CN223251209U - 一种靶材加工时防碎屑飞溅装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，属于靶材加工技术领域，包括工作台，所述工作台上设置有机床主体，所述机床主体的下端设置有主轴，所述主轴的下端设置有刀具，所述工作台的上端固定连接有防护罩所述工作台上设置有抽吸组件，所述防护罩上设置有推料组件，所述工作台的前端固定连接有收纳箱所述工作台的下端设置有平移组件，所述平移组件上设置有盛装箱。本实用新型在于解决了现有的靶材加工时防碎屑飞溅装置不便于将靶材加工飞溅落至工作台上的碎屑进行自动清理、回收，易导致碎屑积聚在工作台上影响靶材的加工，降低了靶材的加工效率，实用性大大降低的问题。

Description

一种靶材加工时防碎屑飞溅装置

技术领域

本实用新型属于靶材加工技术领域，具体涉及一种靶材加工时防碎屑飞溅装置。

背景技术

随着全球半导体行业的快速发展，半导体材料的市场规模不断扩大，溅射靶材的市场规模也随之增长，靶材是一种必不可少的关键材料，在靶材的制造生产中成型过程中，机械加工是必不可少的，针对不同加工性能和不同价值的材料，对应有不同的机械加工工艺。现有贵金属靶材普遍采用铣床加工，作业时，刀具铣屑靶材将产生大量的金属碎屑，这些碎屑随着刀具旋转运动而四周飞溅，并具有一定的飞出速度，不仅容易损伤靶材表面，而且容易飞出伤人，且加工时产生的屑无法保证完全清理回收，影响成型后材料的回收率和加工成本，因此，有必要开发一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，以防止靶材加工时切割下来的碎屑飞溅四周。

现有技术CN220547978U，公开了一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，包括加工机床和罩体，所述加工机床包括机床主体、主轴和刀具，所述罩体分为防护罩体和帘子式挡板两部分，所述防护罩体是根据主轴的尺寸大小采用PVC塑料定制的一个软罩体，设置于机床刀具和主轴的外围，并装夹在主轴上，该防护罩体随着刀具一起移动，与刀具相对静止，所述帘子式挡板设在防护罩体的底端，是一块软玻璃塑料帘子式遮挡板。该装置不便于将靶材加工飞溅落至工作台上的碎屑进行自动清理、回收，易导致碎屑积聚在工作台上影响靶材的加工，降低了靶材的加工效率，实用性大大降低。

实用新型内容

本实用新型提供了一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，其目的在于解决了现有的靶材加工时防碎屑飞溅装置不便于将靶材加工飞溅落至工作台上的碎屑进行自动清理、回收，易导致碎屑积聚在工作台上影响靶材的加工，降低了靶材的加工效率，实用性大大降低的问题。

本实用新型实施例提供了一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，包括工作台，所述工作台上设置有机床主体，所述机床主体的下端设置有主轴，所述主轴的下端设置有刀具，所述工作台的上端固定连接有防护罩，所述防护罩固定连接在所述主轴的外侧，所述工作台上设置有抽吸组件，所述防护罩上设置有推料组件，所述推料组件位于所述工作台的上端，所述工作台的前端固定连接有收纳箱，所述收纳箱与所述抽吸组件相接通，所述工作台的下端设置有平移组件，所述平移组件上设置有盛装箱，所述盛装箱位于所述收纳箱的下端。

进一步地，所述防护罩的后壁上预留有通槽，所述工作台的下端固定连接有支撑柱，所述支撑柱的下端固定连接有承托台，所述承托台上预留有安装槽一和安装槽二，所述安装槽一位于所述安装槽二的右端。

通过采用上述技术方案，防护罩便于对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，避免了碎屑四处飞溅污染工作环境，有利于对工作人员进行保护，实用性强。

进一步地，所述抽吸组件包括固定在工作台上的抽尘机，所述抽尘机上接通有气管，所述气管的另一端与所述收纳箱相接通。

通过采用上述技术方案，抽尘机便于对靶材加工时随碎屑飞溅的尘粒进行抽吸，之后通过气管将尘粒导入至收纳箱中进行收集，有利于进一步提高靶材加工碎屑的防飞溅效率，提高了工作环境质量，操作简便。

