CN220855978U - 一种用于半导体制造的辅助工装 - Google Patents

Abstract

实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台，所述工作台的顶部中侧固定连接有定位座，所述定位座的顶端两侧设置有两个契合槽，所述契合槽的内部设置有契合柱，所述契合柱的顶端固定连接有放置体，所述放置体的前端内部开设有放置槽，所述放置体的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固定连接有固定板，所述伸缩杆的外壁设置有弹簧。本实用新型中，通过工作台、定位座、契合槽、契合柱、放置体、伸缩杆、固定板、弹簧和放置槽的配合设置，能够将半导体芯片夹持住，较好的避免了芯片跑动，使得半导体芯片在刻纹中不易产生偏差。

Description

一种用于半导体制造的辅助工装

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种用于半导体制造的辅助工装。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，电导率容易受控制的半导体，可作为信息处理的元件材料。

但在传统的光刻工序中，半导体芯片在进行表面光刻纹路时，因为半导体芯片较小较轻，容易被外界因素干扰，稍微产生一点风就会被吹动，使半导体芯片偏移，从而使得光刻产生偏差，半导体芯片报废，且刻完多个芯片后工作台容易残留大量废屑，过量废屑容易影响下一次半导体光刻，需要进行扫除，故而我们需要全新的一种用于半导体制造的辅助工装。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种用于半导体制造的辅助工装，目的是为了解决现有技术中半导体芯片在光刻中容易跑动不稳定，产品光刻偏差且多次刻纹后工作台容易产生废屑，过量废屑容易影响下一次刻纹的问题，而提出的一种用于半导体制造的辅助工装。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台，所述工作台的顶部中侧固定连接有定位座，所述定位座的顶端两侧设置有两个契合槽，所述契合槽的内部设置有契合柱，所述契合柱的顶端固定连接有放置体，所述放置体的前端内部开设有放置槽，所述放置体的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固定连接有固定板，所述伸缩杆的外壁设置有弹簧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述工作台顶部两侧固定连接有支撑架，两个所述支撑架的后端上部相近一侧均固定连接有横板，所述横板的内部两侧均贯穿有丝杆，两个所述丝杆的顶端均固定连接有皮带轮，左侧所述皮带轮的顶端通过转轴固定连接有电机的驱动端，两个所述皮带轮通过皮带相连。

作为上述技术方案的进一步描述：

两个所述丝杆的外壁均螺纹连接有活动块，所述活动块的外壁前侧固定连接有接板，所述接板的内部固定连接有直线导轨，所述直线导轨的内部设置有导轨滑块。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述导轨滑块的外壁固定连接有连接件，所述连接件的内部中侧通过螺栓螺纹连接有清扫板，所述清扫板的底部设置有多个软毛。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述工作台的顶部后方两侧固定连接有保护壳，所述丝杆的底端转动连接在保护壳的内部中侧底端。

作为上述技术方案的进一步描述：

两个所述支撑架的顶端相近一侧通过安装板固定连接有光刻器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述放置体的顶部中侧设置有便于半导体芯片光刻的开槽。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，通过工作台、定位座、契合槽、契合柱、放置体、伸缩杆、固定板、弹簧和放置槽的配合设置，通过设有的定位座，使得放置体能够较为准确的放置在刻蚀工作台的正上方，利用弹簧、伸缩杆和固定板的配合，能够将半导体芯片夹持住，较好的避免了芯片跑动，使得半导体芯片在刻纹中不易产生偏差。

2、本实用新型中，通过支撑架、横板、丝杆、皮带轮、电机、活动块、接板、直线导轨、导轨滑块、连接件和清扫板的配合设置，利用丝杆、皮带轮和电机之间的配合，使得活动块可以带动接板进行上下移动，再利用直线导轨和导轨滑块的设置，使得通过连接件相连的清扫板可以左右移动，从而便于清扫板对工作台上残留的废屑进行扫除。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于半导体制造的辅助工装的立体图；

图2为本实用新型提出的一种用于半导体制造的辅助工装的皮带轮的位置示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于半导体制造的辅助工装的契合柱的位置示意图；

图4为图3中A处的放大图。

图例说明：

1、工作台；2、定位座；3、契合槽；4、契合柱；5、放置体；6、伸缩杆；7、固定板；8、弹簧；9、放置槽；10、光刻器；11、支撑架；12、横板；13、丝杆；14、皮带轮；15、电机；16、活动块；17、接板；18、直线导轨；19、导轨滑块；20、连接件；21、清扫板；22、保护壳。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台1，工作台1的顶部中侧固定连接有定位座2，定位座2的顶端两侧设置有两个契合槽3，契合槽3的内部设置有契合柱4，契合柱4的顶端固定连接有放置体5，放置体5的前端内部开设有放置槽9，放置体5的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆6，伸缩杆6的顶端固定连接有固定板7，伸缩杆6的外壁设置有弹簧8。

