CN222636486U - 一种掩膜版自动清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于掩膜版制造技术领域，具体公开了一种掩膜版自动清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱上设有排液孔和进液孔，排液孔和进液孔上安装有阀门，所述清洗箱的顶部设有横梁和两个纵向支架，横梁位于两个所述纵向支架之间且与所述纵向支架垂直连接，所述横梁上滑动配合有横向滑块，横梁上设有驱动所述横向滑块往复滑动的第一驱动单元；两个所述纵向支架沿垂直于所述横梁的方向与所述清洗箱的顶部水平滑动配合，所述清洗箱的顶部设有驱动所述纵向支架往复滑动的第二驱动单元；横向滑块上连接有连接杆，所述连接杆的底部连接有毛刷头。本实用新型能够实现对掩膜版的自动清洗，降低对产品划伤和顶伤的风险，从而提高产品合格率。

Description

一种掩膜版自动清洗装置

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，具体涉及一种掩膜版自动清洗装置。

背景技术

掩膜版又称光掩膜版、光罩(Photo mask简称Mask)，由石英玻璃作为基板衬底。在制作掩膜版时，首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光阻(又称光刻胶，一种感光材料，在特定波长光的照射下其化学性质会发生改变)。把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光阻曝光，被曝光的区域通过制程(光阻显影、铬层蚀刻)后形成与设计图一样的电路图形，从而成为类似曝光后的底片的光掩模母版。

掩膜版是半导体、平板显示等行业生产制造过程中重要的关键材料。作为光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键，掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的优品率。

在掩膜版生产的过程中，掩膜版上回产生污物，因此需要对掩膜版进行清洗，保证掩膜版表面清洁，提高掩膜版的质量。而对于掩膜版的清洗，目前常采用人工手动清洗的方式，但是由于掩膜版尺寸较大，人工清洗的方式非常耗力费时，并且人工清洗还容易出现清洗不干净的情况，甚至还会造成掩膜版被划伤、顶伤的风险，导致产品报废，给公司带来巨大的损失。

实用新型内容

本实用新型提供了一种掩膜版自动清洗装置，目的在于能够实现对掩膜版的自动清洗，降低对产品划伤和顶伤的风险，从而提高产品合格率。

本实用新型通过下述技术方案实现：一种掩膜版自动清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱上设有排液孔和进液孔，所述排液孔和进液孔上安装有阀门，所述清洗箱的顶部设有横梁和两个纵向支架，所述横梁位于两个所述纵向支架之间且与所述纵向支架垂直连接，所述横梁上滑动配合有横向滑块，所述横梁上设有驱动所述横向滑块往复滑动的第一驱动单元；

两个所述纵向支架沿垂直于所述横梁的方向与所述清洗箱的顶部水平滑动配合，所述清洗箱的顶部设有驱动所述纵向支架往复滑动的第二驱动单元；所述横向滑块上连接有连接杆，所述连接杆的底部连接有毛刷头。

本方案与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本方案中通过第一驱动单元驱动毛刷头横向往复滑动即可对掩膜版进行清扫，而第二驱动单元能够驱动纵向支架沿着垂直于横梁的方向滑动，从而带动横梁以及毛刷头的进行位移而对掩膜版的整个表面进行清洁，这样使毛刷头可以在水平坐标位置进行Y向和X向的复合往复运动，从而实现对掩膜版的自动清洗的目的，相比于人工清洁，本方案能够提高操作效率，节省人工劳动成本，且针对尺寸较大的掩膜版进行清洁时，操作更加方便快速。

由于整个过程中无需人工操作，能够降低对产品划伤和顶伤的风险，从而提高产品合格率。

进一步，还包括驱动毛刷头旋转的毛刷电机，所述毛刷头包括毛刷盘和多根刷毛，多根所述刷毛固定在所述毛刷盘的一端，所述毛刷盘的另一端与所述连接杆连接。

有益效果：本方案中刷毛固定在毛刷盘上，对刷毛起到一个连接固定的作用，而毛刷电机能够驱动整个毛刷头旋转，这样在驱动毛刷头水平移动的过程中还能够产生自转，从而能够提高对掩膜版的清洗效果。

