水洗管道第三调节阀876第三调节阀87连通，所述水洗管道第三调节阀876第三调节阀87与一组滤芯第三调节阀87100第三调节阀87的进水端连接，所述滤芯第三调节阀87100第三调节阀87的出水端与回液管道第三调节阀877第三调节阀87连接，所述回液管道第三调节阀877第三调节阀87的另一端与所述进液管道第三调节阀872第三调节阀87连通。在本优选实施例中，如图2所示，所述滤芯100的数量优选为10个，当然，亦可为其它数量，可根据实际需求进行调整，均属于本实用新型的保护范畴，在此不做过多赘述。

上述设计精巧，布局合理，该装置实现了药液的全自动输送和清洗，全程自动化操作，无需人工操作，极大地提高工作，降低工作强度。另外，在药液清洗输送或清洗完成后，可回收至暂存槽1中，留存至下次使用，从而实现重复使用，降低成本，提高使用率。

所述第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87和第二过滤器第三调节阀8733第三调节阀87的第二输出端分别连接有洗液分支管第三调节阀8734第三调节阀87，所述洗液分支管第三调节阀8734第三调节阀87的另一端连接洗液主管第三调节阀8735第三调节阀87，所述洗液主管第三调节阀8735第三调节阀87还与所述水洗管道6连接，所述洗液主管第三调节阀8735第三调节阀87上设有第一控制阀第三调节阀8736第三调节阀87，所述第一控制阀第三调节阀8736第三调节阀87用以控制所述洗液主管第三调节阀8735第三调节阀87和水洗管道之间的连通。

所述第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87和第二过滤器第三调节阀8733第三调节阀87的设置可对药液进行过滤，避免药液中存在颗粒，对晶圆造成损伤，延长使用寿命。

根据权利要求2所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述主管道第三调节阀875第三调节阀87上还设有第三控制阀第三调节阀8759第三调节阀87，所述第三控制阀第三调节阀8759第三调节阀87位于所述加热器第三调节阀8752第三调节阀87远离所述流量计第三调节阀8751第三调节阀87的一侧。所述排液管道第三调节阀874第三调节阀87上还设有与其连通的取样槽第三调节阀8741第三调节阀87，所述清洗管道第三调节阀873第三调节阀87的出水口处设有第四控制阀第三调节阀8742第三调节阀87，所述清洗管道第三调节阀873第三调节阀87的出水口位于所述取样槽第三调节阀8741第三调节阀87的正上方。在本优选实施例中，可通过取样槽41将药液或清洗液取出，从而检测取样槽内药液的洁净度或浓度，从而确保药液的洁净度，该取样直接从取样槽中取出即可，可大幅度减少操作难度，极大地提高便捷度，具有较广的适用性。

所述清洗管道第三调节阀873第三调节阀87上设有第五控制阀第三调节阀8791第三调节阀87，所述排液管道第三调节阀874第三调节阀87上设有第六控制阀第三调节阀8781第三调节阀87，所述第五控制阀第三调节阀8791第三调节阀87和第六控制阀第三调节阀8781第三调节阀87的输出端之间设有第一旁通管道第三调节阀8782第三调节阀87，所述第一旁通管道第三调节阀8782第三调节阀87上设有第一调节阀第三调节阀8783第三调节阀87。所述清洗管道第三调节阀873第三调节阀87上还设有第七控制阀第三调节阀8792第三调节阀87，所述第七控制阀第三调节阀8792第三调节阀87位于所述清洗泵第三调节阀8731第三调节阀87和第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87之间。所述清洗泵第三调节阀8731第三调节阀87和第六控制阀第三调节阀8781第三调节阀87之间还设有第二旁通管道第三调节阀8784第三调节阀87，所述第二旁通管道第三调节阀8784第三调节阀87上设有第二调节阀第三调节阀8785第三调节阀87。所述第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87和第二过滤器第三调节阀8733第三调节阀87的第二输出端与所述排液管道第三调节阀874第三调节阀87之间均设有旁支管道第三调节阀8786第三调节阀87，每一所述旁支管道第三调节阀8786第三调节阀87上均设有第三调节阀第三调节阀8787第三调节阀87。所述清洗管道第三调节阀873第三调节阀87上并联设置有两个所述暂存槽第三调节阀871第三调节阀87。上述在出现清洗泵第三调节阀8731第三调节阀87、第一过滤器第三调节阀8732第三调节阀87以及第二过滤器第三调节阀8733第三调节阀87等损坏时，仅需将相应的调节阀关闭即可，操作简单便捷，极大地提高工作效率。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.滤芯批量清洗系统，包括暂存槽（1），其特征在于：所述暂存槽（1）的进液口上设有与其连通的进液管道（2），其出液口处设有与连通的清洗管道（3）和排液管道（4），所述清洗管道（3）上依次设有清洗泵（31）、第一过滤器（32）以及第二过滤器（33），所述第一过滤器（32）和第二过滤器（33）的第一输出端连接于主管道（5），所述主管道（5）上依次设有流量计（51）和加热器（52），所述主管道（5）的输出端与水洗管道（6）连通，所述水洗管道（6）与一组滤芯（100）的进水端连接，所述滤芯（100）的出水端与回液管道（7）连接，所述回液管道（7）的另一端与所述进液管道（2）连通。

2.根据权利要求1所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述第一过滤器（32）和第二过滤器（33）的第二输出端分别连接有洗液分支管（34），所述洗液分支管（34）的另一端连接洗液主管（35），所述洗液主管（35）还与所述水洗管道（6）连接，所述洗液主管（35）上设有第一控制阀（36），所述第一控制阀（36）用以控制所述洗液主管（35）和水洗管道（6）之间的连通。

3.根据权利要求2所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述主管道（5）上还设有第三控制阀（59），所述第三控制阀（59）位于所述加热器（52）远离所述流量计（51）的一侧。

4.根据权利要求3所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述排液管道（4）上还设有与其连通的取样槽（41），所述清洗管道（3）的出水口处设有第四控制阀（42），所述清洗管道（3）的出水口位于所述取样槽（41）的正上方。

5.根据权利要求3所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述清洗管道（3）上设有第五控制阀（91），所述排液管道（4）上设有第六控制阀（81），所述第五控制阀（91）和第六控制阀（81）的输出端之间设有第一旁通管道（82），所述第一旁通管道（82）上设有第一调节阀（83）。

6.根据权利要求5所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述清洗管道（3）上还设有第七控制阀（92），所述第七控制阀（92）位于所述清洗泵（31）和第一过滤器（32）之间。

7.根据权利要求6所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述清洗泵（31）和第六控制阀（81）之间还设有第二旁通管道（84），所述第二旁通管道（84）上设有第二调节阀（85）。

8.根据权利要求7所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述第一过滤器（32）和第二过滤器（33）的第二输出端与所述排液管道（4）之间均设有旁支管道（86），每一所述旁支管道（86）上均设有第三调节阀（87）。

9.根据权利要求8所述的滤芯批量清洗系统，其特征在于：所述清洗管道（3）上并联设置有两个所述暂存槽（1）。