CN221124666U - 一种用于晶圆测试装置的通气结构及晶圆测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种用于晶圆测试装置的通气结构及晶圆测试装置，涉及晶圆测试技术领域。该晶圆测试装置包括夹具和至少两个通气结构，夹具限定有用于放置晶圆的密封腔以及与密封腔连通的至少一个进气口和至少一个排气口，每个进气口或排气口对应一个通气结构；通气结构包括移动部件，沿竖向布置，移动部件内设有气道，且顶部设有与气道连通的开口，移动部件设置成可伸缩地，以在夹具移动至至少一个进气口和至少一个排气口与对应的开口接触且继续向下移动时向下收缩，使得夹具下压时与通气结构产生柔性接触，避免通气结构与夹具产生刚性接触，从而避免通气结构损坏。

Description

一种用于晶圆测试装置的通气结构及晶圆测试装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试技术领域，特别是涉及一种用于晶圆测试装置的通气结构及晶圆测试装置。

背景技术

在晶圆测试过程中，晶圆处于夹具的密封腔内，为了保证在加电测试过程中密封腔内的气体不影响晶圆测试，需要向密封腔内充入保护气体，避免晶圆在测试过程中产生电火花，影响晶圆测试的准确度。

现有技术中，内部放置晶圆的夹具在下压过程中会直接与通气装置接触，由于夹具和通气装置通常为金属材质，所以夹具与通气装置容易发生刚性接触，造成通气装置损坏或夹具上的气口损坏，影响夹具和通气装置的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型第一方面的一个目的是要提供一种用于晶圆测试装置的通气结构，解决现有技术中夹具下压时与通气结构产生刚性接触的技术问题。

本实用新型第一方面的另一个目的是通过合理设计通气结构，使得气管经过通气结构向密封腔内充入保护气体时处于一个全密封状态，避免保护气体在充气过程泄露，降低晶圆测试成本。

本实用新型第二方面的目的是要提供一种具有上述通气结构的晶圆测试装置。

根据本实用新型第一方面的目的，本实用新型提供了一种用于晶圆测试装置的通气结构，所述晶圆测试装置包括夹具和至少两个通气结构，所述夹具限定有用于放置晶圆的密封腔以及与所述密封腔连通的至少一个进气口和至少一个排气口，每个所述进气口或所述排气口对应一个所述通气结构；所述通气结构包括：

移动部件，沿竖向布置，所述移动部件内设有气道，且顶部设有与所述气道连通的开口，所述移动部件设置成可伸缩地，以在所述夹具移动至所述至少一个进气口和所述至少一个排气口与对应的所述开口接触且继续向下移动时向下收缩。

可选地，基座，其内设有安装腔，所述移动部件沿竖向设置在所述安装腔内，且凸出于所述安装腔。

可选地，所述移动部件包括：

伸缩杆，具有所述气道和所述开口；

弹性件，设置在所述安装腔内，所述弹性件套设在所述伸缩杆上，且与所述伸缩杆连接，所述弹性件设置成在所述伸缩杆收到向下的作用力时收缩，以带动所述伸缩杆向下移动。

可选地，气嘴接头，沿水平方向布置，且与所述气道连通，用于与气管连接。

可选地，所述晶圆测试装置还包括底板，所述底板的上表面设有用于安装所述通气结构的限位槽。

可选地，所述夹具包括热沉，所述热沉具有本体和由所述本体向外凸出的至少两个安装部，每个所述安装部的底端设有一个所述进气口或一个所述排气口，且每个所述安装部对应一个所述通气结构。

可选地，所述安装部的数量为两个，两个所述安装部设置在所述热沉的同一侧。

可选地，所述开口的边缘处设有凸起的第一密封圈，所述至少一个进气口和所述至少一个排气口的边处设有凸起的第二密封圈，所述第一密封圈与所述第二密封圈设置成在所述至少一个进气口和所述至少一个排气口与对应的所述开口接触时相互配合，从而进行密封。