进一步地，所述推料组件包括固定在工作台上的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆靠近所述防护罩的一端穿过所述通槽，所述电动伸缩杆靠近所述防护罩的一端固定连接有推板，所述推板位于所述防护罩的内侧。

通过采用上述技术方案，防护罩对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，碎屑落至工作台上，启动电动伸缩杆，电动伸缩杆伸出带动推板移动，便于通过推板将落至工作台上的碎屑推出工作台，推出的碎屑进入到收纳箱中，实现了对碎屑的自动清理和收集，提高了装置的工作效率。

进一步地，所述收纳箱的下端转动连接有箱盖，所述箱盖的上端固定连接有弹簧一，所述弹簧一的另一端与所述收纳箱的侧壁固定连接。

通过采用上述技术方案，当收纳箱中的碎屑积累达到一定重量时，弹簧一伸展，箱盖逆时针转动打开，收纳箱中的碎屑掉落至下方盛装箱中，便于对碎屑进行回收和集中处理，且收纳箱和盛装箱的设置，在收纳箱对碎屑进行收集的过程中，工作人员便于将盛装箱取出以便清理盛装箱中的碎屑，保证了装置对碎屑的持续收集，提高了靶材加工和装置的工作效率。

进一步地，所述平移组件包括安设于安装槽一中的电机，所述电机的输出端传动连接有丝杆，所述丝杆转动连接于所述安装槽二中，所述丝杆上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的上端固定连接有连接块，所述连接块的上端固定连接有盛装槽，所述盛装槽的下端与所述承托台的上端滑动连接，所述盛装槽的左右两端均固定连接有弹簧二，所述弹簧二的另一端与所述支撑柱固定连接，所述盛装箱放置于所述盛装槽中。

通过采用上述技术方案，启动电机，带动丝杆转动，带动螺纹套在丝杆上左右移动，螺纹套通过连接块带动盛装槽左右移动，进而带动盛装箱左右移动，便于对从收纳箱中掉落的碎屑进行收集，结合弹簧二的弹性形变，便于对落至盛装箱中的碎屑进行震荡、铺匀，提高了盛装箱对碎屑的收集效率，操作简便，实用性强。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型经由抽吸组件的设置，抽尘机便于对靶材加工时随碎屑飞溅的尘粒进行抽吸，之后通过气管将尘粒导入至收纳箱中进行收集，有利于进一步提高靶材加工碎屑的防飞溅效率，提高了工作环境质量，操作简便。

2、本实用新型经由推料组件的设置，防护罩对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，碎屑落至工作台上，启动电动伸缩杆，电动伸缩杆伸出带动推板移动，便于通过推板将落至工作台上的碎屑推出工作台，推出的碎屑进入到收纳箱中，实现了对碎屑的自动清理和收集，提高了装置的工作效率。

3、本实用新型经由收纳箱的设置，当收纳箱中的碎屑积累达到一定重量时，弹簧一伸展，箱盖逆时针转动打开，收纳箱中的碎屑掉落至下方盛装箱中，便于对碎屑进行回收和集中处理，且收纳箱和盛装箱的设置，在收纳箱对碎屑进行收集的过程中，工作人员便于将盛装箱取出以便清理盛装箱中的碎屑，保证了装置对碎屑的持续收集，提高了靶材加工和装置的工作效率。

4、本实用新型经由平移组件的设置，启动电机，带动丝杆转动，带动螺纹套在丝杆上左右移动，螺纹套通过连接块带动盛装槽左右移动，进而带动盛装箱左右移动，便于对从收纳箱中掉落的碎屑进行收集，结合弹簧二的弹性形变，便于对落至盛装箱中的碎屑进行震荡、铺匀，提高了盛装箱对碎屑的收集效率，操作简便，实用性强。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本实用新型进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型实施例的主视截面结构示意图；

