CN221287365U - 一种多晶硅生产中的废气处理系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅生产中的废气处理系统，属于多晶硅生产中的废气处理技术领域，包括淋洗塔，淋洗塔内部设有多级喷淋管，喷淋管通过自循环管线连通淋洗塔的下部，淋洗塔上连接有废气进管，淋洗塔内废气进管上设有气体分布器，喷淋管的进气口Ⅰ与废气进管连接，所述淋洗塔顶部连接有收水器，收水器的另一端连接吸附器，吸附器另一端连接负压风机，负压风机的出风口端连接排气管线；收水器竖直安装，收水器的进气口Ⅱ连接喷淋塔的排气口Ⅰ，收水器内设置有若干挡水板，挡水板为表面粗糙度小于1.6的挡水结构，解决现有技术中在多晶硅生产的还原车间中产生的废气处理不完全，排放的气体有气味，不利于环保的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产中的废气处理技术领域，具体涉及一种多晶硅生产中的废气处理系统。
背景技术
本在多晶硅中，还原车间内会因还原炉的每次装拆作业产生大量的有害气体，绝大部分会积聚在车间顶部；在空调新风正压的作用下从车间顶部的排放口排向大气。还原车间产生的这部分有害气体主要成分是：氯硅烷、氢气、空气、少量氮气，其中氯硅烷含量最多，直接排放在大气中会污染空气，同时将雨水转变成酸性，影响环境安全。由于这部分废气中氯硅烷含量较少且含杂质较多，回收较困难且成本非常高，回收的经济效益不好，因此对于这部分气体，目前采用的处理方式为：采用自来水/清水对废气进行淋洗，再排放至大气中。
但在废气处理作业过程中发现，废气经淋洗处理后，排放至大气中的气体仍存在带特殊气味的气体，且经多级淋洗处理的效果并不佳，且设计多级淋洗塔导致成本升高、设备占用面积更大，且洗涤液的用量也加大。
因此，仍需对现有废气处理工艺和/或设备继续优化，以改善这一问题，利于环保。
实用新型内容
本实用新型旨在解决现有技术中在多晶硅生产的还原车间中产生的废气处理不完全，排放的气体有气味，不利于环保的问题。
为了实现上述发明目的，本实用新型的技术方案如下：
一种多晶硅生产中的废气处理系统，包括淋洗塔，淋洗塔内部设有多级喷淋管，喷淋管通过自循环管线连通淋洗塔的下部，淋洗塔上连接有废气进管，淋洗塔内废气进管上设有气体分布器，喷淋管的进气口Ⅰ与废气进管连接，所述淋洗塔顶部连接有收水器，收水器的排气口Ⅱ通过管道连接吸附器的进气口Ⅲ，吸附器的排气口Ⅲ通过管道连接负压风机，负压风机的出风口端连接排气管线；
所述收水器竖直安装，收水器顶部开设排气口Ⅱ，底部设有进气口Ⅱ，进气口Ⅱ连接喷淋塔的排气口Ⅰ，收水器内设置有若干挡水板，挡水板为表面粗糙度小于1.6的挡水结构。
进一步的，所述挡水板为表面设有铁氟龙涂层。
进一步的，所述挡水板为连续的多块折流板，且相邻折流板凸向中部的顶端设有挡水墙。
进一步的，所述挡水板一端与收水器的外壳固定；另一端从两侧向内延伸，所述挡水板斜向下设置。
进一步的，所述淋洗塔上连接有清水补给管线。
进一步的，所述淋洗塔上设有液位计，清水补给管线上设有切断阀，切断阀与液位计控制连接。
进一步的，所述淋洗塔上部为倒锥形结构。
本实用新型的有益效果：
一、本实用新型中，该废气处理系统在现有淋洗塔的基础上，在淋洗塔的后端增设有收水器，并在收水器的后端设置有吸附器，所述收水器为竖直安装在淋洗塔的上部，收水器中设有表面粗糙度小于1.6的挡水板，可以尽可能的使排出的气体中的水份冷凝成水滴，并返回至淋洗塔中，减少进入吸附器的水份，一方面可以提高吸附器的吸附效率，延长吸附剂的使用时间；另一方面可以避免因负压风机将淋洗塔中水份带出排气管线的情况，另外淋洗塔内的洗涤液是酸性的含有硅烷分解物，容易腐蚀管道，本废气处理系统减少这部分液体的带出，也可以减轻废气对管道或设备的腐蚀情况，保证设备的正常运行。
二、本实用新型中，挡水板为表面设有铁氟龙涂层，保证挡水板的表面粗糙度小于1.6，使得挡水板拦截下来的水滴尽快的掉落回淋洗塔中。
三、本实用新型中，提出了一种结构较优的收水器结构，其中，收水器中的挡水板为连续的多块折流板，且相邻折流板凸向中部的顶端设有挡水墙，保证废气中的水份能凝聚成水滴，确保的负压风机不能带走水滴，水滴自上而下回落到喷淋塔中。
四、本实用新型中，提出了另一种结构较优的收水器结构，其中，收水器中设置有若干挡水板，挡水板交错并斜向下设置，挡水板一端与收水器的外壳固定；另一端从两侧向内延伸，保证废气中的水份能凝聚成水滴，确保的负压风机不能带走水滴，水滴自上而下回落到喷淋塔中。
