CN220539835U - 一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，属于气动泵芯技术领域。包括芯座和两组风囊隔膜部，所述芯座的两端分别设有环形凹槽，所述风囊隔膜部位于芯座的两端，所述风囊隔膜部局部插入环形凹槽内，所述风囊隔膜部与芯座连接处形成预定角度的夹角，所述风囊隔膜部用于存放化学药液，其中，芯座与风囊隔膜部外侧的连接夹角处通过PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封。本实用新型粘胶在芯座端面与风囊隔膜部外壁形成的夹角处形成堆积，增加对芯座与囊隔膜部的胶合面积，提升芯座与风囊隔膜部之间的密封性，提高泵芯的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及气动泵芯技术领域，具体为一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体。
背景技术
电子级气动泵用于半导体化学蚀刻设备、光伏芯片蚀刻设备、供酸系统设备等所有湿法制程设备上的化学药液输送，尤其对高温、强酸、强碱、高洁净度要求的液体有非常好的表现及优势。
但现有的电子级气动泵在使用过程中，由于泵芯由多个部件相互连接，并通过胶进行胶合连接，由于胶与各个部件多为不同材料，由于胶合面积较小，导致使用过程中，容易出现漏液的情况，尤其对于风囊泵，芯座与风囊采用相互面接触，并通过将接触面外围封胶的形成进行密封，由于封胶面积较小，在使用过程中，出现频繁泄漏的现象，导致在对半导体材料处理时，泄漏而增加报废量，增加了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于对现有技术中存在的不足，提供给了一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，包括芯座，所述芯座两端分别设有环形凹槽；
两组风囊隔膜部，位于芯座的两端且局部插入环形凹槽内；所述风囊隔膜部用于存放化学药液，其中，芯座与风囊隔膜部外侧的连接夹角处通过PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封，增加对芯座与囊隔膜部的胶合面积。
优选的，所述风囊隔膜部包括：
插入环，其一端部插入环形凹槽内且其内、外壁均与环形凹槽内壁面接触；
连接环，设于插入环的另一端且与插入环一体成型；
波纹伸缩管，连接于所述连接环的端部且与所述连接环一体成型；所述波纹伸缩管与连接环形成空间可调节的腔体；
活塞盖，设于波纹伸缩管的端部且与所述波纹伸缩管一体成型；所述活塞盖用于对腔体密封。
优选的，所述芯座的侧面分别设有吸入口和排出口，所述吸入口与排出口相互垂直设立，所述芯座沿其轴向分别贯通设置进液通道和出液通道，所述进液通道与吸入口连通，所述出液通道与排出口连通，所述进液通道、出液通道操作性与风囊隔膜部连通。
优选的，还包括四组逆止阀组件，分别安装于进液通道、出液通道的两端；其中进液通道端部的逆止阀组件的进液方向与出液通道端部的逆止阀组件的进液方向相反。
优选的，所述芯座与风囊隔膜部均采用PTFE材料制成。
有益效果：通过在芯座端部设置环形凹槽，将风囊隔膜部局部插入至环形凹槽内，使芯座端面与风囊隔膜部外壁形成预定角度的夹角，通过在夹角处利用PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封，使粘胶在芯座端面与风囊隔膜部外壁形成的夹角处形成堆积，增加对芯座与囊隔膜部的胶合面积，提升芯座与风囊隔膜部之间的密封性，提高泵芯的使用寿命。
附图说明
图1为现有技术结构示意图；
图2为本实用新型的整体结构示意图；
图3为本实用新型的芯座结构示意图；
图4为本实用新型的风囊隔膜部示意图。
图1至图4中附图标记为：1、芯座；2、风囊隔膜部；11、吸入口；12、排出口；13、进液通道；14、出液通道；15、环形凹槽；21、插入环；22、连接环；23、波纹伸缩管；24、活塞盖。
具体实施方式
请参考图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，包括芯座1和两组风囊隔膜部2，其中，所述芯座1与风囊隔膜部2均采用PTFE材料制成，所述风囊隔膜部2用于存放化学药液，所述风囊隔膜部2分别设置在芯座1的两端，其中，所述芯座1两端分别设有环形凹槽15，所述风囊隔膜部2局部插入环形凹槽15内，插入方式可采用螺纹旋入的形式，但不仅限于此中形式，使芯座1端面与风囊隔膜部2外壁形成预定角度的夹角，本实施例中，所述使芯座1端面与风囊隔膜部2外壁形成预定90°夹角，夹角处通过PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封，使粘胶在芯座1端面与风囊隔膜部2外壁形成的夹角处形成堆积，如图1所示，现有技术中，采用芯座1和两组风囊隔膜部2面贴合，并在接触面的外围粘胶胶合密封，胶合面积相对较小，容易出现频繁泄漏的情况，本实施例与现有技术相比，增加对芯座1与囊隔膜部的胶合面积，提升芯座1与风囊隔膜部2之间的密封性，提高泵芯的使用寿命。
