CN221716832U - 垫高组合工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种垫高组合工装。该垫高组合工装包括多个垫高夹具本体和多个限位件。垫高夹具本体包括上下间隔设置的第一垫板和第二垫板，待加工零件能放置于第一垫板，第二垫板被配置为与机床的工作台相连。每个第一垫板上安装位置可调地设置有至少一个限位件，通过调节限位件在第一垫板上的安装位置能将待加工零件限位固定于第一垫板。该垫高组合工装能将待加工零件稳定地限位于机床的工作台上，无需频繁更换专用夹具，通用性强。

Description

垫高组合工装

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种垫高组合工装。

背景技术

在半导体加工技术领域，经常使用五轴数控机床对腔体类零件进行加工。加工时，为了避免机床的主轴和工作台发生干涉，需要使用垫高夹具将零件垫高。现有技术中通常需要根据待加工零件的形状设计专门的垫高夹具，制作成本高，周期长，通用性差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种垫高组合工装，能将待加工零件稳定地限位于机床的工作台上，无需频繁更换专用夹具，通用性强。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

垫高组合工装，包括：

多个垫高夹具本体，所述垫高夹具本体包括上下间隔设置的第一垫板和第二垫板，待加工零件能放置于所述第一垫板，所述第二垫板被配置为与机床的工作台相连；

多个限位件，每个所述第一垫板上安装位置可调地设置有至少一个所述限位件，通过调节所述限位件在所述第一垫板上的安装位置能将所述待加工零件限位固定于所述第一垫板。

作为优选，所述限位件上具有限位面，通过调节所述限位件在所述第一垫板上的安装位置能使所述限位面与所述待加工零件的侧壁限位抵接。

作为优选，还包括多个支撑组件，所述支撑组件安装位置可调地设置于所述待加工零件和所述工作台之间，所述支撑组件包括支撑筒和可移动地穿设于所述支撑筒的支撑杆，通过移动所述支撑杆能使所述支撑杆和所述支撑筒远离彼此的一端分别与所述待加工零件和所述工作台限位抵接。

作为优选，还包括第一锁紧件，所述第一垫板上间隔设置有多个第一连接孔，所述限位件上设置有第二连接孔，所述第二连接孔能与任一所述第一连接孔相对，所述第一锁紧件能穿设于相对的所述第一连接孔和所述第二连接孔，以将所述限位件锁紧于所述第一垫板。

作为优选，还包括第二锁紧件，所述第二锁紧件能穿设于所述第一垫板和所述待加工零件，以将所述待加工零件锁紧于所述第一垫板。

作为优选，还包括第三锁紧件，所述第二垫板上设置有第一安装孔，所述工作台上设置有与所述第一安装孔相对的第二安装孔，所述第三锁紧件能穿设于所述第一安装孔和所述第二安装孔，以将所述第二垫板锁紧于所述工作台。

作为优选，还包括第三锁紧件，所述第二垫板的相对两侧均设置有所述第三锁紧件，所述第三锁紧件包括压板、第一调节杆和可移动地设置于所述第一调节杆上的调节件，所述第一调节杆的一端与所述工作台相连，另一端可活动地穿设于所述压板，所述调节件位于所述压板背向所述第二垫板的一面，通过移动所述调节件能使所述压板压紧所述第二垫板。

作为优选，所述第三锁紧件还包括第二调节杆和可移动地设置于所述第二调节杆上的支撑件，所述第二调节杆与所述第一调节杆沿所述压板的延伸方向间隔设置，所述第二调节杆的一端与所述工作台相连，另一端可活动地穿设于所述压板，所述支撑件设置于所述压板和所述工作台之间，通过移动所述支撑件能使所述支撑件与所述压板限位抵接。

作为优选，所述垫高夹具本体上设置有指示标记，所述指示标记用于指示所述垫高夹具本体的规格。

作为优选，所述垫高夹具本体还包括多个连接杆，多个所述连接杆间隔设置于所述第一垫板和所述第二垫板之间，所述连接杆的一端与所述第一垫板相连，另一端与所述第二垫板相连。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的垫高组合工装，具体使用时，根据待加工零件的形状选取合适数量的垫高夹具本体，并将垫高夹具本体间隔布置于机床的工作台上，之后将待加工零件放置于第一垫板，并调节限位件在第一垫板上的安装位置将待加工零件限位固定于第一垫板上即可。垫高夹具本体能将待加工零件垫高，避免机床主轴与工作台发生干涉；第二垫板保证了垫高夹具本体与工作台的稳定连接，限位件能将待加工零件限位固定于第一垫板，从而保证了待加工零件与垫高夹具本体限位的稳定性，避免加工过程中待加工零件发生晃动。通过选择垫高夹具本体的数量以及调节限位件在第一垫板上的安装位置即可适配不同规格的待加工零件的装夹，通用性强。

