CN221984732U - 一种石英坩埚表面打磨装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及打磨装置技术领域。具体公开了一种石英坩埚表面打磨装置，包括机壳，所述机壳上设置有用于放置石英坩埚的支撑架，所述支撑架上转动设置有两个相互平行的支撑辊，所述支撑辊的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机，所述机壳的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件，所述机壳上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件，所述支撑架上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件。本实用新型的优点是通过设置第一打磨组件和第二打磨组件，从而能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨，打磨过程中，能够显著降低工作人员的劳动强度，并且提高打磨效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及打磨装置技术领域，特别是一种石英坩埚表面打磨装置。
背景技术
石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。用此坩埚取代小的透明石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，在坩埚的生产过程中，打磨是十分重要的工艺，现有的打磨装置，常采用人工手动打磨，工人劳动强度大，打磨效率低下，提高了生产成本，并且人工打磨的过程磨掉的厚度不一致。
实用新型内容
为了能够克服现有技术人工打磨劳动强度大，打磨效率低的缺点，本申请提供一种石英坩埚表面打磨装置。
本申请提供的一种石英坩埚表面打磨装置，采用如下的技术方案：
一种石英坩埚表面打磨装置，包括机壳，所述机壳上设置有用于放置石英坩埚的支撑架，所述支撑架上转动设置有两个相互平行的支撑辊，所述支撑辊的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机，所述机壳的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件，所述机壳上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件，所述机壳内并位于支撑架的底部设置有废水回收箱，所述支撑架上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件。
通过采用上述技术方案，转动电机驱动支撑辊转动，支撑辊转动的过程中将带动石英坩埚转动，石英坩埚转动的过程中，第一打磨组件和第二打磨组件将能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨，供水组件能够将水喷射至石英坩埚的表面，从而对打磨过程中的石英坩埚表面进行降温，并且进行降尘，打磨过程中，能够显著降低工作人员的劳动强度，并且提高打磨效率。
可选的，所述第一打磨组件包括两根相互平行的支撑轨道，两根所述支撑轨道均固定设置在机壳上，并且两根所述支撑轨道之间滑动设置有支撑板，所述支撑板上转动设置有打磨辊，所述打磨辊的一端同轴设置有用于驱动自身转动的第一驱动电机，所述支撑板上设置有弧型的防飞溅板，其中一个支撑轨道上设置有一根丝杆，所述丝杆穿设在支撑板上，所述丝杆的一端同轴设置有第二驱动电机。
通过采用上述技术方案，启动第二驱动电机，第二驱动电机转动时将带动丝杆转动，丝杆转动的过程中将带动支撑板沿着支撑轨道的长度方向滑动至指定的位置，然后启动第一驱动电机，第一驱动电机转动的过程中将带动打磨辊转动，打磨辊转动的过程中将对石英坩埚的侧面进行打磨，防飞溅板能够降低打磨过程中石英坩埚表面的产生的灰尘的飞溅。
可选的，所述第二打磨组件包括滑轨，所述滑轨固定设置在机壳上，所述滑轨上滑动设置有滑动座，所述滑动座上转动设置有转轴，所述转轴的一端同轴设置有打磨盘、另一端同轴设置有第三驱动电机，所述滑轨的一端设置有第一气缸，所述第一气缸的伸缩杆与滑动座相连。
通过采用上述技术方案，启动第一气缸，第一气缸的活塞杆将朝着远离缸体的方向伸出，从而带动滑动座沿着滑轨的长度方向移动，当滑动座移动至指定位置时，打磨盘与石英坩埚的表面相贴合，然后启动第三驱动电机，第三驱动电机将带动打磨盘转动，从而对石英坩埚的表面进行打磨。
可选的，所述防飞溅板上沿着自身的长度方向均匀设置有多个喷头，所述滑动座的顶部也设置有喷头，多个所述喷头均朝向石英坩埚设置。