进一步，多根所述刷毛交错分布。

有益效果：毛刷盘上的刷毛设计为错列排放，在清洗过程中，脏污可以沿着刷毛间隙排走，不容易在刷毛里堆积影响清洗效果。

进一步，所述毛刷头的底部低于放置在所述清洗箱内的掩膜版上表面。

有益效果：这样能够使毛刷头与掩膜版产品能够充分的接触，清洗力度更好，从而提高清洗清洁度。

进一步，所述清洗箱的侧壁上连接有水枪，所述清洗箱上设有与所述水枪连接的纯水管路。

有益效果：水枪能够对掩膜版表面进行初步冲刷，这样后期在通过毛刷头进行清洁的时候更加容易，且清洁效果更加。

进一步，所述清洗箱的侧壁上还连接有氮气枪，所述清洗箱上设有与所述氮气枪连接的氮气管路。

有益效果：冲洗完成后打开氮气枪，能够有效提高产品表面风干的效率。

进一步，所述水枪和所述氮气枪均设有多个，多个水枪和多个氮气枪均沿所述清洗箱的竖向间隔分布，所述水枪和所述氮气枪分别位于所述清洗箱的两侧。

有益效果：如此设置多个水枪能够提高清洁效率和清洁质量，而多个氮气枪能够提高对产品表面的风干效率。

进一步，所述第一驱动单元包括丝杆和丝杆电机，所述横梁顶部连接有固定块，所述固定块与所述丝杆电机分别位于所述横梁的两端，所述丝杆的一端与所述固定块转动连接，所述丝杆的另一端与所述丝杆电机的输出轴连接，所述横向滑块的上部与所述丝杆螺纹连接。

有益效果：本方案中通过丝杆电机驱动丝杆转动来带动横向滑块的横向往复运动，从而带动毛刷头沿着掩膜版的长度方向进行全面的清洁，该结构简单，便于实现。

进一步，所述清洗箱的顶部两侧均安装有纵向支架滑轨，两个所述纵向支架分别与两个纵向支架滑轨滑动配合。

有益效果：本方案中的纵向支架滑轨便于安装纵向支架，且对纵向支架的滑动起到导向作用。

进一步，所述排液孔和所述进液孔分别位于清洗箱的两侧，且所述进液孔上连接有进液管，所述排液孔上连接有排液管，所述阀门安装在所述进液管和所述排液管上。

有益效果：本方案中排液孔和进液孔分别位于清洗箱的两侧而非底部，这样方便安装进液管和排液管，且便于在外部开启或关闭阀门而使排液孔或进液孔打开或关闭。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为本实用新型一种掩膜版自动清洗装置实施例1的纵截面剖视图；

图2为本实用新型一种掩膜版自动清洗装置实施例2中其中一组刷毛的结构示意图；

图3为本实用新型一种掩膜版自动清洗装置实施例3的纵截面剖视图；

图4为本实用新型一种掩膜版自动清洗装置实施例4的纵截面剖视图。

附图中标记及对应的零部件名称：

清洗箱1、排液孔101、进液孔102、清洗药液2、掩膜版3、水枪4、纵向支架5、纵向支架滑轨6、横梁7、毛刷盘8、刷毛801、毛刷电机9、氮气枪10、横向滑块11、连接杆12、丝杆13、丝杆电机14、固定块15、进液管16、排液管17。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例1

如图1所示，本实施例1提供了一种掩膜版自动清洗装置，包括清洗箱1，清洗箱1上设有排液孔101和进液孔102，排液孔101和进液孔102上安装有阀门，本实施例中排液孔101和进液孔102分别位于清洗箱1的左部和右部，且开设有在清洗箱1的底部，实际操作中，通过在排液孔101和进液孔102上连接管道，进行液体的排入或排出。

清洗箱1的顶部设有横梁7和两个纵向支架5，横梁7位于两个纵向支架5之间且与纵向支架5垂直焊接固定，横梁7上滑动配合有横向滑块11，横梁7上设有驱动横向滑块11往复滑动的第一驱动单元，具体的：本实施例中第一驱动单元包括丝杆13和丝杆电机14，横梁7顶部焊接或螺钉连接有固定块15，固定块15与丝杆电机14分别位于横梁7的两端，丝杆13的一端与固定块15通过轴承转动连接，丝杆13的另一端与丝杆电机14的输出轴通过联轴器连接，横向滑块11的上部与丝杆13螺纹连接，这样丝杆电机14驱动丝杆13转动，由于横向滑块11受到横梁7的限制不能转动，而会沿横梁7水平滑动。

