CN221968019U - 一种高频对位平台 - Google Patents
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- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 101001121408 Homo sapiens L-amino-acid oxidase Proteins 0.000 description 1
- 102100026388 L-amino-acid oxidase Human genes 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型涉及一种高频对位平台。本实用新型的高频对位平台不仅适用于需要在水平状态下进行对位的待对位样品的对位,也适用于需要在竖直状态下进行对位的待对位样品的对位。当本申请的高频对位平台处于竖直工作状态下断电时,置物平台受支撑弹簧提供的与所述置物平台重力方向相反的力,从而使得所述置物平台在所述高频对位平台突然断电时不会出现向下坠落的情况,可以避免位于置物平台上的待对位样品由于颠簸造成损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械高频对位平台技术领域,尤其是指一种高频对位平台。
背景技术
随着相关技术的进步,近些年重新兴起的直线电机,解决传统直线运动“旋转电机+滚珠丝杠”结构的一些问题。传统直线运动方式是利用丝杠结构将旋转电机旋转方向的运动转换为应用所需的直线运动,其运动长度受丝杆长度限制。直线电机没有丝杠,所以长度不受丝杠长度的限制,直线电机具有更大的绝对精度、重复精度、最大速度和最大加速度等。
现有的对位平台采用直线电机作为驱动装置带动位移装置以及与位移装置连接的置物平台移动,由于直线电机的动子一般采用磁悬浮的方式支撑,当其需要在竖直状态进行使用时,若出现突然断电的情况,动子会受重力下落。尤其是当该对位平台处于高频运动时,其运动骤然停止会导致位于置物平台上的待对位样品由于颠簸出现损坏的情况。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种高频对位平台。
一种高频对位平台,包括:底板,置物平台;
滑动部件,所述滑动部件与所述底板活动连接,并与所述置物平台固定连接,用于带动所述置物平台发生位移从而进行对位;
驱动部件,所述驱动部件设置于所述底板上,为所述滑动部件提供发生位移的驱动力;
支撑弹簧,所述支撑弹簧的一端固定于所述底板上,另一端固定于所述置物平台上;
其中,当所述高频对位平台处于竖直工作状态时,所述支撑弹簧也处于竖直状态;当所述高频对位平台通电时,所述支撑弹簧处于正常状态,当所述高频对位平台断电时,所述支撑弹簧处于拉伸状态,为所述置物平台提供一与所述置物平台重力方向相反的力。
优选地,所述底板包括第一顶角、第二顶角、第三顶角、第四顶角、位于所述第一顶角和所述第二顶角之间的第一边、位于所述第二顶角和所述第三顶角之间的第二边、位于所述第三顶角和所述第四顶角之间的第三边以及位于所述第四顶角和所述第一顶角之间的第四边,其中,所述第一顶角、第二顶角、第三顶角和第四顶角依次逆时针设置。
优选地,所述滑动部件包括位于所述第一顶角上的第一轴承、位于所述第二顶角上的第二轴承以及位于第三顶角上的第三轴承。
优选地,所述滑动部件还包括第四轴承,所述第四轴承设置于所述底板的第四顶角并与所述置物平台连接。
优选地,所述第一轴承、第二轴承、第三轴承和第四轴承均包括固定于所述底板上表面的下导轨,与所述下导轨滑动连接的下滑块,设置于所述下滑块上并与所述下导轨垂直的上导轨,与所述上导轨滑动连接的上滑块以及设置于所述上滑块上的连接件,所述置物平台通过所述连接件与所述上滑块连接。
优选地,所述第一轴承、第二轴承、第三轴承和第四轴承上还设置有限位组件,所述限位组件包括位于所述下导轨两端的机械限位柱和光电限位组件,所述光电限位组件包括遮挡臂和光电传感器,所述遮挡臂与所述下滑块连接,在运动过程中,通过所述遮挡臂对所述光电传感器进行遮挡判断所述下滑块的行程。
优选地,所述驱动部件包括位于所述第四边的第一直线电机、位于所述第一边的第二直线电机和位于所述第三边的第三直线电机,其中,所述第一直线电机的运动方向与所述第四边平行,所述第二直线电机和所述第三直线电机的运动方向与所述第一直线电机的运动方向垂直.
