CN222568551U - 一种吸嘴自动清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种吸嘴自动清洁装置，包括清洁机构、酒精补充机构、移动气缸、底板、及机架；所述清洁机构包括电机、连接杆、及清洁件；所述酒精补充机构包括酒精喷出器、酒精传输管、及酒精喷出气缸；所述移动气缸的缸体固定在所述底板上，所述移动气缸的活塞杆连接有从动板。本实用新型的优点在于：(1)解决吸嘴尺寸小，人工手动清洁困难的问题，实现吸嘴机械化清洁，减少吸嘴材料的浪费，提高产线效率；(2)实现清洁布酒精的自动补充，提高清洁布的除胶效果，省去人工补充酒精的操作，提高作业安全性。

Description

一种吸嘴自动清洁装置

技术领域

本实用新型涉及半导体分选辅助设备领域，特别是一种吸嘴自动清洁装置。

背景技术

在半导体分选产线中，编带设备需要通过装载盘的吸嘴运输晶圆。吸嘴在反复作业后，其表面会粘连残胶，严重影响吸嘴的转运效果。因此，需要对吸嘴的残胶进行清洁。为了保证吸嘴的清洁度，产线每隔2小时，就需要清洁吸嘴，但由于晶圆转运用的吸嘴尺寸极小，通过人工擦拭较为困难，容易损坏吸嘴，且严重影响了产线效率。若直接更换吸嘴，高频更换吸嘴，造成材料的浪费。

因此，运输晶圆的吸嘴存在清洁困难的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种吸嘴自动清洁装置，可以实现吸嘴自动化清洁，代替人工操作。

为达到上述实用新型目的，本实用新型提供了一种吸嘴自动清洁装置，包括清洁机构、酒精补充机构、移动气缸、底板、及机架；

所述清洁机构包括电机、连接杆、及清洁件；所述清洁件通过所述连接杆与所述电机连接，所述清洁件的端部设有清洁布；

所述酒精补充机构包括酒精喷出器、酒精传输管、及酒精喷出气缸；所述酒精喷出器包括推杆和酒精存储腔，所述推杆为“工”字型，所述推杆的一端位于所述酒精存储腔内，所述推杆的另一端位于所述酒精存储腔外；所述酒精喷出气缸的活塞杆的端部设有推板，所述推板朝向所述推杆；所述酒精传输管与所述酒精存储腔的出口端连通，所述酒精传输管的末端朝向所述清洁布；

所述移动气缸的缸体固定在所述底板上，所述移动气缸的活塞杆连接有从动板，所述清洁机构与所述酒精补充机构均位于所述从动板上；

所述机架设有连接柱，所述底板通过所述连接柱固定在所述机架的下方。

作为实用新型的进一步改进，所述连接杆的端部同轴设有插孔，所述连接杆设有连接孔，所述清洁件的端部插入所述插孔，第一紧固件通过所述连接孔将所述清洁件可拆卸地固定在所述连接杆中。

优选的，所述酒精传输管的末端设有喇叭状喷雾头。

作为实用新型的进一步改进，所述酒精补充机构还包括卡板，所述卡板设有半开口的卡槽，所述酒精存储腔卡在所述卡槽内。

作为实用新型的进一步改进，所述底板设有直线导轨组件，所述从动板通过所述直线导轨组件与所述底板连接。

作为实用新型的进一步改进，还包括感应组件，所述感应组件包括两个位置传感件和感应杆，两个所述位置传感件均位于所述底板上，所述感应杆位于所述从动板的侧边，所述位置传感件与所述感应杆的位置相适配。

作为实用新型的进一步改进，所述机架的底部设有若干个调节孔，所述连接柱的端部设有安装板，所述安装板通过第二紧固件穿过所述调节孔可拆卸地固定在所述机架上。

本实用新型的一种吸嘴自动清洁装置，用于编带设备晶圆装载盘的清洁，晶圆装载盘上分布有若干个吸嘴，清洁件通过移动气缸靠近单个目标吸嘴，清洁件通过侧边的酒精补充机构随时补充酒精，酒精通过酒精喷出器喷洒在清洁布上，清洁布在电机的作用下高速旋转，从而与吸嘴的表面摩擦，清除吸嘴的残胶；单个目标吸嘴清除完毕后，清洁件通过移动气缸复位，给晶圆装载盘的转动让位，避免清洁件与其他工件碰撞，晶圆装载盘通过自身的转动驱动装置转动，下一待清理的吸嘴转至目标位置等待清洁机构的清洁。

