CN223131369U - 一种用于金刚石半导体生产的定型设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于半导体生产设备技术领域，尤其是一种用于金刚石半导体生产的定型设备，包括操作台，操作台顶部后侧设置有电压机主体，电压机主体上设置有热定型板，操作台顶部设置有放置台，放置台上设置有放置槽，放置槽内放置有金刚石半导体，放置台内设置有活塞机构；操作台顶部固定安装有两个支撑板，放置台位于两个支撑板之间，电压机主体位于支撑板后侧。本申请设计合理，通过设置有活塞机构，能够实现通过左侧通气孔对防尘膜进行吸附，能够实现防尘膜被吸附至放置台左侧进行限位的目的，通过设置有裁切机构，能够实现通过切刀对防尘膜进行裁切的目的，进而能够实现操作省时省力，提高工作效率的目的。

Description

一种用于金刚石半导体生产的定型设备

技术领域

本申请涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种用于金刚石半导体生产的定型设备。

背景技术

随着科技的不断发展，各类高科技产品也纷纷普及在人们的日常生活中，而在各类高科技产品的主板内都会安装有半导体，在半导体的制造过程中需要用到热定型电压机对其进行加工。

目前，公告号为CN215578466U的中国专利公告的一种半导体生产用热定型电压机，包括加工桌、电压机主体、热定型板、放置台、放置槽、滑动板、滑动槽、滑动块、拉动块、带动杆、纸筒、防尘膜、更换装置和限位装置，电压机主体通过螺栓安装在加工桌的上表面，热定型板安装在电压机主体的外部。通过设置更换装置，能够在防尘膜使用完毕后对其进行快速更换，在与防尘膜的相互配合下，能够避免在集中放置这一过程中半导体的外表面沾染到外界的油污或者粉尘，进而避免杂物吸附在半导体的外表面后，工人在对半导体进行进一步的深加工前要先将其清理干净，避免增加工人不必要的工作负担。

在实际使用中发现，现有设备在对半导体进行覆膜时，操作较为繁琐，导致覆膜时费时费力，进而影响工作效率的问题，因此我们提出了一种用于金刚石半导体生产的定型设备用于解决上述问题。

实用新型内容

本申请的目的是为了解决现有技术中存在：覆膜时费时费力，进而影响工作效率的缺点，而提出的一种用于金刚石半导体生产的定型设备。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：

一种用于金刚石半导体生产的定型设备，包括操作台，所述操作台顶部后侧设置有电压机主体，电压机主体上设置有热定型板，操作台顶部设置有放置台，放置台上设置有放置槽，放置槽内放置有金刚石半导体，放置台内设置有活塞机构；操作台顶部固定安装有两个支撑板，放置台位于两个支撑板之间，电压机主体位于支撑板后侧，两个支撑板之间设置有覆膜机构，操作台顶部设置有驱动机构，两个支撑板顶部固定安装有同一个安装板，安装板上设置有裁切机构。

优选的，所述活塞机构包括活塞腔、活塞杆、活塞板和通气孔，所述放置台内开设有活塞腔，活塞腔位于放置槽下方，活塞腔内滑动安装有活塞杆，活塞杆左端固定安装有活塞板，活塞板与活塞腔内壁滑动连接，活塞腔两侧内壁均开设有通气孔。

优选的，所述覆膜机构包括纸筒与防尘膜，两个所述支撑板之间设置有同一个纸筒，纸筒上套设有防尘膜，纸筒与支撑板之间设置有滑动机构。

优选的，所述滑动机构包括两个滑座、两个滑块与两个滑槽，两个所述支撑板相邻的一侧均滑动安装有滑座，两个滑座相互远离的一侧均设置有滑块，两个支撑板相邻的一侧均开设有滑槽，滑块与相对应滑槽滑动连接，纸筒与两个滑座转动连接，滑座与活塞杆之间设置有连接机构。

优选的，所述连接机构包括第一连接板与第二连接板，所述滑座右侧固定安装有第一连接板，第一连接板右侧固定安装有第二连接板，第二连接板左侧与活塞杆右端固定连接。

优选的，所述驱动机构包括固定板与电动伸缩杆，所述操作台顶部左侧固定安装有固定板，固定板右侧固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆输出端与相对应滑座左侧固定连接。

优选的，所述裁切机构包括液压缸、刀座与切刀，所述安装板顶部固定安装有液压缸，液压缸输出端延伸至安装板下方，液压缸输出端固定安装有刀座，刀座底部设置有切刀。

优选的，所述滑槽右侧内壁设置有按钮，所述滑块与按钮相适配，按钮与液压缸电性连接。

本申请的有益效果：

1、通过电动伸缩杆、滑座、第一连接板、第二连接板、活塞杆与活塞板的配合，能够实现电动伸缩杆带动活塞板向右移动，能够实现通过活塞板对活塞腔内产生负压，能够实现通过左侧通气孔对防尘膜进行吸附，能够实现防尘膜被吸附至放置台左侧进行限位的目的；