优选地,所述第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机均包括固定在所述底板上表面的定子,位于所述定子两侧的导轨,设置在所述定子上方的动子以及与所述动子固定连接并滑动设置于所述导轨上的滑动块。
优选地,所述第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机上还分别设置有连接臂,所述动子通过所述连接臂与所述下滑块连接,用于带动所述滑动部件发生位移。
优选地,所述支撑弹簧设置于所述底板的第二边,且垂直于所述第二边边缘设置。
本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:
本实用新型的高频对位平台不仅适用于需要在水平状态下进行对位的待对位样品的对位,也适用于需要在竖直状态下进行对位的待对位样品的对位。当本申请的高频对位平台处于竖直工作状态下断电时,置物平台受支撑弹簧提供的与所述置物平台重力方向相反的力,从而使得所述置物平台在所述高频对位平台突然断电时不会出现向下坠落的情况,可以避免位于置物平台上的待对位样品由于颠簸造成损坏。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解,下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明,其中
图1是本实用新型高频对位平台示意图。
图2是本实用新型高频对位平台(无置物平台)俯视图。
图3是本实用新型高频对位平台滑动部件局部示意图。
图4是本实用新型高频对位平台驱动部件局部示意图。
说明书附图标记说明:1、底板;101、第一顶角;102、第二顶角;103、第三顶角;104、第四顶角;111、第一边;112、第二边;113、第三边;114、第四边;2、置物平台;3、滑动部件;31、第一轴承;32、第二轴承;33、第三轴承;34、第四轴承;301、下导轨;302、下滑块;303、上导轨;304、上滑块;305、连接件;3061、机械限位柱;3062、光电限位组件;3062a、遮挡臂;3062b、光电传感器;4、驱动部件;41、第一直线电机;42、第二直线电机;43、第三直线电机;401、定子;402、导轨;403、动子;404、滑动块;405、连接臂;5、支撑弹簧。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施,但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
如图1-2所示,本实用新型提供一种高频对位平台,包括:底板1,置物平台2;
滑动部件3,所述滑动部件3与所述底板1活动连接,并与所述置物平台2固定连接,用于带动所述置物平台2发生位移从而进行对位;
驱动部件4,所述驱动部件4设置于所述底板1上,为所述滑动部件3提供发生位移的驱动力;
支撑弹簧5,所述支撑弹簧5的一端固定于所述底板1上,另一端固定于所述置物平台2上;
其中,当所述高频对位平台处于竖直工作状态时,所述支撑弹簧5也处于竖直状态;当所述高频对位平台通电时,所述支撑弹簧5处于正常状态,当所述高频对位平台断电时,所述支撑弹簧5处于拉伸状态,为所述置物平台2提供一与所述置物平台2重力方向相反的力。
本申请的不仅适用于需要在水平状态下进行对位的待对位样品的对位;也适用于需要在竖直状态下进行对位的待对位样品的对位,本申请的高频对位平台可以实现每秒对位750次,在该高频率对位的情况下,通过采用支撑弹簧5使得当本申请的高频对位平台断电时,置物平台2受提供的与所述置物平台2重力方向相反的力,从而使得所述置物平台2在所述高频对位平台突然断电时不会出现向下坠落的情况,可以避免位于置物平台2上的待对位样品由于颠簸造成损坏。
所述置物平台2用于承载所述待对位样品。
所述底板1包括第一顶角101、第二顶角102、第三顶角103、第四顶角104、位于所述第一顶角101和所述第二顶角102之间的第一边111、位于所述第二顶角102和所述第三顶角103之间的第二边112、位于所述第三顶角103和所述第四顶角104之间的第三边113以及位于所述第四顶角104和所述第一顶角101之间的第四边114,其中,所述第一顶角101、第二顶角102、第三顶角103和第四顶角104依次逆时针设置。当所述高频对位平台处于竖直工作状态时,所述第一边111和第三边113与水平面垂直,所述第四边114和第二边112与水平面平行。
所述滑动部件3包括位于所述第一顶角101上的第一轴承31、位于所述第二顶角102上的第二轴承32以及位于第三顶角103上的第三轴承33。
优选地,所述滑动部件3还包括第四轴承34,所述第四轴承34设置于所述底板1的第四顶角104并与所述置物平台2连接,如此设置可避免所述底板1第四顶角104处与所述置物平台2无连接导致支撑力不足的问题,从而使得所述置物平台2在对位过程中稳定性更好。
具体地,如图3所示,所述第一轴承31、第二轴承32、第三轴承33和第四轴承34均包括固定于所述底板1上表面的下导轨301,与所述下导轨301滑动连接的下滑块302,设置于所述下滑块302上并与所述下导轨301垂直的上导轨303,与所述上导轨303滑动连接的上滑块304以及设置于所述上滑块304上的连接件305,所述置物平台2通过所述连接件305与所述上滑块304连接。
具体地,所述第一轴承31、第二轴承32、第三轴承33和第四轴承34上还设置有限位组件,所述限位组件包括位于所述下导轨301两端的机械限位柱3061和光电限位组件3062,所述光电限位组件3062包括遮挡臂3062a和光电传感器3062b,所述遮挡臂3062a与所述下滑块302连接,在运动过程中,通过所述遮挡臂3062a对所述光电传感器3062b进行遮挡判断所述下滑块302的行程。
所述驱动部件4包括位于所述第四边114的第一直线电机41、位于所述第一边111的第二直线电机42和位于所述第三边113的第三直线电机43,其中,所述第一直线电机41的运动方向与所述第四边114平行,所述第二直线电机42和所述第三直线电机43的运动方向与所述第一直线电机41的运动方向垂直。
