CN222226600U - 一种晶圆凸块电铸模板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆凸块电铸模板，包括底板，所述底板的上方放置有电解液箱，所述底板的上表面固定连接有站板，所述站板的底面安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒的底端固定连接有吊板，所述吊板的底面固定连接有两个L形板，两个所述L形板的前端共同固定连接有放置框。本装置通过设置的放置框、L形板、吊板、电机、螺纹杆与螺纹筒的配合，利用电机的工作，能够带动螺纹杆在螺纹筒内部转动，螺纹筒便会在螺纹杆上移动，同时会带动放置框，放置框上的电铸模板便会逐渐的从电解液箱中分离，方便工作人员对电铸模板进行拿取，从而保证工作人员对晶圆凸块的生产效率。

Description

一种晶圆凸块电铸模板

技术领域

本实用新型涉及晶圆凸块电铸技术领域，尤其是一种晶圆凸块电铸模板。

背景技术

晶圆凸块电铸模板在晶圆制造过程中起着关键作用，它主要用于制作晶圆凸点，而制作晶圆凸点的关键步骤之一就是沉积凸点下的金属层，这个金属层不仅作为互联的键合层，还起到阻挡材料原子扩散至下层金属材料、粘接下层介电材料和金属层，以及阻挡污染物迁移的作用。

晶圆凸块是利用电解沉积的原理形成，但目前的电铸模板在使用时，当对晶圆凸块形成后，通常都是人工利用工具将电铸模板从电解液中取出，此种方式会影响工作人员对晶圆凸块的生产效率，为此，我们提出一种晶圆凸块电铸模板解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆凸块电铸模板，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆凸块电铸模板，包括底板，所述底板的上方放置有电解液箱，所述底板的上表面固定连接有站板，所述站板的底面安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒的底端固定连接有吊板，所述吊板的底面固定连接有两个L形板，两个所述L形板的前端共同固定连接有放置框，所述放置框的上方放置有电铸模板本体。

在进一步的实施例中，所述底板的上表面开设有两个定位槽，每个所述定位槽的内壁均插接有定位块，每个所述定位块的顶端均与电解液箱的底面相连接。

在进一步的实施例中，所述吊板的上表面固定连接有两个稳定板，每个所述稳定板的上表面均开设有滑孔，每个所述滑孔的内壁均滑动连接有稳定杆，每个所述稳定杆的顶端均与站板的底面相连接。

在进一步的实施例中，两个所述稳定杆的底端共同固定连接有支撑板，所述支撑板的背面与站板的正面相连接。

在进一步的实施例中，所述电解液箱的左右两侧面均固定连接有提把。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本装置通过设置的放置框、L形板、吊板、电机、螺纹杆与螺纹筒的配合，利用电机的工作，能够带动螺纹杆在螺纹筒内部转动，螺纹筒便会在螺纹杆上移动，同时会带动放置框，放置框上的电铸模板便会逐渐的从电解液箱中分离，方便工作人员对电铸模板进行拿取，从而保证工作人员对晶圆凸块的生产效率。

附图说明

图1为晶圆凸块电铸模板的立体结构示意图。

图2为晶圆凸块电铸模板的站板侧视图的立体结构示意图。

图3为晶圆凸块电铸模板的电解液箱正剖图的立体结构示意图。

图中：1、底板；2、电解液箱；3、站板；4、电机；5、提把；6、螺纹杆；7、螺纹筒；8、稳定板；9、吊板；10、L形板；11、支撑板；12、滑孔；13、稳定杆；14、电铸模板本体；15、放置框；16、定位槽；17、定位块。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型中，一种晶圆凸块电铸模板，包括底板1，底板1的上方放置有电解液箱2，底板1的上表面固定连接有站板3，站板3的底面安装有电机4，电机4的输出端固定连接有螺纹杆6，螺纹杆6的外表面螺纹连接有螺纹筒7，螺纹筒7的底端固定连接有吊板9，吊板9的底面固定连接有两个L形板10，两个L形板10的前端共同固定连接有放置框15，放置框15的上方放置有电铸模板本体14，利用电机4的工作，螺纹筒7会在螺纹杆6上移动，同时放置框15便会逐渐上升与电解液分离，工作人员便可以便捷的对电铸模板本体14进行拿取，能够保证工作人员对晶圆凸块的生产效率。

底板1的上表面开设有两个定位槽16，每个定位槽16的内壁均插接有定位块17，每个定位块17的顶端均与电解液箱2的底面相连接，利用定位块17与定位槽16的连接，可以形成对电解液箱2的稳定，从而能够让电解液箱2稳定在底板1上方。

吊板9的上表面固定连接有两个稳定板8，每个稳定板8的上表面均开设有滑孔12，每个滑孔12的内壁均滑动连接有稳定杆13，每个稳定杆13的顶端均与站板3的底面相连接，利用稳定杆13与滑孔12的连接，可以对吊板9进行稳定，能够防止吊板9出现转动的情况，从而确保了吊板9稳定上下滑动。

两个稳定杆13的底端共同固定连接有支撑板11，支撑板11的背面与站板3的正面相连接，利用支撑板11可以对稳定杆13支撑稳定，还能够对吊板9的下降距离进行限制。

电解液箱2的左右两侧面均固定连接有提把5，利用设置的提把5方便工作人员对电解液箱2提动搬运，可以让工作人员对电解液箱2便捷的清理。

本实用新型的工作原理是：当需要将电铸模板本体14取出时，启动电机4进行工作，电机4会带动螺纹杆6在螺纹筒7内部转动，螺纹筒7便会在螺纹杆6上逐步上升，同时L形板10便会提动放置框15上升从电解液箱2中脱离，电铸模板本体14便会与电解液箱2分离，静止等待电铸模板本体14上存留的电解液滴落至电解液箱2内部，便能够完成对电铸模板本体14的拿取，可以保证工作人员对晶圆凸块的生产效率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种晶圆凸块电铸模板，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的上方放置有电解液箱(2)，所述底板(1)的上表面固定连接有站板(3)，所述站板(3)的底面安装有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的外表面螺纹连接有螺纹筒(7)，所述螺纹筒(7)的底端固定连接有吊板(9)，所述吊板(9)的底面固定连接有两个L形板(10)，两个所述L形板(10)的前端共同固定连接有放置框(15)，所述放置框(15)的上方放置有电铸模板本体(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块电铸模板，其特征在于：所述底板(1)的上表面开设有两个定位槽(16)，每个所述定位槽(16)的内壁均插接有定位块(17)，每个所述定位块(17)的顶端均与电解液箱(2)的底面相连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块电铸模板，其特征在于：所述吊板(9)的上表面固定连接有两个稳定板(8)，每个所述稳定板(8)的上表面均开设有滑孔(12)，每个所述滑孔(12)的内壁均滑动连接有稳定杆(13)，每个所述稳定杆(13)的顶端均与站板(3)的底面相连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆凸块电铸模板，其特征在于：两个所述稳定杆(13)的底端共同固定连接有支撑板(11)，所述支撑板(11)的背面与站板(3)的正面相连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块电铸模板，其特征在于：所述电解液箱(2)的左右两侧面均固定连接有提把(5)。