CN222387333U - 具有烟尘过滤功能的切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了具有烟尘过滤功能的切割装置，属于晶片切割技术领域，针对了切割产生的烟尘不仅污染环境也影响工人的健康，且切割碎屑容易附着在晶片上影响晶片质量的问题，包括底座，底座顶面固定连接有固定挡板，底座顶面开设有开槽，底座顶面固定连接有竖板；本实用新型通过L型卡板移动对晶片原材料进行固定，抽风机对烟尘进行吸取，通过活性炭滤板进行过滤，过滤后的烟尘进入水箱内，经过净化用水进行净化，通过排气孔进行排出，通过设置收集槽，铲板将吸尘框内收集的切割碎屑进行铲动，碎屑通过收集槽落入收集盒内进行收集，有效避免了切割产生的烟尘不仅污染环境也影响工人的健康，且切割碎屑容易附着在晶片上影响晶片质量的问题。

Description

具有烟尘过滤功能的切割装置

技术领域

本实用新型属于晶片切割技术领域，具体涉及具有烟尘过滤功能的切割装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能在导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，随着社会的发展，越来越多的半导体晶片被应用于各种场合，晶片的需求量越来越大，对晶片的质量要求越来越高，晶片制造前道工序中需将晶片胚体进行切割，使其形成圆盘型结构的晶圆，切割过程对晶片效率和晶片质量有非常大的影响。

当半导体晶片需要切割时常使用半导体晶片切割机，目前大多数的半导体晶片切割机在切割过程中容易产生大量烟尘，加之车间内部空气流通性较差，污染环境的同时也极大的影响了工作人员的身体健康，且切割产生的碎屑容易附着在晶片上，影响晶片切割的质量。

因此，需要具有烟尘过滤功能的切割装置，解决现有技术中存在的切割产生的烟尘不仅污染环境也影响工人的健康，且切割碎屑容易附着在晶片上影响晶片质量的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供具有烟尘过滤功能的切割装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：具有烟尘过滤功能的切割装置，包括底座，所述底座顶面固定连接有固定挡板，所述底座顶面开设有开槽，所述底座顶面固定连接有竖板，所述竖板一端外壁中心处固定连接有气缸，所述底座一侧外壁对应开槽处固定连接有伺服电机，所述伺服电机输出端同轴固定连接有往复螺纹杆，所述往复螺纹杆远离伺服电机的一端转动贯穿底座一侧外壁且与开槽一侧内壁转动连接，所述往复螺纹杆外表面螺纹连接有移动杆，所述移动杆一端顶面固定连接有固定板，所述固定板底面固定连接有电动推杆，所述电动推杆输出端同轴固定连接有安装板，所述安装板底面固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端同轴固定连接有切割刀片，所述气缸输出端设置有吸尘机构，所述底座内部设置有收集机构。

方案中需要说明的是，所述吸尘机构包括与气缸输出端同轴固定连接的吸尘框，所述吸尘框内壁固定卡设有活性炭滤板，所述活性炭滤板一端外壁底部固定连接有两个呈平行分布的连接柱，两个所述连接柱远离活性炭滤板的一端固定连接有同一L型卡板，所述吸尘框靠近气缸的一端两侧均开设有多个呈均匀分布的通气孔，所述吸尘框一端外壁对应通气孔处设置有两个呈平行分布的抽风机，两个所述抽风机远离吸尘框的一端外壁均固定连通有波纹管，所述L型卡板横向段靠近连接柱的一端外壁固定连接有铲板。

进一步值得说明的是，所述吸尘机构还包括两个呈平行分布的水箱，两个所述水箱一端外壁与底座一端外壁固定连接且分别与两个抽风机相对应，所述波纹管远离抽风机的一端贯穿水箱顶面并延伸至水箱的内腔，所述水箱顶面一侧开设有多个呈圆周分布的排气孔。

更进一步需要说明的是，所述收集机构包括收集槽和通槽，所述收集槽开设在底座顶面，所述通槽开设在底座对应收集槽的一侧外壁处，所述收集槽内活动设置有收集盒，所述收集盒一端外壁穿过通槽且固定连接有拉手。

作为一种优选的实施方式，所述固定挡板设置为L型结构且与L型卡板相配合，所述收集盒外表面与收集槽和通槽内壁滑动连接。

作为一种优选的实施方式，所述吸尘框底面与底座顶面滑动连接，所述L型卡板底面与底座顶面相贴合。

与现有技术相比，本实用新型提供的具有烟尘过滤功能的切割装置，至少包括如下有益效果：

(1)通过吸尘机构的作用，吸尘框移动带动L型卡板移动对晶片原材料进行固定，抽风机对切割产生的烟尘进行吸取，通过活性炭滤板进行吸附过滤，过滤后的烟尘通过波纹管进入水箱内，经过净化用水进行净化，通过排气孔对过滤净化后的烟尘进行排出，使用方便，吸收过滤效果较好，有效避免了切割产生的烟尘不仅污染环境也影响工人的健康的问题。

