CN220772127U - 一种硅片载具检测仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光伏设备技术领域，具体公开了一种硅片载具检测仪，其固定机构设置于工作台上，固定机构将硅片载具固定于工作台，图像获取装置获取硅片载具的待检测舟杆的舟杆图像，信息处理装置接收图像获取装置传送的舟杆图像，并通过比对待检测舟杆的舟杆图像与标准舟杆的舟杆图像，得到待检测舟杆的舟齿信息，进而判定待检测舟杆的舟齿是否处在标准尺寸的公差范围内，判断方式更简单、更便捷、更快速，并且检测结果准确，检测效率较高。

Description

一种硅片载具检测仪

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及一种硅片载具检测仪。

背景技术

在太阳能电池的加工过程中，需要使用专用的硅片载具来承载硅片，例如，常见的硅片载具有石墨舟、石英舟等等。当需要对硅片进行加工时，由自动化设备(插片机)将硅片插入到硅片载具内，而这就要求硅片载具的制作精度较高。硅片载具作为硅片的载体，如其关键尺寸不能满足标准尺寸的公差要求，插片机无论是将硅片导入到硅片载具中，还是从硅片载具中将硅片导出，都会导致卡片次数，以及碎片概率增加。

因此，现有的硅片载具出厂时的关键尺寸精度是否达标，或在生产过程中硅片载具在重复使用后是否变形，对于硅片的顺利上料、下料具有极其重要的意义。现有技术中判断硅片载具的关键尺寸是否符合标准尺寸，一般是通过人工拿尺子检测后，人为判断硅片载具是否符合标准尺寸，但是这种检测方式的检测效率较低，且检测精度无法保证。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片载具检测仪，其能够以更简单、更便捷、更快速的方式判断硅片载具的关键尺寸是否达标，提高了检测的效率和准确性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种硅片载具检测仪，用于检测硅片载具，包括：

工作台；

固定机构，设置于工作台，固定机构具有第一限位件和第二限位件，第二限位件可靠近或远离第一限位件，以将硅片载具夹持在工作台上；

图像获取装置，用于获取硅片载具的待检测舟杆的舟杆图像；

信息处理装置，连接于图像获取装置，用于根据舟杆图像得到待检测舟杆的舟齿信息。

可选地，固定机构和图像获取装置中的至少一者能够沿待检测舟杆的长度方向移动，以使图像获取装置能够依次拍摄并储存待检测舟杆上多个待检测区域的舟杆图像尺寸，信息处理装置根据舟杆图像得到的舟齿信息包括舟齿尺寸，和/或相邻两个舟齿之间的间距。

可选地，图像获取装置包括移动组件和相机，相机安装于移动组件，且与信息处理装置信号连接，移动组件用于驱动相机沿待检测舟杆的长度方向往复移动。

可选地，移动组件包括伺服电机、丝杠、滑轨和第一滑块，伺服电机与丝杠传动连接，丝杠与第一滑块螺纹连接，第一滑块滑动设置于滑轨，相机设置于第一滑块上。

可选地，固定机构包括锁紧组件，第一限位件固定在工作台；第二限位件滑动设置于工作台，锁紧组件用于将第二限位件固定在工作台上。

可选地，工作台设有至少两个导向件，相邻两个导向件之间间隔形成导向槽，第二限位件设有至少一个第二滑块，其中，第二滑块滑动设置于导向槽内。

可选地，工作台设有条形滑孔，锁紧组件包括第一锁紧件和连接件，第一锁紧件穿过第二滑块和条形滑孔后，与连接件螺纹连接，第一锁紧件将第二滑块朝向工作台挤压，以将第二限位件固定在工作台上。

可选地，固定机构还包括第三限位件，第三限位件设置于工作台，第一限位件和第二限位件均位于第三限位件的同一侧，第三限位件用于沿垂直于待检测舟杆的长度方向限位硅片载具。

