CN223236307U - 方便调节高度的半导体机械手架 - Google Patents

Abstract

本申请公开方便调节高度的半导体机械手架，包括底架和机械手架，底架包括安装底板和四根支撑套筒，四根支撑套筒沿竖直方向延伸，并于同一高度方向围绕形成四方形，安装底板水平连接在四根支撑套筒之间，其顶部安装有啮合连接的两根转动杆，两根转动杆的两端分别垂直连接有支撑臂，且任一转动杆连接有旋转驱动机构；机械手架包括安装顶板和四根移动件，安装顶板连接在四根移动件的顶部，并安装有机械抓手，四根移动件以滑动配合的方式分别插设在四根支撑套筒内，并分别和四个支撑臂铰接，所述铰接使得在两个转动杆啮合旋转时，四个支撑臂能够驱动四根移动件同步上升或者下降，以此可以灵活调整安装顶板及机械抓手的高度，提高生产效率。

Description

方便调节高度的半导体机械手架

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及方便调节高度的半导体机械手架。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

专利公告号为CN218525545U公开了一种半导体机械手架，其包括安装板，安装板上固定设置有机械手本体，机械手本体上固定设置有导热机构，导热机构由基板和导热体组成，基板固定设置在机械手本体的下端面，导热体固定设置在基板的下端面，导热体为棒状，导热体中空设置，导热体上开设有多个通孔，通孔均匀分布在导热体上，安装板上固定设置有固定盒，固定盒的下端固定设置挡板，固定盒对应于挡板处开设有进风口，进风口内设置有安装架，安装架上固定设置有风扇，固定盒的左右两端开设有多个接口，接口与风道接通，风道异于与固定盒连接的一端延伸至机械手本体的上端，本发明在使用时，可对晶圆的上下两端记性冷却降温。

然而，该半导体机械手架，并不具备对其高度进行调节的功能，这就导致不能够允许机械手架根据生产线上不同高度的工作需求进行快速、精确的高度调整，增加了因高度不匹配导致的停机时间，从而降低了整体的生产效率。

实用新型内容

本申请实施例提供一种方便调节高度的半导体机械手架，其能够十分方便的调节机械手架的高度，使得机械手架可以适应于不同高度生产线的工艺需求，提高了生产线的灵活性和适应性，减少了因高度不匹配而导致的停机时间，能够从整体上提高生产效率。

本申请实施例提供一种方便调节高度的半导体机械手架，包括底架和机械手架，所述底架包括安装底板和四根支撑套筒，其中四根所述支撑套筒沿竖直方向延伸，并于同一高度方向围绕形成四方形，所述安装底板水平连接在四根所述支撑套筒之间，所述安装底板的顶部安装有同向水平延伸并啮合连接的两根转动杆，两根所述转动杆的两端分别垂直固定连接有支撑臂，且任一所述转动杆连接有旋转驱动机构，以驱动所述转动杆旋转；

所述机械手架包括安装顶板和四根移动件，所述安装顶板固定连接在四根所述移动件的顶部，并安装有机械抓手，四根所述移动件以滑动配合的方式分别插设在四根所述支撑套筒内，并分别和四个所述支撑臂铰接，所述铰接使得在两个所述转动杆啮合旋转时，四个所述支撑臂能够驱动四根所述移动件同步上升或者下降。

在一种可能的实现方式中，所述支撑套筒的底部垂直连接有座板，且所述支撑套筒和所述座板之间沿周向通过L型加强筋板连接。

在一种可能的实现方式中，两根所述转动杆分别为第一转动杆和第二转动杆，所述第一转动杆和所述第二转动杆分别于靠近所述安装底板的中部处套设有相互啮合的第一平齿轮和第二平齿轮，所述第一转动杆固定套设有涡轮，所述安装底板的顶部安装有与所述涡轮相配合的蜗杆。

在一种可能的实现方式中，所述蜗杆的一端安装有手轮。

在一种可能的实现方式中，所述涡轮靠近所述第一平齿轮，所述安装底板的顶部于所述第一平齿轮和所述第二平齿轮的两侧对称安装有支撑件，所述第一转动杆和所述第二转动杆分别以旋转配合的方式贯穿所述支撑件。

在一种可能的实现方式中，所述支撑套筒在垂直于所述转动杆的方向开设有条形避位孔，所述条形避位孔沿竖直方向延伸，所述支撑臂远离所述转动杆的一端连接有套环，所述套环贯穿所述条形避位孔，所述移动件的底部设置有避位台阶，所述避位台阶上垂直连接有铰接凸起，所述铰接凸起以间隙配合的方式插设在所述套环内。

在一种可能的实现方式中，所述支撑套筒为方形套筒，所述移动件为矩形板；或，所述支撑套筒为圆形套筒，所述移动件为圆柱体。

在一种可能的实现方式中，所述安装顶板通过工字板结构连接四根所述移动件，所述工字板结构包括第一安装板、第二安装板和垂直连接在所述第一安装板和所述第二安装板之间的连接板，所述连接板的延伸方向和所述转动杆的延伸方向相同，所述第一安装板和所述第二安装板之间垂直连接有丝杠和导向杆，所述丝杠上以螺纹配合的方式连接有丝杠螺母，所述安装顶板以滑动配合的方式套设在所述导向杆上，并与所述丝杠螺母固定连接，所述丝杠的一端同轴连接有电机。

