CN221261171U - 一种探针通路检测装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种探针通路检测装置，其包括工作台，工作台上设置有十字滑台，十字滑台上设有底座，底座被十字滑台带动沿着相互垂直的X轴和Y轴移动；导电板，导电板固定在底座上；探针板，探针板拆卸固定在导电板上，并且探针在未测试状态下与导电板不接触；测试支架，测试支架上升降设置有导电头，测试支架上设有用于带动导电头升降的驱动件；测试表，测试表的一端与导电头连接，测试表的另一端与导电板连接。本申请中导电头和导电板分别形成探针的延伸，测试表不需要直接与探针接触，从而省略了人工操作的测试表与探针的夹装过程，有效提高效率。
Description
技术领域
本申请涉及芯片检测的技术领域，尤其是涉及一种探针通路检测装置。
背景技术
芯片检测是芯片加工过程的最后一道工序，在目前常规的检测方式中均是利用探针与芯片的接触点接触从而进行检测，具体的检测过程一般为探针在使用时装载在探针板上，探针板装载在芯片测试座上从而与芯片的接触点接触。
所以探针的性能对于芯片测试结果的准确性起到比较大的参考作用，通常情况下有必要对探针的性能做进一步检测确认。探针的性能指标一般为电气导通性，传统的测试过程是人工拿着测试电表，将测试电表的一端与探针接触，另一端与探针的另一端接触，从而逐个测试探针。
但是探针尺寸较小，利用电表夹持时非常容易存在夹持不稳定，比较考验操作人员的熟练度等，导致测试过程效率低下并且测试结果不够准确。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本申请提供一种探针通路检测装置，其具有检测方便节省人力，检测效率高的优势。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种探针通路检测装置，其包括：
工作台，所述工作台上设置有十字滑台，所述十字滑台上设有底座，底座被所述十字滑台带动沿着相互垂直的X轴和Y轴移动；
导电板，所述导电板固定在底座上；
探针板，所述探针板拆卸固定在导电板上，并且探针在未测试状态下与导电板不接触；
测试支架，所述测试支架上升降设置有导电头，所述测试支架上设有用于带动导电头升降的驱动件；
测试表，所述测试表的一端与导电头连接，所述测试表的另一端与导电板连接。
实现上述技术方案，由于探针是弹性装载在探针板上的，在不测试时探针的底端与导电板之间分开不接触，在测试时，导电头向下按压单根的探针以使得探针向下移动，最终使得探针的底端与导电板接触，然后测试表的两端分别与导电头和导电板连通，从而形成整体通路完成测试，由于导电头和导电板分别形成探针的延伸，测试表不需要直接与探针接触，从而省略了人工操作的测试表与探针的夹装过程，有效提高效率，并且导电头上下移动以及探针位置的改变均是自动化进行，进一步减少工作量，提高效率，并且通过导电头的升降实现与探针的接触或者分离，测试表的端部只需要一直连接在导电头上即可，不用频繁的夹装不同的探针，进一步提高了测试效率。
作为本申请的其中一个可选实时方案，所述导电头上设有装配孔，所述装配孔供测试表的一端插入实现临时连接。
实现上述技术方案，测试表与导电头的连接更加方便，操作人员直接将测试表的一端插接进装配孔即可。
作为本申请的其中一个可选实时方案，所述装配孔至少设有两个。
作为本申请的其中一个可选实时方案，所述导电板上设有延伸板，所述延伸板上开设有供测试表另一端装配的安装孔。
实现上述技术方案，使得测试表与导电板之间的连接更加方便，进一步提高测试的便捷性，降低操作难度。
作为本申请的其中一个可选实时方案，所述驱动件上设有按压式的压力传感器，所述导电头设置在压力传感器的按压接头。
实现上述技术方案，由于不同芯片在测试时所需要与探针之间的接触压力不同，利用压力传感器可以较好地模拟出探针实际工作时的状态，从而更加全面准确的检测探针的性能。
作为本申请的其中一个可选实时方案，所述导电头螺纹配合在压力传感器上。
作为本申请的其中一个可选实时方案，所述导电板拆卸设置在底座上。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.在测试时，导电头向下按压单根的探针以使得探针向下移动，最终使得探针的底端与导电板接触，然后测试表的两端分别与导电头和导电板连通，从而形成整体通路完成测试，由于导电头和导电板分别形成探针的延伸，测试表不需要直接与探针接触，从而省略了人工操作的测试表与探针的夹装过程，有效提高效率；
2.导电头上下移动以及探针位置的改变均是自动化进行，即通过导电头的升降实现与探针的接触或者分离，测试表的端部只需要一直连接在导电头上即可，不用频繁的夹装不同的探针，进一步提高了测试效率进一步减少工作量，提高效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是探针通路检测装置的整体结构图；
图2是主要用于展示导电头连接结构的爆炸结构图。
附图标记：1、工作台；2、十字滑台；3、底座；4、导电板；41、安装孔；5、探针板；6、测试支架；7、导电头；71、装配孔；8、驱动件；9、测试表；10、压力传感器。
具体实施方式
以下结合附图1-2对本申请作进一步详细说明。
参照图1和图2，为本申请实施例公开的一种探针通路检测装置，其包括工作台1，工作台1上设置有十字滑台2，十字滑台2上设有底座3，在底座3上螺栓拆卸式连接有导电板4；在导电板4上螺栓拆卸连接有探针板5，并且探针在未测试状态下与导电板4不接触。底座3被十字滑台2带动沿着相互垂直的X轴和Y轴移动，从而带动探针在平面内移动，完成不同探针的自动化测试需求。
参照图1和图2，在工作台1上还竖直设有测试支架6，测试支架6上升降设置有导电头7，测试支架6上设有用于带动导电头7升降的驱动件8，在本实施例中驱动件8为丝杆驱动组件，由于探针均是弹性安装在探针板5内的，所以导电头7在被带动下降的过程中会按压探针以使得探针底部接触导电板4实现导通，而当导电头7远离探针则使得探针与导电板4不接触从而使得电路断开。并且在驱动件8上设有按压式的压力传感器10，导电头7设置在压力传感器10的按压接头，导电头7螺纹配合在压力传感器10上以使得导电头7可以根据情况更换。由于不同芯片在测试时所需要与探针之间的接触压力不同，利用压力传感器10可以较好地模拟出探针实际工作时的状态，从而更加全面准确的检测探针的性能。
参照图1和图2，还包括测试表9，测试表9的一端与导电头7连接，具体为在导电头7上设有装配孔71，装配孔71供测试表9的一端插入实现临时连接，装配孔71至少设有两个从而方面操作人员的选择。测试表9的另一端与导电板4连接，具体为在导电板4上设有延伸板，延伸板上开设有供测试表9另一端装配的安装孔41。以上设定使得在导电头7、探针以及导电板4导通或者断开的同时即形成整体测试电路的导通或者断开，导电头7和导电板4分别形成探针的延伸，测试表9不需要直接与探针接触，导电头7上下移动以及探针位置的改变均是自动化进行，即通过导电头7的升降实现与探针的接触或者分离，测试表9的端部只需要一直连接在导电头7上即可，不用频繁的夹装不同的探针，进一步提高了测试效率进一步减少工作量，提高效率。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种探针通路检测装置，其特征在于，包括：
工作台(1)，所述工作台(1)上设置有十字滑台(2)，所述十字滑台(2)上设有底座(3)，底座(3)被所述十字滑台(2)带动沿着相互垂直的X轴和Y轴移动；
导电板(4)，所述导电板(4)固定在底座(3)上；
探针板(5)，所述探针板(5)拆卸固定在导电板(4)上，并且探针在未测试状态下与导电板(4)不接触；
测试支架(6)，所述测试支架(6)上升降设置有导电头(7)，所述测试支架(6)上设有用于带动导电头(7)升降的驱动件(8)；
测试表(9)，所述测试表(9)的一端与导电头(7)连接，所述测试表(9)的另一端与导电板(4)连接。
2.根据权利要求1所述的一种探针通路检测装置，其特征在于：所述导电头(7)上设有装配孔(71)，所述装配孔(71)供测试表(9)的一端插入实现临时连接。
3.根据权利要求2所述的一种探针通路检测装置，其特征在于：所述装配孔(71)至少设有两个。
4.根据权利要求2所述的一种探针通路检测装置，其特征在于：所述导电板(4)上设有延伸板，所述延伸板上开设有供测试表(9)另一端装配的安装孔(41)。
5.根据权利要求1或3所述的一种探针通路检测装置，其特征在于：所述驱动件(8)上设有按压式的压力传感器(10)，所述导电头(7)设置在压力传感器(10)的按压接头。
6.根据权利要求4所述的一种探针通路检测装置，其特征在于：所述导电头(7)螺纹配合在压力传感器(10)上。
7.根据权利要求1所述的一种探针通路检测装置，其特征在于：所述导电板(4)拆卸设置在底座(3)上。
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2023
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