图像获取装置设置于工作台的内部，固定机构设置于工作台的台面上，工作台的台面设有镂空部，镂空部位于第三限位件朝向第一限位件和第二限位件的一侧，图像获取装置的拍摄端朝向镂空部设置，以使图像获取装置能够获取舟杆图像。

可选地，硅片载具检测仪还包括背景光源和安装件，安装件安装在工作台上，背景光源高度可调地设置于安装件上，背景光源位于镂空部的上方，背景光源用于在图像获取装置获取舟杆图像时进行补光。

可选地，硅片载具检测仪还包括脚轮，脚轮安装在工作台的底部；

和/或，硅片载具检测仪还包括控制面板，控制面板安装在工作台上，并与信息处理装置电性连接；

和/或，硅片载具检测仪还包括第二显示屏，第二显示屏安装于工作台，并与图像获取装置电性连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种硅片载具检测仪，其固定机构设置于工作台上，固定机构将硅片载具固定于工作台的台面上，图像获取装置获取硅片载具的待检测舟杆的舟杆图像，信息处理装置接收图像获取装置传送的舟杆图像，并通过比对待检测舟杆的舟杆图像与标准舟杆的舟杆图像，得到待检测舟杆的舟齿信息，进而判定待检测舟杆的舟齿是否处在标准尺寸的公差范围内，判断方式更简单、更便捷、更快速，并且可以直接得到待检测舟杆的舟齿信息，检测结果准确，检测效率较高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中提供的硅片载具检测仪的结构示意图一；

图2是本实用新型实施例中提供的硅片载具检测仪的结构示意图二；

图3是本实用新型实施例中提供的硅片载具检测仪的结构示意图三；

图4是本实用新型实施例中提供的图像获取装置与硅片载具的结构简图；

图5是本实用新型实施例中提供的第三限位板装配结构的局部放大图。

图中：

10、硅片载具；11、待检测舟杆；12、底板；

100、工作台；101、台面；110、条形滑孔；120、镂空部；130、脚轮；140、支撑板；200、图像获取装置；210、相机；220、滑轨；230、第一滑块；310、第三限位件；320、第一限位件；330、第二限位件；331、第二滑块；332、第一锁紧件；333、连接件；400、导向件；410、导向槽；500、背景光源；510、第二固定板；520、安装件；530、U型夹块；540、第二锁紧件；610、控制面板；611、第一显示屏；620、第二显示屏；630、电源开关。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

本实施例提供一种硅片载具检测仪，该硅片载具检测仪可以用来检测硅片载具10出厂时的关键尺寸是否符合标准，或检测硅片载具10重复使用后是否变形。例如，常见的硅片载具10包括石英舟、石墨舟等等，本实施例中的硅片载具检测仪均可以对其进行检测。

如图1-图3所示，本实施例中的硅片载具检测仪包括工作台100、固定机构、图像获取装置200和信息处理装置，其中，固定机构设置于工作台100的台面101上，固定机构具有第一限位件320和第二限位件330，所述第二限位件330可靠近或远离第一限位件320，通过第一限位件320和第二限位件330能够分别与硅片载具10的两个底板12的端面抵接，由此将硅片载具10固定于工作台100的台面101上，图像获取装置200用于获取硅片载具10的待检测舟杆11的舟杆图像，信息处理装置和图像获取装置200信号连接，信息处理装置能够接收由图像获取装置200传送的舟杆图像，并通过处理舟杆图像得到待检测舟杆11的舟齿信息，进而判定待检测舟杆11的舟齿是否处在标准尺寸的公差范围内。示例性地，信息处理装置能够运行软件程序，通过比对待检测舟杆11的舟杆图像与标准舟杆的舟杆图像，来判定待检测舟杆11的舟齿加工是否符合使用要求，判断方式更简单、更便捷、更快速，并且通过软件程序分析可以直接得到待检测舟杆11的舟齿信息，检测结果准确，检测效率较高。