通过采用上述技术方案，喷头将水喷向石英坩埚的表面，从而对石英坩埚进行降尘降温。
可选的，所述供水组件包括水泵、抽水管以及供水管，所述水泵设置在机壳上并位于废水回收箱的顶部，所述抽水管的一端与废水回收箱相连通、另一端水泵的进水口相连通，所述供水管的一端与水泵的出水口相连通，多个所述喷头分别与供水管相连通。
通过采用上述技术方案，启动水泵，水泵将废水回收箱中过滤后的水泵入供水管中，然后经由喷头喷出，从而使降温降尘用水能够循环使用，以节约水资源。
可选的，所述压紧组件包括第二气缸、安装板以及支撑杆，所述安装板水平设置，所述支撑杆的一端与机壳连接、另一端与安装板连接，所述第二气缸沿着竖直方向设置在安装板上，所述第二气缸的活塞杆上设置有升降板，所述安装板和升降板之间设置有多根伸缩导向杆，所述升降板上转动设置有夹持辊，所述夹持辊的一端同轴设置有第四驱动电机。
通过采用上述技术方案，启动第二气缸，第二气缸将能够控制升降板进行升降，当夹持辊移动至与石英坩埚的表面相贴合时，启动第四驱动电机，夹持辊与支撑辊相配合，即能够使石英坩埚整体稳定地放置以及转动。
可选的，所述支撑板上和滑动座上均设置有位置传感器。
通过采用上述技术方案，位置传感器能够对支撑板上的打磨辊和滑动座上的打磨盘与石英坩埚的之间位置进行测量，以便于打磨辊和打磨盘移动至合适的位置。
可选的，所述废水回收箱内靠近水泵的一端设置有过滤板。
通过采用上述技术方案，过滤板能够对废水回收箱中的废水进行过滤，以便于过滤后的废水能够重新使用，从而降低生产成本，节约水资源。
本实用新型具有以下优点：
1、通过设置第一打磨组件和第二打磨组件，从而能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨，打磨过程中，能够显著降低工作人员的劳动强度，并且提高打磨效率；
2、通过设置多个喷头和供水组件，从而能够对打磨过程中的石英坩埚表面进行降尘降温；
3、通过设置位置传感器，从而能够对支撑板上的打磨辊和滑动座上的打磨盘与石英坩埚的之间位置进行测量，以便于打磨辊和打磨盘移动至合适的位置。
附图说明
图1为本实用新型整体的结构示意图；
图2为本实用新型的第二打磨组件和压紧组件的结构示意图；
图3为本实用新型的第一打磨组件的结构示意图；
图中：1、机壳；11、废水回收箱；12、过滤板；2、支撑架；21、支撑辊；22、转动电机；3、压紧组件；31、第二气缸；32、安装板；33、支撑杆；34、升降板；35、伸缩导向杆；36、夹持辊；37、第四驱动电机；4、第一打磨组件；41、支撑轨道；42、支撑板；43、打磨辊；44、第一驱动电机；45、防飞溅板；46、丝杆；47、第二驱动电机；5、第二打磨组件；51、滑轨；52、滑动座；53、转轴；54、打磨盘；55、第三驱动电机；56、第一气缸；6、供水组件；61、水泵；62、抽水管；63、供水管；7、喷头；8、位置传感器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
如图1至图3所示，一种石英坩埚表面打磨装置，包括机壳1，机壳1上安装有用于安装放置石英坩埚的支撑架2，支撑架2上转动安装有两个相互平行的支撑辊21，石英坩埚放置在两个支撑辊21之间，机壳1的顶部安装有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件3，以便于石英坩埚能够更加稳固地放置，支撑辊21的一端同轴安装有用于驱动自身转动的转动电机22，机壳1上安装有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件4以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件5，机壳1内并且位于支撑架2的底部安装有废水回收箱11，支撑架2上安装有用于降低打磨时温度和减少打磨时粉尘释放的供水组件6；转动电机22驱动支撑辊21转动，支撑辊21转动的过程中将带动石英坩埚转动，石英坩埚转动的过程中，第一打磨组件4和第二打磨组件5将能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨，供水组件6能够将水喷射至石英坩埚的表面，从而对打磨过程中的石英坩埚表面进行降温，并且进行降尘，打磨过程中，能够显著降低工作人员的劳动强度，并且提高打磨效率。
