CN223052113U - 一种晶圆滚贴移膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，且公开了一种晶圆滚贴移膜装置，包括安装底板，所述安装底板的顶部靠左端外表面固定连接有T型安装板，所述T型安装板与T型支撑板相对的外表面之间转动连接有贴膜辊，所述贴膜辊的外表面开设有若干个真空吸孔，所述L型安装板的外表面安装有回转阀，所述回转阀的入口端与贴膜辊的内部固定连通，所述贴膜辊的左右两侧外表面呈对称设置且呈圆周阵列设置有多个定位压紧机构。该晶圆滚贴移膜装置能够将蓝膜按照晶圆大小预先张贴在贴膜辊上，然后再滚贴到晶圆上，相较于现有技术中的晶圆贴膜装置，该方式较为新颖，且经过该装置贴膜后的晶圆成品表面不会产生气泡，成品质量较高。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体为一种晶圆滚贴移膜装置。
背景技术
晶圆贴膜是一种用于保护半导体晶圆表面的薄膜材料，它能够有效地防止晶圆表面受污染、划痕和氧化等影响，从而保证晶圆的质量和稳定性。因此在半导体制造过程中起着非常重要的作用。
目前晶圆贴膜常用的贴膜方式大多是手动人工贴膜，然后再切成圆形，但采用人工贴膜自动化程度较低、劳动强度大，市面上也出现自动对晶圆进行贴膜的装置，但大多装置都是采用铺膜后滚贴的方式，采用此方式贴出的产品表面会有气泡，影响产品质量，因此提出了一种晶圆滚贴移膜装置。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆滚贴移膜装置，以解决上述背景技术中提到的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆滚贴移膜装置，包括安装底板，所述安装底板的顶部靠右端外表面固定连接有T型支撑板，所述安装底板的顶部靠左端外表面固定连接有T型安装板，所述T型安装板与T型支撑板相对的外表面之间转动连接有贴膜辊，所述贴膜辊的外表面开设有若干个真空吸孔，所述T型支撑板远离贴膜辊的一端外表面固定连接有L型安装板，所述L型安装板的外表面安装有回转阀，所述回转阀的入口端与贴膜辊的内部固定连通，所述贴膜辊的左右两侧外表面呈对称设置且呈圆周阵列设置有多个定位压紧机构。
进一步的，所述定位压紧机构包括固定板，所述固定板与贴膜辊的外表面固定连接，所述固定板的顶部外表面固定安装有压紧气缸，所述压紧气缸的输出端固定连接有压块。
进一步的，所述T型安装板远离贴膜辊的一侧外表面固定安装有精密减速机和驱动电机，所述驱动电机的输出端与精密减速机的输入端固定连接，所述精密减速机的输出端与贴膜辊固定连接。
进一步的，所述固定板的顶部外表面位于压紧气缸的两侧均固定连接有精密导向套，两个所述精密导向套的内部均活动插设有精密导杆，两个所述精密导杆的顶部与压块的底部外表面固定连接，两个所述精密导杆的底部外表面固定连接有连接块。
进一步的，所述压块靠近贴膜辊中端处的一侧为弯折设置，且所述压块靠近贴膜辊中端处的一侧延伸至贴膜辊的边缘处。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该晶圆滚贴移膜装置，通过设置回转阀使得真空吸孔处产生吸附力将膜片吸附在贴膜辊上，并通过定位压紧机构将膜片压紧在贴膜辊上，而后配合驱动电机和精密减速机带动贴膜辊使得膜片精确转动，对晶圆调整后精确的完成晶圆贴膜功能，该晶圆滚贴移膜装置能够将蓝膜按照晶圆大小预先张贴在贴膜辊上，然后再滚贴到晶圆上，相较于现有技术中的晶圆贴膜装置，该方式较为新颖，且经过该装置贴膜后的晶圆成品表面不会产生气泡，成品质量较高。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型定位压紧机构结构示意图。
图中：1、安装底板；2、T型支撑板；3、T型安装板；4、L型安装板；5、回转阀；6、定位压紧机构；7、贴膜辊；8、精密减速机；9、驱动电机；601、固定板；602、压紧气缸；603、精密导向套；604、精密导杆；605、压块；606、连接块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1：
请结合参阅图1-图2，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆滚贴移膜装置，包括安装底板1，安装底板1的顶部靠右端外表面固定连接有T型支撑板2，安装底板1的顶部靠左端外表面固定连接有T型安装板3，T型安装板3与T型支撑板2相对的外表面之间转动连接有贴膜辊7，贴膜辊7的外表面开设有若干个真空吸孔，T型支撑板2远离贴膜辊7的一端外表面固定连接有L型安装板4，L型安装板4的外表面安装有回转阀5，回转阀5的入口端与贴膜辊7的内部固定连通，贴膜辊7的左右两侧外表面呈对称设置且呈圆周阵列设置有多个定位压紧机构6，具体的，通过安装底板1将该装置安装在贴膜机台上，剥离下的膜片掉落在贴膜辊7上，通过回转阀5工作，使得贴膜辊7的内部产生负压，通过真空吸孔产生吸附力将膜片进行吸附，并通过定位压紧机构6将膜片压紧定位在贴膜辊7的表面。
在本实施例中，定位压紧机构6包括固定板601，固定板601与贴膜辊7的外表面固定连接，固定板601的顶部外表面固定安装有压紧气缸602，压紧气缸602的输出端固定连接有压块605，具体的，压紧气缸602工作带动压块605将膜片压紧固定在贴膜辊7上。
在本实施例中，T型安装板3远离贴膜辊7的一侧外表面固定安装有精密减速机8和驱动电机9，驱动电机9的输出端与精密减速机8的输入端固定连接，精密减速机8的输出端与贴膜辊7固定连接，具体的，将膜片固定时，驱动电机9工作经过精密减速机8的减速之后，带动贴膜辊7转动，使得贴膜辊7带动膜片转动至合适的角度进行精密贴膜工作，该晶圆滚贴移膜装置能够将蓝膜按照晶圆大小预先张贴在贴膜辊7上，然后再滚贴到晶圆上，相较于现有技术中的晶圆贴膜装置，该方式较为新颖，且经过该装置贴膜后的晶圆成品表面不会产生气泡，成品质量较高。
在本实施例中，固定板601的顶部外表面位于压紧气缸602的两侧均固定连接有精密导向套603，两个精密导向套603的内部均活动插设有精密导杆604，两个精密导杆604的顶部与压块605的底部外表面固定连接，两个精密导杆604的底部外表面固定连接有连接块606，具体的，在压紧气缸602工作带动压块605移动时，使得精密导杆604在精密导向套603内滑动，通过精密导杆604起到导向的作用，使得压紧气缸602带动压块605稳定移动。
在本实施例中，压块605靠近贴膜辊7中端处的一侧为弯折设置，且压块605靠近贴膜辊7中端处的一侧延伸至贴膜辊7的边缘处，具体的，压块605的一端延伸至贴膜辊7的边缘，使得压紧气缸602工作时能够带动压块605将贴膜辊7上的膜片压紧。
工作原理：本实用新型在使用时，通过安装底板1将该装置安装在贴膜机台上，剥离下的膜片掉落在贴膜辊7上，通过回转阀5工作，使得贴膜辊7的内部产生负压，通过真空吸孔产生吸附力将膜片进行吸附，并通过压紧气缸602工作，压紧气缸602带动压块605工作，将膜片压紧在贴膜辊7上，将膜片吸附压紧固定后，通过驱动电机9工作，经过精密减速机8的减速，使得贴膜辊7转动，贴膜辊7转动时带动其上的膜片精确转动，当膜片转动至合适的位置后，回转阀5停止产生负压，并使得压紧气缸602收回，使得膜片从贴膜辊7上脱离，从而对晶圆进行调整的同时精确的完成晶圆贴膜功能，该晶圆滚贴移膜装置能够将蓝膜按照晶圆大小预先张贴在贴膜辊7上，然后再滚贴到晶圆上，相较于现有技术中的晶圆贴膜装置，该方式较为新颖，且经过该装置贴膜后的晶圆成品表面不会产生气泡，成品质量较高。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种晶圆滚贴移膜装置，包括安装底板(1)，其特征在于：所述安装底板(1)的顶部靠右端外表面固定连接有T型支撑板(2)，所述安装底板(1)的顶部靠左端外表面固定连接有T型安装板(3)，所述T型安装板(3)与T型支撑板(2)相对的外表面之间转动连接有贴膜辊(7)，所述贴膜辊(7)的外表面开设有若干个真空吸孔，所述T型支撑板(2)远离贴膜辊(7)的一端外表面固定连接有L型安装板(4)，所述L型安装板(4)的外表面安装有回转阀(5)，所述回转阀(5)的入口端与贴膜辊(7)的内部固定连通，所述贴膜辊(7)的左右两侧外表面呈对称设置且呈圆周阵列设置有多个定位压紧机构(6)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆滚贴移膜装置，其特征在于：所述定位压紧机构(6)包括固定板(601)，所述固定板(601)与贴膜辊(7)的外表面固定连接，所述固定板(601)的顶部外表面固定安装有压紧气缸(602)，所述压紧气缸(602)的输出端固定连接有压块(605)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆滚贴移膜装置，其特征在于：所述T型安装板(3)远离贴膜辊(7)的一侧外表面固定安装有精密减速机(8)和驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出端与精密减速机(8)的输入端固定连接，所述精密减速机(8)的输出端与贴膜辊(7)固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆滚贴移膜装置，其特征在于：所述固定板(601)的顶部外表面位于压紧气缸(602)的两侧均固定连接有精密导向套(603)，两个所述精密导向套(603)的内部均活动插设有精密导杆(604)，两个所述精密导杆(604)的顶部与压块(605)的底部外表面固定连接，两个所述精密导杆(604)的底部外表面固定连接有连接块(606)。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆滚贴移膜装置，其特征在于：所述压块(605)靠近贴膜辊(7)中端处的一侧为弯折设置，且所述压块(605)靠近贴膜辊(7)中端处的一侧延伸至贴膜辊(7)的边缘处。
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| CN202422218497.6U CN223052113U (zh) | 2024-09-11 | 2024-09-11 | 一种晶圆滚贴移膜装置 |
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| CN223052113U true CN223052113U (zh) | 2025-07-01 |
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Family Applications (1)
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| CN202422218497.6U Active CN223052113U (zh) | 2024-09-11 | 2024-09-11 | 一种晶圆滚贴移膜装置 |
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| CN (1) | CN223052113U (zh) |
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2024
- 2024-09-11 CN CN202422218497.6U patent/CN223052113U/zh active Active
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