可选地，信息处理装置包括电脑主机和控制面板610，电脑主机内可以运行上述软件程序，通过控制面板610可以操控图像获取装置200进行检测工作。进一步地，本实施例中的控制面板610包括控制按键和第一显示屏611，控制按键和第一显示屏611与信息处理装置均电性连接，通过第一显示屏611可以显示目前软件程序的工作状态，控制按键可以对硅片载具检测仪进行操控，例如，图像获取装置200的启停，图像获取装置200运动的参数调整等。信息处理装置还包括第二显示屏620，第二显示屏620与图像获取装置200通信连接，通过第二显示屏620可以显示获得的待检测舟杆11的舟杆图像。当然，第二显示屏620可以实时显示当前待检测舟杆11的舟杆图像，也可以调取之前获得的待检测舟杆11的舟杆图像，同时在第二显示屏620上也同时显示出待检测舟杆11的具体舟齿信息(包括舟齿的齿厚、齿长，相邻两个舟齿之间的齿间距等等信息)，通过第一显示屏611和第二显示屏620的设置，使得检测的结果更加直观，工作人员能够快速获得该待检测舟杆11的舟齿信息。

需要注意的是，本实施例中的检测方式，每次仅能检查硅片载具10的一根待检测舟杆11，当该待检测舟杆11检测完成后，需要调转硅片载具10的位置，以便检测其余舟杆。本实施例中以设有四根舟杆的硅片载具10为例进行说明，也即检测该硅片载具10的舟杆需要将硅片载具10翻转四次。

作为一种可选地方案，参见图2-图4，本实施例中的硅片载具检测仪还包括第三限位件310，第三限位件310连接在工作台100的台面101上，第一限位件320和第二限位件330均位于第三限位件310的同一侧，第三限位件310能够与硅片载具10的两个底板12的侧边抵接，从而沿垂直于待检测舟杆11的长度方向对硅片载具10进行限位，综合第一限位件320、第二限位件330和第三限位件310能够确定硅片载具10在工作台100上的检测位置，并且由于第二限位件330的位置可以调节，因此固定机构能够稳定夹持各种不同型号、尺寸的硅片载具10。

进一步地，本实施例中图像获取装置200设置于工作台100的内部，固定机构设置于工作台100的台面101上，工作台100的台面101上设有镂空部120，示例性地，镂空部120可以为长条形。镂空部120位于第三限位件310朝向第一限位件320和第二限位件330的一侧，图像获取装置200的拍摄端朝向镂空部120设置，以使图像获取装置200能够获取待检测舟杆11的舟杆图像。

可选地，为了避免得到的待检测舟杆11的舟杆图像发生变形，本实施例中将待检测舟杆11人为划分为多个待检测区域，并将图像获取装置200设置为能够沿待检测舟杆11的长度方向移动，以使图像获取装置200能够依次获得各个待检测区域的舟杆图像，信息处理装置能够根据多个待检测区域的舟杆图像得到的舟齿信息，提高了检测的准确性和精确性。当然，得到的舟齿信息包括舟齿尺寸(齿厚、齿长等)，和/或相邻两个舟齿之间的间距。

作为一种可选地方案，本实施例中图像获取装置200包括移动组件和相机210，相机210与信息处理装置信号连接，通过相机210可以对待检测舟杆11进行拍摄，并将拍摄所得的舟杆图像传递给信息处理装置，相机210安装在移动组件上，通过移动组件可以驱动相机210沿待检测舟杆11的长度方向往复移动，从而对待检测舟杆11的多个待检测区域依次进行拍摄。具体地，移动组件包括伺服电机、丝杠、滑轨220和第一滑块230，伺服电机与丝杠通过皮带传动连接，丝杠与第一滑块230螺纹连接，第一滑块230滑动设置于滑轨220，相机210固定于第一滑块230上。当伺服电机的输出端转动时，丝杆在皮带的带动下进行转动，由于丝杠与第一滑块230螺纹连接，丝杠转动时即可带动第一滑块230在滑轨220上移动，通过控制伺服电机正转、反转可以调整第一滑块230的移动方向。另外，这种驱动相机210移动的方式，可以精确地调节相机210的位置。进一步地，伺服电机与电机驱动器连接，电机驱动器与控制面板610通信连接，通过控制面板610可以控制电机驱动器对伺服电机进行操控，精准控制相机210移动的距离以及相机210的移动方向。当然，移动组件和相机210之间也可以采用其他传动方式，本实施例对此不做限定。