附图说明

图1是本实用新型其中一个实施例提供的垫高组合工装与待加工零件的安装位置示意图；

图2是图1中A处的放大图；

图3是图1的俯视图；

图4是本实用新型另一实施例提供的垫高组合工装与待加工零件的安装位置示意图；

图5是图4中B处的发大图；

图6是图4的俯视图；

图7是实用新型其中一个实施例提供的垫高夹具本体的立体示意图。

图中：

1、垫高夹具本体；11、第一垫板；111、第一连接孔；12、第二垫板；121、第一安装孔；13、连接杆；2、支撑组件；21、支撑筒；22、支撑杆；3、限位件；31、第二连接孔；4、第一锁紧件；5、第三锁紧件；51、压板；52、第一调节杆；53、调节件；54、第二调节杆；55、支撑件；100、工作台；101、限位槽；200、待加工零件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

参阅图1至图7，本实施例提供了一种垫高组合工装，能将待加工零件200稳定地限位于机床的工作台100上，无需频繁更换专用夹具，通用性强。该垫高组合工装包括垫高夹具本体1以及多个限位件3。垫高夹具本体1包括上下间隔设置的第一垫板11和第二垫板12，待加工零件200能放置于第一垫板11，第二垫板12被配置为与机床的工作台100相连。每个第一垫板11上安装位置可调地设置有至少一个限位件3，通过调节限位件3在第一垫板11上的安装位置能将待加工零件200限位固定于第一垫板11。

具体使用时，根据待加工零件200的形状选取合适数量的垫高夹具本体1，并将垫高夹具本体1间隔布置于机床的工作台100上，之后将待加工零件200放置于第一垫板11，并调节限位件3在第一垫板11上的安装位置将待加工零件200限位固定于第一垫板11上即可。垫高夹具本体1能将待加工零件200垫高，避免机床主轴与工作台100发生干涉；第二垫板12保证了垫高夹具本体1与工作台100的稳定连接，限位件3能将待加工零件200限位固定于第一垫板11，从而保证了待加工零件200与垫高夹具本体1限位的稳定性，避免加工过程中待加工零件200发生晃动。通过选择垫高夹具本体1的数量以及调节限位件3在第一垫板11上的安装位置即可适配不同规格的待加工零件200的装夹，通用性强。

可选地，还包括多个支撑组件2，支撑组件2安装位置可调地设置于待加工零件200和工作台100之间，支撑组件2包括支撑筒21和可移动地穿设于支撑筒21的支撑杆22，通过移动支撑杆22能使支撑杆22和支撑筒21远离彼此的一端分别与待加工零件200和工作台100限位抵接。通过移动支撑杆22能够调节支撑组件2的整体高度，使得支撑杆22和支撑筒21远离彼此的一端能分别与待加工零件200和工作台100抵接，以稳定支撑待加工零件200，有效避免加工过程中发生的变形。优选地，支撑杆22与支撑筒21螺接，使用时，可以将支撑筒21固定在工作台100上，通过旋拧支撑杆22来调节支撑组件2的整体高度；或不固定支撑筒21，通过同时反向旋拧支撑筒21和支撑杆22来调节支撑组件2的整体高度。

具体地，参阅图1和图3，对于方形的腔体类待加工零件200，在四个端点处分别对应设置一个垫高夹具本体1，并沿其周向间隔设置多个支撑组件2对其支撑，即可将其稳定地限位固定于工作台100上。参阅图4和图6，对于条状的腔体类待加工零件200，延其延伸方向间隔设置多个垫高夹具本体1对其进行限位固定即可满足限位要求。

优选地，限位件3上具有限位面，通过调节限位件3在第一垫板11上的安装位置能使限位面与待加工零件200的侧壁限位抵接。定位待加工零件200时，首先将待加工零件200放置于第一垫板11上，之后调节限位件3在第一垫板11上的安装位置，以使限位件3的限位面与待加工零件200的侧壁限位抵接，多个限位件3的限位面共同形成限位空间，从而将待加工零件200限位于第一垫板11上。优选地，每个第一垫板11上设置两个限位件3，通过调节两个限位件3在第一垫板11上的安装位置能使两个限位件3的限位面分别与待加工零件200相邻的两个侧面限位抵接，以增大待加工零件200与第一垫板11限位的稳定性。可选地，限位件3为蛤蟆钳，蛤蟆钳能够使待加工零件受力均匀，无需外力干涉，实现自然状态下装夹。

