CN223341872U - 真空载台装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃基板自动定位技术领域，特别是一种真空载台装置，包括固定支架、第一方向定位模组、第二方向定位模组、真空升降模组以及真空载台；真空载台设置在固定支架上，真空载台上设置有多个真空吸附孔；第一方向定位模组和第二方向定位模组用于产品在真空载台上定位；真空升降模组包括升降驱动元件、升降连接板以及多个吸附顶杆，吸附顶杆的端部设置有吸盘，吸附顶杆的一端穿过真空载台，以将产品吸附并放置到真空载台或从真空载台上将产品顶起。本实用新型能够实现对玻璃基板在X、Y两个方向上的进行定位，为后续视觉定位做前期准备，进而提高效率。另外，将产品从真空载台上顶起，以便机器人从上往下取放玻璃基板。

Description

真空载台装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板自动定位技术领域，特别是涉及一种真空载台装置。

背景技术

玻璃基板自动化定位是一项在先进制造领域中至关重要的技术，主要涉及到玻璃基板在生产线上的精确、快速且稳定的定位，以确保后续加工步骤的准确性和效率。

在自动化定位过程中，玻璃基板通常被放置在具有真空吸附功能的工作平台上。通过控制气孔对玻璃产生真空吸附，可以精确控制玻璃基板在工作平台上的位置。随后，利用吸盘或其他真空吸附装置，可以稳定地吸附住玻璃基板，防止其在加工过程中发生位移。但现有对玻璃基板定位的精度较难控制，影响玻璃基板定位的精度。因此需要针对现有的玻璃基板载台结构做新的改进。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型能够实现对玻璃基板在X、Y两个方向上的进行定位，为后续视觉定位做前期准备，进而提高效率；确保了玻璃基板在加工或测试过程中能够准确地对准预定位置，从而避免了因位置偏差，另外，将产品从真空载台上顶起，以便机器人从上往下取放玻璃基板的真空载台装置。

本实用新型所采用的技术方案是：一种真空载台装置，包括固定支架、第一方向定位模组、第二方向定位模组、真空升降模组以及真空载台；所述真空载台设置在固定支架上，所述真空载台上设置有多个真空吸附孔；所述第一方向定位模组和第二方向定位模组用于产品在真空载台上定位；所述真空升降模组包括升降驱动元件、升降连接板以及多个吸附顶杆，所述吸附顶杆的端部设置有吸盘，所述吸附顶杆的一端穿过真空载台，以将产品吸附并放置到真空载台或从真空载台上将产品顶起。

对上述方案的进一步改进为，所述固定支架包括底板以及设置在底板两侧的侧板，所述真空载台设置在侧板的顶端；所述真空载台与底板之间形成安置腔，所述升降驱动元件设置在安置腔上。

对上述方案的进一步改进为，所述第一方向定位模组包括端面定位组件以及端面夹持组件，所述端面定位组件设置在真空载台的一侧，所述端面定位组件与端面夹持组件相对；所述端面夹持组件包括端面夹持驱动元件、端面夹持支架以及端面夹持轴，所述真空载台上设置有端面夹持滑槽，所述端面夹持驱动元件设置在固定支架上，并用于驱动端面夹持支架带动端面夹持轴沿着端面夹持滑槽滑动。

对上述方案的进一步改进为，所述端面定位组件包括端面定位支架、端面定位驱动元件、端面定位移动架以及端面定位轴，所述端面定位支架设置在固定支架上，所述端面定位驱动元件设置在端面定位支架上，所述端面定位移动架设置在端面驱动元件的驱动端，所述端面定位轴设置在端面定位移动架上，所述端面定位轴与端面夹持轴相对，以用于对产品的两端面定位。

对上述方案的进一步改进为，所述端面夹持驱动元件包括端面驱动底座、端面驱动电机、端面驱动丝杆以及端面驱动导轨，所述端面驱动底座设置在固定支架上，所述端面驱动电机设置在端面驱动底座上，所述端面驱动丝杆与端面驱动电机的驱动端连接，所述端面驱动导轨设置在端面驱动底座的两侧；所述端面夹持支架滑动设置在端面驱动导轨上，并与端面驱动丝杆连接；所述端面驱动电机用于驱动端面驱动丝杆，以带动端面夹持支架沿着端面驱动导轨滑动。