当然，在一些实施例中，也可以选择将相机210固定，将固定机构设置为可以沿待检测舟杆11的长度方向往复移动，或者工作台100设置为可以沿待检测舟杆11的长度方向往复移动，从而使相机210可以依次拍摄待检测舟杆11的多个待检测区域。

继续参见图4，本实施例中将待检测舟杆11划分为四个待检测区域，相应地，相机210包括四个与之对应的工作位置，分别为图4中所示的A、B、C、D四个位置，当相机210移动至A位置时，可以对待检测舟杆11的第一个待检测区域进行拍照；然后相机210继续移动至B位置，并对待检测舟杆11的第二个待检测区域进行拍照；以此类推，当四个待检测区域均拍照完成后，信息处理装置将会对获得的舟杆图像进行分析，以便得到该待检测舟杆11的相关尺寸信息，并判断该待检测舟杆11的舟齿加工是否符合标准，如不符合，第二显示屏620上将显示出对应待检测区域的舟杆图像，方便工作人员找到不符合标准的区域并对其进行加工调整。

参见图2和图5，本实施例中的固定机构还包括锁紧组件，第一限位件320固定在工作台100，第二限位件330滑动设置于工作台100，通过锁紧组件可以将第二限位件330固定在工作台100上。第一限位件320和第二限位件330分别与硅片载具10的两个底板12的端面抵接，第一限位件320和第二限位件330位于第三限位件310的同一侧，第一限位件320、第二限位件330和第三限位件310共同限位确定硅片载具10在工作台100上的检测位置，并且由于第二限位件330的位置可调，因此使得该硅片载具检测仪能够检测各种不同型号和尺寸的硅片载具10，适用性良好，不论何种型号的硅片载具10，固定机构均可稳定夹持。

作为一种可选地方案，本实施例中工作台100的台面101上设有至少两个导向件400，相邻两个导向件400之间间隔形成导向槽410，第二限位件330上背离硅片载具10的一侧设有至少一个第二滑块331，第二滑块331滑动设置于导向槽410内。示例性地，本实施例中导向件400设置为三块，在三块导向件400之间形成了两个导向槽410，导向槽410沿一条直线延伸，第二限位件330上第二滑块331设置为两个，两个第二滑块331分别对应滑动设置在相应的导向槽410内，通过导向槽410对第二滑块331的滑动方向进行限位，保证第二限位件330沿预定轨迹进行移动。

进一步地，工作台100的台面101上设有条形滑孔110，其中，条形滑孔110与导向槽410的位置对应，且条形滑孔110的延伸方向与导向槽410的延伸方向相同，同时条形滑孔110的延伸方向也与待检测舟杆11的长度方向相同。锁紧组件包括第一锁紧件332和连接件333，第一锁紧件332从工作台100的台面101上方向下穿过第二滑块331和条形滑孔110后，与台面101另一侧的连接件333螺纹连接，通过旋紧第一锁紧件332能够将第二滑块331朝向工作台100挤压，从而第一锁紧件332和连接件333分别压紧台面101的上、下端面，进而将第二限位件330固定在工作台100上。这种方式，结构简单，稳定可靠，可以调节第二限位件330在工作台100上的固定位置，从而可以适配不同尺寸的硅片载具10。