图2为本实用新型实施例的主视结构示意图；

图3为本实用新型实施例中推料组件的结构示意图。

附图标记：1、工作台；11、机床主体；12、主轴；13、刀具；14、防护罩；15、通槽；16、支撑柱；17、承托台；18、安装槽一；19、安装槽二；2、抽吸组件；21、气管；22、抽尘机；3、推料组件；31、推板；32、电动伸缩杆；4、收纳箱；41、箱盖；42、弹簧一；5、平移组件；51、电机；52、丝杆；53、螺纹套；54、连接块；55、盛装槽；56、弹簧二；6、盛装箱。

具体实施方式

为了使得本实用新型的技术方案的目的、技术方案和优点更加清楚，下文中将结合本实用新型具体实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。附图中相同的附图标记代表相同的部件。需要说明的是，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-3，本实用新型实施例提出一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，包括工作台1，工作台1上设置有机床主体11，机床主体11的下端设置有主轴12，主轴12的下端设置有刀具13，工作台1的上端固定连接有防护罩14，防护罩14固定连接在主轴12的外侧，防护罩14的后壁上预留有通槽15，工作台1的下端固定连接有支撑柱16，支撑柱16的下端固定连接有承托台17，承托台17上预留有安装槽一18和安装槽二19，安装槽一18位于安装槽二19的右端，防护罩14便于对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，避免了碎屑四处飞溅污染工作环境，有利于对工作人员进行保护，实用性强。

参照图1-2，工作台1上设置有抽吸组件2，抽吸组件2包括固定在工作台1上的抽尘机22，抽尘机22上接通有气管21，气管21的另一端与收纳箱4相接通，抽尘机22便于对靶材加工时随碎屑飞溅的尘粒进行抽吸，之后通过气管21将尘粒导入至收纳箱4中进行收集，有利于进一步提高靶材加工碎屑的防飞溅效率，提高了工作环境质量，操作简便。

参照图1-3，防护罩14上设置有推料组件3，推料组件3位于工作台1的上端，推料组件3包括固定在工作台1上的电动伸缩杆32，电动伸缩杆32靠近防护罩14的一端穿过通槽15，电动伸缩杆32靠近防护罩14的一端固定连接有推板31，推板31位于防护罩14的内侧，防护罩14对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，碎屑落至工作台1上，启动电动伸缩杆32，电动伸缩杆32伸出带动推板31移动，便于通过推板31将落至工作台1上的碎屑推出工作台1，推出的碎屑进入到收纳箱4中，实现了对碎屑的自动清理和收集，提高了装置的工作效率。

参照图1-2，工作台1的前端固定连接有收纳箱4，收纳箱4与抽吸组件2相接通，收纳箱4的下端转动连接有箱盖41，箱盖41的上端固定连接有弹簧一42，弹簧一42的另一端与收纳箱4的侧壁固定连接，当收纳箱4中的碎屑积累达到一定重量时，弹簧一42伸展，箱盖41逆时针转动打开，收纳箱4中的碎屑掉落至下方盛装箱6中，便于对碎屑进行回收和集中处理，碎屑排出收纳箱4后，弹簧一42收缩，合上箱盖41，且收纳箱4和盛装箱6的设置，在收纳箱4对碎屑进行收集的过程中，工作人员便于将盛装箱6取出以便清理盛装箱6中的碎屑，保证了装置对碎屑的持续收集，提高了靶材加工和装置的工作效率。

参照图1-2，工作台1的下端设置有平移组件5，平移组件5上设置有盛装箱6，盛装箱6位于收纳箱4的下端，平移组件5包括安设于安装槽一18中的电机51，电机51的输出端传动连接有丝杆52，丝杆52转动连接于安装槽二19中，丝杆52上螺纹连接有螺纹套53，螺纹套53的上端固定连接有连接块54，连接块54的上端固定连接有盛装槽55，盛装槽55的下端与承托台17的上端滑动连接，盛装槽55的左右两端均固定连接有弹簧二56，弹簧二56的另一端与支撑柱16固定连接，盛装箱6放置于盛装槽55中，启动电机51，带动丝杆52转动，带动螺纹套53在丝杆52上左右移动，螺纹套53通过连接块54带动盛装槽55左右移动，进而带动盛装箱6左右移动，便于对从收纳箱4中掉落的碎屑进行收集，结合弹簧二56的弹性形变，便于对落至盛装箱6中的碎屑进行震荡、铺匀，提高了盛装箱6对碎屑的收集效率，操作简便，实用性强。

