CN222337519U - 一种半导体生产用温控设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体生产技术领域，本实用新型公开了一种半导体生产用温控设备；包括温控箱，温控箱的一端设有安装孔，安装孔的内部通过螺栓安装有盖板，盖板的一端安装有温度感应器；温控箱的两侧嵌设有散热网，温控箱另一端的底部安装有水箱，温控箱另一端的顶部安装有连接箱，水箱的一端安装有水泵，水泵的输出端安装有循环管。本实用新型外部环境温度骤降时，伸缩橡胶管处于展开状态闭合散热网，起到保温作用，避免设备受外部环境的影响，散热时，通过水箱、水泵、循环管、连接箱和连接管的配合使用对设备冷却，增加了往复机构，冷却液流动时通过往复机构带动伸缩橡胶管折叠收纳，从而实现散热网的打开，增加散热效果。

Description

一种半导体生产用温控设备

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种半导体生产用温控设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，在半导体生产中，半导体温控是利用半导体材料的热敏特性进行温度控制，当电流通过半导体材料时，材料会吸收部分电能并转化为热能，使器件发热或冷却，通过控制电流的大小和通断时间，可以精确控制半导体的温度，实现温度的升高或降低。

经检索，专利号为“CN219533687U”的实用新型提供了一种半导体生产用温控设备，该半导体生产用温控设备，通过设置的第二散热孔，使该设备内部温度不高时，热量能够直接通过第二散热孔排出，通过设置的循环冷却管，使负载设备所产生的温度无法通过第二散热孔排完时来对负载设备进行冷却，通过设置的风扇和第一散热孔，使该设备内部温度过高时，也能及时的将外壳体内的温度降低，避免了外壳体内部温度过高而造成设备使用寿命降低的情况发生，但是该设备在半导体生产过程中，没有考虑到不使用时散热孔处于常打开状态，温度骤降，设备受外部环境的影响，会导致设备受影响无法使用。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提出一种半导体生产用温控设备。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产用温控设备，包括温控箱，所述温控箱的一端设有安装孔，所述安装孔的内部通过螺栓安装有盖板，所述盖板的一端安装有温度感应器；

所述温控箱的两侧嵌设有散热网；

所述温控箱另一端的底部安装有水箱，所述温控箱另一端的顶部安装有连接箱，所述水箱的一端安装有水泵，所述水泵的输出端安装有循环管，所述循环管位于温控箱的内腔，所述循环管的外侧设有往复机构，所述循环管的上端与连接箱的一端固接，所述连接箱和水箱之间连接有连接管；

所述温控箱内部的另一端连接有伸缩橡胶管，所述伸缩橡胶管的一端连接有连接框，所述连接框的内侧对称安装有固定板，所述固定板的一端通过限位弹簧与温控箱的内壁弹性连接。

进一步地，所述往复机构包括固定杆、皮带传动组件、侧板、限位板和安装盒，所述固定杆安装在循环管的两侧，所述固定杆的上端转动连接有转杆，所述转杆插入循环管内部的外侧阵列安装有叶片。

进一步地，所述转杆的两侧和温控箱的内壁安装有皮带传动组件，所述皮带传动组件由两个皮带轮外侧张紧套设皮带组成，一个所述皮带轮安装在转杆的一侧，另一个所述皮带轮转动安装在温控箱的内壁。

进一步地，所述皮带的外侧安装有安装板，所述安装板的内侧安装有冠齿轮一，所述冠齿轮一的外侧通过扭转弹簧转动连接有挡板，所述侧板安装在固定板的内侧，且与挡板滑动抵触。

进一步地，所述挡板的两侧设有与冠齿轮一转动连接的转槽，所述转槽的内部通过定位弹簧弹性连接有与冠齿轮一滑动啮合的冠齿轮二，所述冠齿轮二的外侧对称安装有与转槽滑动连接的限位块，所述转槽与限位块滑动部位呈直线凹陷。