示例性地，第一锁紧件332设置为两个，每个第一锁紧件332对应一个第二滑块331，第一锁紧件332可以选用压纹螺钉，连接件333为第一固定板，两个第一锁紧件332均与该第一固定板螺纹连接，当拧松两个第一锁紧件332时，第二滑块331能够沿导向槽410移动，此时第一锁紧件332的杆部沿条形滑孔110移动，第二限位件330可以朝向贴合硅片载具10的底板12的方向移动，当第二限位件330移动至抵紧硅片载具10的底板12时，此时可以拧紧第一锁紧件332，通过第一锁紧件332将第二滑块331和第一固定板锁紧固定，并使第二滑块331和第一固定板分别压紧台面101，由此第二限位件330的位置固定，硅片载具10被固定在检测位置。

继续参见图2和图3，本实施例中的硅片载具检测仪还包括背景光源500和安装件520，示例性地，安装件520可以设置为杆状，安装件520固定在台面101上，背景光源500高度可调地设置于安装件520上，背景光源500位于镂空部120的上方，通过背景光源500可以在图像获取装置200获取待检测舟杆11的舟杆图像时进行补光。示例性地，背景光源500可以选用条形光源，条形光源的延伸方向与待检测舟杆11的长度方向相同，由此，通过条形光源可以为待检测舟杆11的各个待检测区域进行均匀补光，保证了相机210拍摄的舟杆图像更加清晰，有利于得到更加准确的检测结果。

可选地，背景光源500可以固定在第二固定板510的下端面，以便背景光源500为硅片载具10进行补光，第二固定板510通过U型夹块530可调节地设置在安装件520上。具体地，U型夹块530的一端设有两个夹臂，两个夹臂之间形成开口，开口可以使安装件520穿过，两个夹臂上穿设有第二锁紧件540，通过旋拧第二锁紧件540可以使两个夹臂夹紧安装件520，进而将第二固定板510固定在安装件520上，此时背景光源500的高度固定。当需要调节背景光源500的高度时，将第二锁紧件540拧松，两个夹臂不再抱紧安装件520，此时可以上下移动第二固定板510，从而对背景光源500的高度进行调节，以便更好的适应硅片载具10的尺寸，达到更好的补光效果，结构简单，调节方式操作方便。进一步地，控制面板610也可以安装在安装件520上，并且控制面板610设置在背景光源500的上方，以方便操作。

继续参见图1和图2，本实施例中的硅片载具检测仪可以进行移动。示例性地，本实施例中硅片载具检测仪包括脚轮130，脚轮130安装在工作台100的底部。通过脚轮130能够带动整个硅片载具检测仪进行移动，方便仪器进行搬运和移动，提高了移动硅片载具检测仪的便捷性。当然，当硅片载具检测仪移动至目标位置后，可以将脚轮130锁止，从而将硅片载具检测仪固定在该位置，避免其在检测过程中位置发生偏移。

进一步地，在工作台100的内部设有支撑板140，信息处理装置包括电脑主机(图中未示出)，电脑主机和电机驱动器(图中未示出)可以设置在支撑板140上，图像获取装置200位于台面101与支撑板140之间的空间内，以便更好的对电脑主机、电机驱动器和图像获取装置200进行保护。

可选地，本实施例中在工作台100一侧还设有电源开关630，电源开关630与图像获取装置200和信息处理装置均连接，打开电源开关630，即可为电源开关630与图像获取装置200和信息处理装置进行供电，关闭电源开关630，则硅片载具检测仪断电，停止工作。如此设置，可以起到紧急停机的作用，以提高硅片载具检测仪的安全性。

显然，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

注意，在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

Claims (10)

1.一种硅片载具检测仪，用于检测硅片载具(10)，其特征在于，包括：

工作台(100)；

固定机构，设置于所述工作台(100)，所述固定机构具有第一限位件(320)和第二限位件(330)，所述第二限位件(330)可靠近或远离所述第一限位件(320)，以将所述硅片载具(10)夹持在所述工作台(100)上；