可选地，所述第一密封圈的外径小于或等于所述第二密封圈的内径。

根据本实用新型第二方面的目的，本实用新型还提供了一种晶圆测试装置，包括上述任一项所述的通气结构。

本实用新型中，晶圆测试装置包括夹具和至少两个通气结构，夹具限定有用于放置晶圆的密封腔以及与密封腔连通的至少一个进气口和至少一个排气口，每个进气口或排气口对应一个通气结构。通气结构包括沿竖向布置的移动部件，移动部件内设有气道，且顶部设有与气道连通的开口，移动部件设置成可伸缩地，以在夹具移动至至少一个进气口和至少一个排气口与对应的开口接触且继续向下移动时向下收缩，使得夹具下压时与通气结构产生柔性接触，避免通气结构与夹具产生刚性接触，从而避免通气结构损坏。

进一步地，在本实用新型的通气结构中，首先在开口的边缘处设有凸起的第一密封圈，至少一个进气口和至少一个排气口的边处设有凸起的第二密封圈，第一密封圈与第二密封圈设置成在至少一个进气口和至少一个排气口与对应的开口接触时相互配合，从而进行密封，使得气管经过通气结构向密封腔内充入保护气体时处于一个全密封状态，避免保护气体在充气过程泄露，降低晶圆测试成本。

根据下文结合附图对本实用新型具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的示意性结构图；

图2是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的示意性剖视图；

图3是图2所示的晶圆测试装置中A部的局部放大图；

图4是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的通气结构的示意性结构图；

图5是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的通气结构的示意性剖视图；

图6是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的底板的示意性结构图；

图7是图1所示夹具中的热沉的示意性结构图。

附图标记：

100-晶圆测试装置，10-通气结构，20-夹具，30-底板，11-移动部件，12-气嘴接头，13-基座，111-伸缩杆，112-弹性件，113-气道，114-开口，115-第二密封圈，21-热沉，22-安装部，221-排气口，222-进气口，223-第二密封圈。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

图1是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的示意性透视图，图2是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置的示意性剖视图，图3是图2所示的晶圆测试装置中A部的局部放大图。如图1至图3所示，本实用新型提供了一种用于晶圆测试装置100的通气结构10。该晶圆测试装置100一般性地可包括夹具20和至少两个通气结构10，夹具20限定有用于放置晶圆的密封腔40以及与密封腔40连通的至少一个进气口222和至少一个排气口221，每个进气口222或排气口221对应一个通气结构10。通气结构10包括沿竖向布置的移动部件11，移动部件11内设有气道113，且顶部设有与气道113连通的开口114，移动部件11设置成可伸缩地，以在夹具20移动至至少一个进气口222和至少一个排气口221与对应的开口114接触且继续向下移动时向下收缩，使得夹具20下压时与通气结构10产生柔性接触，避免通气结构10与夹具20产生刚性接触，从而避免通气结构10损坏。

在该实施例中，与夹具20内限定的密封腔40连通的至少一个进气口222和至少一个排气口221分别对应一个通气结构10。也就是说，在向密封腔40内充入保护气体时，保护气体依次流经气管、进气口222、密封腔40、排气口221，直至排气口221内排出保护气体以确保密封腔40内充满保护气体。这里，保护气体可以是氮气。

在该实施例中，通气结构10还包括基座13，其内设有安装腔131，移动部件11沿竖向设置在安装腔131内，且凸出于安装腔131。具体地，基座13内部的安装腔131的直径与移动部件11的直径一致，使得移动部件11固定安装在基座13内部的安装腔131内。这里，基座13的形状可以是柱状结构或十字形结构。

在该实施例中，通气结构10的基座13的底部设有两个定位孔和两个螺纹孔，用于基座13的固定连接。这里，两个定位孔位于通气结构10的基座13的对角线的位置处，两个螺纹孔位于通气结构10的基座13的另一对角线的位置处。