进一步地，所述冠齿轮二的外侧安装有按压杆，所述冠齿轮一和安装板贴合的一面开设有与按压杆尺寸相适配的通孔，所述限位板安装在温控箱的内壁，且与按压杆滑动连接。

进一步地，所述安装盒安装在温控箱的外侧，所述安装盒的内部安装有气缸，所述气缸的输出端安装有固定框，所述温控箱的内壁开设有与固定框滑动连接的凹槽，所述固定框的一侧开设有开口，所述开口的内部通过缓冲弹簧弹性连接有定位块，所述定位块的一侧设有与连接框滑动连接的斜面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：外部环境温度骤降时，伸缩橡胶管处于展开状态闭合散热网，起到保温作用，避免设备受外部环境的影响，散热时，通过水箱、水泵、循环管、连接箱和连接管的配合使用对设备冷却，增加了往复机构，冷却液流动时通过往复机构带动伸缩橡胶管折叠收纳，从而实现散热网的打开，增加散热效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的温控箱内部结构剖视图；

图3为本实用新型的图2中A处结构放大图；

图4为本实用新型的挡板内部结构剖视图；

图5为本实用新型的温控箱内部结构俯视图；

图6为本实用新型的图5中B处结构放大图。

图中：

1、温控箱；101、盖板；102、温度感应器；2、散热网；3、水箱；4、循环管；5、连接箱；6、连接管；7、伸缩橡胶管；8、连接框；9、固定板；10、限位弹簧；11、固定杆；12、转杆；13、叶片；14、皮带传动组件；1401、安装板；15、挡板；16、侧板；17、限位板；18、冠齿轮一；19、冠齿轮二；1901、限位块；20、定位弹簧；21、按压杆；22、安装盒；23、气缸；24、固定框；25、缓冲弹簧；26、定位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供以下技术方案：一种半导体生产用温控设备，包括温控箱1，温控箱1的一端设有安装孔，安装孔的内部通过螺栓安装有盖板101，通过螺栓拆除盖板101，方便对温控箱1内部零件维修，盖板101的一端安装有温度感应器102，具体实施时，可选用pt100型温度传感器，通过温度感应器102监测温控箱1内部温度，温度感应器102与水泵和气缸23电性连接，温控箱1的两侧嵌设有散热网2，散热网2的内部开设有密集的网孔，通过网孔实现温控箱1内部与外部空气的导通，从而实现温控箱1内部热量的散发。

温控箱1另一端的底部安装有水箱3，温控箱1另一端的顶部安装有连接箱5，水箱3的一端安装有水泵，水泵的输出端安装有循环管4，循环管4位于温控箱1的内腔，循环管4的外侧设有往复机构，循环管4的上端与连接箱5的一端固接，连接箱5和水箱3之间连接有连接管6，连接管6呈螺旋状，增加冷却液在连接管6内部停留时间，提高连接管6内部冷却液散热效果，水箱3、连接箱5、循环管4和连接管6内部导通，水箱3的一端设有注水孔，通过注水孔能够往水箱3中添加冷却液，通过水泵实现冷却液在水箱3、连接箱5、循环管4和连接管6内部循环流动。

温控箱1内部的另一端连接有伸缩橡胶管7，伸缩橡胶管7的一端连接有连接框8，连接框8的内侧对称安装有固定板9，固定板9的一端通过限位弹簧10与温控箱1的内壁弹性连接，通过限位弹簧10实现伸缩橡胶管7压缩后的展开动作。

安装盒22安装在温控箱1的外侧，安装盒22的内部安装有气缸23，气缸23的输出端安装有固定框24，温控箱1的内壁开设有与固定框24滑动连接的凹槽，固定框24的一侧开设有开口，开口的内部通过缓冲弹簧25弹性连接有定位块26，定位块26的一侧设有与连接框8滑动连接的斜面，斜面起到减少定位块26与连接框8之间摩擦阻力的作用，通过气缸23移动固定框24，实现对定位块26位置的调节，从而解除定位块26对连接框8的限位。