对上述方案的进一步改进为，所述第二方向定位模组设置有两组，两组第二方向定位模组相对设置在真空载台的两侧。

对上述方案的进一步改进为，所述第二方向定位模组包括侧面夹持驱动元件、侧面夹持支架以及侧面夹持轴，所述真空载台的两侧设置有侧面夹持滑槽，所述侧面夹持驱动元件设置在固定支架上，并用于驱动侧面夹持支架带动侧面夹持轴沿着侧面夹持滑槽滑动，以对产品的侧面夹持定位。

对上述方案的进一步改进为，所述侧面夹持驱动元件包括侧面驱动底座、侧面驱动电机、侧面驱动丝杆以及侧面驱动导轨，所述侧面驱动底座设置在固定支架上，所述侧面驱动电机设置在侧面驱动底座上，所述侧面驱动丝杆与侧面驱动电机的驱动端连接，所述侧面驱动导轨设置在侧面驱动底座的两侧；所述侧面夹持支架滑动设置在侧面驱动导轨上，并与侧面驱动丝杆连接；所述侧面驱动电机用于驱动侧面驱动丝杆，以带动侧面夹持支架沿着侧面驱动导轨滑动。

对上述方案的进一步改进为，所述真空载台上设置有多个通孔，所述吸附顶杆的一端穿过通孔。

对上述方案的进一步改进为，所述升降连接板与真空载台之间设置有缓冲元件。

本实用新型有益效果是：

相比现有的真空载台，本实用新型用于玻璃基板定位，通过第一方向定位模组和第二方向定位模组，能够实现对玻璃基板在X、Y两个方向上的精确定位。这两个定位模组可能采用了精密的导轨、滑块以及驱动电机等组件，通过闭环控制系统实现高精度的位置反馈和调节。高精度的定位能力，确保了玻璃基板在加工或测试过程中能够准确地对准预定位置，为后续视觉定位做前期准备，进而提高效率，从而避免了因位置偏差而导致的加工误差或测试失败。其次，该装置在提升工作效率方面也表现出色。真空升降模组的设计，使得玻璃基板的吸附、放置以及顶起等操作都可以通过自动化的方式完成。这不仅大大减轻了操作人员的劳动强度，还显著提高了工作效率。同时，由于吸附顶杆和吸盘的配合使用，可以实现对玻璃基板快速而稳定的吸附，避免了因操作不当而导致的玻璃基板损坏或移位等问题。固定支架作为整个装置的支撑结构，其设计合理、结构坚固，能够承受较大的负载并保持稳定的运行状态。同时，真空载台上的多个真空吸附孔，可以实现对玻璃基板的多点吸附，从而进一步提高了系统的稳定性。这种稳定性对于保证玻璃基板在加工或测试过程中的位置不变、避免振动和晃动等问题具有重要意义。本实用新型在玻璃基板定位上表现出了高精度、高效率、高稳定性以及广泛的适用性等技术效果。这些技术效果不仅提高了玻璃基板的加工精度和测试准确性，还降低了生产成本和劳动强度，为玻璃基板的生产和测试提供了有力的技术支持。另外，将产品从真空载台上顶起，以便机器人从上往下取放玻璃基板。

附图说明

图1为本实用新型真空载台装置的立体示意图；

图2为图1中真空载台装置另一视角的立体示意图；

图3为图1中真空载台装置的侧视示意图；

图4为图1中真空载台装置部分结构的示意图。

附图标记说明：固定支架1、底板11、侧板12；

第一方向定位模组2、端面定位组件21、端面定位支架211、端面定位驱动元件212、端面定位移动架213、端面定位轴214、端面夹持组件22、端面夹持驱动元件221、端面驱动底座2211、端面驱动电机2212、端面驱动丝杆2213、端面驱动导轨2214、端面夹持支架222、端面夹持轴223；

第二方向定位模组3、侧面夹持驱动元件31、侧面驱动底座311、侧面驱动电机312、侧面驱动丝杆313、侧面驱动导轨314、侧面夹持支架32、侧面夹持轴33；

真空升降模组4、升降驱动元件41、升降连接板42、缓冲元件421、吸附顶杆43；

真空载台5、真空吸附孔51、端面夹持滑槽52、侧面夹持滑槽53、通孔54。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