(2)通过设置收集槽，在吸尘框进行复位时，铲板将吸尘框内收集的切割碎屑进行铲动，碎屑通过收集槽落入收集盒内进行收集集中，经过一段时间的收集后，拉动拉手将收集盒取出，对收集到的碎屑进行清理，操作简单，有效避免了切割碎屑容易附着在晶片上影响晶片质量的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的底座俯视结构示意图；

图3为本实用新型的吸尘框侧视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的水箱侧视剖面结构示意图。

图中：1、底座；2、固定挡板；3、开槽；4、竖板；5、气缸；6、吸尘机构；61、吸尘框；62、活性炭滤板；63、连接柱；64、L型卡板；65、通气孔；66、抽风机；67、波纹管；68、铲板；69、水箱；610、排气孔；7、收集机构；71、收集槽；72、通槽；73、收集盒；74、拉手；8、伺服电机；9、往复螺纹杆；10、移动杆；11、固定板；12、电动推杆；13、安装板；14、驱动电机；15、切割刀片。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。

请参阅图1-图4，本实用新型提供具有烟尘过滤功能的切割装置，包括底座1，底座1顶面固定连接有固定挡板2，底座1顶面开设有开槽3，底座1顶面固定连接有竖板4，竖板4一端外壁中心处固定连接有气缸5，底座1一侧外壁对应开槽3处固定连接有伺服电机8，伺服电机8输出端同轴固定连接有往复螺纹杆9，往复螺纹杆9远离伺服电机8的一端转动贯穿底座1一侧外壁且与开槽3一侧内壁转动连接，往复螺纹杆9外表面螺纹连接有移动杆10，移动杆10一端顶面固定连接有固定板11，固定板11底面固定连接有电动推杆12，电动推杆12输出端同轴固定连接有安装板13，安装板13底面固定连接有驱动电机14，驱动电机14输出端同轴固定连接有切割刀片15，气缸5输出端设置有吸尘机构6，底座1内部设置有收集机构7。

进一步地如图1、图3和图4所示，值得具体说明的是，吸尘机构6包括与气缸5输出端同轴固定连接的吸尘框61，吸尘框61内壁固定卡设有活性炭滤板62，活性炭滤板62一端外壁底部固定连接有两个呈平行分布的连接柱63，两个连接柱63远离活性炭滤板62的一端固定连接有同一L型卡板64，吸尘框61靠近气缸5的一端两侧均开设有多个呈均匀分布的通气孔65，吸尘框61一端外壁对应通气孔65处设置有两个呈平行分布的抽风机66，两个抽风机66远离吸尘框61的一端外壁均固定连通有波纹管67，L型卡板64横向段靠近连接柱63的一端外壁固定连接有铲板68，通过L型卡板64的移动对晶片原材料进行固定，通过抽风机66将切割产生的烟尘进行吸取。

进一步地如图3和图4所示，值得具体说明的是，吸尘机构6还包括两个呈平行分布的水箱69，两个水箱69一端外壁与底座1一端外壁固定连接且分别与两个抽风机66相对应，波纹管67远离抽风机66的一端贯穿水箱69顶面并延伸至水箱69的内腔，水箱69顶面一侧开设有多个呈圆周分布的排气孔610，过滤后的烟尘进入水箱69内并通过净化用水进行净化，净化后的烟尘通过排气孔610进行排出。

进一步地如图1和图2所示，值得具体说明的是，收集机构7包括收集槽71和通槽72，收集槽71开设在底座1顶面，通槽72开设在底座1对应收集槽71的一侧外壁处，收集槽71内活动设置有收集盒73，收集盒73一端外壁穿过通槽72且固定连接有拉手74，切割碎屑通过收集槽71落入收集盒73内部，通过拉手74将收集盒73取出进行清理。

进一步地如图1和图2所示，值得具体说明的是，固定挡板2设置为L型结构且与L型卡板64相配合，便于对晶片原材料进行固定，收集盒73外表面与收集槽71和通槽72内壁滑动连接，便于工作人员将收集盒73取出并对其进行清理。

进一步地如图1所示，值得具体说明的是，吸尘框61底面与底座1顶面滑动连接，提高吸尘框61在底座1上的移动性，L型卡板64底面与底座1顶面相贴合，提高对晶片原材料的固定程度。