图4是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置100的通气结构的示意性结构图，图5是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置100的通气结构的示意性剖视图。如图4和图5所示，在该实施例中，移动部件11包括伸缩杆111和弹性件112，伸缩杆111具有气道113和开口114。弹性件112设置在安装腔131内，且通过套设在伸缩杆111上与伸缩杆111连接。弹性件112设置成在伸缩杆111收到向下的作用力时收缩，以带动伸缩杆111向下移动。具体地，移动部件11的可伸缩性是通过套设在伸缩杆111上的弹性件112实现的。也就是说，在夹具20下压过程中，当夹具20移动至进气口222和排气口221与对应的开口114接触且继续向下移动时，移动部件11向下收缩，使得夹具20下压时与通气结构10产生柔性接触，避免通气结构10与夹具20产生刚性接触，从而避免通气结构10损坏。这里，气道113是用于气管向密封腔40内充入气体或从密封腔40内向外排出气体时的气流通道，开口114位于伸缩杆111的顶部，且伸缩杆111的侧部设有一个导向孔。

在该实施例中，通气结构10还包括沿水平方向布置的气嘴接头12，气嘴接头12与气道113连通，用于与气管连接。具体地，气嘴接头12的一端与移动部件11的伸缩杆111通过伸缩杆111侧部的导向孔进行连接，且气嘴接头12的另一端与气管连接。也就是说，气管向密封腔40内充入保护气体时，气流从气管流出依次流经气嘴接头12、伸缩杆111的内部的气道113、伸缩杆111顶部的开口114、进气口222直至流入密封腔40内。这里，气嘴接头12内部设有气道113。

如图5所示，在该实施例中，移动部件11的伸缩杆111的内部的气道113包括第一气道和第二气道，第一气道沿竖直方向布置，第二气道沿水平方向布置且与气嘴接头12内部的气道113连通，共同构成保护气体的气流通道。这里，第一气道穿设于第二气道，且第一气道的直径小于第二气道的直径。在其他实施例中，第一气道的直径可以等于或大于第二气道的直径。

图6是根据本实用新型一个实施例的晶圆测试装置100的底板的示意性结构图。如图6所示，在该实施例中，晶圆测试装置100还包括底板30，底板30的上表面设有用于安装通气结构10的限位槽31。具体地，限位槽31设为矩形，其对角线的两端设有两个定位部，另一对角线的两端设有两个螺纹孔，每个定位部与通气结构10的基座13上的一个定位孔一一对应布置，每个螺纹孔与通气结构10的基座13上的一个螺纹孔一一对应布置，定位部与定位孔相配合以及螺纹孔通过螺栓连接，从而将基座13与底板30固定连接。

图7是图1所示夹具中的热沉的示意性结构图。如图7所示，在该实施例中，夹具20包括热沉21，热沉21具有本体和由本体向外凸出的至少两个安装部22，每个安装部22的底端设有一个进气口222或一个排气口221，且每个安装部22对应一个通气结构10。具体地，每个安装部22底端设置的进气口222或出气口分别与通气结构10的伸缩杆111的顶部的开口一一对应布置，以使保护气体由通气结构10的进气口222流入由夹具20限定的密封腔40内或从密封腔40内向通气结构10的排气口221排出气体。

在一个优选的实施例中，安装部22的数量为两个，两个安装部22设置在热沉21的同一侧，且两个安装部22关于热沉21的中心线对称布置。也就是说，晶圆测试装置100里的通气结构10的数量为两个，分别是向密封腔40内充入保护气体的具有一个进气口222的通气结构10和从密封腔40内排出原有气体的具有一个排气口221的通气结构10。这里，通气结构10的数量根据热沉21的安装部22的数量进行设计。

