CN223471237U - 一种用于曝光机的匀光光源组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于曝光机的匀光光源组件，包括外壳和固定块；外壳一侧的一端固定有固定块，外壳的一侧设置有散热结构，固定块的内部设置有安装结构，外壳内部的一侧安装有LED阵列；LED阵列的一侧安装有反射镜，反射镜的一侧安装有透镜，透镜的一侧安装有匀光板，散热结构包括散热翅片、散热块、扇叶、电机和通槽散热翅片安装于外壳的一侧；散热翅片的表面固定有散热块，散热翅片的内部开设有通槽。本实用新型通过散热翅片和散热块的配合使用，可以增大外壳的散热面积，使其在散热时效果更好，并且通过电机和扇叶的使用，可以产生风力，加快散热翅片表面空气的流动，使其在对外壳散热时更加的快速。

Description

一种用于曝光机的匀光光源组件

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，特别涉及一种用于曝光机的匀光光源组件。

背景技术

曝光机是一种重要的机器设备在半导体制造过程中，曝光机用于将图案投射到硅片上，形成微细的电路图案,曝光机中重要组件之一就是匀光光源组件，匀光光源组件是曝光系统中至关重要的部分，它负责将光源发出的光线进行均匀化处理，以确保曝光面上的光照度一致，然而传统的曝光机的匀光光源组件在使用时还存在一些问题。

曝光机的匀光光源组件发光源一般是LED阵列、荧光灯管等，这就导致LED阵列、荧光灯管在进行工作时会产生大量的热量，传统的自行散热方式无法快速的将热量给散发出来，导致在长时间使用的过程中LED阵列、荧光灯管容易出现损坏的情况，因此就需要用到一种用于曝光机的匀光光源组件来解决上述的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于曝光机的匀光光源组件，用以解决匀光光源组件在长时间使用的过程中不便快速将热量给散发出来的缺陷。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于曝光机的匀光光源组件，包括外壳和固定块；所述外壳一侧的一端固定有固定块，所述外壳的一侧设置有散热结构，所述固定块的内部设置有安装结构，所述外壳内部的一侧安装有LED阵列；所述LED阵列的一侧安装有反射镜，所述反射镜的一侧安装有透镜，所述透镜的一侧安装有匀光板，所述散热结构包括散热翅片、散热块、扇叶、电机和通槽所述散热翅片安装于外壳的一侧；所述散热翅片的表面固定有散热块，所述散热翅片的内部开设有通槽，所述电机设置于外壳的一侧，所述电机输出端的外侧设置有扇叶。

优选的，所述散热翅片设置有若干个，若干个所述散热翅片在外壳的一侧呈等间距排列。

优选的，所述散热块设置有两组，两组所述散热块在散热翅片的外侧呈对称分布。

优选的，所述扇叶设置有若干个，若干个所述扇叶在电机输出端的外侧呈环形分布。

优选的，所述安装结构包括固定栓、螺帽、卡块和卡槽，所述卡槽开设于固定块的内部，所述卡槽的内部插设有卡块，所述卡块的顶端与电机的底端相连接，所述卡块的一侧固定有固定栓，所述固定栓的外侧设置有螺帽。

优选的，所述卡块插设进卡槽的内部，所述卡块与卡槽之间构成插设结构。

优选的，所述螺帽套设于固定栓的外侧，所述螺帽与固定栓之间构成螺纹连接。

本实用新型提供的一种用于曝光机的匀光光源组件，其优点在于：

通过散热翅片和散热块的配合使用，可以增大外壳的散热面积，使其在散热时效果更好，并且通过电机和扇叶的使用，可以产生风力，加快散热翅片表面空气的流动，使其在对外壳散热时更加的快速。

通过卡槽和卡块的配合使用，可以在对电机进行安装时更加的快速，并且通过固定栓与螺帽的配合使用可以在电机安装完成后对其进行一个固定，防止电机出现脱落的情况。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意图；

图2为本实用新型的仰视结构示意图；

图3为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的侧视结构示意图；

图5为本实用新型的图4中A处局部放大结构示意图。

图中：1、外壳；2、散热结构；201、散热翅片；202、散热块；203、扇叶；204、电机；205、通槽；3、固定块；4、LED阵列；5、反射镜；6、透镜；7、匀光板；8、安装结构；801、固定栓；802、螺帽；803、卡块；804、卡槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种用于曝光机的匀光光源组件，如图1-图5所示，包括外壳1和固定块3；外壳1一侧的一端固定有固定块3，外壳1的一侧设置有散热结构2，固定块3的内部设置有安装结构8，外壳1内部的一侧安装有LED阵列4；LED阵列4的一侧安装有反射镜5，反射镜5的一侧安装有透镜6，透镜6的一侧安装有匀光板7。