综上：该切割装置在使用时，首先由工作人员将晶片原材料放置到底座1顶面位于固定挡板2和L型卡板64之间位置，开启气缸5推动吸尘框61进行移动，吸尘框61移动带动L型卡板64进行移动，对晶片原材料进行固定，然后开启抽风机66、伺服电机8、电动推杆12和驱动电机14，在伺服电机8、电动推杆12和驱动电机14的配合下，对晶片原材料进行切割，此时切割产生的烟尘在抽风机66的作用下通过吸尘框61吸收，吸收后的烟尘通过活性炭滤板62对微小颗粒进行吸附过滤，过滤后的烟尘通过波纹管67排入水箱69内，经过水箱69内的净化用水对烟尘进行进一步的净化，经过过滤净化后的烟尘通过排气孔610进行排出，实现对烟尘的过滤，有效避免了切割产生的烟尘不仅污染环境也影响工人的健康的问题。

抽风机66对烟尘进行吸取的同时将切割产生的碎屑进行吸附，活性炭滤板62将碎屑进行阻挡，在切割工作结束后关闭抽风机66，此时吸附的碎屑落在活性炭滤板62与L型卡板64之间，开启气缸5带动吸尘框61复位，在吸尘框61移动的同时通过铲板68将碎屑进行铲动，通过开设的收集槽71落入收集盒73内，经过一段时间的收集后，由工作人员拉动拉手74将收集盒73从底座1内进行取出，实现对收集后的碎屑的清理，有效避免了切割碎屑容易附着在晶片上影响晶片质量的问题。

气缸5、抽风机66、伺服电机8、电动推杆12和驱动电机14可采用市场购置，气缸5、抽风机66、伺服电机8、电动推杆12和驱动电机14配有电源，在本领域属于成熟技术，已充分公开，因此说明书中不重复赘述。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.具有烟尘过滤功能的切割装置，包括底座(1)，所述底座(1)顶面固定连接有固定挡板(2)，所述底座(1)顶面开设有开槽(3)，所述底座(1)顶面固定连接有竖板(4)，其特征在于，所述竖板(4)一端外壁中心处固定连接有气缸(5)，所述底座(1)一侧外壁对应开槽(3)处固定连接有伺服电机(8)，所述伺服电机(8)输出端同轴固定连接有往复螺纹杆(9)，所述往复螺纹杆(9)远离伺服电机(8)的一端转动贯穿底座(1)一侧外壁且与开槽(3)一侧内壁转动连接，所述往复螺纹杆(9)外表面螺纹连接有移动杆(10)，所述移动杆(10)一端顶面固定连接有固定板(11)，所述固定板(11)底面固定连接有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)输出端同轴固定连接有安装板(13)，所述安装板(13)底面固定连接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)输出端同轴固定连接有切割刀片(15)，所述气缸(5)输出端设置有吸尘机构(6)，所述底座(1)内部设置有收集机构(7)。

2.根据权利要求1所述的具有烟尘过滤功能的切割装置，其特征在于：所述吸尘机构(6)包括与气缸(5)输出端同轴固定连接的吸尘框(61)，所述吸尘框(61)内壁固定卡设有活性炭滤板(62)，所述活性炭滤板(62)一端外壁底部固定连接有两个呈平行分布的连接柱(63)，两个所述连接柱(63)远离活性炭滤板(62)的一端固定连接有同一L型卡板(64)，所述吸尘框(61)靠近气缸(5)的一端两侧均开设有多个呈均匀分布的通气孔(65)，所述吸尘框(61)一端外壁对应通气孔(65)处设置有两个呈平行分布的抽风机(66)，两个所述抽风机(66)远离吸尘框(61)的一端外壁均固定连通有波纹管(67)，所述L型卡板(64)横向段靠近连接柱(63)的一端外壁固定连接有铲板(68)。

3.根据权利要求2所述的具有烟尘过滤功能的切割装置，其特征在于：所述吸尘机构(6)还包括两个呈平行分布的水箱(69)，两个所述水箱(69)一端外壁与底座(1)一端外壁固定连接且分别与两个抽风机(66)相对应，所述波纹管(67)远离抽风机(66)的一端贯穿水箱(69)顶面并延伸至水箱(69)的内腔，所述水箱(69)顶面一侧开设有多个呈圆周分布的排气孔(610)。

4.根据权利要求3所述的具有烟尘过滤功能的切割装置，其特征在于：所述收集机构(7)包括收集槽(71)和通槽(72)，所述收集槽(71)开设在底座(1)顶面，所述通槽(72)开设在底座(1)对应收集槽(71)的一侧外壁处，所述收集槽(71)内活动设置有收集盒(73)，所述收集盒(73)一端外壁穿过通槽(72)且固定连接有拉手(74)。

5.根据权利要求4所述的具有烟尘过滤功能的切割装置，其特征在于：所述固定挡板(2)设置为L型结构且与L型卡板(64)相配合，所述收集盒(73)外表面与收集槽(71)和通槽(72)内壁滑动连接。

6.根据权利要求5所述的具有烟尘过滤功能的切割装置，其特征在于：所述吸尘框(61)底面与底座(1)顶面滑动连接，所述L型卡板(64)底面与底座(1)顶面相贴合。