CN220460513U - 一种去胶液用混合搅拌装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及集成电路制造技术领域,具体公开了一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件,所述搅拌桶组件包括搅拌桶体与搅拌桶体上端扣设的搅拌桶盖,所述搅拌桶组件的中间设有搅拌组件,且在搅拌桶组件的上端设有配料组件,所述搅拌桶组件的下端设有回收组件;本实用新型中,搅拌桶盖上端左右两侧的搅拌电机同步对向或背向旋转,并且左右两侧搅拌主轴外侧的搅拌杆交错排列,提高搅拌效率与搅拌质量;通过配料组件配料,配料在搅拌桶组件内汇聚,通过搅拌组件进行搅拌,通过回收组件进行回收,整个架构从上到下整体结构较为紧凑,配料输送距离端,配送效率高,进一步提高去胶液的制备效率。

Description

一种去胶液用混合搅拌装置
技术领域
本实用新型涉及集成电路制造技术领域,具体为一种去胶液用混合搅拌装置。
背景技术
集成电路制造过程中会使用到光刻胶,加工完成后需要去除光刻胶,去除光刻胶一般用到去胶液,去胶液一般通过多种溶液组分搅拌混合而成,一般的去胶液混合搅拌装置具有较好的搅拌效果,如专利号为CN215877108U公开了一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌腔、搅拌结构、若干个配料结构和若干个临时存储结构,临时存储结构与配料结构一一对应,配料结构包括输送管、输送调节阀和连接在输送管上的输送泵,输送泵的进液口连接有用于存储原料的存储罐,输送调节阀连接在输送管上,临时存储结构包括计量罐、送料管、回流管和回流泵,送料管连接在计量罐的底部,送料管与搅拌腔连通,能够通过配料结构和临时存储结构的配合,首先通过配料结构对去胶液所使用的各种原料速配比,在配比完成后,将原料输送到搅拌腔中,然后通过搅拌结构连续对去胶液进行搅拌生产,搅拌效率高,该专利技术能够满足一般使用要求,但其在现实的使用过程中还存在以下不足之处:
1.现有技术中的去胶液用混合搅拌装置,采用单机单向搅拌,搅拌方向单一,搅拌效果又带有进一步提高;
2.现有技术中的去胶液用混合搅拌装置,配料输送距离较长,整体架构不够紧凑,配送效率有待于进一步提高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种去胶液用混合搅拌装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件,所述搅拌桶组件包括搅拌桶体与搅拌桶体上端扣设的搅拌桶盖,所述搅拌桶组件的中间设有搅拌组件,且在搅拌桶组件的上端设有配料组件,所述搅拌桶组件的下端设有回收组件。
优选的,所述搅拌桶体上端的外侧环向设有连接法兰I,所述搅拌桶盖的下端环向设有连接法兰II,所述连接法兰I与连接法兰II通过螺栓相固定连接,所述搅拌桶体的下端向下固定连通有出料口,所述搅拌桶体下端的外侧固定设有支撑柱I,所述支撑柱I的内侧并且在搅拌桶体的下端环向固定安装有超声波振子。
优选的,所述搅拌桶盖的上端设有集料仓,且在集料仓下端面的外侧与搅拌桶盖的上端之间环向固定连接有支撑柱II,由集料仓的下端向搅拌桶盖的上端固定连通有输送管,所述搅拌桶盖的上端并且在输送管的侧面左右对称设有电机安装座,所述集料仓的上端固定连通有均布排列的配料阀安装座。
优选的,所述搅拌组件包括电机安装座上端固定安装的搅拌电机,所述搅拌电机主轴的下端固定连接有搅拌主轴,所述搅拌主轴的外侧固定连接有环向均布排列的搅拌杆,且左右两侧搅拌主轴外侧的搅拌杆呈交错排列 。
优选的,所述配料组件包括配料桶,且在配料桶的上端扣设有配料桶上盖,所述配料桶的下端固定安装有配料阀,所述配料阀与配料阀安装座相固定连通。
优选的,所述回收组件包括出料口下端固定安装的放料阀,且在放料阀的下端固定安装有回收料桶。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型结构设置合理,功能性强,具有以下优点:
1.本实用新型中,搅拌桶盖上端左右两侧的搅拌电机同步对向或背向旋转,并且左右两侧搅拌主轴外侧的搅拌杆交错排列,提高搅拌效率与搅拌质量;
2.本实用新型中,通过配料组件配料,配料在搅拌桶组件内汇聚,通过搅拌组件进行搅拌,通过回收组件进行回收,整个架构从上到下整体结构较为紧凑,配料输送距离端,配送效率高,进一步提高去胶液的制备效率。
附图说明
图1为本实用新型整体结构轴侧视图;
图2为本实用新型整体结构轴侧半剖视图;
图3为本实用新型整体结构主视图。
图中:1、搅拌桶组件;2、搅拌组件;3、配料组件;4、回收组件;101、搅拌桶体;102、连接法兰I;103、搅拌桶盖;104、连接法兰II;105、出料口;106、支撑柱I;107、超声波振子;108、集料仓;109、支撑柱II;110、输送管;111、电机安装座;112、配料阀安装座;201、搅拌电机;202、搅拌主轴;203、搅拌杆;301、配料桶;302、配料桶上盖;303、配料阀;401、放料阀;402、回收料桶。
实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图3,本实用新型提供一种技术方案:一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件1,搅拌桶组件1包括搅拌桶体101与搅拌桶体101上端扣设的搅拌桶盖103,搅拌桶组件1的中间设有搅拌组件2,且在搅拌桶组件1的上端设有配料组件3,搅拌桶组件1的下端设有回收组件4,其中,搅拌桶体101与搅拌桶盖103扣合形成封闭搅拌仓体,通过配料组件3向搅拌桶体101内输送设定计量的配比液,通过搅拌组件2对搅拌桶体101内的配比液进行混合搅拌,完成去胶液的配比搅拌动作。