如图1～图4所示，本实用新型的一种实施例中，涉及了一种真空载台装置，包括固定支架1、第一方向定位模组2、第二方向定位模组3、真空升降模组4以及真空载台5；所述真空载台5设置在固定支架1上，所述真空载台5上设置有多个真空吸附孔51；所述第一方向定位模组2和第二方向定位模组3用于产品在真空载台5上定位；所述真空升降模组4包括升降驱动元件41、升降连接板42以及多个吸附顶杆43，所述吸附顶杆43的端部设置有吸盘44，所述吸附顶杆43的一端穿过真空载台5，以将产品吸附并放置到真空载台5或从真空载台5上将产品顶起。本实施例用于玻璃基板定位，通过第一方向定位模组2和第二方向定位模组3，能够实现对玻璃基板在X、Y两个方向上的精确定位。这两个定位模组可能采用了精密的导轨、滑块以及驱动电机等组件，通过闭环控制系统实现高精度的位置反馈和调节。这种高精度的定位能力，对于玻璃基板这种对位置精度要求极高的材料来说，是至关重要的。它确保了玻璃基板在加工或测试过程中能够准确地对准预定位置，从而避免了因位置偏差而导致的加工误差或测试失败。其次，该装置在提升工作效率方面也表现出色。真空升降模组4的设计，使得玻璃基板的吸附、放置以及顶起等操作都可以通过自动化的方式完成。这不仅大大减轻了操作人员的劳动强度，还显著提高了工作效率。同时，由于吸附顶杆43和吸盘44的配合使用，可以实现对玻璃基板快速而稳定的吸附，避免了因操作不当而导致的玻璃基板损坏或移位等问题。固定支架1作为整个装置的支撑结构，其设计合理、结构坚固，能够承受较大的负载并保持稳定的运行状态。同时，真空载台5上的多个真空吸附孔51，可以实现对玻璃基板的多点吸附，从而进一步提高了系统的稳定性。这种稳定性对于保证玻璃基板在加工或测试过程中的位置不变、避免振动和晃动等问题具有重要意义。本实施例在玻璃基板定位上表现出了高精度、高效率、高稳定性以及广泛的适用性等技术效果。这些技术效果不仅提高了玻璃基板的加工精度和测试准确性，还降低了生产成本和劳动强度，为玻璃基板的生产和测试提供了有力的技术支持。

固定支架1包括底板11以及设置在底板11两侧的侧板12，所述真空载台5设置在侧板12的顶端；所述真空载台5与底板11之间形成安置腔，所述升降驱动元件41设置在安置腔上。本实施例中，通过将真空载台5设置于侧板12顶端，并与底板11之间巧妙地构建出安置腔，这一设计不仅优化了空间布局，还确保了结构的稳固性

第一方向定位模组2包括端面定位组件21以及端面夹持组件22，所述端面定位组件21设置在真空载台5的一侧，所述端面定位组件21与端面夹持组件22相对；所述端面夹持组件22包括端面夹持驱动元件221、端面夹持支架222以及端面夹持轴223，所述真空载台5上设置有端面夹持滑槽52，所述端面夹持驱动元件221设置在固定支架1上，并用于驱动端面夹持支架222带动端面夹持轴223沿着端面夹持滑槽52滑动。具体地，端面定位组件21包括端面定位支架211、端面定位驱动元件212、端面定位移动架213以及端面定位轴214，所述端面定位支架211设置在固定支架1上，所述端面定位驱动元件212设置在端面定位支架211上，所述端面定位移动架213设置在端面驱动元件的驱动端，所述端面定位轴214设置在端面定位移动架213上，所述端面定位轴214与端面夹持轴223相对，以用于对产品的两端面定位。本实施例中，端面定位组件21与端面夹持组件22的协同工作，实现了对玻璃基板两端面的精准定位与稳固夹持。端面定位组件21通过端面定位支架211稳固地安装在固定支架1上，其驱动元件能够精确地控制端面定位移动架213及定位轴的移动，从而实现对玻璃基板一端面的精确对准。同时，相对设置的端面夹持组件22则通过其驱动元件驱动夹持支架及夹持轴沿滑槽滑动，对玻璃基板的另一端面进行稳固的夹持，确保玻璃基板在加工过程中的稳定性。其次，该模组设计充分考虑了玻璃基板的特性，如易碎、易划伤等，因此在夹持与定位过程中采用了非接触或低接触压力的方式，有效避免了因机械应力而导致的损伤。同时，端面定位轴214与端面夹持轴223的相对设置，不仅保证了定位的准确性，还使得整个夹持过程更加平稳、可靠。此外，该模组还具备高度的灵活性与适应性。通过调整驱动元件的控制参数，可以实现对不同尺寸、不同厚度的玻璃基板进行快速、准确的定位与夹持，大大提高了生产线的灵活性与生产效率。