定位座2固定在光刻器10的正上方，通过定位座2上设有的契合槽3，便于放置体5下方的契合柱4的连接，使得放置体5中的半导体芯片进行定位，便于光刻器10进行刻纹，较好的减少偏差，开设的放置槽9符合所需的光刻的半导体芯片大小，便于芯片插入，通过设有的伸缩杆6、固定板7和弹簧8的配合，使得固定板7能够对放入的半导体芯片进行抵压夹持，较好的避免芯片滑动。

工作台1顶部两侧固定连接有支撑架11，两个支撑架11的后端上部相近一侧均固定连接有横板12，横板12的内部两侧均贯穿有丝杆13，两个丝杆13的顶端均固定连接有皮带轮14，左侧皮带轮14的顶端通过转轴固定连接有电机15的驱动端，两个皮带轮14通过皮带相连。

利用支撑架11对上部结构进行支撑，使得横板12有所连接，通过启动电机15，使得左侧皮带轮14通过皮带带动右侧皮带轮14转动，两个皮带轮14的转动从而带动丝杆13进行运转。

两个丝杆13的外壁均螺纹连接有活动块16，活动块16的外壁前侧固定连接有接板17，接板17的内部固定连接有直线导轨18，直线导轨18的内部设置有导轨滑块19。

控制电机15的转动方向从而控制丝杆13的转动方向，使得活动块16能够进行上下移动，利用直线导轨18和导轨滑块19的配合设置，使得与导轨滑块19相连的连接件20进行左右移动。

导轨滑块19的外壁固定连接有连接件20，连接件20的内部中侧通过螺栓螺纹连接有清扫板21，清扫板21的底部设置有多个软毛。

通过设有的清扫板21上的软毛，对工作台1上残留的废屑进行扫除，扫除时工作台1两侧可以放置一个废屑收集槽盒。

工作台1的顶部后方两侧固定连接有保护壳22，丝杆13的底端转动连接在保护壳22的内部中侧底端。

通过设置的保护壳22，使得丝杆13有所连接支撑。

两个支撑架11的顶端相近一侧通过安装板固定连接有光刻器10。

放置体5的顶部中侧设置有便于半导体芯片光刻的开槽。

开槽的设置要小于放置槽9，从而使得半导体芯片不掉出的同时，使得光刻器10可以进行刻制。

工作原理：在使用该半导体制造的辅助工装时，通过放置体5上的开槽按压固定板7，将未刻纹的半导体芯片通过放置槽9插入放置体5中，利用固定板7下的弹簧8带动伸缩杆6弹回，使得固定板7对放置好的半导体芯片抵压夹持住，利用放置体5下的契合柱4和定位座2上契合槽3的配合设置，使放置体5定位在光刻器10的正下方，启动光刻器10对半导体芯片进行刻纹，光刻完成后，通过按压半导体芯片，滑动取出换上下一个需要光刻的芯片，当多次光刻后工作台1残留较低废屑时，通过启动电机15，电机15带动左侧皮带轮14进行旋转，左侧皮带轮14通过皮带带动右侧皮带轮14旋转，从而使得左右两个丝杆13进行转动，丝杆13转动使得活动块16能够带动接板17进行上下移动，通过控制丝杆13转动方向，将接板17降下，使得清扫板21上的软毛接触工作台1，在利用直线导轨18和导轨滑块19的配合设置，使得清扫板21通过连接件20进行左右移动清扫，可在工作台1两侧放置废屑收集槽盒，便于收集废屑。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于半导体制造的辅助工装，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部中侧固定连接有定位座(2)，所述定位座(2)的顶端两侧设置有两个契合槽(3)，所述契合槽(3)的内部设置有契合柱(4)，所述契合柱(4)的顶端固定连接有放置体(5)，所述放置体(5)的前端内部开设有放置槽(9)，所述放置体(5)的内部两侧均等距固定连接有多个伸缩杆(6)，所述伸缩杆(6)的顶端固定连接有固定板(7)，所述伸缩杆(6)的外壁设置有弹簧(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述工作台(1)顶部两侧固定连接有支撑架(11)，两个所述支撑架(11)的后端上部相近一侧均固定连接有横板(12)，所述横板(12)的内部两侧均贯穿有丝杆(13)，两个所述丝杆(13)的顶端均固定连接有皮带轮(14)，左侧所述皮带轮(14)的顶端通过转轴固定连接有电机(15)的驱动端，两个所述皮带轮(14)通过皮带相连。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：两个所述丝杆(13)的外壁均螺纹连接有活动块(16)，所述活动块(16)的外壁前侧固定连接有接板(17)，所述接板(17)的内部固定连接有直线导轨(18)，所述直线导轨(18)的内部设置有导轨滑块(19)。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述导轨滑块(19)的外壁固定连接有连接件(20)，所述连接件(20)的内部中侧通过螺栓螺纹连接有清扫板(21)，所述清扫板(21)的底部设置有多个软毛。

5.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述工作台(1)的顶部后方两侧固定连接有保护壳(22)，所述丝杆(13)的底端转动连接在保护壳(22)的内部中侧底端。

6.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：两个所述支撑架(11)的顶端相近一侧通过安装板固定连接有光刻器(10)。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造的辅助工装，其特征在于：所述放置体(5)的顶部中侧设置有便于半导体芯片光刻的开槽。