在进一步实施例中，如图4所示，所述风囊隔膜部2包括插入环21、连接环22、波纹伸缩管23和活塞盖24，所述插入环21的一端部插入环21形凹槽15内，另一端部处于环形凹槽15外，即插入环21处于环形凹槽15外侧部分与芯座1端面形成90°夹角，所述插入环21的内、外壁均与环形凹槽15内壁面接触，即插入环21抵接插入环21形凹槽15内，所述连接环22连接在位于环形凹槽15外部的插入环21端部，所述连接环22与插入环21一体成型，所述波纹伸缩管23与连接环22端部连接，所述波纹伸缩管23与所述连接环22一体成型，所述波纹伸缩管23与连接环22、插入环21形成空间可调节的腔体，所述活塞盖24安装在波纹伸缩管23的端部，所述活塞盖24与所述波纹伸缩管23一体成型，在活塞盖24的作用下，对波纹伸缩管23与连接环22、插入环21形成腔体进行密封，用来盛放药液。
在进一步实施例中，如图3所示，所述芯座1的侧面分别开设有吸入口11和排出口12，所述吸入口11与排出口12相互垂直设立，所述芯座1沿其轴向分别贯通设置进液通道13和出液通道14，所述进液通道13、出液通道14的两端分别安装有逆止阀组件，其中进液通道13端部的逆止阀组件的进液方向与出液通道14端部的逆止阀组件的进液方向相反，即处于同一端部的进液通道13端逆止阀组件处于开启状态时，则出液通道14端的逆止阀组件则处于关闭状态，所述进液通道13与吸入口11连通，所述出液通道14与排出口12连通，所述进液通道13、出液通道14操作性与风囊隔膜部2连通，当泵芯工作时，其中一风囊隔膜部2在外力的作用下处于压缩状态，另一风囊隔膜部2则处于展开状态，以下将处于压缩状态的风囊隔膜部2称为压缩风囊，处于展开状态下的风囊隔膜部2称为延展风囊，处于压缩风囊端部进液通道13上的逆止阀组件处于关闭状态，出液通道14上的逆止阀组件处于开启状态，处于延展风囊端部进液通道13上的逆止阀组件处于开启状态，出液通道14上的逆止阀组件处于关闭状态，当泵芯工作时，药液通过吸入口11流入进液通道13后，流向延展风囊内，当药液流入完成后，对延展风囊施加外力，当对延展风囊施加外力后，此时处于进液通道13上的逆止阀组件处于关闭状态，出液通道14上的逆止阀组件处于开启状态，药液通过出液通道14配合排出口12流出，延展风囊逐渐转变成压缩风囊，同时，对压缩风囊取消施加外力，进液通道13上的逆止阀组件处于开启状态，出液通道14上的逆止阀组件处于关闭状态，药液通过吸入口11流入进液通道13后，流向压缩风囊，使原压缩风囊逐渐转变成延展风囊，不断重复，实现定量药液输送。
需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
Claims (5)
1.一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，其特征在于，包括：
芯座（1），所述芯座（1）两端分别设有环形凹槽（15）；
两组风囊隔膜部（2），位于芯座（1）的两端且局部插入环形凹槽（15）内；所述风囊隔膜部（2）与芯座（1）连接处形成预定角度的夹角，所述风囊隔膜部（2）用于存放化学药液，其中，芯座（1）与风囊隔膜部（2）外侧的连接夹角处通过PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封。
2.根据权利要求1所述的一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，其特征在于，所述风囊隔膜部（2）包括：
插入环（21），其一端部插入环形凹槽（15）内且其内、外壁均与环形凹槽（15）内壁面接触；
连接环（22），设于插入环（21）的另一端且与插入环（21）一体成型；
波纹伸缩管（23），连接于所述连接环（22）的端部且与所述连接环（22）一体成型；所述波纹伸缩管（23）与连接环（22）形成空间可调节的腔体；
活塞盖（24），设于波纹伸缩管（23）的端部且与所述波纹伸缩管（23）一体成型；所述活塞盖（24）用于对腔体密封。
3.根据权利要求1所述的一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，其特征在于，所述芯座（1）的侧面分别设有吸入口（11）和排出口（12），所述吸入口（11）与排出口（12）相互垂直设立，所述芯座（1）沿其轴向分别贯通设置进液通道（13）和出液通道（14），所述进液通道（13）与吸入口（11）连通，所述出液通道（14）与排出口（12）连通，所述进液通道（13）、出液通道（14）操作性与风囊隔膜部（2）连通。
4.根据权利要求3所述的一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，其特征在于，还包括四组逆止阀组件，分别安装于进液通道（13）、出液通道（14）的两端；其中进液通道（13）端部的逆止阀组件的进液方向与出液通道（14）端部的逆止阀组件的进液方向相反。
5.根据权利要求3所述的一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体，其特征在于，所述芯座（1）与风囊隔膜部（2）均采用PTFE材料制成。
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