进一步地，参阅图2，还包括第一锁紧件4，第一垫板11上间隔设置有多个第一连接孔111，限位件3上设置有第二连接孔31，第二连接孔31能与任一第一连接孔111相对，第一锁紧件4能穿设于相对的第一连接孔111和第二连接孔31，以将限位件3锁紧于第一垫板11。将限位件3的第二连接孔31与合适位置处的第一连接孔111相对，并使用第一锁紧件4穿设于对应的第一连接孔111和第二连接孔31，即可将限位件3锁紧于第一垫板11，从而固定限位件3在第一垫板11上的安装位置。可选地，第一锁紧件4为M16的螺栓，第一连接孔111为M16的螺纹孔，第二连接孔31为贯穿孔，第一锁紧件4穿设于第二连接孔31螺纹旋拧于第一连接孔111内。进一步地，第二连接孔31设置为条形孔，以避免第一锁紧件4与限位件3发生干涉。优选地，多个第一连接孔111阵列设置。

在另一个可选的实施例中，还包括第二锁紧件，第二锁紧件能穿设于第一垫板11和待加工零件200，以将待加工零件200锁紧于第一垫板11。对于高度较高的待加工零件200，使用第二锁紧件将其锁紧于第一垫板11上，以保证待加工零件200与第一垫板11的连接强度，保证待加工零件200与第一垫板11限位的稳定性。可选地，第二锁紧件为M16的螺栓，第一垫板11上的第一连接孔111为直径为17mm的贯穿孔，待加工零件200上设置有与第一连接孔111相对的M16螺纹孔，第二锁紧件穿设于第一连接孔111螺纹旋拧于螺纹孔内。

可选地，参阅图7，还包括第三锁紧件5，第二垫板12上设置有第一安装孔121，工作台100上设置有与第一安装孔121相对的第二安装孔，第三锁紧件5能穿设于第一安装孔121和第二安装孔，以将第二垫板12锁紧于工作台100。为了保证垫高夹具本体1与工作台100连接的稳定性，设置第三锁紧件5以能够将第二垫板12锁紧于工作台100上。可选地，第三锁紧件5为螺栓，第一安装孔121和第二安装孔中的一个为螺纹孔，另一个为贯穿孔。本实施例中，第一安装孔121为直径为17mm的贯穿孔，第二安装孔为M16的螺纹孔。优选地，第一安装孔121设置有多个，多个第一安装孔121阵列设置。

参阅图4至图6，在另一个可选的实施例中，还包括第三锁紧件5，第二垫板12的相对两侧均设置有第三锁紧件5，第三锁紧件5包括压板51、第一调节杆52和可移动地设置于第一调节杆52上的调节件53，第一调节杆52的一端与工作台100相连，另一端可活动地穿设于压板51，调节件53位于压板51背向第二垫板12的一面，通过移动调节件53能使压板51压紧第二垫板12。如此设置，通过第二垫板12两侧的第三锁紧件5将第二垫板12压紧在工作台100上，避免第二垫板12脱离工作台100。可选地，工作台100上设置有卡槽，压板51上设置有条形孔，第一调节杆52的一端卡入卡槽内，另一端通过条形孔活动穿设于压板51。条形孔的设置能避免第一调节杆52与压板51发生干涉。可选地，第一调节杆52为螺杆，调节件53为螺母，调节件53螺纹旋拧于第一调节杆52上，通过旋拧调节件53即可使压板51压紧或松开第二垫板12。

进一步地，第三锁紧件5还包括第二调节杆54和可移动地设置于第二调节杆54上的支撑件55，第二调节杆54与第一调节杆52沿压板51的延伸方向间隔设置，第二调节杆54的一端与工作台100相连，另一端可活动地穿设于压板51，支撑件55设置于压板51和工作台100之间，通过移动支撑件55能使支撑件55与压板51限位抵接。参阅图5，固定第二垫板12时，首先移动支撑件55，使支撑件55的顶面高度与第二垫板12的顶面高度平齐，之后将压板51套设于第一调节杆52和第二调节杆54上，使压板51与第二垫板12和支撑件55的顶面抵接，之后将调节件53套设于第一调节杆52并移动调节件53，以使调节件53将压板51压紧在第二垫板12上。可选地，第二调节杆54为螺杆，支撑件55螺纹旋拧于第二调节杆54上。同样地，压板51上设置有通孔，第二调节杆54的一端卡入限位槽101内，另一端通过通孔穿设于压板51。

可选地，垫高夹具本体1上设置有指示标记，指示标记用于指示垫高夹具本体1的规格。操作人员可以通过指示标记选择合适规格的垫高夹具本体1，便于使用。示例性地，指示标记可以为第一连接孔111的尺寸。可选地，指示标记通过激光刻印的方式设置于垫高夹具本体1上。