进一步的,搅拌桶体101上端的外侧环向设有连接法兰I 102,搅拌桶盖103的下端环向设有连接法兰II 104,连接法兰I 102与连接法兰II 104通过螺栓相固定连接,这种结构,便于搅拌桶体101与搅拌桶盖103之间快速的装合,搅拌桶体101的下端向下固定连通有出料口105,搅拌桶体101下端的外侧固定设有支撑柱I 106,支撑柱I 106的内侧并且在搅拌桶体101的下端环向固定安装有超声波振子107,其中,支撑柱I 106相对搅拌桶体101下端起到一个底部支撑作用,超声波振子107则对搅拌桶体101内混合液进行超声波的打散混合处理,提高其混合搅拌效率。
进一步的,搅拌桶盖103的上端设有集料仓108,且在集料仓108下端面的外侧与搅拌桶盖103的上端之间环向固定连接有支撑柱II 109,由集料仓108的下端向搅拌桶盖103的上端固定连通有输送管110,搅拌桶盖103的上端并且在输送管110的侧面左右对称设有电机安装座111,集料仓108的上端固定连通有均布排列的配料阀安装座112,其中,集料仓108便于去胶液配比液的汇集输送,工作时,配料组件3将去胶液混合用的配比液通过配料阀安装座112输送到集料仓108内,然后通过输送管110输送到搅拌桶体101内,支撑柱II109在集料仓108与搅拌桶盖103之间起到一个固定支撑作用。
进一步的,搅拌组件2包括电机安装座111上端固定安装的搅拌电机201,搅拌电机201主轴的下端固定连接有搅拌主轴202,搅拌主轴202的外侧固定连接有环向均布排列的搅拌杆203,且左右两侧搅拌主轴202外侧的搅拌杆203呈交错排列,工作时,同时启动搅拌电机201带动搅拌主轴202与搅拌杆203旋转,搅拌桶体101左右两侧的搅拌杆203交错高速对向或背向旋转,对液体进行更充分高效的搅拌,提高整个装置的搅拌效率。
进一步的,配料组件3包括配料桶301,且在配料桶301的上端扣设有配料桶上盖302,配料桶301的下端固定安装有配料阀303,配料阀303与配料阀安装座112相固定连通,工作前,根据需求打开配料桶上盖302向配料桶301内加入对应的配比液,工作时,启动配料阀303将配料桶301内的配比液通过配料阀安装座112输送到集料仓108内。
进一步的,回收组件4包括出料口105下端固定安装的放料阀401,且在放料阀401的下端固定安装有回收料桶402,当搅拌桶体101内配比液完成搅拌后,启动放料阀401使搅拌桶体101内的去胶液通过出料口105输送到回收料桶402内,完成胶液的快速回收。
本实用新型中,工作时,启动配料阀303使配料桶301内的配比液通过配料阀安装座112进入到集料仓108内,然后顺延输送管110进入到搅拌桶体101内,同步启动搅拌电机201驱动搅拌主轴202带动搅拌杆203对向或背向高速旋转,相对搅拌桶体101内混合液进行高效搅拌动作,搅拌完成后启动放料阀401将搅拌桶体101内去胶液通过出料口105输送到回收料桶402内,整个装置结构较为紧凑,可快速实现多种配比液的输送动作,通过双驱动搅拌,提高搅拌效率。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件(1),其特征在于:所述搅拌桶组件(1)包括搅拌桶体(101)与搅拌桶体(101)上端扣设的搅拌桶盖(103),所述搅拌桶组件(1)的中间设有搅拌组件(2),且在搅拌桶组件(1)的上端设有配料组件(3),所述搅拌桶组件(1)的下端设有回收组件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌桶体(101)上端的外侧环向设有连接法兰I(102),所述搅拌桶盖(103)的下端环向设有连接法兰II(104),所述连接法兰I(102)与连接法兰II(104)通过螺栓相固定连接,所述搅拌桶体(101)的下端向下固定连通有出料口(105),所述搅拌桶体(101)下端的外侧固定设有支撑柱I(106),所述支撑柱I(106)的内侧并且在搅拌桶体(101)的下端环向固定安装有超声波振子(107)。
3.根据权利要求2所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌桶盖(103)的上端设有集料仓(108),且在集料仓(108)下端面的外侧与搅拌桶盖(103)的上端之间环向固定连接有支撑柱II(109),由集料仓(108)的下端向搅拌桶盖(103)的上端固定连通有输送管(110),所述搅拌桶盖(103)的上端并且在输送管(110)的侧面左右对称设有电机安装座(111),所述集料仓(108)的上端固定连通有均布排列的配料阀安装座(112)。
4.根据权利要求3所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌组件(2)包括电机安装座(111)上端固定安装的搅拌电机(201),所述搅拌电机(201)主轴的下端固定连接有搅拌主轴(202),所述搅拌主轴(202)的外侧固定连接有环向均布排列的搅拌杆(203),且左右两侧搅拌主轴(202)外侧的搅拌杆(203)呈交错排列。
5.根据权利要求3所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述配料组件(3)包括配料桶(301),且在配料桶(301)的上端扣设有配料桶上盖(302),所述配料桶(301)的下端固定安装有配料阀(303),所述配料阀(303)与配料阀安装座(112)相固定连通。
6.根据权利要求2所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述回收组件(4)包括出料口(105)下端固定安装的放料阀(401),且在放料阀(401)的下端固定安装有回收料桶(402)。
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