本实用新型进一步较佳实施例中，如图1-图5所示：散热结构2包括散热翅片201、散热块202、扇叶203、电机204和通槽205散热翅片201安装于外壳1的一侧；散热翅片201的表面固定有散热块202，散热翅片201的内部开设有通槽205，电机204设置于外壳1的一侧，电机204输出端的外侧设置有扇叶203，散热翅片201设置有若干个，若干个散热翅片201在外壳1的一侧呈等间距排列，散热块202设置有两组，两组散热块202在散热翅片201的外侧呈对称分布，扇叶203设置有若干个，若干个扇叶203在电机204输出端的外侧呈环形分布。

具体地，当外壳1在使用的过程中，需要进行散热时，这时散热翅片201和散热块202的使用，可以增大外壳1的散热面积，使其在散热时效果更好，并且在散热时外接电源启动电机204带动扇叶203旋转，从而带动散热翅片201表面空气流动，加快散热翅片201表面空气流动的速度，使散热翅片201在散热时效果更好，从而完成散热工作。

本实用新型进一步较佳实施例中，如图1-图5所示：安装结构8包括固定栓801、螺帽802、卡块803和卡槽804，卡槽804开设于固定块3的内部，卡槽804的内部插设有卡块803，卡块803的顶端与电机204的底端相连接，卡块803的一侧固定有固定栓801，固定栓801的外侧设置有螺帽802，卡块803插设进卡槽804的内部，卡块803与卡槽804之间构成插设结构，螺帽802套设于固定栓801的外侧，螺帽802与固定栓801之间构成螺纹连接。

具体地，在散热前，将电机204底端的卡块803对准卡槽804然后插设进去，使其在对电机204在安装时更加的方便，插设完成后将螺帽802固定在固定栓801的外侧，从而完成对电机204的固定，使其在对电机204安装时更加的方便。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于曝光机的匀光光源组件，包括外壳(1)和固定块(3)；

其特征在于：

所述外壳(1)一侧的一端固定有固定块(3)，所述外壳(1)的一侧设置有散热结构(2)，所述固定块(3)的内部设置有安装结构(8)，所述外壳(1)内部的一侧安装有LED阵列(4)；

所述LED阵列(4)的一侧安装有反射镜(5)，所述反射镜(5)的一侧安装有透镜(6)，所述透镜(6)的一侧安装有匀光板(7)，所述散热结构(2)包括散热翅片(201)、散热块(202)、扇叶(203)、电机(204)和通槽(205)所述散热翅片(201)安装于外壳(1)的一侧；

所述散热翅片(201)的表面固定有散热块(202)，所述散热翅片(201)的内部开设有通槽(205)，所述电机(204)设置于外壳(1)的一侧，所述电机(204)输出端的外侧设置有扇叶(203)。

2.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的匀光光源组件，其特征在于：所述散热翅片(201)设置有若干个，若干个所述散热翅片(201)在外壳(1)的一侧呈等间距排列。

3.根据权利要求2所述的一种用于曝光机的匀光光源组件，其特征在于：所述散热块(202)设置有两组，两组所述散热块(202)在散热翅片(201)的外侧呈对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的匀光光源组件，其特征在于：所述扇叶(203)设置有若干个，若干个所述扇叶(203)在电机(204)输出端的外侧呈环形分布。

5.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的匀光光源组件，其特征在于：所述安装结构(8)包括固定栓(801)、螺帽(802)、卡块(803)和卡槽(804)，所述卡槽(804)开设于固定块(3)的内部，所述卡槽(804)的内部插设有卡块(803)，所述卡块(803)的顶端与电机(204)的底端相连接，所述卡块(803)的一侧固定有固定栓(801)，所述固定栓(801)的外侧设置有螺帽(802)。

6.根据权利要求5所述的一种用于曝光机的匀光光源组件，其特征在于：所述卡块(803)插设进卡槽(804)的内部，所述卡块(803)与卡槽(804)之间构成插设结构。

7.根据权利要求5所述的一种用于曝光机的匀光光源组件，其特征在于：所述螺帽(802)套设于固定栓(801)的外侧，所述螺帽(802)与固定栓(801)之间构成螺纹连接。