2、通过滑座、纸筒与防尘膜的配合，能够实现滑座带动防尘膜向右移动，能够实现通过防尘膜对金刚石半导体进行覆盖的目的，能够实现对金刚石半导体进行防尘的目的；

3、通过滑座、滑块与按钮的配合、通过液压缸、刀座与切刀的配合，能够实现滑座通过滑块按压按钮，能够实现通过按钮启动液压缸，能够实现液压缸带动切刀向下移动，能够实现通过切刀对防尘膜进行裁切的目的，进而能够实现操作省时省力，提高工作效率的目的。

附图说明

图1为本申请提出的一种用于金刚石半导体生产的定型设备的立体结构示意图；

图2为本申请提出的一种用于金刚石半导体生产的定型设备的主视剖面结构示意图；

图3为本申请提出的一种用于金刚石半导体生产的定型设备的A部分结构示意图；

图4为本申请提出的一种用于金刚石半导体生产的定型设备的B部分结构示意图；

图5为本申请提出的一种用于金刚石半导体生产的定型设备的滑座立体结构示意图。

图中：1、操作台；2、电压机主体；3、热定型板；4、放置台；5、放置槽；6、活塞腔；7、活塞杆；8、活塞板；9、通气孔；10、支撑板；11、滑座；12、纸筒；13、防尘膜；14、第一连接板；15、第二连接板；16、固定板；17、电动伸缩杆；18、安装板；19、液压缸；20、按钮；21、滑块；22、滑槽；23、刀座；24、切刀。

具体实施方式

下面将结合具体实施例对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

参照图1-5，一种用于金刚石半导体生产的定型设备，包括操作台1，操作台1顶部后侧设置有电压机主体2，电压机主体2上设置有热定型板3，操作台1顶部设置有放置台4，放置台4上设置有放置槽5，放置槽5内放置有金刚石半导体，放置台4内设置有活塞机构；操作台1顶部固定安装有两个支撑板10，放置台4位于两个支撑板10之间，电压机主体2位于支撑板10后侧，两个支撑板10之间设置有覆膜机构，操作台1顶部设置有驱动机构，两个支撑板10顶部固定安装有同一个安装板18，安装板18上设置有裁切机构。

本实施例中，活塞机构包括活塞腔6、活塞杆7、活塞板8和通气孔9，放置台4内开设有活塞腔6，活塞腔6位于放置槽5下方，活塞腔6内滑动安装有活塞杆7，活塞杆7左端固定安装有活塞板8，活塞板8与活塞腔6内壁滑动连接，活塞腔6两侧内壁均开设有通气孔9，通过设置有活塞机构，使得活塞杆7能够带动活塞板8向右移动，能够实现通过活塞板8对活塞腔6内产生负压，能够实现通过左侧通气孔9对防尘膜13进行吸附的目的。

本实施例中，覆膜机构包括纸筒12与防尘膜13，两个支撑板10之间设置有同一个纸筒12，纸筒12上套设有防尘膜13，纸筒12与支撑板10之间设置有滑动机构，通过设置有覆膜机构，使得通过防尘膜13能够对金刚石半导体进行覆盖，能够实现对金刚石半导体进行防尘的目的。

本实施例中，滑动机构包括两个滑座11、两个滑块21与两个滑槽22，两个支撑板10相邻的一侧均滑动安装有滑座11，两个滑座11相互远离的一侧均设置有滑块21，两个支撑板10相邻的一侧均开设有滑槽22，滑块21与相对应滑槽22滑动连接，纸筒12与两个滑座11转动连接，滑座11与活塞杆7之间设置有连接机构，通过设置有滑动机构，使得滑座11能够带动滑块21在滑槽22内进行滑动，能够实现滑座11在左右移动时更加平稳的目的。

本实施例中，连接机构包括第一连接板14与第二连接板15，滑座11右侧固定安装有第一连接板14，第一连接板14右侧固定安装有第二连接板15，第二连接板15左侧与活塞杆7右端固定连接，通过设置有连接机构，使得滑座11能够通过第一连接板14与第二连接板15带动活塞杆7左右移动。

本实施例中，驱动机构包括固定板16与电动伸缩杆17，操作台1顶部左侧固定安装有固定板16，固定板16右侧固定安装有电动伸缩杆17，电动伸缩杆17输出端与相对应滑座11左侧固定连接，通过设置有驱动机构，使得电动伸缩杆17能够带动滑座11左右移动。

本实施例中，裁切机构包括液压缸19、刀座23与切刀24，安装板18顶部固定安装有液压缸19，液压缸19输出端延伸至安装板18下方，液压缸19输出端固定安装有刀座23，刀座23底部设置有切刀24，通过设置有裁切机构，使得液压缸19能够带动切刀24向下移动，能够实现通过切刀24对防尘膜13进行裁切的目的。