有益效果：与现有技术相比，本申请提供的方便调节高度的半导体机械手架通过旋转任意一个转动杆，在啮合关系下，两个转动杆会同步朝相反方向旋转，在支撑臂和移动件的铰接作用下，以及移动件和支撑套筒的滑动配合作用下，四个支撑臂便会驱动四根移动件同步上升或下降，由此可以灵活调整顶部机械抓手的高度位置，使得该半导体机械手架可以适应于不同高度生产线的工艺需求，提高了生产线的灵活性和适应性，能够减少因高度不匹配而导致的停机时间，进而可以从整体上提高生产效率；

其中通过电机、丝杠和丝杠螺母的配合可以带动机械抓手在水平方向定向移动，方便后续对半导体进行加工。

本实用新型的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，得以充分体现。

附图说明

图1示出了本申请方便调节高度的半导体机械手架的结构示意图。

图2示出了本申请中安装底板处的局部结构示意图。

图3示出了本申请方便调节高度的半导体机械手架的局部剖视结构示意图。

图4示出了本申请中安装顶板处的局部结构示意图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。

本领域技术人员应理解的是，在说明书的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，上述术语不能理解为对本实用新型的限制。

可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

参考图1至图4，本申请实施例提供一种方便调节高度的半导体机械手架，包括底架10和机械手架20。所述底架10包括安装底板11和四根支撑套筒12，其中四根所述支撑套筒12沿竖直方向延伸，并于同一高度方向围绕形成四方形，其中所述安装底板11水平连接在四根所述支撑套筒12之间，并靠近支撑套筒12的下部，同时所述安装底板11的顶部安装有同向水平延伸并啮合连接的两根转动杆13，其中两根所述转动杆13沿安装底板11的长度方向延伸，且两根转动杆13的两端分别垂直固定连接有支撑臂14，同时任一所述转动杆13连接有旋转驱动机构，以驱动所述转动杆13旋转，进而在啮合关系下使得两根转动杆13能够朝相反的方向同步旋转；

所述机械手架20包括安装顶板21和四根移动件22。所述安装顶板21固定连接在四根所述移动件22的顶部，并安装有机械抓手23，用于夹持固定半导体。四根所述移动件22以滑动配合的方式分别插设在四根所述支撑套筒12内，并分别和四个所述支撑臂14铰接，同时这种铰接关系使得在两个所述转动杆13啮合旋转时，四个所述支撑臂14能够驱动四根所述移动件22同步上升或者下降，进而能够灵活调整机械抓手23的高度位置，这样一来，便可以使得该半导体机械手架能够根据生产线的不同工作高度需求来相对应的快速调整高度，进而可以减少因高度不匹配而导致的停机时间，能够从整体上提高工作效率，从而可以提高生产线的灵活性和适应性。

在一个实施例中，所述支撑套筒12的底部垂直连接有座板15，同时所述支撑套筒12和所述座板15之间沿周向通过L型加强筋板16连接，以此可以通过座板15来增大与地面的接触面积而提升支撑套筒12的稳定性，并可以通过L型加强筋板16提升支撑套筒12和座板15之间的连接稳定性和结构连接强度。

在一个实施例中，定义两根所述转动杆13分别为第一转动杆131和第二转动杆132。所述第一转动杆131和所述第二转动杆132分别于靠近所述安装底板11的中部处套设有相互啮合的第一平齿轮133和第二平齿轮134，由此实现两根转动杆13之间的啮合连接关系。此外，所述第一转动杆131固定套设有涡轮135，同时所述安装底板11的顶部安装有与所述涡轮135相配合的蜗杆111，从而能够通过旋转蜗杆111而带动涡轮135定向旋转，进而在第一平齿轮133和第二平齿轮134的啮合作用下带动第一转动杆131和第二转动杆132同步旋转。

另外，为方便蜗杆111能够稳定旋转，安装底板11的顶部还安装有旋转支撑座112，同时蜗杆111以螺纹配合的方式水平贯穿旋转支撑座112。

进一步优选地，所述蜗杆111的一端安装有手轮113，能够方便旋转蜗杆111。

在一个实施例中，所述涡轮135靠近所述第一平齿轮133，同时所述安装底板11的顶部于所述第一平齿轮133和所述第二平齿轮134的两侧对称安装有支撑件136，且所述第一转动杆131和所述第二转动杆132分别以旋转配合的方式贯穿所述支撑件136，以此可以通过支撑件136支撑第一转动杆131和第二转动杆132，提升第一转动杆131和第二转动杆132的旋转稳定性。所述支撑件136可以是支撑座，也可以是支撑板。