五、本实用新型中，淋洗塔上连接有清水补给管线，用于向淋洗塔中补给清水。优选的，淋洗塔上设有液位计，清水补给管线上设有切断阀，切断阀与液位计控制连接，液位计监测淋洗塔中淋洗液的液位，通过控制切断阀的开闭保证淋洗塔中的液位在预期范围内。
六、本实用新型中，淋洗塔上部为倒锥形结构，有利于冷凝下水份、氯硅烷。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2是收水器的一种具体实施方式的结构示意图。
图3是收水器的另一种具体实施方式的结构示意图。
图4是本废气处理系统另一种实施方式的结构示意图。
其中，1、淋洗塔；2、喷淋管；3、自循环管线；4、废气进管；5、气体分布器；6、收水器；7、吸附器；8、负压风机；9、排气管线；10、清水补给管线；11、液位计；12、泵；13、切断阀；1.1、排气口Ⅰ；2.1、进气口Ⅰ；6.1、排气口Ⅱ；6.2、进气口Ⅱ；6.3、挡水板；6.4、挡水墙；6.5、外壳；7.1、进气口Ⅲ；7.2、排气口Ⅲ；8.1、出风口；6.3.1、折流板。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例1
本实施例为最基本的实施方式，一种多晶硅生产中的废气处理系统，属于多晶硅生产中的废气处理技术领域，包括淋洗塔1，参考图1，淋洗塔1内部设有多级喷淋管2，喷淋管2通过自循环管线3连通淋洗塔1的下部，淋洗塔1上连接有废气进管4，淋洗塔1内废气进管4上设有气体分布器5，喷淋管2的进气口Ⅰ2.1与废气进管4连接，所述淋洗塔1顶部连接有收水器6，收水器6的排气口Ⅱ6.1通过管道连接吸附器7的进气口Ⅲ7.1，吸附器7的排气口Ⅲ7.2通过管道连接负压风机8，负压风机8的出风口8.1端连接排气管线9；
所述收水器6竖直安装，收水器6顶部开设排气口Ⅱ6.1，底部设有进气口Ⅱ6.2，进气口Ⅱ6.2连接喷淋塔的排气口Ⅰ1.1，收水器6内设置有若干挡水板6.3，挡水板6.3为表面粗糙度小于1.6的挡水结构。
使用时，从废气进管4向淋洗塔1中输入废气，废气经气体分布器5向淋洗塔1中均匀送入废气，淋洗塔1中设有多级喷淋管2，自循环管线3将喷淋液从塔底输送至塔顶的喷淋管2中，通过喷淋管2上的喷嘴对废气进行充分淋洗，废气中的氯硅烷经过清水淋洗后，变成干净的气体，随后由负压带入收水器6；淋洗后的气体携带部分水份进入收水器6，收水器6内设置挡水板6.3，在挡水板6.3的作用下，将水份凝聚成水滴，确保设计选型的负压不带走水滴，水滴便自上而下回落到喷淋塔；除去水份的气体再经过吸附器7进一步去味后，从排放管线中排放到空气中。
经处理对外排放的气体中不含气味，更洁净，更环保。
给废气处理系统增设的收水器6置于淋洗塔1的上部，收水器6与淋洗塔1之间的距离较短，使用（具有耐腐蚀功能）的管道较少，增加的设备占用面积也较小，结构巧妙，设备改造涉及的成本较小。
实施例2
本实施例是在实施例1上的进一步优化，区别在于，所述挡水板6.3为表面设有铁氟龙涂层。
实施例3
本实施例与实施例1-2相比，区别在于，所述挡水板6.3为连续的多块折流板6.3.1，参考图2，且相邻折流板6.3.1凸向中部的顶端设有挡水墙6.4。
实施例4
本实施例与实施例3相比，区别在于，参考图3，所述挡水板6.3一端与收水器6的外壳6.5固定；另一端从两侧向内延伸，所述挡水板6.3斜向下设置。
实施例5
本实施例与实施例1-4相比，区别在于，参考图4，所述淋洗塔1上连接有清水补给管线10。
优选的，所述淋洗塔1上设有液位计11，清水补给管线10上设有切断阀13，切断阀13与液位计11控制连接。
实施例6
本实施例与实施例1-5相比，区别在于，参考图1或4，所述淋洗塔1上部为倒锥形结构。
实施例7
本实施例为较佳的一种实施方式，一种多晶硅生产中的废气处理系统，属于多晶硅生产中的废气处理技术领域，包括淋洗塔1，参考图4，淋洗塔1内部设有多级喷淋管2，喷淋管2通过自循环管线3连通淋洗塔1的下部，淋洗塔1上连接有废气进管4，淋洗塔1内废气进管4上设有气体分布器5，喷淋管2的进气口Ⅰ2.1与废气进管4连接，所述淋洗塔1顶部连接有收水器6，收水器6的排气口Ⅱ6.1通过管道连接吸附器7的进气口Ⅲ7.1，吸附器7的排气口Ⅲ7.2通过管道连接负压风机8，负压风机8的出风口8.1端连接排气管线9，淋洗塔1上部为倒锥形结构。