本实用新型一种吸嘴自动清洁装置跟现有技术相比具有的优点：

(1)解决吸嘴尺寸小，人工手动清洁困难的问题，实现吸嘴机械化清洁，减少吸嘴材料的浪费，提高产线效率；

(2)实现清洁布酒精的自动补充，提高清洁布的除胶效果，省去人工补充酒精的操作，提高作业安全性。

附图说明

图1为本实用新型的一种吸嘴自动清洁装置结构示意图；

图2为本实用新型的一种吸嘴自动清洁装置结构示意图；

图3为清洁机构、酒精补充机构、及移动气缸连接俯视图；

图4为酒精喷出器结构示意图；

图5为机架连接结构示意图；

图6为吸嘴清洁示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型的一种吸嘴自动清洁装置，包括清洁机构1、酒精补充机构2、移动气缸3、底板4、及机架7；

如图2-3所示，清洁机构1包括电机11、连接杆12、及清洁件13；清洁件13通过连接杆12与电机11连接，清洁件13的端部设有清洁布14；

电机11驱动连接杆12高速转动，清洁件13带动清洁布14随之高速转动，吸嘴81上的残胶附着在清洁布14上，而清洁布14长期使用后，残胶会影响清洁布14的清洁能力，需要定时更换清洁布14。由于实际产线上晶圆用的吸嘴尺寸极小，清洁件13的直径在0.5-2cm，直接更换清洁布14的手工操作较为困难。

连接杆12的端部同轴设有插孔121，连接杆12设有连接孔122，清洁件13的端部插入插孔121，第一紧固件122通过连接孔122将清洁件13可拆卸地固定在连接杆12中。可以在清洁件13的一端粘贴清洁布14组成清洁组件，并预制多个备用的清洁组件，需要更换清洁布14时，通过第一紧固件122，快速完成清洁组件的更换，提高产线上的清洁布14的更换效率。

酒精补充机构2包括酒精喷出器21、酒精传输管22、及酒精喷出气缸23；如图4所示，酒精喷出器21包括推杆211和酒精存储腔212，推杆211为“工”字型，推杆211的一端位于酒精存储腔212内，推杆211的另一端位于酒精存储腔212外；酒精喷出气缸23的活塞杆的端部设有推板231，推板231朝向推杆211；酒精传输管22与酒精存储腔212的出口端连通，酒精传输管22的末端朝向清洁布14；

现有的清洁布14补充酒精的方法是，将清洁布14拆下，人工蘸取酒精后，再将清洁布14固定在清洁件13上。由于清洁布14的尺寸较小，手动操作较难，且产线上的吸嘴81除胶清洁频率较高，为了保持吸嘴81的载物效果，每隔两小时便需要对吸嘴81进行清洁，人工对清洁布14持续补充酒精的速度较慢，影响产线效率。

本实施例中，推板231随着酒精喷出气缸23的活塞杆的伸出而向前推动推杆211，酒精存储腔212内的酒精被推杆211从酒精存储腔212的出口推入酒精传输管22，酒精在酒精传输管22中喷至清洁布14上，提高清洁布14除胶效果。在清洁布14补充酒精时，可以通过电机11，保持清洁布14的持续转动，位于清洁布14一侧的酒精传输管22喷出的酒精可以覆盖整个清洁布14。其中，推板231代替酒精喷出气缸23的活塞杆直接推动推杆211，推板231可以增大与推杆211的接触面积，推杆211可以更加平稳地被推动。

酒精传输管22的末端设有喇叭状喷雾头221，可以将管内的酒精通过喇叭状喷雾头221以雾状的形态喷洒至清洁布14，酒精在清洁布14上的覆盖效果更好。

酒精补充机构2还包括卡板24，卡板24设有半开口的卡槽241，酒精喷出器21的酒精存储腔212卡在卡槽241内，方便取下酒精喷出器21，在酒精存储腔212内补充酒精。

移动气缸3的缸体固定在底板4上，移动气缸3的活塞杆连接有从动板41，清洁机构1与酒精补充机构2均位于从动板41上；

从动板41在移动气缸3的作用下往复移动，将清洁机构1和酒精补充机构2带动至目标位置，对吸嘴81进行清洁。

底板4设有直线导轨组件5，从动板41通过直线导轨组件5与底板4连接。直线导轨组件5为现有的导轨和滑块组合，从动板41通过滑块沿着导轨保持直线移动，避免从动板41在往复移动过程中发生偏位，导致清洁布14与吸嘴81发生错位，影响清洁效果，甚至损坏设备。