在一个实施例中，所述支撑套筒12在垂直于所述转动杆13的方向开设有条形避位孔101。所述条形避位孔101沿竖直方向延伸。所述支撑臂14远离所述转动杆13的一端连接有套环17，同时所述套环17贯穿所述条形避位孔101，相对应的，所述移动件22的底部设置有避位台阶221，且所述避位台阶221上垂直连接有铰接凸起222，同时所述铰接凸起222以间隙配合的方式插设在所述套环17内。在两个转动杆13朝相反方向同步旋转时，四个支撑臂14同步旋转，所述套环17在条形避位孔101内在高度方向偏转，进而能够通过铰接凸起222带动移动件22上下移动，以此来调整机械抓手23的高度位置。

在一个实施例中，所述支撑套筒12为方形套筒，相对应的，所述移动件22为矩形板。在另一个实施例中，所述支撑套筒12为圆形套筒，相对应的，所述移动件22为圆柱体。

在一个实施例中，所述安装顶板11通过工字板结构连接四根所述移动件22。所述工字板结构包括第一安装板31、第二安装板32和垂直连接在所述第一安装板31和所述第二安装板32之间的连接板33，其中所述连接板33的延伸方向和所述转动杆13的延伸方向相同，同时所述第一安装板31和所述第二安装板32之间垂直连接有丝杠34和导向杆35，其中所述丝杠34上以螺纹配合的方式连接有丝杠螺母36，同时所述安装顶板21以滑动配合的方式套设在所述导向杆35上，并与所述丝杠螺母36固定连接，且所述丝杠34的一端同轴连接有电机37，以通过电机37带动丝杠34旋转，这样一来，在丝杠34旋转时，基于丝杠螺母36和丝杠34之间的螺纹连接关系，以及安装顶板21和导向杆35之间的滑动配合形成的导向关系，便可以使得丝杠螺母36带动安装顶板21沿丝杠34的延伸方向定向移动，进而可以带动机械抓手23在水平方向灵活移动，从而可以在水平方向调整机械抓手23上半导体的位置，便于后续对半导体的加工，其中机械抓手23能够对半导体进行夹持固定，避免在对半导体进行加工的过程中，半导体出现偏移松动的现象。

需要说明的是，本申请中用语“第一、第二”仅用于描述目的，不表示任何顺序，不能理解为指示或者暗示相对重要性，可将这些用语解释为名称。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的优势已经完整并有效地实现。本实用新型的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (8)

1.方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，包括底架和机械手架，所述底架包括安装底板和四根支撑套筒，其中四根所述支撑套筒沿竖直方向延伸，并于同一高度方向围绕形成四方形，所述安装底板水平连接在四根所述支撑套筒之间，所述安装底板的顶部安装有同向水平延伸并啮合连接的两根转动杆，两根所述转动杆的两端分别垂直固定连接有支撑臂，且任一所述转动杆连接有旋转驱动机构，以驱动所述转动杆旋转；

所述机械手架包括安装顶板和四根移动件，所述安装顶板固定连接在四根所述移动件的顶部，并安装有机械抓手，四根所述移动件以滑动配合的方式分别插设在四根所述支撑套筒内，并分别和四个所述支撑臂铰接，所述铰接使得在两个所述转动杆啮合旋转时，四个所述支撑臂能够驱动四根所述移动件同步上升或者下降。

2.如权利要求1所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，所述支撑套筒的底部垂直连接有座板，且所述支撑套筒和所述座板之间沿周向通过L型加强筋板连接。

3.如权利要求1所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，两根所述转动杆分别为第一转动杆和第二转动杆，所述第一转动杆和所述第二转动杆分别于靠近所述安装底板的中部处套设有相互啮合的第一平齿轮和第二平齿轮，所述第一转动杆固定套设有涡轮，所述安装底板的顶部安装有与所述涡轮相配合的蜗杆。

4.如权利要求3所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，所述蜗杆的一端安装有手轮。

5.如权利要求3所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，所述涡轮靠近所述第一平齿轮，所述安装底板的顶部于所述第一平齿轮和所述第二平齿轮的两侧对称安装有支撑件，所述第一转动杆和所述第二转动杆分别以旋转配合的方式贯穿所述支撑件。

6.如权利要求1所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，所述支撑套筒在垂直于所述转动杆的方向开设有条形避位孔，所述条形避位孔沿竖直方向延伸，所述支撑臂远离所述转动杆的一端连接有套环，所述套环贯穿所述条形避位孔，所述移动件的底部设置有避位台阶，所述避位台阶上垂直连接有铰接凸起，所述铰接凸起以间隙配合的方式插设在所述套环内。

7.如权利要求6所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，所述支撑套筒为方形套筒，所述移动件为矩形板；或，所述支撑套筒为圆形套筒，所述移动件为圆柱体。

8.如权利要求1所述的方便调节高度的半导体机械手架，其特征在于，所述安装顶板通过工字板结构连接四根所述移动件，所述工字板结构包括第一安装板、第二安装板和垂直连接在所述第一安装板和所述第二安装板之间的连接板，所述连接板的延伸方向和所述转动杆的延伸方向相同，所述第一安装板和所述第二安装板之间垂直连接有丝杠和导向杆，所述丝杠上以螺纹配合的方式连接有丝杠螺母，所述安装顶板以滑动配合的方式套设在所述导向杆上，并与所述丝杠螺母固定连接，所述丝杠的一端同轴连接有电机。