端面夹持驱动元件221包括端面驱动底座2211、端面驱动电机2212、端面驱动丝杆2213以及端面驱动导轨2214，所述端面驱动底座2211设置在固定支架1上，所述端面驱动电机2212设置在端面驱动底座2211上，所述端面驱动丝杆2213与端面驱动电机2212的驱动端连接，所述端面驱动导轨2214设置在端面驱动底座2211的两侧；所述端面夹持支架222滑动设置在端面驱动导轨2214上，并与端面驱动丝杆2213连接；所述端面驱动电机2212用于驱动端面驱动丝杆2213，以带动端面夹持支架222沿着端面驱动导轨2214滑动。本实施例中，通过端面驱动底座2211稳固安装于真空载台5上，确保了整个驱动系统的稳定性和精度。端面驱动电机2212的高效运作，能够精准地控制端面驱动丝杆2213的旋转，进而驱动端面夹持支架222沿着精密加工的端面驱动导轨2214平滑滑动。这一设计不仅实现了对玻璃基板的高精度定位，还大幅提升了定位的响应速度和稳定性。此外，端面夹持支架222与端面驱动丝杆2213的直接连接，减少了传动过程中的能量损失和误差累积，进一步提高了定位精度。

第二方向定位模组3设置有两组，两组第二方向定位模组3相对设置在真空载台5的两侧。具体地，所述第二方向定位模组3包括侧面夹持驱动元件31、侧面夹持支架32以及侧面夹持轴33，所述真空载台5的两侧设置有侧面夹持滑槽53，所述侧面夹持驱动元件31设置在固定支架1上，并用于驱动侧面夹持支架32带动侧面夹持轴33沿着侧面夹持滑槽53滑动，以对产品的侧面夹持定位。本实施例中，通过设置两组相对分布于真空载台5两侧的第二方向定位模组3，该结构确保了玻璃基板在水平面内的精准定位与稳定夹持。每组第二方向定位模组3均集成了侧面夹持驱动元件31、侧面夹持支架32及侧面夹持轴33，这一组合设计使得夹持过程高度可控且灵活。侧面夹持驱动元件31固定于稳固的支架之上，能够精确驱动侧面夹持支架32，进而带动侧面夹持轴33沿着预设的侧面夹持滑槽53平稳滑动。这一过程不仅实现了对玻璃基板侧面的有效夹持，还确保了夹持力度的均匀分布，避免了因应力集中而导致的基板损伤。此外，侧面夹持滑槽53的引入进一步提升了定位的精确性与稳定性。滑槽的设计允许侧面夹持轴33在限定的路径内平滑移动，既保证了夹持位置的准确性，又便于根据实际需要进行微调，从而满足了对玻璃基板高精度定位的需求。

侧面夹持驱动元件31包括侧面驱动底座311、侧面驱动电机312、侧面驱动丝杆313以及侧面驱动导轨314，所述侧面驱动底座311设置在固定支架1上，所述侧面驱动电机312设置在侧面驱动底座311上，所述侧面驱动丝杆313与侧面驱动电机312的驱动端连接，所述侧面驱动导轨314设置在侧面驱动底座311的两侧；所述侧面夹持支架32滑动设置在侧面驱动导轨314上，并与侧面驱动丝杆313连接；所述侧面驱动电机312用于驱动侧面驱动丝杆313，以带动侧面夹持支架32沿着侧面驱动导轨314滑动。本实施例中，通过侧面驱动底座311稳固安装于真空载台5上，确保了整个驱动系统的稳定性和精度。侧面驱动电机312的高效运作，能够精准地控制侧面驱动丝杆313的旋转，进而驱动侧面夹持支架32沿着精密加工的侧面驱动导轨314平滑滑动。这一设计不仅实现了对玻璃基板的高精度定位，还大幅提升了定位的响应速度和稳定性。此外，侧面夹持支架32与侧面驱动丝杆313的直接连接，减少了传动过程中的能量损失和误差累积，进一步提高了定位精度。

真空载台5上设置有多个通孔54，所述吸附顶杆43的一端穿过通孔54。本实施例中，这些通孔54允许吸附顶杆43的一端精确穿过，从而实现对玻璃基板的有效吸附与固定。在真空环境下，通过调整吸附顶杆43的工作状态，可以灵活控制其对玻璃基板的吸附力，进而实现对玻璃基板位置的精确调整和稳定保持。此外，多个通孔54和吸附顶杆43的分布设计，有助于实现对玻璃基板的多点吸附，提高了定位的准确性和稳定性。