实施方式具体为：使用时，防护罩14对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，避免碎屑四处飞溅污染工作环境，启动抽尘机22对靶材加工时随碎屑飞溅的尘粒进行抽吸，之后通过气管21将尘粒导入至收纳箱4中进行收集，防护罩14对靶材加工时飞溅的碎屑进行隔挡，碎屑落至工作台1上，启动电动伸缩杆32，电动伸缩杆32伸出带动推板31移动，通过推板31将落至工作台1上的碎屑推出工作台1，推出的碎屑进入到收纳箱4中，当收纳箱4中的碎屑积累达到一定重量时，弹簧一42伸展，箱盖41逆时针转动打开，收纳箱4中的碎屑掉落至下方盛装箱6中，启动电机51，带动丝杆52转动，带动螺纹套53在丝杆52上左右移动，螺纹套53通过连接块54带动盛装槽55左右移动，进而带动盛装箱6左右移动，对从收纳箱4中掉落的碎屑进行收集，结合弹簧二56的弹性形变，对落至盛装箱6中的碎屑进行震荡、铺匀，以便提高盛装箱6对碎屑的收集效率，之后工作人员将盛装箱6取出、对其中的碎屑进行集中处理即可。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设置有机床主体(11)，所述机床主体(11)的下端设置有主轴(12)，所述主轴(12)的下端设置有刀具(13)，其特征在于，所述工作台(1)的上端固定连接有防护罩(14)，所述防护罩(14)固定连接在所述主轴(12)的外侧，所述工作台(1)上设置有抽吸组件(2)，所述防护罩(14)上设置有推料组件(3)，所述推料组件(3)位于所述工作台(1)的上端，所述工作台(1)的前端固定连接有收纳箱(4)，所述收纳箱(4)与所述抽吸组件(2)相接通，所述工作台(1)的下端设置有平移组件(5)，所述平移组件(5)上设置有盛装箱(6)，所述盛装箱(6)位于所述收纳箱(4)的下端。

2.根据权利要求1所述的一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，其特征在于，所述防护罩(14)的后壁上预留有通槽(15)，所述工作台(1)的下端固定连接有支撑柱(16)，所述支撑柱(16)的下端固定连接有承托台(17)，所述承托台(17)上预留有安装槽一(18)和安装槽二(19)，所述安装槽一(18)位于所述安装槽二(19)的右端。

3.根据权利要求1所述的一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，其特征在于，所述抽吸组件(2)包括固定在工作台(1)上的抽尘机(22)，所述抽尘机(22)上接通有气管(21)，所述气管(21)的另一端与所述收纳箱(4)相接通。

4.根据权利要求2所述的一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，其特征在于，所述推料组件(3)包括固定在工作台(1)上的电动伸缩杆(32)，所述电动伸缩杆(32)靠近所述防护罩(14)的一端穿过所述通槽(15)，所述电动伸缩杆(32)靠近所述防护罩(14)的一端固定连接有推板(31)，所述推板(31)位于所述防护罩(14)的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，其特征在于，所述收纳箱(4)的下端转动连接有箱盖(41)，所述箱盖(41)的上端固定连接有弹簧一(42)，所述弹簧一(42)的另一端与所述收纳箱(4)的侧壁固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种靶材加工时防碎屑飞溅装置，其特征在于，所述平移组件(5)包括安设于安装槽一(18)中的电机(51)，所述电机(51)的输出端传动连接有丝杆(52)，所述丝杆(52)转动连接于所述安装槽二(19)中，所述丝杆(52)上螺纹连接有螺纹套(53)，所述螺纹套(53)的上端固定连接有连接块(54)，所述连接块(54)的上端固定连接有盛装槽(55)，所述盛装槽(55)的下端与所述承托台(17)的上端滑动连接，所述盛装槽(55)的左右两端均固定连接有弹簧二(56)，所述弹簧二(56)的另一端与所述支撑柱(16)固定连接，所述盛装箱(6)放置于所述盛装槽(55)中。