本实用新型的一种吸嘴自动清洁装置，还包括感应组件6，感应组件6包括两个位置传感件61和感应杆62，两个位置传感件61均位于底板4上，感应杆62位于从动板41的侧边，位置传感件61与感应杆62的位置相适配。

为了提高清洁效果，在清洁件13到达指定位置后，通过移动气缸3将清洁件13在目标吸嘴81上小距离往复移动，使得清洁布14多次来回在吸嘴81上摩擦，保证清理掉吸嘴81上的残胶。

两个位置传感件61的安装间距为清洁布14多次来回清洁的行程范围，位置传感件61为现有的光电传感器，当感应杆62位于位置传感件61的感应区域后，位置传感件61将感应到的光信号转化为电信号，并将其传输至终端，终端接受到信息并对移动气缸3作出指令，实现清洁布14多次来回清洁。

机架7设有连接柱71，底板4通过连接柱71固定在机架7的下方。半导体分选产线的机台空间有限，通过连接柱71将底板4固定在机架7上，使得清洁机构1与酒精补充机构2悬空在晶圆装载盘8的一侧，减少空间限制，避免清洁机构1与酒精补充机构2在清洁时与其他设备发生碰撞和干扰。

如图5所示，机架7的底部设有若干个调节孔74，连接柱71的端部设有安装板72，安装板72通过第二紧固件73穿过调节孔74可拆卸地固定在机架7上。在调试设备时，根据晶圆装载盘8的位置，通过选择不同位置的调节孔74，调整清洁机构1的初始位置，适用性更强。

本实用新型的一种吸嘴自动清洁装置，用于编带设备晶圆装载盘8的清洁，晶圆装载盘8上分布有若干个吸嘴81，清洁件13通过移动气缸3靠近单个目标吸嘴81，清洁件13通过侧边的酒精补充机构2随时补充酒精，酒精通过酒精喷出器21喷洒在清洁布14上，清洁布14在电机11的作用下高速旋转，从而与吸嘴81的表面摩擦，清除吸嘴81的残胶；单个目标吸嘴81清除完毕后，清洁件13通过移动气缸3复位，给晶圆装载盘8的转动让位，避免清洁件13与其他工件碰撞，晶圆装载盘8通过自身的转动驱动装置转动，下一待清理的吸嘴转至目标位置等待清洁机构1的清洁。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不仅限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (7)

1.一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，包括清洁机构、酒精补充机构、移动气缸、底板、及机架；

所述清洁机构包括电机、连接杆、及清洁件；所述清洁件通过所述连接杆与所述电机连接，所述清洁件的端部设有清洁布；

所述酒精补充机构包括酒精喷出器、酒精传输管、及酒精喷出气缸；所述酒精喷出器包括推杆和酒精存储腔，所述推杆为“工”字型，所述推杆的一端位于所述酒精存储腔内，所述推杆的另一端位于所述酒精存储腔外；所述酒精喷出气缸的活塞杆的端部设有推板，所述推板朝向所述推杆；所述酒精传输管与所述酒精存储腔的出口端连通，所述酒精传输管的末端朝向所述清洁布；

所述移动气缸的缸体固定在所述底板上，所述移动气缸的活塞杆连接有从动板，所述清洁机构与所述酒精补充机构均位于所述从动板上；

所述机架设有连接柱，所述底板通过所述连接柱固定在所述机架的下方。

2.如权利要求1所述的一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，所述连接杆的端部同轴设有插孔，所述连接杆设有连接孔，所述清洁件的端部插入所述插孔，第一紧固件通过所述连接孔将所述清洁件可拆卸地固定在所述连接杆中。

3.如权利要求1所述的一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，所述酒精传输管的末端设有喇叭状喷雾头。

4.如权利要求1所述的一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，所述酒精补充机构还包括卡板，所述卡板设有半开口的卡槽，所述酒精存储腔卡在所述卡槽内。

5.如权利要求1所述的一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，所述底板设有直线导轨组件，所述从动板通过所述直线导轨组件与所述底板连接。

6.如权利要求1所述的一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，还包括感应组件，所述感应组件包括两个位置传感件和感应杆，两个所述位置传感件均位于所述底板上，所述感应杆位于所述从动板的侧边，所述位置传感件与所述感应杆的位置相适配。

7.如权利要求1所述的一种吸嘴自动清洁装置，其特征在于，所述机架的底部设有若干个调节孔，所述连接柱的端部设有安装板，所述安装板通过第二紧固件穿过所述调节孔可拆卸地固定在所述机架上。