如图1至图3所示，第一打磨组件4包括两根相互平行的支撑轨道41，支撑轨道41的长度方向与石英坩埚的高度方向相垂直，两根支撑轨道41均固定安装在机壳1上，并且两根支撑轨道41之间滑动安装有支撑板42，支撑板42上转动安装有一根打磨辊43，打磨辊43的一端同轴安装有用于驱动自身转动的第一驱动电机44，支撑板42上固定安装有弧型的防飞溅板45，防飞溅板45位于打磨辊43的顶部，其中一个支撑轨道41上沿着自身的长度方向转动安装有一根丝杆46，丝杆46穿设在支撑板42上，丝杆46的一端同轴安装有第二驱动电机47；当需要对石英坩埚进行打磨时，启动第二驱动电机47，第二驱动电机47转动时将带动丝杆46转动，丝杆46转动的过程中将带动支撑板42沿着支撑轨道41的长度方向滑动至指定的位置，然后启动第一驱动电机44，第一驱动电机44转动的过程中将带动打磨辊43转动，打磨辊43转动的过程中将对石英坩埚的侧面进行打磨，防飞溅板45能够降低打磨过程中石英坩埚表面的产生的灰尘的飞溅。
如图1至图3所示，第二打磨组件5包括滑轨51，滑轨51固定安装在机壳1上，滑轨51的长度方向与石英坩埚的高度方向一致，滑轨51上沿着自身的长度方向滑动安装有滑动座52，滑动座52上转动安装有转轴53，转轴53的一端同轴安装有打磨盘54、另一端同轴安装有第三驱动电机55，滑轨51的一端固定安装有第一气缸56，第一气缸56的伸缩杆与滑动座52相连；当需要对石英坩埚的地面进行打磨时，启动第一气缸56，第一气缸56的活塞杆将朝着远离缸体的方向伸出，从而带动滑动座52沿着滑轨51的长度方向移动，当滑动座52移动至指定位置时，打磨盘54与石英坩埚的表面相贴合，然后启动第三驱动电机55，第三驱动电机55将带动打磨盘54转动，从而对石英坩埚的表面进行打磨。
如图1至图3所示，防飞溅板45上沿着自身的长度方向均匀安装有多个喷头7，滑动座52的顶部也安装有喷头7，多个喷头7均朝向石英坩埚设置；当第一打磨组件4和第二打磨组件5对石英坩埚进行打磨时，石英坩埚的表面将产生大量粉尘，并摩擦时会产生大量热量，喷头7将水喷向石英坩埚的表面，从而对石英坩埚进行降尘降温。
如图1至图3所示，供水组件6包括水泵61、抽水管62以及供水管63，水泵61固定安装在机壳1上并位于废水回收箱11的顶部，抽水管62的一端与废水回收箱11相连通、另一端水泵61的进水口相连通，供水管63的一端与水泵61的出水口相连通，多个喷头7分别与供水管63远离水泵61的一端相连通；当需要对石英坩埚进行打磨时，启动水泵61，水泵61将废水回收箱11中过滤后的水泵61入供水管63中，然后经由喷头7喷出，从而使降温降尘用水能够循环使用，以节约水资源。
如图1至图3所示，压紧组件3包括第二气缸31、安装板32以及支撑杆33，安装板32沿着水平方向设置，支撑杆33的一端与机壳1固定连接、另一端与安装板32固定连接，第二气缸31沿着竖直方向安装在安装板32上，气缸的活塞杆穿设在安装板32上并延长至安装板32的另一面，并且气缸的活塞杆上连接安装有升降板34，升降板34也沿着水平方向设置，安装板32和升降板34之间安装有多根伸缩导向杆35，在本实施例中，伸缩导向杆35为四根，分别安装在升降板34的四角位置上，升降板34远离伸缩导向杆35的一面上转动安装有两个夹持辊36，两个夹持辊36相互平行设置，夹持辊36的一端同轴安装有第四驱动电机37；当需要对石英坩埚进行打磨时，启动第二气缸31，第二气缸31将能够控制升降板34进行升降，当夹持辊36移动至与石英坩埚的表面相贴合时，启动第四驱动电机37，夹持辊36与支撑辊21相配合，即能够使石英坩埚整体稳定地放置以及转动。
如图1至图3所示，支撑板42上和滑动座52上均安装有位置传感器8；位置传感器8能够对支撑板42上的打磨辊43和滑动座52上的打磨盘54与石英坩埚的之间位置进行测量，以便于打磨辊43和打磨盘54移动至合适的位置。
如图1至图3所示，废水回收箱内靠近水泵61的一端安装有过滤板12；石英坩埚打磨过程中会产生大量含粉尘的废水，过滤板12能够对废水回收箱11中的废水进行过滤，以便于过滤后的废水能够重新使用，从而降低生产成本，节约水资源。
本实施例的实施原理为：当需要对石英坩埚进行打磨时，将待打磨的石英坩埚放置在两个支撑辊21之间的，此时，两个支撑辊21对坩埚起到了支撑作用，然后启动第二气缸31，使两个夹持辊36与石英坩埚的表面相贴合，然后启动转动电机22以及第四驱动电机37，从而使石英坩埚转动，然后启动第二驱动电机47和第一气缸56，从而使打磨辊43和打磨盘54与石英坩埚的表面相贴合，然后启动第一驱动电机44和第三驱动电机55，从而使打磨辊43和打磨盘54转动，以便于对石英坩埚表面进行打磨，打磨过程中，启动水泵61，从而使降温降尘用水喷向石英坩埚表面，打磨过程，能够显著降低劳动人员的工作强度，并提升工作效率。
以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述所述技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术对以上实施例所做的任何改动修改、等同变化及修饰，均属于本技术方案的保护范围。
