CN223263812U - 一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电子气体制备技术领域，具体为一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，包括柜体，所述柜体内腔底部固定连接有反应釜，所述反应釜外壁固定连接有外冷却管，所述柜体右侧设置有水箱，所述水箱左侧固定安装有水泵，所述水泵的抽水口固定连通有抽水管，所述抽水管远离水泵的一端与水箱固定连通，所述水泵的出水口固定连通有出水管，所述出水管远离水泵的一端与外冷却管固定连通，所述反应釜上安装有使反应釜内外均匀冷却的冷却组件，所述第一电机上安装有加快冷却水降温的降温组件，在冷却组件的作用下，反应釜内外同时进行冷却，且冷却更为均匀、快速，并通过半导体制冷片及扇叶对冷却水进行降温，保证冷却效果。

Description

一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构

技术领域

本实用新型涉及电子气体制备技术领域，具体为一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构。

背景技术

电子气体是指用于电子工业生产的特种气体，在半导体、液晶显示、太阳能电池、光纤等电子领域中发挥着至关重要的作用。不同的电子气体具有不同的物理和化学性质，以满足不同电子制造工艺的需求。电子气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险，其危害性被不同国家区域和不同的工业组织进行了详细的危险等级分类。

许多电子气体的制备反应都是在特定的温度范围内进行的，如果温度过高，可能会导致反应失控，产生副反应，且高温可能会对反应釜、管道等设备造成损坏，因此一般会使用水循环冷却装置对反应釜进行冷却，然而水循环冷却装置通常仅能对反应釜外壁进行冷却，冷却速度慢且反应釜内部冷却不均匀，可能会影响电子气体制备过程，为了能提升冷却速度同时保证反应釜内部均匀冷却，我们提出一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，可提升冷却速度同时保证反应釜内部均匀冷却。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，包括柜体，所述柜体前侧铰接有柜门，所述柜体内腔底部固定连接有反应釜，所述反应釜外壁固定连接有外冷却管，所述柜体右侧设置有水箱，所述水箱底部固定连接有若干组支撑柱，所述水箱右侧固定连通有注水管，所述水箱左侧固定安装有水泵，所述水泵的抽水口固定连通有抽水管，所述抽水管远离水泵的一端与水箱固定连通，所述水泵的出水口固定连通有出水管，所述出水管穿设进柜体，所述出水管远离水泵的一端与外冷却管固定连通，所述反应釜上安装有使反应釜内外均匀冷却的冷却组件，所述第一电机上安装有加快冷却水降温的降温组件。

优选地，所述冷却组件包括连接管，所述连接管与外冷却管固定连通，所述连接管穿设进反应釜，所述连接管远离外冷却管的一端固定连通有内冷却管，所述内冷却管远离连接管的一端固定连通有回水管，所述回水管穿设出反应釜及柜体，所述回水管远离内冷却管的一端与水箱固定连通。

优选地，所述冷却组件还包括第二电机，所述第二电机固定安装在反应釜顶部，所述第二电机的输出端转动穿设进反应釜，所述第二电机的输出端固定连接有驱动杆，所述驱动杆外固定套设有若干组转盘，所述转盘外侧固定连接有若干组叶片。

优选地，所述降温组件包括第一电机，所述第一电机固定安装在水箱顶部，所述第一电机的输出端转动穿设进水箱，所述第一电机的输出端固定连接有搅拌杆，所述搅拌杆外侧固定连接有若干组搅拌桨，所述水箱内腔底部固定连接有安装罩，所述搅拌杆转动穿设进安装罩，所述搅拌杆底部固定连接有主动锥齿轮，所述安装罩侧壁转动穿设有转动杆，所述转动杆左端固定连接有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮与主动锥齿轮相啮合，所述转动杆右端转动穿设出水箱，所述转动杆右端固定连接有主动皮带轮。

优选地，所述降温组件还包括安装筒，所述安装筒固定安装在后侧支撑柱上，所述安装筒中转动连接有连接杆，所述连接杆外固定连接有若干组扇叶，所述连接杆右端转动穿设出安装筒，所述连接杆右端固定连接有从动皮带轮，所述从动皮带轮与主动皮带轮之间张紧套接有皮带。