往复机构包括固定杆11、皮带传动组件14、侧板16、限位板17和安装盒22，固定杆11安装在循环管4的两侧，固定杆11的上端转动连接有转杆12，转杆12插入循环管4内部的外侧阵列安装有叶片13，循环管4的外侧设有与转杆12转动连接的转孔，循环管4内部冷却液流动时，叶片13受到冷却液的阻力带动转杆12转动，转杆12的两侧和温控箱1的内壁安装有皮带传动组件14，皮带传动组件14由两个皮带轮外侧张紧套设皮带组成，一个皮带轮安装在转杆12的一侧，另一个皮带轮转动安装在温控箱1的内壁，皮带的外侧安装有安装板1401，安装板1401的内侧安装有冠齿轮一18，冠齿轮一18的外侧通过扭转弹簧转动连接有挡板15，通过扭转弹簧限位挡板15转动角度，侧板16安装在固定板9的内侧，且与挡板15滑动抵触，侧板16位于皮带的上端，且与皮带之间设有与挡板15滑动抵触的空隙，挡板15的两侧设有与冠齿轮一18转动连接的转槽，转槽的内部通过定位弹簧20弹性连接有与冠齿轮一18滑动啮合的冠齿轮二19，冠齿轮二19的外侧对称安装有与转槽滑动连接的限位块1901，转槽与限位块1901滑动部位呈直线凹陷，通过转槽和限位块1901限位冠齿轮二19只能够在转槽中实现滑动，冠齿轮一18与冠齿轮二19啮合时，通过限位块1901和转槽限位挡板15，使挡板15固定，冠齿轮二19的外侧安装有按压杆21，冠齿轮一18和安装板1401贴合的一面开设有与按压杆21尺寸相适配的通孔，按压杆21呈圆柱形能够在通孔中转动和滑动，限位板17安装在温控箱1的内壁，且与按压杆21滑动连接，按压杆21与限位板17接触的一侧呈圆形凸出，起到减少按压杆21与限位板17摩擦阻力的作用。

工作原理：不使用时，伸缩橡胶管7处于展开状态，伸缩橡胶管7与散热网2贴合闭合散热网2，设备使用时，启动水泵，水泵带动水箱3中冷却液进入循环管4，循环管4经过温控箱1的内腔将热量带入连接箱5，连接箱5中的冷却液进入螺旋形状的连接管6冷却，冷却后的冷却液循环流入水箱3中，循环管4内部的冷却液流动时带动叶片13转动，叶片13带动转杆12转动，转杆12带动皮带传动组件14转动，皮带传动组件14中的皮带通过安装板1401带动挡板15移动，挡板15移动至于侧板16贴合，带动连接框8移动，连接框8对伸缩橡胶管7挤压使伸缩橡胶管7压缩，连接框8带动固定板9移动挤压限位弹簧10，挡板15移动至与限位板17滑动连接，按压杆21受到限位板17挤压带动冠齿轮二19滑动，冠齿轮二19挤压定位弹簧20，此时冠齿轮二19与冠齿轮一18不接触，挡板15持续移动，受到侧板16阻力转动，挤压扭转弹簧，挡板15从侧板16的底部移动至与侧板16脱离接触后，受到扭转弹簧回弹力反向转动归位，此时按压杆21与限位板17不接触，定位弹簧20的推力带动冠齿轮二19与冠齿轮一18啮合，通过限位块1901和转槽实现挡板15的固定，连接框8滑动时与定位块26挤压接触，定位块26受压力向固定框24开口滑动并压缩缓冲弹簧25，挡板15与侧板16脱离接触时，连接框8滑动定位块26的一端，缓冲弹簧25的回弹力带动定位块26与连接框8的一端抵触，此时伸缩橡胶管7处于折叠状态，散热网2网孔打开，温控箱1内部热量通过散热网2散发，不使用时启动气缸23，带动固定框24向温控箱1凹槽滑动，通过缓冲弹簧25带动定位块26进入温控箱1凹槽中，此时连接框8不受定位块26抵触，限位弹簧10的回弹力带动固定板9和连接框8反向滑动，从而实现伸缩橡胶管7的展开。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种半导体生产用温控设备，包括温控箱(1)，其特征在于：所述温控箱(1)的一端设有安装孔，所述安装孔的内部通过螺栓安装有盖板(101)，所述盖板(101)的一端安装有温度感应器(102)；