如图2所示，在该实施例中，开口的边缘处设有凸起的第一密封圈115，至少一个进气口222和至少一个排气口221的边缘处设有凸起的第二密封圈223，第一密封圈115与第二密封圈223设置成在至少一个进气口222和至少一个排气口221与对应的开口接触时相互配合，从而进行密封。具体地，第一密封圈115的直径大于开口的直径，第二密封圈223的直径大于排气口221和进气口222的直径。

在该实施例中，第一密封圈115的外径小于或等于第二密封圈223的内径。具体地，第一密封圈115与第二密封圈223在进气口222和排气口221与对应的开口接触时相互配合，使得进气口222与开口或排气口221与开口接触时形成封闭的密封结构，使得保护气体向密封腔40内充入或从密封腔40向外部排出时不会发生泄露。

本实用新型还提供了一种晶圆测试装置100，包括上述任一项的通气结构10。对于通气结构10，这里不一一赘述。

该实施例的通气结构10设置成可伸缩地，当夹具20移动至进气口222和排气口221与对应的开口接触且继续向下移动时向下收缩，使得夹具20下压时与通气结构10产生柔性接触，避免通气结构10损坏。另外，伸缩杆111的开口的边缘处设有第一密封圈115，进气口222和排气口221的边缘处设有第二密封圈223，第一密封圈115与第二密封圈223相互配合以形成密封状态，避免保护气体在充气过程泄露。

至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本实用新型的多个示例性实施例，但是，在不脱离本实用新型精神和范围的情况下，仍可根据本实用新型公开的内容直接确定或推导出符合本实用新型原理的许多其他变型或修改。因此，本实用新型的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

Claims (10)

1.一种用于晶圆测试装置的通气结构，其特征在于，所述晶圆测试装置包括夹具和至少两个通气结构，所述夹具限定有用于放置晶圆的密封腔以及与所述密封腔连通的至少一个进气口和至少一个排气口，每个所述进气口或所述排气口对应一个所述通气结构；所述通气结构包括：

移动部件，沿竖向布置，所述移动部件内设有气道，且顶部设有与所述气道连通的开口，所述移动部件设置成可伸缩地，以在所述夹具移动至所述至少一个进气口和所述至少一个排气口与对应的所述开口接触且继续向下移动时向下收缩。

2.根据权利要求1所述的通气结构，其特征在于，还包括：

基座，其内设有安装腔，所述移动部件沿竖向设置在所述安装腔内，且凸出于所述安装腔。

3.根据权利要求2所述的通气结构，其特征在于，所述移动部件包括：

伸缩杆，具有所述气道和所述开口；

弹性件，设置在所述安装腔内，所述弹性件套设在所述伸缩杆上，且与所述伸缩杆连接，所述弹性件设置成在所述伸缩杆收到向下的作用力时收缩，以带动所述伸缩杆向下移动。

4.根据权利要求3所述的通气结构，其特征在于，还包括：

气嘴接头，沿水平方向布置，且与所述气道连通，用于与气管连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的通气结构，其特征在于，所述晶圆测试装置还包括底板，所述底板的上表面设有用于安装所述通气结构的限位槽。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的通气结构，其特征在于，所述夹具包括热沉，所述热沉具有本体和由所述本体向外凸出的至少两个安装部，每个所述安装部的底端设有一个所述进气口或一个所述排气口，且每个所述安装部对应一个所述通气结构。

7.根据权利要求6所述的通气结构，其特征在于，

所述安装部的数量为两个，两个所述安装部设置在所述热沉的同一侧。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的通气结构，其特征在于，

所述开口的边缘处设有凸起的第一密封圈，所述至少一个进气口和所述至少一个排气口的边处设有凸起的第二密封圈，所述第一密封圈与所述第二密封圈设置成在所述至少一个进气口和所述至少一个排气口与对应的所述开口接触时相互配合，从而进行密封。

9.根据权利要求8所述的通气结构，其特征在于，

所述第一密封圈的外径小于或等于所述第二密封圈的内径。

10.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的通气结构。