优选地，所述柜体内腔侧壁固定安装有气体检测仪，所述柜体后侧固定安装有抽气泵，所述抽气泵的抽气口与柜体固定连通，所述抽气泵的排气口固定连通有出气管。

优选地，所述水箱底部固定连接有若干组散热翅片，所述散热翅片为铜材质。

优选地，所述水箱内壁固定安装有若干组半导体制冷片，所述半导体制冷片与外部电源电性连接。

优选地，所述柜门前侧设置有观察窗、把手及若干透气孔。

优选地，所述出气管远离抽气泵的一端固定连通有排气管。

有益效果

本实用新型提供了一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构。与现有技术相比具备以下有益效果：

1.该电子气体制备反应釜的循环冷却结构，通过连接管连通外冷却管和内冷却管，实现对反应釜内外同时进行冷却，使冷却更为均匀、快速，并通过半导体制冷片及扇叶对冷却水进行降温，保证冷却效果，实现循环冷却。

2.该电子气体制备反应釜的循环冷却结构，通过安装抽气泵使柜体内处

于负压状态，可防止电子气体泄漏到柜体外，危害工作人员健康。

附图说明

图1为本实用新型主体正视结构示意图；

图2为本实用新型主体后视结构示意图；

图3为本实用新型主体截面结构示意图；

图4为本实用新型主体柜体内部结构示意图；

图5为本实用新型主体反应釜内部结构示意图；

图6为本实用新型主体扇叶与连接杆连接结构示意图。

图中：1、柜体；2、柜门；3、气体检测仪；4、第一电机；5、水箱；6、散热翅片；7、支撑柱；8、抽气泵；9、出气管；10、安装筒；11、回水管；12、注水管；13、半导体制冷片；14、主动皮带轮；15、从动皮带轮；16、反应釜；17、第二电机；18、连接管；19、外冷却管；20、内冷却管；21、水泵；22、出水管；23、安装罩；24、转动杆；25、搅拌桨；26、搅拌杆；27、抽水管；28、转盘；29、叶片；30、扇叶；31、连接杆；32、从动锥齿轮；33、主动锥齿轮；34、驱动杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，包括柜体1，柜体1前侧铰接有柜门2，柜体1内腔底部固定连接有反应釜16，反应釜16外壁固定连接有外冷却管19，柜体1右侧设置有水箱5，水箱5底部固定连接有若干组支撑柱7，水箱5右侧固定连通有注水管12，水箱5左侧固定安装有水泵21，水泵21的抽水口固定连通有抽水管27，抽水管27远离水泵21的一端与水箱5固定连通，水泵21的出水口固定连通有出水管22，出水管22穿设进柜体1，出水管22远离水泵21的一端与外冷却管19固定连通，反应釜16上安装有使反应釜16内外均匀冷却的冷却组件，第一电机4上安装有加速冷却水降温的降温组件。

本电子气体制备反应釜的循环冷却结构使用时，首先需通过注水管12向水箱5中注入足量的冷却水，接着在反应釜16中进行电子气体制备反应，并启动水泵21，水泵21将水箱5中的冷却水抽入外冷却管19中，对反应釜16外壁进行冷却，同时冷却组件将对反应釜16内部进行冷却，使反应釜16内外均匀冷却并加快总体冷却速度，冷却水吸收热量后自身温度升高，通过降温组件降低冷却水温度，保证冷却效果，实现循环冷却。

冷却组件包括连接管18，连接管18与外冷却管19固定连通，连接管18穿设进反应釜16，连接管18远离外冷却管19的一端固定连通有内冷却管20，内冷却管20远离连接管18的一端固定连通有回水管11，回水管11穿设出反应釜16及柜体1，回水管11远离内冷却管20的一端与水箱5固定连通。

冷却组件还包括第二电机17，第二电机17固定安装在反应釜16顶部，第二电机17的输出端转动穿设进反应釜16，第二电机17的输出端固定连接有驱动杆34，驱动杆34外固定套设有若干组转盘28，转盘28外侧固定连接有若干组叶片29。

外冷却管19中的冷却水通过连接管18流入内冷却管20中，同时启动第二电机17带动驱动杆34转动，从而使叶片29转动，加速反应釜16中的气体流动，对反应釜16内部进行冷却，实现反应釜16内外均匀冷却，再从内冷却管20流入回水管11，最后流回水箱5，冷却水循环使用。

降温组件包括第一电机4，第一电机4固定安装在水箱5顶部，第一电机4的输出端转动穿设进水箱5，第一电机4的输出端固定连接有搅拌杆26，搅拌杆26外侧固定连接有若干组搅拌桨25，水箱5内腔底部固定连接有安装罩23，搅拌杆26转动穿设进安装罩23，搅拌杆26底部固定连接有主动锥齿轮33，安装罩23侧壁转动穿设有转动杆24，转动杆24左端固定连接有从动锥齿轮32，从动锥齿轮32与主动锥齿轮33相啮合，转动杆24右端转动穿设出水箱5，转动杆24右端固定连接有主动皮带轮14。

降温组件还包括安装筒10，安装筒10固定安装在后侧支撑柱7的后侧，安装筒10中转动连接有连接杆31，连接杆31外固定连接有若干组扇叶30，连接杆31右端转动穿设出安装筒10，连接杆31右端固定连接有从动皮带轮15，从动皮带轮15与主动皮带轮14之间张紧套接有皮带。

水箱5底部固定连接有若干组散热翅片6，散热翅片6为铜材质。

水箱5内壁固定安装有若干组半导体制冷片13，半导体制冷片13与外部电源电性连接。

通过半导体制冷片13使水箱5中的冷却水持续降温，启动第一电机4带动搅拌杆26转动，使得搅拌桨25转动，对冷却水进行搅拌，使降温更为均匀，搅拌杆26转动还带动主动锥齿轮33转动，通过从动锥齿轮32带动转动杆24转动，则主动皮带轮14转动，带动从动皮带轮15转动，通过连接杆31使得扇叶30转动，扇叶30转动产生的风吹过散热翅片6及回水管11表面，同样起到降温作用。

柜体1内腔侧壁固定安装有气体检测仪3，柜体1后侧固定安装有抽气泵8，抽气泵8的抽气口与柜体1固定连通，抽气泵8的排气口固定连通有出气管9。

柜门2前侧设置有观察窗、把手及若干透气孔。

出气管9远离抽气泵8的一端固定连通有排气管。

在电子气体制备反应过程中，需始终关闭柜门2并运行抽气泵8，在抽气泵8的作用下柜体1处于负压状态，外界空气从柜门2上的透气孔进入柜体1中，并通过出气管9从排气管排出，可带走反应釜16外壁及外冷却管19上的热量，若是电子气体发生泄漏，气体检测仪3检测到信号并发出报警，泄漏的气体通过出气管9排出，不会泄漏到柜体1外危害工作人员健康。

工作原理：本电子气体制备反应釜的循环冷却结构使用时，首先需通过注水管12向水箱5中注入足量的冷却水，接着在反应釜16中进行电子气体制备反应，并启动水泵21，水泵21将水箱5中的冷却水抽入外冷却管19中，对反应釜16外壁进行冷却，外冷却管19中的冷却水通过连接管18流入内冷却管20中，同时启动第二电机17带动驱动杆34转动，从而使叶片29转动，加速反应釜16中的气体流动，对反应釜16内部进行冷却，使反应釜16内外均匀冷却并加快总体冷却速度，然后冷却水从内冷却管20流入回水管11，最后流回水箱5，冷却水吸收了热量导致自身温度升高，通过半导体制冷片13使水箱5中的冷却水持续降温，启动第一电机4带动搅拌杆26转动，使得搅拌桨25转动，对冷却水进行搅拌，使降温更为均匀，搅拌杆26转动还带动主动锥齿轮33转动，通过从动锥齿轮32带动转动杆24转动，则主动皮带轮14转动，带动从动皮带轮15转动，通过连接杆31使得扇叶30转动，扇叶30转动产生的风吹过散热翅片6及回水管11表面，同样起到降温作用，保证冷却效果，实现循环冷却，在此过程中，需始终关闭柜门2并运行抽气泵8，在抽气泵8的作用下柜体1内处于负压状态，外界空气从柜门2上的透气孔进入柜体1中，并通过出气管9从排气管排出，可带走反应釜16外壁及外冷却管19上的热量，若是电子气体发生泄漏，气体检测仪3检测到信号并发出报警，泄漏的气体通过出气管9排出，不会泄漏到柜体1外危害工作人员健康。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，包括柜体（1），其特征在于：所述柜体（1）前侧铰接有柜门（2），所述柜体（1）内腔底部固定连接有反应釜（16），所述反应釜（16）外壁固定连接有外冷却管（19），所述柜体（1）右侧设置有水箱（5），所述水箱（5）底部固定连接有若干组支撑柱（7），所述水箱（5）右侧固定连通有注水管（12），所述水箱（5）左侧固定安装有水泵（21），所述水泵（21）的抽水口固定连通有抽水管（27），所述抽水管（27）远离水泵（21）的一端与水箱（5）固定连通，所述水泵（21）的出水口固定连通有出水管（22），所述出水管（22）穿设进柜体（1），所述出水管（22）远离水泵（21）的一端与外冷却管（19）固定连通，所述反应釜（16）上安装有使反应釜（16）内外均匀冷却的冷却组件，第一电机（4）上安装有加快冷却水降温的降温组件。