两个纵向支架5沿垂直于横梁7的方向与清洗箱1的顶部水平滑动配合，本实施例中清洗箱1的顶部两侧均安装有纵向支架滑轨6，两个纵向支架5分别与两个纵向支架滑轨6滑动配合，纵向支架滑轨6滑动的同时即可带动横梁7以及横梁7上的第一驱动单元和横向滑块11整体同步移动。

清洗箱1的顶部设有驱动纵向支架5往复滑动的第二驱动单元，本实施例中第二驱动单元也采用丝杆副结构，即第二驱动单元的结构与第一驱动单元的结构相同，也是丝杆与纵向支架5螺纹连接，通过电机带动丝杆转动而使纵向支架5沿着纵向支架滑轨6滑动，纵向支架5的滑动方向与横向滑块11的滑动方向类似于平面坐标系中X轴和Y轴的坐标方向。

本实施例中横向滑块11上连接有连接杆12，连接杆12与横向滑块11螺纹连接或焊接，连接杆12的底部连接有毛刷头，本实施例中毛刷头包括毛刷盘8和多根刷毛801，多个刷毛801固定在毛刷盘8的一端，毛刷盘8的另一端与连接杆12连接，本实施例中还包括驱动毛刷头旋转的毛刷电机9，本实施例中毛刷电机9位于毛刷盘8与连接杆12之间，毛刷电机9的外侧套设一个保护外壳，对毛刷电机9进行封闭，避免进水，毛刷电机9的外壳与毛刷盘8顶部焊接、卡接或其他固定连接方式，且毛刷电机9的外壳与毛刷盘8之间设有密封圈，实现密封连接，毛刷电机9的输出轴与毛刷盘8同轴连接，毛刷电机9能够带动毛刷头旋转，连接杆12与毛刷电机9的外壳顶部连接，本实施例中连接杆12与外壳顶部焊接固定、卡接固定或螺接固定。

毛刷头的底部低于放置在清洗箱1内的掩膜版3上表面，本实施例中使毛刷头的刷毛801底部位于放置在清洗箱1内的掩膜版3上表面0.1-1cm，这样能够使使毛刷头上的刷毛801能够与掩膜版3产品有充分接触，对掩膜版3的清洁效果更加。

本实施例中清洗箱1的侧壁上安装有多个水枪4，清洗箱1上设有与水枪4连接的纯水管路，纯水管路与现有的高压水管连通，清洗箱1的侧壁上还安装有多个氮气枪10，清洗箱1上设有与氮气枪10连接的氮气管路，氮气管路与现有的高压氮气管连通。

多个水枪4和多个氮气枪10均沿清洗箱1的竖向间隔分布，水枪4和氮气枪10分别位于清洗箱1的两侧，实际安装过程中可以使多个水枪4交错分布，多个氮气枪10交错分布，这样能够增大对掩膜版3表面进行清洁和吹扫范围，清结吹扫范围更大，效率更高。

具体实施过程如下：

把掩膜版3产品放到清洗箱1的腔体底部，打开清洗箱1的内侧壁上的水枪4，利用高压冲击力将掩膜版3表面浮尘和明显脏污洗掉。同时打开排液孔101上的阀门，清洗后的药液可以及时排出。

冲洗一定时间后关闭排液孔101的阀门，打开进液孔102的阀门，往清洗箱1的腔体内排入清洗药液2，使产品完全浸没在药液里。

待产品表面顽固脏污充分浸泡以后，打开毛刷电机9，使毛刷盘8一边自动旋转，一边沿着产品表面进行X向运动后，再通过纵向支架5进行Y向运动后再进行X向运动，从而实现弓字形的复合往复运动，进而对掩膜版3产品的整个表面实现清扫。

毛刷头对掩膜版3产品清洗完成后，将排液孔101打开，使药液全部排出，然后打开水枪4再次对产品表面进行冲洗。冲洗完成后打开氮气枪10，使氮气枪10对清洗后的掩膜版3表面进行风干，通过氮气枪10的吹扫，能够有效提高产品表面风干的效率，从而最终完成产品的自动清洗。

实施例2，如图2所示，本实施例与实施例1的区别在于：多根刷毛801交错分布，本实施例中将多根刷毛801分成多组，多组刷毛801间隔分布在毛刷盘8上，每组中的刷毛801具有四根，四根刷毛801按照如图2所示的形状交错分布。