Claims (8)
1.一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：包括机壳(1)，所述机壳(1)上设置有用于放置石英坩埚的支撑架(2)，所述支撑架(2)上转动设置有两个相互平行的支撑辊(21)，所述支撑辊(21)的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机(22)，所述机壳(1)的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件(3)，所述机壳(1)上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件(4)以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件(5)，所述机壳(1)内并位于支撑架(2)的底部设置有废水回收箱(11)，所述支撑架(2)上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件(6)。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述第一打磨组件(4)包括两根相互平行的支撑轨道(41)，两根所述支撑轨道(41)均固定设置在机壳(1)上，并且两根所述支撑轨道(41)之间滑动设置有支撑板(42)，所述支撑板(42)上转动设置有打磨辊(43)，所述打磨辊(43)的一端同轴设置有用于驱动自身转动的第一驱动电机(44)，所述支撑板(42)上设置有弧型的防飞溅板(45)，其中一个支撑轨道(41)上设置有一根丝杆(46)，所述丝杆(46)穿设在支撑板(42)上，所述丝杆(46)的一端同轴设置有第二驱动电机(47)。
3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述第二打磨组件(5)包括滑轨(51)，所述滑轨(51)固定设置在机壳(1)上，所述滑轨(51)上滑动设置有滑动座(52)，所述滑动座(52)上转动设置有转轴(53)，所述转轴(53)的一端同轴设置有打磨盘(54)、另一端同轴设置有第三驱动电机(55)，所述滑轨(51)的一端设置有第一气缸(56)，所述第一气缸(56)的伸缩杆与滑动座(52)相连。
4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述防飞溅板(45)上沿着自身的长度方向均匀设置有多个喷头(7)，所述滑动座(52)的顶部也设置有喷头(7)，多个所述喷头(7)均朝向石英坩埚设置。
5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述供水组件(6)包括水泵(61)、抽水管(62)以及供水管(63)，所述水泵(61)设置在机壳(1)上并位于废水回收箱(11)的顶部，所述抽水管(62)的一端与废水回收箱(11)相连通、另一端水泵(61)的进水口相连通，所述供水管(63)的一端与水泵(61)的出水口相连通，多个所述喷头(7)分别与供水管(63)相连通。
6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述压紧组件(3)包括第二气缸(31)、安装板(32)以及支撑杆(33)，所述安装板(32)水平设置，所述支撑杆(33)的一端与机壳(1)连接、另一端与安装板(32)连接，所述第二气缸(31)沿着竖直方向设置在安装板(32)上，所述第二气缸(31)的活塞杆上设置有升降板(34)，所述安装板(32)和升降板(34)之间设置有多根伸缩导向杆(35)，所述升降板(34)上转动设置有夹持辊(36)，所述夹持辊(36)的一端同轴设置有第四驱动电机(37)。
7.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述支撑板(42)上和滑动座(52)上均设置有位置传感器(8)。
8.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面打磨装置，其特征在于：所述废水回收箱内靠近水泵(61)的一端设置有过滤板(12)。
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| CN119217179A (zh) * | 2024-12-02 | 2024-12-31 | 江苏信泽石英科技有限公司 | 一种细长石英炉管的磨削方法及其加工设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |