CN221247395U - 一种晶圆激光加工的夹具 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆激光加工的夹具，包括：安装在设备上的中部带孔的底座，所述底座上方通过螺栓固定连接法兰盘，所述法兰盘中部固定插设空心支撑筒，所述空心支撑筒上方固定连接中部镂空的盖盘，所述盖盘上方放置晶圆激光加工的工件，所述底座下方通过螺栓固定连接空心支撑柱；固定夹杆一及固定夹杆二顶端均一体成型连接压住晶圆激光加工的工件的压块，所述固定夹杆一及固定夹杆二中部均与移动杆铰接，所述底座中部上方通过螺栓固定连接位于空心支撑筒及法兰盘内侧的滑件。其结构简单，通过控制活塞从而控制移动杆，实现固定夹杆一及固定夹杆二之间铰接角度的大小，从而实现对晶圆内侧孔边缘的夹固，防止损坏上表面，且可以夹固不同厚度的晶圆。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工相关设备领域，特别涉及一种晶圆激光加工的夹具。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。圆柱形的单晶硅再经过研磨、抛光和切片，之后形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆在切割或者打磨时通常需要用到夹具，提升切割或打磨精准度。
相关技术中，晶圆切割或打磨边缘用夹具大多数通过夹持的方式将晶圆进行固定，然后将其进行切割或打磨边缘。
针对上述中的相关技术，发明人认为晶圆在夹持的过程中，表面容易产生伤痕，从而影响晶圆的质量，且上表面夹持才能实现侧面边缘的打磨，容易磨损上表面，对厚度不同的晶圆夹固性不稳定。
实用新型内容
针对现有技术中的上述不足，本实用新型提供了一种晶圆激光加工的夹具，其结构简单，通过控制活塞从而控制移动杆，实现固定夹杆一及固定夹杆二之间铰接角度的大小，从而实现对晶圆内侧孔边缘的夹固，防止损坏上表面，且可以夹固不同厚度的晶圆。
为了达到上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种晶圆激光加工的夹具，包括：安装在设备上的中部带孔的底座，所述底座上方通过螺栓固定连接法兰盘，所述法兰盘中部固定插设空心支撑筒，所述空心支撑筒上方固定连接中部镂空的盖盘，所述盖盘上方放置晶圆激光加工的工件，所述底座下方通过螺栓固定连接空心支撑柱；
所述盖盘、空心支撑筒及法兰盘内侧活动设有可位于盖盘上方的固定夹杆一及固定夹杆二，且固定夹杆一及固定夹杆二顶端均一体成型连接压住晶圆激光加工的工件的压块，所述固定夹杆一及固定夹杆二中部均与移动杆铰接，所述底座中部上方通过螺栓固定连接位于空心支撑筒及法兰盘内侧的滑件，所述固定夹杆一及固定夹杆二底端分别接触滑件两侧，且固定夹杆一与固定夹杆二底端通过弹簧连接，所述移动杆穿过底座及滑件、底端位于空心支撑柱内侧，且移动杆底端固定连接位于空心支撑柱内侧的活塞。
本实用新型与现有技术相比的优点在于：其结构简单，通过控制活塞从而控制移动杆，实现固定夹杆一及固定夹杆二之间铰接角度的大小，从而实现对晶圆内侧孔边缘的夹固，防止损坏上表面，且可以夹固不同厚度的晶圆。
作为改进，所述盖盘中部镂空孔的直径小于空心支撑筒内孔的直径。
作为改进，所述空心支撑筒内孔的直径与法兰盘内孔的直径相同。
作为改进，所述空心支撑柱上部内侧的孔径适配移动杆的直径，下部内侧的孔径适配活塞的直径，即空心支撑柱上部的内直径小于下部的内直径。
作为改进，所述滑件上部侧面设有接触固定夹杆一及固定夹杆二滑动的倾斜坡面，下部呈圆柱状，中部设有适配移动杆上、下移动的穿孔。
作为改进，所述弹簧的数量有2个，且分别位于固定夹杆一或固定夹杆二两侧。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型夹固晶圆激光加工的工件时的结构示意图；
图3为本实用新型的内部结构示意图；
图4为本实用新型滑件的结构示意图；
附图标记对照表：
1-底座、2-法兰盘、3-空心支撑筒、4-固定夹杆一、5-固定夹杆二、6-压块、7-晶圆激光加工的工件、8-空心支撑柱、9-移动杆、10-弹簧、11-滑件、1101-倾斜坡面、1102-穿孔、13-活塞、14-盖盘。
具体实施方式
下面结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1至图4所示，一种晶圆激光加工的夹具，包括：安装在设备上的中部带孔的底座1，所述底座1上方通过螺栓固定连接法兰盘2，所述法兰盘2中部固定插设空心支撑筒3，所述空心支撑筒3上方固定连接中部镂空的盖盘14，所述盖盘14上方放置晶圆激光加工的工件7，所述底座1下方通过螺栓固定连接空心支撑柱8；
