CN221216417U - 一种半导体抛光垫收放卷取样设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体抛光垫收放卷取样设备，包括放卷机构、取样机构、纠偏机构及收卷机构，抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构上，通过放卷机构自动展开，所述取样机构和所述纠偏机构固定在支撑座上，分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏，所述收卷机构用于将展开的抛光垫自动卷收成卷，所述支撑座上安装有多组过渡辊，所述过渡辊用于抛光垫进行滚动支撑。该取样设备能自动拆卷收卷，并根据设定好的卷材长度对产品按要求进行裁剪取样，简化取样流程，提高取样效率，进而提高产品的生产质量和效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光垫取样技术领域，尤其是一种半导体抛光垫收放卷取样设备。
背景技术
抛光垫卷材产品长度一般为20-500米，宽幅0.8-1.5米，现有取样方式为手动装置人工取样，取样前需要人工将卷材拆卷平铺，然后人工测量取样位置进行取样，最后再手动将产品重新收卷。这种采用手动取样，人工拆卷、取样、收卷工作量大，取样效率低，且无法保证取样精度。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提出了一种半导体抛光垫收放卷取样设备，该取样设备能自动拆卷收卷，并根据设定好的卷材长度对产品按要求进行裁剪取样，简化取样流程，提高取样效率，进而提高产品的生产质量和效率。
一种半导体抛光垫收放卷取样设备，包括放卷机构、取样机构、纠偏机构及收卷机构，抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构上，通过放卷机构自动展开，所述取样机构和所述纠偏机构固定在支撑座上，分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏，所述收卷机构用于将展开的抛光垫自动卷收成卷，所述支撑座上安装有多组过渡辊，所述过渡辊用于抛光垫进行滚动支撑。
作为上述技术方案的优选，所述放卷机构和所述收卷机构的卷轴均采用气胀芯轴，所述气胀芯轴通过安全卡盘防止过载。
作为上述技术方案的优选，所述取样机构设有前后两组，所述支撑座上安装有直线滑轨，所述取样机构安装于所述直线滑轨上，通过手轮丝杆驱动沿着直线滑轨滑动。
作为上述技术方案的优选，所述取样机构包括刀架，所述直线滑轨上安装有定位板，所述刀架固定于所述定位板上，所述定位板上安装有子母刀模，所述刀架顶部安装有气缸，所述气缸用于驱动刀架内刀模下压取样。
作为上述技术方案的优选，所述收卷机构的侧边也安装有一组过渡辊。
本实用新型的有益效果在于：
1、采用多个模块组装而成，转运和安装方便，能够根据应用场地进行灵活布局调整。
2、能自动拆卷收卷，并根据设定好的卷材长度对产品按要求进行裁剪取样，简化取样流程，提高取样效率，进而提高产品的生产质量和效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为取样机构的结构示意图。
附图标记如下：1-放卷机构、2-取样机构、3-纠偏机构、4-收卷机构、5-支撑座、6-过渡辊、7-卷轴、8-直线滑轨、9-手轮丝杆、10-刀架、11-定位板、12-子母刀模、13-气缸。
具体实施方式
下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1、图2所述的一种半导体抛光垫收放卷取样设备，包括放卷机构1、取样机构2、纠偏机构3及收卷机构4，抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构1上，通过放卷机构1自动展开，所述取样机构2和所述纠偏机构3固定在支撑座5上，分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏，所述收卷机构4用于将展开的抛光垫自动卷收成卷，所述支撑座5上安装有多组过渡辊6，所述过渡辊6用于抛光垫进行滚动支撑。
在本实施例中，所述放卷机构1和所述收卷机构4的卷轴7均采用气胀芯轴，所述气胀芯轴通过安全卡盘防止过载。其中，放卷机构1采用磁粉制动器进行制动，收卷机构4安装有计米器，用于显示收卷长度。
在本实施例中，所述取样机构2设有前后两组，所述支撑座5上安装有直线滑轨8，所述取样机构2安装于所述直线滑轨8上，通过手轮丝杆9驱动沿着直线滑轨8滑动。
在本实施例中，所述取样机构2包括刀架10，所述直线滑轨8上安装有定位板11，所述刀架10固定于所述定位板11上，所述定位板11上安装有子母刀模12，所述刀架10顶部安装有气缸13，所述气缸13用于驱动刀架10内刀模下压取样。
在本实施例中，所述收卷机构4的侧边也安装有一组过渡辊6。
本设备取样方式分为手动和自动取样两种模式：手动模式下，根据计米器显示的收卷长度，再到达取样位置时，手动停止收卷，按下取样按钮，完成取样后，按下启动按钮继续收卷，后续取样点按相同步骤完成取样，收卷完成后，停止设备运行；自动模式下，设备根据输入的取样位置数据，在收放卷过程中自动完成取样动作。其中，取样机构2安装在直线滑轨8上，通过手轮丝杆9调整取样位置，并方便抛光垫的取出，纠偏机构4为本领域的常规技术手段，在此不做详细描述。
以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种半导体抛光垫收放卷取样设备，其特征在于：包括放卷机构、取样机构、纠偏机构及收卷机构，抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构上，通过放卷机构自动展开，所述取样机构和所述纠偏机构固定在支撑座上，分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏，所述收卷机构用于将展开的抛光垫自动卷收成卷，所述支撑座上安装有多组过渡辊，所述过渡辊用于抛光垫进行滚动支撑。
2.根据权利要求1所述的收放卷取样设备，其特征在于：所述放卷机构和所述收卷机构的卷轴均采用气胀芯轴，所述气胀芯轴通过安全卡盘防止过载。
3.根据权利要求1所述的收放卷取样设备，其特征在于：所述取样机构设有前后两组，所述支撑座上安装有直线滑轨，所述取样机构安装于所述直线滑轨上，通过手轮丝杆驱动沿着直线滑轨滑动。
4.根据权利要求3所述的收放卷取样设备，其特征在于：所述取样机构包括刀架，所述直线滑轨上安装有定位板，所述刀架固定于所述定位板上，所述定位板上安装有子母刀模，所述刀架顶部安装有气缸，所述气缸用于驱动刀架内刀模下压取样。
5.根据权利要求1所述的收放卷取样设备，其特征在于：所述收卷机构的侧边也安装有一组过渡辊。
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