2.根据权利要求1所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述冷却组件包括连接管（18），所述连接管（18）与外冷却管（19）固定连通，所述连接管（18）穿设进反应釜（16），所述连接管（18）远离外冷却管（19）的一端固定连通有内冷却管（20），所述内冷却管（20）远离连接管（18）的一端固定连通有回水管（11），所述回水管（11）穿设出反应釜（16）及柜体（1），所述回水管（11）远离内冷却管（20）的一端与水箱（5）固定连通。

3.根据权利要求2所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述冷却组件还包括第二电机（17），所述第二电机（17）固定安装在反应釜（16）顶部，所述第二电机（17）的输出端转动穿设进反应釜（16），所述第二电机（17）的输出端固定连接有驱动杆（34），所述驱动杆（34）外固定套设有若干组转盘（28），所述转盘（28）外侧固定连接有若干组叶片（29）。

4.根据权利要求3所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述降温组件包括第一电机（4），所述第一电机（4）固定安装在水箱（5）顶部，所述第一电机（4）的输出端转动穿设进水箱（5），所述第一电机（4）的输出端固定连接有搅拌杆（26），所述搅拌杆（26）外侧固定连接有若干组搅拌桨（25），所述水箱（5）内腔底部固定连接有安装罩（23），所述搅拌杆（26）转动穿设进安装罩（23），所述搅拌杆（26）底部固定连接有主动锥齿轮（33），所述安装罩（23）侧壁转动穿设有转动杆（24），所述转动杆（24）左端固定连接有从动锥齿轮（32），所述从动锥齿轮（32）与主动锥齿轮（33）相啮合，所述转动杆（24）右端转动穿设出水箱（5），所述转动杆（24）右端固定连接有主动皮带轮（14）。

5.根据权利要求4所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述降温组件还包括安装筒（10），所述安装筒（10）固定安装在后侧支撑柱（7）上，所述安装筒（10）中转动连接有连接杆（31），所述连接杆（31）外固定连接有若干组扇叶（30），所述连接杆（31）右端转动穿设出安装筒（10），所述连接杆（31）右端固定连接有从动皮带轮（15），所述从动皮带轮（15）与主动皮带轮（14）之间张紧套接有皮带。

6.根据权利要求5所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述柜体（1）内腔侧壁固定安装有气体检测仪（3），所述柜体（1）后侧固定安装有抽气泵（8），所述抽气泵（8）的抽气口与柜体（1）固定连通，所述抽气泵（8）的排气口固定连通有出气管（9）。

7.根据权利要求6所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述水箱（5）底部固定连接有若干组散热翅片（6），所述散热翅片（6）为铜材质。

8.根据权利要求7所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述水箱（5）内壁固定安装有若干组半导体制冷片（13），所述半导体制冷片（13）与外部电源电性连接。

9.根据权利要求8所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述柜门（2）前侧设置有观察窗、把手及若干透气孔。

10.根据权利要求9所述的一种电子气体制备反应釜的循环冷却结构，其特征在于：所述出气管（9）远离抽气泵（8）的一端固定连通有排气管。