图像获取装置(200)，用于获取所述硅片载具(10)的待检测舟杆(11)的舟杆图像；

信息处理装置，连接于所述图像获取装置(200)，用于根据所述舟杆图像得到所述待检测舟杆(11)的舟齿信息。

2.根据权利要求1所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述固定机构和所述图像获取装置(200)中的至少一者能够沿所述待检测舟杆(11)的长度方向移动，以使所述图像获取装置(200)能够依次拍摄并储存所述待检测舟杆(11)上多个待检测区域的所述舟杆图像，所述信息处理装置根据所述舟杆图像得到的所述舟齿信息包括舟齿尺寸，和/或相邻两个舟齿之间的间距。

3.根据权利要求2所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述图像获取装置(200)包括：

相机(210)，与所述信息处理装置信号连接；

移动组件，所述相机(210)安装于所述移动组件，所述移动组件用于驱动所述相机(210)沿所述待检测舟杆(11)的长度方向往复移动。

4.根据权利要求3所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述移动组件包括伺服电机、丝杠、滑轨(220)和第一滑块(230)，所述伺服电机与所述丝杠传动连接，所述丝杠与所述第一滑块(230)螺纹连接，所述第一滑块(230)滑动设置于所述滑轨(220)，所述相机(210)设置于所述第一滑块(230)上。

5.根据权利要求3所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述固定机构包括锁紧组件，所述第一限位件(320)固定在所述工作台(100)；所述第二限位件(330)滑动设置于所述工作台(100)，所述锁紧组件用于将所述第二限位件(330)固定在所述工作台(100)上。

6.根据权利要求5所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述工作台(100)设有至少两个导向件(400)，相邻两个所述导向件(400)之间间隔形成导向槽(410)，所述第二限位件(330)设有至少一个第二滑块(331)，其中，所述第二滑块(331)滑动设置于所述导向槽(410)内。

7.根据权利要求6所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述工作台(100)设有条形滑孔(110)，所述锁紧组件包括第一锁紧件(332)和连接件(333)，所述第一锁紧件(332)穿过所述第二滑块(331)和所述条形滑孔(110)后，与所述连接件(333)螺纹连接，所述第一锁紧件(332)将所述第二滑块(331)朝向所述工作台(100)挤压，以将所述第二限位件(330)固定在所述工作台(100)上。

8.根据权利要求1所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述固定机构还包括第三限位件(310)，所述第三限位件(310)设置于所述工作台(100)，所述第一限位件(320)和所述第二限位件(330)均位于所述第三限位件(310)的同一侧，所述第三限位件(310)用于沿垂直于所述待检测舟杆(11)的长度方向限位所述硅片载具(10)；

所述图像获取装置(200)设置于所述工作台(100)的内部，所述固定机构设置于所述工作台(100)的台面(101)上，所述工作台(100)的台面(101)设有镂空部(120)，所述镂空部(120)位于所述第三限位件(310)朝向所述第一限位件(320)和所述第二限位件(330)的一侧，所述图像获取装置(200)的拍摄端朝向所述镂空部(120)设置，以使所述图像获取装置(200)能够获取所述舟杆图像。

9.根据权利要求8所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述硅片载具检测仪还包括背景光源(500)和安装件(520)，所述安装件(520)安装在所述工作台(100)上，所述背景光源(500)高度可调地设置于所述安装件(520)上，所述背景光源(500)位于所述镂空部(120)的上方，所述背景光源(500)用于在所述图像获取装置(200)获取所述舟杆图像时进行补光。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述硅片载具检测仪还包括脚轮(130)，所述脚轮(130)安装在所述工作台(100)的底部；

和/或，所述硅片载具检测仪还包括控制面板(610)，所述控制面板(610)安装在所述工作台(100)上，并与所述信息处理装置电性连接；

和/或，所述硅片载具检测仪还包括第二显示屏，所述第二显示屏安装于所述工作台(100)，并与所述图像获取装置(200)电性连接。