可选地，参阅图7，垫高夹具本体1还包括多个连接杆13，多个连接杆13间隔设置于第一垫板11和第二垫板12之间，连接杆13的一端与第一垫板11相连，另一端与第二垫板12相连。连接杆13能将第一垫板11和第二垫板12连接在一起，保证垫高夹具本体1结构的稳定性，可以理解的是，通过改变连接杆13的高度能够调节垫高夹具本体1的垫高高度。本实施例中，第一垫板11和第二垫板12均为边长为250mm，厚度为40mm的方形板，连接杆的长度为160mm。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.垫高组合工装，其特征在于，包括：

多个垫高夹具本体(1)，所述垫高夹具本体(1)包括上下间隔设置的第一垫板(11)和第二垫板(12)，待加工零件(200)能放置于所述第一垫板(11)，所述第二垫板(12)被配置为与机床的工作台(100)相连；

多个限位件(3)，每个所述第一垫板(11)上安装位置可调地设置有至少一个所述限位件(3)，通过调节所述限位件(3)在所述第一垫板(11)上的安装位置能将所述待加工零件(200)限位固定于所述第一垫板(11)。

2.根据权利要求1所述的垫高组合工装，其特征在于，所述限位件(3)上具有限位面，通过调节所述限位件(3)在所述第一垫板(11)上的安装位置能使所述限位面与所述待加工零件(200)的侧壁限位抵接。

3.根据权利要求1所述的垫高组合工装，其特征在于，还包括多个支撑组件(2)，所述支撑组件(2)安装位置可调地设置于所述待加工零件(200)和所述工作台(100)之间，所述支撑组件(2)包括支撑筒(21)和可移动地穿设于所述支撑筒(21)的支撑杆(22)，通过移动所述支撑杆(22)能使所述支撑杆(22)和所述支撑筒(21)远离彼此的一端分别与所述待加工零件(200)和所述工作台(100)限位抵接。

4.根据权利要求1所述的垫高组合工装，其特征在于，还包括第一锁紧件(4)，所述第一垫板(11)上间隔设置有多个第一连接孔(111)，所述限位件(3)上设置有第二连接孔(31)，所述第二连接孔(31)能与任一所述第一连接孔(111)相对，所述第一锁紧件(4)能穿设于相对的所述第一连接孔(111)和所述第二连接孔(31)，以将所述限位件(3)锁紧于所述第一垫板(11)。

5.根据权利要求1所述的垫高组合工装，其特征在于，还包括第二锁紧件，所述第二锁紧件能穿设于所述第一垫板(11)和所述待加工零件(200)，以将所述待加工零件(200)锁紧于所述第一垫板(11)。

6.根据权利要求1所述的垫高组合工装，其特征在于，还包括第三锁紧件(5)，所述第二垫板(12)上设置有第一安装孔(121)，所述工作台(100)上设置有与所述第一安装孔(121)相对的第二安装孔，所述第三锁紧件(5)能穿设于所述第一安装孔(121)和所述第二安装孔，以将所述第二垫板(12)锁紧于所述工作台(100)。

7.根据权利要求1所述的垫高组合工装，其特征在于，还包括第三锁紧件(5)，所述第二垫板(12)的相对两侧均设置有所述第三锁紧件(5)，所述第三锁紧件(5)包括压板(51)、第一调节杆(52)和可移动地设置于所述第一调节杆(52)上的调节件(53)，所述第一调节杆(52)的一端与所述工作台(100)相连，另一端可活动地穿设于所述压板(51)，所述调节件(53)位于所述压板(51)背向所述第二垫板(12)的一面，通过移动所述调节件(53)能使所述压板(51)压紧所述第二垫板(12)。

8.根据权利要求7所述的垫高组合工装，其特征在于，所述第三锁紧件(5)还包括第二调节杆(54)和可移动地设置于所述第二调节杆(54)上的支撑件(55)，所述第二调节杆(54)与所述第一调节杆(52)沿所述压板(51)的延伸方向间隔设置，所述第二调节杆(54)的一端与所述工作台(100)相连，另一端可活动地穿设于所述压板(51)，所述支撑件(55)设置于所述压板(51)和所述工作台(100)之间，通过移动所述支撑件(55)能使所述支撑件(55)与所述压板(51)限位抵接。

9.根据权利要求1-8任一所述的垫高组合工装，其特征在于，所述垫高夹具本体(1)上设置有指示标记，所述指示标记用于指示所述垫高夹具本体(1)的规格。

10.根据权利要求1-8任一所述的垫高组合工装，其特征在于，所述垫高夹具本体(1)还包括多个连接杆(13)，多个所述连接杆(13)间隔设置于所述第一垫板(11)和所述第二垫板(12)之间，所述连接杆(13)的一端与所述第一垫板(11)相连，另一端与所述第二垫板(12)相连。