本实施例中，所述收水器6竖直安装，收水器6顶部开设排气口Ⅱ6.1，底部设有进气口Ⅱ6.2，进气口Ⅱ6.2连接喷淋塔的排气口Ⅰ1.1，收水器6内设置有若干挡水板6.3，挡水板6.3为表面粗糙度小于1.6的挡水结构。参考图2，所述挡水板6.3为连续的多块折流板6.3.1，且相邻折流板6.3.1凸向中部的顶端设有挡水墙6.4。
本实施例中，所述挡水板6.3为表面设有铁氟龙涂层。
本实施例中，淋洗塔1上连接有清水补给管线10，所述淋洗塔1上设有液位计11，清水补给管线10上设有切断阀13，切断阀13与液位计11控制连接。
该废气处理系统的使用方法为：
a. 设备安装完毕后，开启清水补给管线10上的切断阀13，用清水将喷淋塔清洗干净；
b. 向喷淋塔灌清水，当液位计11监测到淋洗塔1中液位达到预设位置时，控制切断阀13关闭，停止向淋洗塔1中补水；
c. 启动负压风机8，启动自循环管线3上的泵12，清水经喷淋管2线上的喷头从上往下喷淋，覆盖整个喷淋塔截面；
d. 打开废气进管4上的阀门，废气经气体分布器5后进入淋洗塔1中，废气中的氯硅烷经过清水淋洗后变成干净的气体，随后由负压带入收水器6；
e. 淋洗后的气体携带部分水份进入收水器6，收水器6内设置挡水板6.3，在挡水板6.3的作用下，将水份凝聚成水滴，确保设计选型的负压不带走水滴，水滴便自上而下回落到喷淋塔；
f. 除去水份的气体再经过吸附器7进一步去味后，从排放管线中排放到空气中。
采用该废气处理系统处理后的气体，相对洁净、无味，最终气体中无酸性水份，保护环境安全。
Claims (7)
1.一种多晶硅生产中的废气处理系统，包括淋洗塔（1），其特征在于：淋洗塔（1）内部设有多级喷淋管（2），喷淋管（2）通过自循环管线（3）连通淋洗塔（1）的下部，淋洗塔（1）上连接有废气进管（4），淋洗塔（1）内废气进管（4）上设有气体分布器（5），喷淋管（2）的进气口Ⅰ（2.1）与废气进管（4）连接，所述淋洗塔（1）顶部连接有收水器（6），收水器（6）的排气口Ⅱ（6.1）通过管道连接吸附器（7）的进气口Ⅲ（7.1），吸附器（7）的排气口Ⅲ（7.2）通过管道连接负压风机（8），负压风机（8）的出风口（8.1）端连接排气管线（9）；
所述收水器（6）竖直安装，收水器（6）顶部开设排气口Ⅱ（6.1），底部设有进气口Ⅱ（6.2），进气口Ⅱ（6.2）连接喷淋塔的排气口Ⅰ（1.1），收水器（6）内设置有若干挡水板（6.3），挡水板（6.3）为表面粗糙度小于1.6的挡水结构。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中的废气处理系统，其特征在于：所述挡水板（6.3）为表面设有铁氟龙涂层。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中的废气处理系统，其特征在于：所述挡水板（6.3）为连续的多块折流板（6.3.1），且相邻折流板（6.3.1）凸向中部的顶端设有挡水墙（6.4）。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中的废气处理系统，其特征在于：所述挡水板（6.3）一端与收水器（6）的外壳（6.5）固定；另一端从两侧向内延伸，所述挡水板（6.3）斜向下设置。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中的废气处理系统，其特征在于：所述淋洗塔（1）上连接有清水补给管线（10）。
6.根据权利要求5所述的一种多晶硅生产中的废气处理系统，其特征在于：所述淋洗塔（1）上设有液位计（11），清水补给管线（10）上设有切断阀（13），切断阀（13）与液位计（11）控制连接。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中的废气处理系统，其特征在于：所述淋洗塔（1）上部为倒锥形结构。
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| CN120204919A (zh) * | 2025-03-24 | 2025-06-27 | 安徽仕佰化工有限公司 | 一种生产聚合氯化铝的废气排放装置及其生产制备方法 |
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2023
- 2023-10-17 CN CN202322777360.XU patent/CN221287365U/zh active Active
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