升降连接板42与真空载台5之间设置有缓冲元件421。本实施例中，缓冲元件421能够有效吸收升降连接板42与真空载台5之间因运动而产生的冲击和振动，确保玻璃基板在定位过程中的稳定性和准确性。这有助于减少因振动而导致的定位误差，提高玻璃基板加工的精度和一致性。其次，缓冲元件421的引入还增强了系统的稳定性和耐用性。在真空载台5频繁升降和定位玻璃基板的过程中，缓冲元件421能够减轻机械部件的磨损，延长设备的使用寿命。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空载台装置，其特征在于：包括固定支架、第一方向定位模组、第二方向定位模组、真空升降模组以及真空载台；所述真空载台设置在固定支架上，所述真空载台上设置有多个真空吸附孔；所述第一方向定位模组和第二方向定位模组用于产品在真空载台上定位；所述真空升降模组包括升降驱动元件、升降连接板以及多个吸附顶杆，所述吸附顶杆的端部设置有吸盘，所述吸附顶杆的一端穿过真空载台，以将产品吸附并放置到真空载台或从真空载台上将产品顶起。

2.根据权利要求1所述的真空载台装置，其特征在于：所述固定支架包括底板以及设置在底板两侧的侧板，所述真空载台设置在侧板的顶端；所述真空载台与底板之间形成安置腔，所述升降驱动元件设置在安置腔上。

3.根据权利要求1所述的真空载台装置，其特征在于：所述第一方向定位模组包括端面定位组件以及端面夹持组件，所述端面定位组件设置在真空载台的一侧，所述端面定位组件与端面夹持组件相对；所述端面夹持组件包括端面夹持驱动元件、端面夹持支架以及端面夹持轴，所述真空载台上设置有端面夹持滑槽，所述端面夹持驱动元件设置在固定支架上，并用于驱动端面夹持支架带动端面夹持轴沿着端面夹持滑槽滑动。

4.根据权利要求3所述的真空载台装置，其特征在于：所述端面定位组件包括端面定位支架、端面定位驱动元件、端面定位移动架以及端面定位轴，所述端面定位支架设置在固定支架上，所述端面定位驱动元件设置在端面定位支架上，所述端面定位移动架设置在端面驱动元件的驱动端，所述端面定位轴设置在端面定位移动架上，所述端面定位轴与端面夹持轴相对，以用于对产品的两端面定位。

5.根据权利要求4所述的真空载台装置，其特征在于：所述端面夹持驱动元件包括端面驱动底座、端面驱动电机、端面驱动丝杆以及端面驱动导轨，所述端面驱动底座设置在固定支架上，所述端面驱动电机设置在端面驱动底座上，所述端面驱动丝杆与端面驱动电机的驱动端连接，所述端面驱动导轨设置在端面驱动底座的两侧；所述端面夹持支架滑动设置在端面驱动导轨上，并与端面驱动丝杆连接；所述端面驱动电机用于驱动端面驱动丝杆，以带动端面夹持支架沿着端面驱动导轨滑动。

6.根据权利要求1所述的真空载台装置，其特征在于：所述第二方向定位模组设置有两组，两组第二方向定位模组相对设置在真空载台的两侧。

7.根据权利要求6所述的真空载台装置，其特征在于：所述第二方向定位模组包括侧面夹持驱动元件、侧面夹持支架以及侧面夹持轴，所述真空载台的两侧设置有侧面夹持滑槽，所述侧面夹持驱动元件设置在固定支架上，并用于驱动侧面夹持支架带动侧面夹持轴沿着侧面夹持滑槽滑动，以对产品的侧面夹持定位。

8.根据权利要求7所述的真空载台装置，其特征在于：所述侧面夹持驱动元件包括侧面驱动底座、侧面驱动电机、侧面驱动丝杆以及侧面驱动导轨，所述侧面驱动底座设置在固定支架上，所述侧面驱动电机设置在侧面驱动底座上，所述侧面驱动丝杆与侧面驱动电机的驱动端连接，所述侧面驱动导轨设置在侧面驱动底座的两侧；所述侧面夹持支架滑动设置在侧面驱动导轨上，并与侧面驱动丝杆连接；所述侧面驱动电机用于驱动侧面驱动丝杆，以带动侧面夹持支架沿着侧面驱动导轨滑动。

9.根据权利要求1所述的真空载台装置，其特征在于：所述真空载台上设置有多个通孔，所述吸附顶杆的一端穿过通孔。

10.根据权利要求1所述的真空载台装置，其特征在于：所述升降连接板与真空载台之间设置有缓冲元件。