CN220879765U - 一种纯水循环清洗槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种纯水循环清洗槽，涉及清洗设备技术领域，所要解决的技术问题是提供一种纯水循环清洗槽，采用的方案为：清洗槽侧端设有蓄水装置，所述清洗槽另一侧端设有排水装置，所述排水装置侧端通过管道与蓄水装置相连接，所述清洗槽内部底端设有清扫装置，所述清洗槽底部侧端设有凹槽，所述凹槽侧端垂直设置第一出水口，所述凹槽另一侧端设有第二出水口，本实用新型通过蓄水装置和布水管输出纯水，这样可对清洗槽内的零件进行清洗，接着，排水装置的排水箱能够收集清洗槽内的纯水，并将纯水通过过滤器过滤，然后再次传输至蓄水装置，此时蓄水装置可再次向清洗槽输出纯水，以达到纯水循环清洗的效果。

Description

一种纯水循环清洗槽

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体为一种纯水循环清洗槽。

背景技术

在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，由于半导体制程设备制程时不可避免地必须使用大量的酸性或碱性之化学溶液，因而在洗净的过程中，必须使用大量的清水来冲洗半导体制程的零件。经检索，中国专利号为CN208146532U的专利，涉及一种纯水循环清洗槽，实现水流的循环，并可减少水面上的泡沫。上述专利虽然能够实现水流的循环，但使用完成纯水循环清洗槽后，清洗的半导体制程设备的零件的杂质易积攒在清洗槽底部，由于未设置清扫装置，这些杂质则会影响下次使用清洗槽的清洗效果，因此仍有使用局限性。

实用新型内容

为解决现有纯水循环清洗槽虽然能够实现水流的循环，但使用完成纯水循环清洗槽后，清洗的半导体制程设备的零件的杂质易积攒在清洗槽底部，由于未设置清扫装置，这些杂质则会影响下次使用清洗槽的清洗效果，因此仍有使用局限性的问题，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种纯水循环清洗槽，包括清洗槽，所述清洗槽顶端螺纹连接布水管，所述清洗槽侧端设有蓄水装置，所述清洗槽另一侧端设有排水装置，所述排水装置侧端通过管道与蓄水装置相连接，所述清洗槽内部底端设有清扫装置，所述清洗槽底部侧端设有凹槽，所述凹槽侧端垂直设置第一出水口，所述凹槽另一侧端设有第二出水口，所述第二出水口侧端设有电动门，所述清扫装置侧端设有第一移动装置，所述第一移动装置侧端螺栓连接清洗槽，所述第一移动装置侧端滑动连接第一移块，所述第一移块侧端螺栓连接清洁板。

优选的，所述蓄水装置中设有蓄水箱，所述蓄水箱侧端卡套连接第一水泵，所述第一水泵侧端通过管道与布水管相连接。

优选的，所述排水装置中设有排水箱，所述排水箱顶端卡套连接第二水泵，所述第二水泵侧端通过管道与清洗槽相连接，所述排水箱另一侧端卡套连接第三水泵，所述第三水泵侧端通过管道与过滤器相连接。

优选的，所述电动门侧端设有第二移动装置，所述第二移动装置侧端螺栓连接清洗槽，所述第二移动装置另一侧端滑动连接第二移块，所述第二移块侧端螺栓连接门体，所述门体底端以穿插的方式连接导向杆，所述导向杆侧端通过连板与清洗槽相连接。

优选的，所述清洁板底端设有刷毛，所述第一出水口侧端螺纹连接清洗槽，所述第一移动装置和第二移动装置为电动滑台。

本实用新型提供了一种纯水循环清洗槽。具备以下有益效果：

(1)、本实用新型通过蓄水装置和布水管输出纯水，这样可对清洗槽内的零件进行清洗，接着，排水装置的排水箱能够收集清洗槽内的纯水，并将纯水通过过滤器过滤，然后再次传输至蓄水装置，此时蓄水装置可再次向清洗槽输出纯水，以达到纯水循环清洗的效果。

(2)、本实用新型在排水装置收集清洗槽内的纯水后，可通过清扫装置对清洗槽底端进行清扫，以便清洗槽能保持干净，并能更好的清洗零件，便捷实用。

(3)、本实用新型清扫装置清扫的杂质可落入凹槽中，这时可通过第一出水口出水，并打开电动门，这样清扫的杂质可沿凹槽流出第二出水口，这样同时也方便清洗槽排出清扫装置清扫的杂质。

附图说明

图1为本实用新型整体的示意图；

图2为本实用新型整体的顶视图；

图3为本实用新型清扫装置的结构示意图；

图4为本实用新型电动门的连接结构示意图；

图5为本实用新型第一出水口的结构示意图。

图中，1、清洗槽；2、蓄水装置；21、蓄水箱；22、第一水泵；3、布水管；4、排水装置；41、排水箱；42、第二水泵；43、第三水泵；44、过滤器；5、凹槽；6、第一出水口；7、清扫装置；71、第一移动装置；72、第一移块；73、清洁板；74、刷毛；8、第二出水口；9、电动门；91、第二移动装置；92、第二移块；93、门体；94、导向杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种纯水循环清洗槽，包括清洗槽1，所述清洗槽1顶端螺纹连接布水管3，所述清洗槽1侧端设有蓄水装置2，所述清洗槽1另一侧端设有排水装置4，所述排水装置4侧端通过管道与蓄水装置2相连接，所述清洗槽1内部底端设有清扫装置7，所述清洗槽1底部侧端设有凹槽5，所述凹槽5侧端垂直设置第一出水口6，所述凹槽5另一侧端设有第二出水口8，所述第二出水口8侧端设有电动门9，所述清扫装置7侧端设有第一移动装置71，所述第一移动装置71侧端螺栓连接清洗槽1，所述第一移动装置71侧端滑动连接第一移块72，所述第一移块72侧端螺栓连接清洁板73，如图1-3，第一移动装置71移动第一移块72后，带动清洁板73移动，清洁板73在移动过程中可清洁清洗槽1底部，同时清洁的杂质可被扫除至凹槽5，这时第一出水口6可出水，然后水流沿凹槽5流至第二出水口8，此时电动门9呈打开状，便可将杂质排出清洗槽1。

