CN222507605U - 晶圆限位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了晶圆限位装置，涉及限位装置技术领域。包括基座，所述基座底部的两侧固定连接有第一支撑板，所述基座底部的两端固定连接有第二支撑板，所述第一支撑板之间设置有联动组件，所述联动组件包括自锁电机，所述自锁电机和第一支撑板的一侧相固定，所述自锁电机的输出端固定连接有第一双向丝杆，所述第一双向丝杆的中心固定连接有蜗杆，所述蜗杆的底部啮合有蜗轮。本实用新型通过启动自锁电机带动第一双向丝杆、蜗杆转动，同步的，蜗杆带动蜗轮、第二双向丝杆转动，同时，第一双向丝杆、第二双向丝杆带动限位板、限位软垫逐渐靠近，限位软垫逐渐完成对不同尺寸晶圆的夹持限位作业，提高了装置的适用性。

Description

晶圆限位装置

技术领域

本实用新型涉及限位装置技术领域，具体为晶圆限位装置。

背景技术

晶圆限位装置是半导体制造设备中的一种关键部件，用于定位和限制晶圆在加工过程中的位置。现有的晶圆限位装置(公告号：CN219497758U)在使用中至少暴露出以下缺陷：

由于该装置限位片之间的距离无法进行灵活调节，因此，该装置在使用时仅能对固定尺寸的晶圆进行限位，当晶圆尺寸大于或者小于限位片之间的距离时，则无法进行有效限位，降低了装置的适用性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供晶圆限位装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

晶圆限位装置，包括基座，所述基座底部的两侧固定连接有第一支撑板，所述基座底部的两端固定连接有第二支撑板，所述第一支撑板之间设置有联动组件，所述联动组件包括自锁电机，所述自锁电机和第一支撑板的一侧相固定，所述自锁电机的输出端固定连接有第一双向丝杆，所述第一双向丝杆的中心固定连接有蜗杆，所述蜗杆的底部啮合有蜗轮，所述蜗轮的中心贯穿且固定连接有第二双向丝杆。

优选的，所述第一双向丝杆贯穿第一支撑板并与其转动连接，所述第二双向丝杆贯穿第二支撑板并与其转动连接。

优选的，所述基座的顶部中心固定连接有晶圆放置台，所述基座内部的两端、两侧均开设有调节口。

优选的，所述第一双向丝杆、第二双向丝杆的外壁端点均螺纹连接有限位板，所述限位板设置在调节口的内部并与其滑动连接。

优选的，所述限位板之间相邻方向的顶部均固定连接有限位软垫，所述限位软垫的设置高度大于晶圆放置台。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过启动自锁电机带动第一双向丝杆、蜗杆转动，同步的，蜗杆带动蜗轮、第二双向丝杆转动，同时，第一双向丝杆、第二双向丝杆带动限位板、限位软垫逐渐靠近，限位软垫逐渐完成对不同尺寸晶圆的夹持限位作业，提高了装置的适用性。

附图说明

图1为本实用新型的轴视图；

图2为本实用新型的局部轴视图；

图3为本实用新型的局部仰视图；

图4为本实用新型的联动组件结构图。

图中：1、基座；2、晶圆放置台；3、调节口；4、第一支撑板；5、第二支撑板；6、联动组件；601、自锁电机；602、第一双向丝杆；603、蜗杆；604、蜗轮；605、第二双向丝杆；7、限位板；8、限位软垫。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在对晶圆进行限位的过程中，需要使用到限位装置，本实用新型提供的晶圆限位装置，专门用于晶圆的限位作业。

其中，需要强调的是，在本申请中，基座1、晶圆放置台2为公告号：CN219497758U中所公布的现有技术。

本实用新型的自锁电机601为市面采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。

实施例

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：

晶圆限位装置，包括基座1，基座1底部的两侧固定连接有第一支撑板4，基座1底部的两端固定连接有第二支撑板5，第一支撑板4之间设置有联动组件6，联动组件6包括自锁电机601，自锁电机601和第一支撑板4的一侧相固定，自锁电机601的输出端固定连接有第一双向丝杆602，第一双向丝杆602的中心固定连接有蜗杆603，蜗杆603的底部啮合有蜗轮604，蜗轮604的中心贯穿且固定连接有第二双向丝杆605，第一双向丝杆602贯穿第一支撑板4并与其转动连接，第二双向丝杆605贯穿第二支撑板5并与其转动连接，基座1的顶部中心固定连接有晶圆放置台2，基座1内部的两端、两侧均开设有调节口3，第一双向丝杆602、第二双向丝杆605的外壁端点均螺纹连接有限位板7，限位板7设置在调节口3的内部并与其滑动连接，限位板7之间相邻方向的顶部均固定连接有限位软垫8，限位软垫8的设置高度大于晶圆放置台2。

本实施例中，通过将不同尺寸的晶圆放置到晶圆放置台2顶部，然后启动自锁电机601带动第一双向丝杆602、蜗杆603转动，同步的，蜗杆603带动蜗轮604、第二双向丝杆605转动，同时，第一双向丝杆602、第二双向丝杆605带动限位板7、限位软垫8逐渐靠近，限位软垫8逐渐完成对不同尺寸晶圆的夹持限位作业，提高了装置的适用性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.晶圆限位装置，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)底部的两侧固定连接有第一支撑板(4)，所述基座(1)底部的两端固定连接有第二支撑板(5)，所述第一支撑板(4)之间设置有联动组件(6)，所述联动组件(6)包括自锁电机(601)，所述自锁电机(601)和第一支撑板(4)的一侧相固定，所述自锁电机(601)的输出端固定连接有第一双向丝杆(602)，所述第一双向丝杆(602)的中心固定连接有蜗杆(603)，所述蜗杆(603)的底部啮合有蜗轮(604)，所述蜗轮(604)的中心贯穿且固定连接有第二双向丝杆(605)。

2.根据权利要求1所述的晶圆限位装置，其特征在于：所述第一双向丝杆(602)贯穿第一支撑板(4)并与其转动连接，所述第二双向丝杆(605)贯穿第二支撑板(5)并与其转动连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆限位装置，其特征在于：所述基座(1)的顶部中心固定连接有晶圆放置台(2)，所述基座(1)内部的两端、两侧均开设有调节口(3)。

4.根据权利要求3所述的晶圆限位装置，其特征在于：所述第一双向丝杆(602)、第二双向丝杆(605)的外壁端点均螺纹连接有限位板(7)，所述限位板(7)设置在调节口(3)的内部并与其滑动连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆限位装置，其特征在于：所述限位板(7)之间相邻方向的顶部均固定连接有限位软垫(8)，所述限位软垫(8)的设置高度大于晶圆放置台(2)。