所述盖盘14、空心支撑筒3及法兰盘2内侧活动设有可位于盖盘14上方的固定夹杆一4及固定夹杆二5，且固定夹杆一4及固定夹杆二5顶端均一体成型连接压住晶圆激光加工的工件7的压块6，所述固定夹杆一4及固定夹杆二5中部均与移动杆9铰接，所述底座1中部上方通过螺栓固定连接位于空心支撑筒3及法兰盘2内侧的滑件11，所述固定夹杆一4及固定夹杆二5底端分别接触滑件11两侧，且固定夹杆一4与固定夹杆二5底端通过弹簧10连接，所述移动杆9穿过底座1及滑件11、底端位于空心支撑柱8内侧，且移动杆9底端固定连接位于空心支撑柱8内侧的活塞13。
盖盘14中部镂空孔的直径小于空心支撑筒3内孔的直径。空心支撑筒3内孔的直径与法兰盘2内孔的直径相同。空心支撑柱8上部内侧的孔径适配移动杆9的直径，下部内侧的孔径适配活塞13的直径，即空心支撑柱8上部的内直径小于下部的内直径。滑件11上部侧面设有接触固定夹杆一4及固定夹杆二5滑动的倾斜坡面1101，下部呈圆柱状，中部设有适配移动杆9上、下移动的穿孔1102。弹簧10的数量有2个，且分别位于固定夹杆一4或固定夹杆二5两侧。
本实用新型的工作原理：
该装置使用过程中，通过现有技术的提供动力的机构例如：液压缸、电动推杆等，给活塞13提供往复移动的动力，移动杆9受力执行，对两侧铰接的固定夹杆一4及固定夹杆二5施力，使得固定夹杆一4及固定夹杆二5底端沿着滑件11侧面的倾斜坡面1101移动，实现压块6对晶圆激光加工的工件7中孔内边缘的夹固。
以上所述仅为本实用新型专利的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型专利，凡在本实用新型专利的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型专利的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆激光加工的夹具，其特征在于，包括：安装在设备上的中部带孔的底座(1)，所述底座(1)上方通过螺栓固定连接法兰盘(2)，所述法兰盘(2)中部固定插设空心支撑筒(3)，所述空心支撑筒(3)上方固定连接中部镂空的盖盘(14)，所述盖盘(14)上方放置晶圆激光加工的工件(7)，所述底座(1)下方通过螺栓固定连接空心支撑柱(8)；
所述盖盘(14)、空心支撑筒(3)及法兰盘(2)内侧活动设有可位于盖盘(14)上方的固定夹杆一(4)及固定夹杆二(5)，且固定夹杆一(4)及固定夹杆二(5)顶端均一体成型连接压住晶圆激光加工的工件(7)的压块(6)，所述固定夹杆一(4)及固定夹杆二(5)中部均与移动杆(9)铰接，所述底座(1)中部上方通过螺栓固定连接位于空心支撑筒(3)及法兰盘(2)内侧的滑件(11)，所述固定夹杆一(4)及固定夹杆二(5)底端分别接触滑件(11)两侧，且固定夹杆一(4)与固定夹杆二(5)底端通过弹簧(10)连接，所述移动杆(9)穿过底座(1)及滑件(11)、底端位于空心支撑柱(8)内侧，且移动杆(9)底端固定连接位于空心支撑柱(8)内侧的活塞(13)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光加工的夹具，其特征在于：所述盖盘(14)中部镂空孔的直径小于空心支撑筒(3)内孔的直径。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆激光加工的夹具，其特征在于：所述空心支撑筒(3)内孔的直径与法兰盘(2)内孔的直径相同。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光加工的夹具，其特征在于：所述空心支撑柱(8)上部内侧的孔径适配移动杆(9)的直径，下部内侧的孔径适配活塞(13)的直径，即空心支撑柱(8)上部的内直径小于下部的内直径。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆激光加工的夹具，其特征在于：所述滑件(11)上部侧面设有接触固定夹杆一(4)及固定夹杆二(5)滑动的倾斜坡面(1101)，下部呈圆柱状，中部设有适配移动杆(9)上、下移动的穿孔(1102)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆激光加工的夹具，其特征在于：所述弹簧(10)的数量有2个，且分别位于固定夹杆一(4)或固定夹杆二(5)两侧。
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