所述蓄水装置2中设有蓄水箱21，所述蓄水箱21侧端卡套连接第一水泵22，所述第一水泵22侧端通过管道与布水管3相连接，如图1-2，蓄水箱21中存有纯水，接着，第一水泵22侧端通过管道将纯水输送至布水管3，布水管3可清洗清洗槽1内的零件。

所述排水装置4中设有排水箱41，所述排水箱41顶端卡套连接第二水泵42，所述第二水泵42侧端通过管道与清洗槽1相连接，所述排水箱41另一侧端卡套连接第三水泵43，所述第三水泵43侧端通过管道与过滤器44相连接，如图1-2，第二水泵42可取水清洗槽1内的纯水至排水箱41，排水箱41通过第三水泵43将纯水输送至过滤器44，过滤器44过滤纯水后将纯水传输至蓄水装置2。

所述电动门9侧端设有第二移动装置91，所述第二移动装置91侧端螺栓连接清洗槽1，所述第二移动装置91另一侧端滑动连接第二移块92，所述第二移块92侧端螺栓连接门体93，所述门体93底端以穿插的方式连接导向杆94，所述导向杆94侧端通过连板与清洗槽1相连接，如图4，第二移动装置91移动第二移块92时带动门体93移动，并可使第二出水口8呈打开状，导向杆94起到导向门体93的作用。

所述清洁板73底端设有刷毛74，所述第一出水口6侧端螺纹连接清洗槽1，所述第一移动装置71和第二移动装置91为电动滑台，如图1-3，清洁板73移动时带动刷毛74清洁清洗槽1底部。

需要说明的是：本实用新型使用时，蓄水装置2的第一水泵22将纯水输送至布水管3，然后布水管3可清洗清洗槽1内的零件，清洗后，排水装置4的第二水泵42可取水清洗槽1内的纯水至排水箱41，然后排水箱41通过第三水泵43将纯水输送至过滤器44，过滤器44过滤纯水后将纯水传输至蓄水装置2，接着蓄水装置2可再次输送纯水，这样完成了纯水循环清洗的效果，而在排水装置4取水后，还可使用清扫装置7，这时第一移动装置71移动第一移块72和清洁板73，清洁板73在移动过程中通过刷毛74可清洁清洗槽1底部，同时将清洁的杂质扫至凹槽5中，这时第一出水口6可出水，并打开电动门9，然后水流沿凹槽5流至第二出水口8，并将杂质排出清洗槽1。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种纯水循环清洗槽，其特征在于：包括清洗槽(1)，所述清洗槽(1)顶端螺纹连接布水管(3)，所述清洗槽(1)侧端设有蓄水装置(2)，所述清洗槽(1)另一侧端设有排水装置(4)，所述排水装置(4)侧端通过管道与蓄水装置(2)相连接，所述清洗槽(1)内部底端设有清扫装置(7)，所述清洗槽(1)底部侧端设有凹槽(5)，所述凹槽(5)侧端垂直设置第一出水口(6)，所述凹槽(5)另一侧端设有第二出水口(8)，所述第二出水口(8)侧端设有电动门(9)，所述清扫装置(7)侧端设有第一移动装置(71)，所述第一移动装置(71)侧端螺栓连接清洗槽(1)，所述第一移动装置(71)侧端滑动连接第一移块(72)，所述第一移块(72)侧端螺栓连接清洁板(73)。

2.根据权利要求1所述一种纯水循环清洗槽，其特征在于：所述蓄水装置(2)中设有蓄水箱(21)，所述蓄水箱(21)侧端卡套连接第一水泵(22)，所述第一水泵(22)侧端通过管道与布水管(3)相连接。

3.根据权利要求1所述一种纯水循环清洗槽，其特征在于：所述排水装置(4)中设有排水箱(41)，所述排水箱(41)顶端卡套连接第二水泵(42)，所述第二水泵(42)侧端通过管道与清洗槽(1)相连接，所述排水箱(41)另一侧端卡套连接第三水泵(43)，所述第三水泵(43)侧端通过管道与过滤器(44)相连接。

4.根据权利要求1所述一种纯水循环清洗槽，其特征在于：所述电动门(9)侧端设有第二移动装置(91)，所述第二移动装置(91)侧端螺栓连接清洗槽(1)，所述第二移动装置(91)另一侧端滑动连接第二移块(92)，所述第二移块(92)侧端螺栓连接门体(93)，所述门体(93)底端以穿插的方式连接导向杆(94)，所述导向杆(94)侧端通过连板与清洗槽(1)相连接。

5.根据权利要求1所述一种纯水循环清洗槽，其特征在于：所述清洁板(73)底端设有刷毛(74)，所述第一出水口(6)侧端螺纹连接清洗槽(1)，所述第一移动装置(71)和第二移动装置(91)为电动滑台。