所述温控箱(1)的两侧嵌设有散热网(2)；

所述温控箱(1)另一端的底部安装有水箱(3)，所述温控箱(1)另一端的顶部安装有连接箱(5)，所述水箱(3)的一端安装有水泵，所述水泵的输出端安装有循环管(4)，所述循环管(4)位于温控箱(1)的内腔，所述循环管(4)的外侧设有往复机构，所述循环管(4)的上端与连接箱(5)的一端固接，所述连接箱(5)和水箱(3)之间连接有连接管(6)；

所述温控箱(1)内部的另一端连接有伸缩橡胶管(7)，所述伸缩橡胶管(7)的一端连接有连接框(8)，所述连接框(8)的内侧对称安装有固定板(9)，所述固定板(9)的一端通过限位弹簧(10)与温控箱(1)的内壁弹性连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用温控设备，其特征在于，所述往复机构包括固定杆(11)、皮带传动组件(14)、侧板(16)、限位板(17)和安装盒(22)，所述固定杆(11)安装在循环管(4)的两侧，所述固定杆(11)的上端转动连接有转杆(12)，所述转杆(12)插入循环管(4)内部的外侧阵列安装有叶片(13)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用温控设备，其特征在于，所述转杆(12)的两侧和温控箱(1)的内壁安装有皮带传动组件(14)，所述皮带传动组件(14)由两个皮带轮外侧张紧套设皮带组成，一个所述皮带轮安装在转杆(12)的一侧，另一个所述皮带轮转动安装在温控箱(1)的内壁。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产用温控设备，其特征在于，所述皮带的外侧安装有安装板(1401)，所述安装板(1401)的内侧安装有冠齿轮一(18)，所述冠齿轮一(18)的外侧通过扭转弹簧转动连接有挡板(15)，所述侧板(16)安装在固定板(9)的内侧，且与挡板(15)滑动抵触。

5.根据权利要求4所述的一种半导体生产用温控设备，其特征在于，所述挡板(15)的两侧设有与冠齿轮一(18)转动连接的转槽，所述转槽的内部通过定位弹簧(20)弹性连接有与冠齿轮一(18)滑动啮合的冠齿轮二(19)，所述冠齿轮二(19)的外侧对称安装有与转槽滑动连接的限位块(1901)，所述转槽与限位块(1901)滑动部位呈直线凹陷。

6.根据权利要求5所述的一种半导体生产用温控设备，其特征在于，所述冠齿轮二(19)的外侧安装有按压杆(21)，所述冠齿轮一(18)和安装板(1401)贴合的一面开设有与按压杆(21)尺寸相适配的通孔，所述限位板(17)安装在温控箱(1)的内壁，且与按压杆(21)滑动连接。

7.根据权利要求2所述的一种半导体生产用温控设备，其特征在于，所述安装盒(22)安装在温控箱(1)的外侧，所述安装盒(22)的内部安装有气缸(23)，所述气缸(23)的输出端安装有固定框(24)，所述温控箱(1)的内壁开设有与固定框(24)滑动连接的凹槽，所述固定框(24)的一侧开设有开口，所述开口的内部通过缓冲弹簧(25)弹性连接有定位块(26)，所述定位块(26)的一侧设有与连接框(8)滑动连接的斜面。