CN222126443U - 一种热循环真空退火炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空退火炉技术领域，且公开了一种热循环真空退火炉，包括主体机构和辅助机构，所述辅助机构位于主体机构的内端，所述主体机构包括炉体、防火盖和循环组件，所述防火盖活动安装在炉体的外端，所述循环组件固定安装在炉体的外端，所述循环组件包括温度传感器、进气管一和泵体，所述温度传感器固定安装在炉体的内端，所述进气管一固定安装在炉体的左侧。该热循环真空退火炉，通过对于主体机构的安装，温度传感器可以对炉体内部的温度进行感知，并在控制面板进行显示，泵体通过进气管一和排气管二将炉体内部的气体抽送到出气嘴，再由出气嘴排出，加入炉体内部的热气循环，有效地提升了退火炉的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空退火炉技术领域，具体为一种热循环真空退火炉。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
现有专利CN211771459U一种非晶及纳米晶加工用卧式真空退火炉献文提出，本实用新型包括架体和支撑架，架体的上端左侧固接有支撑架，支撑架的内部安装有炉胆，炉胆的左侧紧密贴合有炉盖，炉盖的左端中心内部安装有循环风机，炉胆的上方中心安装有真空抽气管道，炉胆的上方前后两侧安装有冷却管道，炉胆的右侧外壁设有炉体，炉体呈一侧开口的圆筒状，炉体与炉胆滑动卡接。本实用新型在原有的设备基础上进行改造和优化，提高了材料处理的一致性和均匀性，提高了热处理过程中的快速加热以致减少热能的损耗，进一步提高了操作的自动化程度，通过装料料车与炉胆和炉胆与炉体之间的两两滑动卡接的相向移动，期间可通过圆筒形炉体内部的加热组件实现加热加工，避免了现有技术的炉体形状为方形导致加热效果和均匀性较差的问题。
但是现有专利CN211771459U虽然通过装料料车与炉胆和炉胆与炉体之间的两两滑动卡接的相向移动，期间可通过圆筒形炉体内部的加热组件实现加热加工，避免了现有技术的炉体形状为方形导致加热效果和均匀性较差的问题，但是当退火炉长时间工作时，其内部可能产生较大的能耗。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型的目的在于提供一种热循环真空退火炉，以解决上述背景技术中提到的上述技术中当退火炉长时间工作时，其内部可能产生较大的能耗的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热循环真空退火炉，包括主体机构和辅助机构，所述辅助机构位于主体机构的内端，所述主体机构包括炉体、防火盖和循环组件，所述防火盖活动安装在炉体的外端，所述循环组件固定安装在炉体的外端；所述循环组件包括温度传感器、进气管一和泵体，所述温度传感器固定安装在炉体的内端，所述进气管一固定安装在炉体的左侧，所述泵体固定安装在进气管一的上端。
优选的，所述循环组件还包括排气管二、出气嘴和控制面板，所述排气管二固定安装在泵体和炉体的中端，温度传感器可以对炉体内部的温度进行感知，并在控制面板进行显示。
优选的，所述出气嘴固定安装在炉体内端的上端，所述控制面板固定安装在炉体的右侧，所述控制面板信号连接温度传感器，泵体通过进气管一和排气管二将炉体内部的气体抽送到出气嘴，再由出气嘴排出，加入炉体内部的热气循环，有效地提升了退火炉的实用性。
优选的，所述辅助机构包括防潮底座、液氮仓、气阀、喷气口和放置台，所述防潮底座固定安装在炉体的下端，防潮底座的安装起到了防潮的作用。
优选的，所述液氮仓固定安装在炉体内端的下端，所述气阀固定安装在液氮仓的上方，氮仓通过气阀为喷气口供气。
优选的，所述喷气口固定安装在炉体内端的左右两端，所述放置台固定安装在炉体的内部，所述放置台固定安装在液氮仓的上方，喷气口可对放置台上的物料进行冷却退火，有效地提升了退火炉的实用性。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该热循环真空退火炉，通过对于主体机构的安装，温度传感器可以对炉体内部的温度进行感知，并在控制面板进行显示，泵体通过进气管一和排气管二将炉体内部的气体抽送到出气嘴，再由出气嘴排出，加入炉体内部的热气循环，起到节能效果，有效地提升了退火炉的实用性；
2、该热循环真空退火炉，通过对于辅助机构的安装，防潮底座的安装起到了防潮的作用，液氮仓通过气阀为喷气口供气，喷气口可对放置台上的物料进行冷却退火，有效地提升了退火炉的实用性。
附图说明
图1为本实用新型立体结构示意图；
图2为本实用新型剖面结构示意图；
图3为本实用新型局部立体结构示意图；
图4为本实用新型局部剖面结构示意图。