具体地,如图4所示,所述第一直线电机41、第二直线电机42和第三直线电机43均包括固定在所述底板1上表面的定子401,位于所述定子401两侧的导轨402,设置在所述定子401上方的动子403以及与所述动子403固定连接并滑动设置于所述导轨402上的滑动块404。
具体地,所述第一直线电机41、第二直线电机42和第三直线电机43上还分别设置有连接臂405,所述动子403通过所述连接臂405与所述下滑块302连接,用于带动所述滑动部件3发生位移。
为避免影响所述第一直线电机41、第二直线电机42和第三直线电机43工作,所述支撑弹簧5设置于所述底板1的第二边112,且垂直于所述第二边112边缘设置,以使得在所述高频对位平台处于竖直工作状态时,所述支撑弹簧5也处于竖直状态,从而为所述置物平台2提供一与所述置物平台2重力方向相反的力。
具体地,当外部控制系统控制所述第一直线电机41、第二直线电机42和第三直线电机43通电后,所述动子403相对于所述定子401运动,带动所述下滑块302进行往返运动;在单次往返运动中,所述第二直线电机42与第三直线电机43的运动方向相反,所述第一直线电机41的运动方向顺应于所述第二直线电机42与第三直线电机43的运动方向,从而使得置物平台2做旋转运动,实现产品的多点定位。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种高频对位平台,其特征在于:包括:底板,置物平台;
滑动部件,所述滑动部件与所述底板活动连接,并与所述置物平台固定连接,用于带动所述置物平台发生位移从而进行对位;
驱动部件,所述驱动部件设置于所述底板上,为所述滑动部件提供发生位移的驱动力;
支撑弹簧,所述支撑弹簧的一端固定于所述底板上,另一端固定于所述置物平台上;
其中,当所述高频对位平台处于竖直工作状态时,所述支撑弹簧也处于竖直状态;当所述高频对位平台通电时,所述支撑弹簧处于正常状态,当所述高频对位平台断电时,所述支撑弹簧处于拉伸状态,为所述置物平台提供一与所述置物平台重力方向相反的力。
2.根据权利要求1所述的高频对位平台,其特征在于:所述底板包括第一顶角、第二顶角、第三顶角、第四顶角、位于所述第一顶角和所述第二顶角之间的第一边、位于所述第二顶角和所述第三顶角之间的第二边、位于所述第三顶角和所述第四顶角之间的第三边以及位于所述第四顶角和所述第一顶角之间的第四边,其中,所述第一顶角、第二顶角、第三顶角和第四顶角依次逆时针设置。
3.根据权利要求2所述的高频对位平台,其特征在于:所述滑动部件包括位于所述第一顶角上的第一轴承、位于所述第二顶角上的第二轴承以及位于第三顶角上的第三轴承。
4.根据权利要求3所述的高频对位平台,其特征在于:所述滑动部件还包括第四轴承,所述第四轴承设置于所述底板的第四顶角并与所述置物平台连接。
5.根据权利要求4所述的高频对位平台,其特征在于:所述第一轴承、第二轴承、第三轴承和第四轴承均包括固定于所述底板上表面的下导轨,与所述下导轨滑动连接的下滑块,设置于所述下滑块上并与所述下导轨垂直的上导轨,与所述上导轨滑动连接的上滑块以及设置于所述上滑块上的连接件,所述置物平台通过所述连接件与所述上滑块连接。
6.根据权利要求5所述的高频对位平台,其特征在于:所述第一轴承、第二轴承、第三轴承和第四轴承上还设置有限位组件,所述限位组件包括位于所述下导轨两端的机械限位柱和光电限位组件,所述光电限位组件包括遮挡臂和光电传感器,所述遮挡臂与所述下滑块连接,在运动过程中,通过所述遮挡臂对所述光电传感器进行遮挡判断所述下滑块的行程。
7.根据权利要求5所述的高频对位平台,其特征在于:所述驱动部件包括位于所述第四边的第一直线电机、位于所述第一边的第二直线电机和位于所述第三边的第三直线电机,其中,所述第一直线电机的运动方向与所述第四边平行,所述第二直线电机和所述第三直线电机的运动方向与所述第一直线电机的运动方向垂直。
8.根据权利要求7所述的高频对位平台,其特征在于:所述第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机均包括固定在所述底板上表面的定子,位于所述定子两侧的导轨,设置在所述定子上方的动子以及与所述动子固定连接并滑动设置于所述导轨上的滑动块。
9.根据权利要求8所述的高频对位平台,其特征在于:所述第一直线电机、第二直线电机和第三直线电机上还分别设置有连接臂,所述动子通过所述连接臂与所述下滑块连接,用于带动所述滑动部件发生位移。
10.根据权利要求2所述的高频对位平台,其特征在于:所述支撑弹簧设置于所述底板的第二边,且垂直于所述第二边边缘设置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202420543101.2U CN221968019U (zh) | 2024-03-20 | 2024-03-20 | 一种高频对位平台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202420543101.2U CN221968019U (zh) | 2024-03-20 | 2024-03-20 | 一种高频对位平台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN221968019U true CN221968019U (zh) | 2024-11-08 |
Family
ID=93328683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202420543101.2U Active CN221968019U (zh) | 2024-03-20 | 2024-03-20 | 一种高频对位平台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN221968019U (zh) |
-
2024
- 2024-03-20 CN CN202420543101.2U patent/CN221968019U/zh active Active
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