本实施例中由于毛刷盘8上的毛刷头设计为错列排放，在清洗过程中，脏污可以沿着毛刷头间隙排走，不容易在毛刷头里堆积，有效改善清洗效果。

实施例3,如图3所示，本实施例与实施例1的区别在于：本实施例中排液孔101和进液孔102分别位于清洗箱1的两侧，且进液孔102上连接有进液管16，排液孔101上连接有排液管17，阀门安装在进液管16和排液管17上。这样排液孔101和进液孔102分别位于清洗箱1的两侧而非底部，这样方便安装进液管16和排液管17，且便于在外部开启或关闭阀门而使排液孔101或进液孔102打开或关闭，操作更加的方便。

实施例4，如图4所示，本实施例与实施例1的区别在于：本实施例中毛刷电机9与横向滑块11通过螺栓固定连接，而毛刷电机9的输出轴与连接杆12的顶端通过联轴器连接，而连接杆12的底端与毛刷盘8螺接、卡接或焊接等方式进行连接固定。

本方案提供了毛刷电机9安装位置的另一种方式，本方案中把毛刷电机9安装在横向滑块11上，这样不需要再安装保护外壳，即可保证毛刷电机9的干燥，避免被水打湿。

需要说明的是，对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本文件的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅用于说明各部件或组成部分之间的相对位置关系，并不特别限定各部件或组成部分的具体安装方位。

在本文件的描述中，部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

在本文件的描述中，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中所附图式所绘制的结构、比例、大小等，均仅用于配合本技术交底书所揭示的内容，以供本领域技术人员了解与阅读，并非用于限定本申请可实施的限定条件，故不具有技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均仍应落在本申请所揭示的技术内容涵盖的范围内。

本文件中使用的术语是考虑到关于本公开的功能而在本领域中当前广泛使用的那些通用术语，但是这些术语可以根据本领域普通技术人员的意图、先例或本领域新技术而变化。此外，特定术语可以由申请人选择，并且在这种情况下，其详细含义将在本公开的详细描述中描述。因此，文件中使用的术语不应理解为简单的名称，而是基于术语的含义和本公开的总体描述。

本文件中使用了流程图或文字来说明根据本申请的实施例所执行的操作步骤。应当理解的是，本申请实施例中的操作步骤不一定按照记载顺序来精确地执行。相反，根据需要，可以按照倒序或同时处理各种步骤。同时，也可以将其他操作添加到这些过程中，或从这些过程移除某一步或数步操作。

以上仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种掩膜版自动清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱上设有排液孔和进液孔，所述排液孔和进液孔上安装有阀门，其特征在于，所述清洗箱的顶部设有横梁和两个纵向支架，所述横梁位于两个所述纵向支架之间且与所述纵向支架垂直连接，所述横梁上滑动配合有横向滑块，所述横梁上设有驱动所述横向滑块往复滑动的第一驱动单元；

两个所述纵向支架沿垂直于所述横梁的方向与所述清洗箱的顶部水平滑动配合，所述清洗箱的顶部设有驱动所述纵向支架往复滑动的第二驱动单元；所述横向滑块上连接有连接杆，所述连接杆的底部连接有毛刷头。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，还包括驱动毛刷头旋转的毛刷电机，所述毛刷头包括毛刷盘和多根刷毛，多根所述刷毛固定在所述毛刷盘的一端，所述毛刷盘的另一端与所述连接杆连接。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，多根所述刷毛交错分布。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述毛刷头的底部低于放置在所述清洗箱内的掩膜版上表面。

5.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述清洗箱的侧壁上连接有水枪，所述清洗箱上设有与所述水枪连接的纯水管路。

6.根据权利要求5所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述清洗箱的侧壁上还连接有氮气枪，所述清洗箱上设有与所述氮气枪连接的氮气管路。

7.根据权利要求6所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述水枪和所述氮气枪均设有多个，多个水枪和多个氮气枪均沿所述清洗箱的竖向间隔分布，所述水枪和所述氮气枪分别位于所述清洗箱的两侧。

8.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括丝杆和丝杆电机，所述横梁顶部连接有固定块，所述固定块与所述丝杆电机分别位于所述横梁的两端，所述丝杆的一端与所述固定块转动连接，所述丝杆的另一端与所述丝杆电机的输出轴连接，所述横向滑块的上部与所述丝杆螺纹连接。

9.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述清洗箱的顶部两侧均安装有纵向支架滑轨，两个所述纵向支架分别与两个纵向支架滑轨滑动配合。

10.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动清洗装置，其特征在于，所述排液孔和所述进液孔分别位于清洗箱的两侧，且所述进液孔上连接有进液管，所述排液孔上连接有排液管，所述阀门安装在所述进液管和所述排液管上。