图中：1、主体机构；101、炉体；102、防火盖；103、循环组件；1031、温度传感器；1032、进气管一；1033、泵体；1034、排气管二；1035、出气嘴；1036、控制面板；2、辅助机构；201、防潮底座；202、液氮仓；203、气阀；204、喷气口；205、放置台。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种热循环真空退火炉，包括主体机构1和辅助机构2，辅助机构2位于主体机构1的内端，主体机构1包括炉体101、防火盖102和循环组件103，防火盖102活动安装在炉体101的外端，循环组件103固定安装在炉体101的外端；循环组件103包括温度传感器1031、进气管一1032和泵体1033，温度传感器1031固定安装在炉体101的内端，进气管一1032固定安装在炉体101的左侧，泵体1033固定安装在进气管一1032的上端，循环组件103还包括排气管二1034、出气嘴1035和控制面板1036，排气管二1034固定安装在泵体1033和炉体101的中端，出气嘴1035固定安装在炉体101内端的上端，控制面板1036固定安装在炉体101的右侧，控制面板1036信号连接温度传感器1031。
辅助机构2包括防潮底座201、液氮仓202、气阀203、喷气口204和放置台205，防潮底座201固定安装在炉体101的下端，液氮仓202固定安装在炉体101内端的下端，气阀203固定安装在液氮仓202的上方，喷气口204固定安装在炉体101内端的左右两端，放置台205固定安装在炉体101的内部，放置台205固定安装在液氮仓202的上方，在使用热循环真空退火炉时，温度传感器1031可以对炉体101内部的温度进行感知，并在控制面板1036进行显示，泵体1033通过进气管一1032和排气管二1034将炉体101内部的气体抽送到出气嘴1035，再由出气嘴1035排出，加入炉体101内部的热气循环，防潮底座201的安装起到了防潮的作用，液氮仓202通过气阀203为喷气口204供气，喷气口204可对放置台205上的物料进行冷却退火。
工作原理：在使用热循环真空退火炉时，温度传感器1031可以对炉体101内部的温度进行感知，并在控制面板1036进行显示，泵体1033通过进气管一1032和排气管二1034将炉体101内部的气体抽送到出气嘴1035，再由出气嘴1035排出，加入炉体101内部的热气循环，防潮底座201的安装起到了防潮的作用，液氮仓202通过气阀203为喷气口204供气，喷气口204可对放置台205上的物料进行冷却退火。
最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
Claims (6)
1.一种热循环真空退火炉，包括主体机构(1)和辅助机构(2)，其特征在于：所述辅助机构(2)位于主体机构(1)的内端，所述主体机构(1)包括炉体(101)、防火盖(102)和循环组件(103)，所述防火盖(102)活动安装在炉体(101)的外端，所述循环组件(103)固定安装在炉体(101)的外端；
所述循环组件(103)包括温度传感器(1031)、进气管一(1032)和泵体(1033)，所述温度传感器(1031)固定安装在炉体(101)的内端，所述进气管一(1032)固定安装在炉体(101)的左侧，所述泵体(1033)固定安装在进气管一(1032)的上端。
2.根据权利要求1所述的一种热循环真空退火炉，其特征在于：所述循环组件(103)还包括排气管二(1034)、出气嘴(1035)和控制面板(1036)，所述排气管二(1034)固定安装在泵体(1033)和炉体(101)的中端。
3.根据权利要求2所述的一种热循环真空退火炉，其特征在于：所述出气嘴(1035)固定安装在炉体(101)内端的上端，所述控制面板(1036)固定安装在炉体(101)的右侧，所述控制面板(1036)信号连接温度传感器(1031)。
4.根据权利要求3所述的一种热循环真空退火炉，其特征在于：所述辅助机构(2)包括防潮底座(201)、液氮仓(202)、气阀(203)、喷气口(204)和放置台(205)，所述防潮底座(201)固定安装在炉体(101)的下端。
5.根据权利要求4所述的一种热循环真空退火炉，其特征在于：所述液氮仓(202)固定安装在炉体(101)内端的下端，所述气阀(203)固定安装在液氮仓(202)的上方。
6.根据权利要求5所述的一种热循环真空退火炉，其特征在于：所述喷气口(204)固定安装在炉体(101)内端的左右两端，所述放置台(205)固定安装在炉体(101)的内部，所述放置台(205)固定安装在液氮仓(202)的上方。
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