本实施例中，滑槽22右侧内壁设置有按钮20，滑块21与按钮20相适配，按钮20与液压缸19电性连接，通过设置有按钮20，使得通过滑块21与按钮20进行抵接，能够实现通过按钮20对液压缸19进行启动的目的。

本申请中，工作时，首先将金刚石半导体放置到放置槽5内，然后启动电压机主体2，并通过热定型板3下移对金刚石半导体进行定型加工，(此技术为现有成熟方案，可参考授权公告号：CN215578466U对比文件)，当加工完成后，通过启动电动伸缩杆17，能够带动滑座11向右移动，能够带动纸筒12与防尘膜13向右移动，能够通过第一连接板14与第二连接板15向右移动，能够带动活塞杆7与活塞板8向右移动，能够实现通过活塞板8对活塞腔6内产生负压，能够实现通过左侧通气孔9对防尘膜13进行吸附，(少许通气孔9不会被防尘膜13进行覆盖)，能够实现防尘膜13被吸附至放置台4左侧进行限位的目的，此时电动伸缩杆17继续推动滑座11、纸筒12与防尘膜13向右移动，能够实现通过防尘膜13对金刚石半导体进行覆盖的目的，能够实现对金刚石半导体进行防尘的目的，当滑座11带动滑块21继续向右移动时，滑块21能够与按钮20进行抵接，能够实现通过按钮20对液压缸19进行启动，能够实现带动刀座23与切刀24向下移动，能够实现通过切刀24对防尘膜13进行裁切的目的，进而能够实现操作省时省力，提高工作效率的目的。

Claims (8)

1.一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，包括操作台(1)，所述操作台(1)顶部后侧设置有电压机主体(2)，所述电压机主体(2)上设置有热定型板(3)，所述操作台(1)顶部设置有放置台(4)，所述放置台(4)上设置有放置槽(5)，所述放置槽(5)内放置有金刚石半导体，所述放置台(4)内设置有活塞机构；

所述操作台(1)顶部固定安装有两个支撑板(10)，所述放置台(4)位于两个支撑板(10)之间，所述电压机主体(2)位于支撑板(10)后侧，两个所述支撑板(10)之间设置有覆膜机构，所述操作台(1)顶部设置有驱动机构，两个所述支撑板(10)顶部固定安装有同一个安装板(18)，所述安装板(18)上设置有裁切机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述活塞机构包括活塞腔(6)、活塞杆(7)、活塞板(8)和通气孔(9)，所述放置台(4)内开设有活塞腔(6)，所述活塞腔(6)位于放置槽(5)下方，所述活塞腔(6)内滑动安装有活塞杆(7)，所述活塞杆(7)左端固定安装有活塞板(8)，所述活塞板(8)与活塞腔(6)内壁滑动连接，所述活塞腔(6)两侧内壁均开设有通气孔(9)。

3.根据权利要求1所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述覆膜机构包括纸筒(12)与防尘膜(13)，两个所述支撑板(10)之间设置有同一个纸筒(12)，所述纸筒(12)上套设有防尘膜(13)，所述纸筒(12)与支撑板(10)之间设置有滑动机构。

4.根据权利要求3所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述滑动机构包括两个滑座(11)、两个滑块(21)与两个滑槽(22)，两个所述支撑板(10)相邻的一侧均滑动安装有滑座(11)，两个所述滑座(11)相互远离的一侧均设置有滑块(21)，两个所述支撑板(10)相邻的一侧均开设有滑槽(22)，所述滑块(21)与相对应滑槽(22)滑动连接，所述纸筒(12)与两个滑座(11)转动连接，所述滑座(11)与活塞杆(7)之间设置有连接机构。

5.根据权利要求4所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述连接机构包括第一连接板(14)与第二连接板(15)，所述滑座(11)右侧固定安装有第一连接板(14)，所述第一连接板(14)右侧固定安装有第二连接板(15)，所述第二连接板(15)左侧与活塞杆(7)右端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述驱动机构包括固定板(16)与电动伸缩杆(17)，所述操作台(1)顶部左侧固定安装有固定板(16)，所述固定板(16)右侧固定安装有电动伸缩杆(17)，所述电动伸缩杆(17)输出端与相对应滑座(11)左侧固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述裁切机构包括液压缸(19)、刀座(23)与切刀(24)，所述安装板(18)顶部固定安装有液压缸(19)，所述液压缸(19)输出端延伸至安装板(18)下方，所述液压缸(19)输出端固定安装有刀座(23)，所述刀座(23)底部设置有切刀(24)。

8.根据权利要求4所述的一种用于金刚石半导体生产的定型设备，其特征在于，所述滑槽(22)右侧内壁设置有按钮(20)，所述滑块(21)与按钮(20)相适配，所述按钮(20)与液压缸(19)电性连接。