CN220362327U - 夹爪组件以及包含该夹爪组件的磨床 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硬脆材料加工技术领域,具体提供了一种夹爪组件以及包含该夹爪组件的磨床,其中的夹爪组件包括:第一夹爪组件;以及第二夹爪组件;以及调整部,其包括:第一调整组件,其能够使得所述第一/第二夹爪组件的至少一个的两个夹爪之间产生沿靠近/远离彼此的第一方向的运动或者沿该第一方向的同向运动;和/或第二调整组件,其能够带动第一/第二夹爪组件的两个夹爪之间产生沿与第一方向具有夹角的第二方向的相对运动或者沿该第二方向的同向运动。通过这样的构成,能够谋求通过调整部对工件的轴线姿态进行微调。基于包含该夹爪组件的转运机构,可实现夹持于两个夹爪组件之间的工件在磨床的磨削工位、上料组件以及下料组件之间的转运。
Description
技术领域
本实用新型涉及硬脆材料加工技术领域,具体提供一种夹爪组件以及包含该夹爪组件的磨床。
背景技术
对硬脆材料进行加工的设备通常包括截断机、开方机、磨床和切片机,以属于硬脆材料的工件为硅棒为例,其中,截断机主要用于通过如线切割等方式将较长的硅棒切为长度较短的硅棒(如通常为横截面为圆形的硅棒,简称圆棒),开方机主要用于通过如线切割等方式将圆棒切为横截面为矩形(如正方形)的硅棒(简称方棒,如该阶段的方棒未经过磨削加工,通常可以称作毛棒),磨床主要用于通过磨削作业使得毛棒的表面精度达标(如该阶段的方棒经磨削加工之后,表面精度达标,通常可以称作成品棒),切片机主要用于将成品棒通过如多线切割(线网切割)的方式获得待用的薄硅片。
其中,磨床主要包括卧式磨床和立式磨床,对于其中的卧式磨床而言,其结构通常包括上/下料装置、进给滑台装置以及磨削装置。对硅棒进行磨削作业的过程通常为:首先将开方后的硅棒(前述的毛棒)固定至上料装置,对硅棒的姿态进行初步调节后,将硅棒送达进给滑台装置的两个夹头之间,如两个夹头可以均为动夹头,或者两个夹头中的一个为动夹头而另一个为定夹头。通过进给滑台装置沿硅棒轴向(进给方向)的运动,将硅棒送达对应于磨削装置的位置。基于此,通过使磨削装置靠近硅棒并使硅棒沿进给方向往复运动,便可对硅棒的其中一组待磨削面或者一对棱边进行相应的磨削作业。之后,通过使硅棒旋转,从而转动至第二组待磨削面或者另一对棱边,以此类推,便可如前所述,通过磨床将毛棒加工为成品棒。
可以看出,目前的卧式磨床主要是以依赖于硅棒沿进给方向的往复运动来完成其磨削作业的。由于硅棒的往复运动需要较大的移动行程,对应于较大的移动行程的直线运行对硅棒磨削后的精度会产生一定的影响(如与直线运动向匹配的直线导轨的直线度对硅棒的精度影响较等大),这样的影响将会带来较大的磨削余量,硅棒的磨削精度不达标。因此本领域技术人员需要一种新的方案来改变或者调整目前的磨床加工方式。
需要说明的是,上述背景技术的叙述方式只是结合发明人在构思以及涉及产品的思路引出来本实用新型,即:给出了可将本实用新型应用的一种具体的应用场景,而不应当理解为本实用新型的技术方案仅能够应用于该场景。如在本实用新型的场景中,磨床为卧式磨床,硅棒在卧式磨床的磨削区无需往复运动而采用磨削组件沿硅棒的轴线方向往复运动。相应地,本领域技术人员需要一种能够调整硅棒姿态的方案来更好地适配该场景中的磨床的加工方式。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种能够对工件的姿态实现调整的结构,通过该结构与磨削组件适配,能够顺利地实现在通过磨削组件对工件进行加工件期间采用硅棒不动而磨削组件往复运动的形式。
如通常的夹爪组件在将硅棒夹紧之后,无法再调整硅棒的状态,因此通常无法满足硅棒的轴线与磨床的磨削区域的夹头组件的轴线的同轴度,这将可能造成磨削余量大、磨削精度低的问题。在采用了本实用新型的夹爪组件的情形下,可以借助于第一/第二调整组件对将被夹头组件夹紧的硅棒的轴线姿态进行微调,基于从而保证了第一/第二夹爪组件夹持的硅棒的轴线与夹头组件的轴线之间的同轴度。
第一方面,本实用新型提供了一种夹爪组件,该夹爪组件包括:第一夹爪组件;第二夹爪组件;以及调整部,其包括:第一调整组件,其能够使得所述第一夹爪组件和所述第二夹爪组件的至少一个的两个夹爪之间产生沿靠近/远离彼此的第一方向的运动或者沿该第一方向的同向运动;和/或第二调整组件,其能够带动所述第一夹爪组件和所述第二夹爪组件的至少一个的两个夹爪之间产生沿与第一方向具有夹角的第二方向的相对运动或者沿该第二方向的同向运动。
通过这样的构成,能够谋求通过第一调整组件和第二调整组件的协作来调整(尤其是微调)夹持于第一/第二夹爪组件之间的工件(如硅棒)的姿态。具体而言,通过第一调整组件的设置,能够谋求调整轴线在水平面内的姿态。通过第二调整组件的设置,能够谋求调整硅棒的轴线在不同局部之间的高度。
可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二夹爪组件的结构形式、各自包含的两个夹爪的结构形式、第一/第二调整组件在第一/第二夹爪组件上的配置方式等。如可以是:为第一/第二夹爪组件分别配置第一调整组件和第二调整组件;为第一/第二夹爪组件中的一个配置第一调整组件而另一个配置第二调整组件;为第一/第二夹爪组件中的一个配置第一调整组件和第二调整组件而另一个仅配置第一调整组件或者第二调整组件;集中在第一/第二夹爪组件中的一个上配置第一调整组件和第二调整组件;等。其中,对于上述任意配置方式而言,在第一调整组件和/或第二调整组件包括多个的情形下,在能够保证相应的调整功能的前提下,不同的第一/第二调整组件的结构形式以及调整原理可以相同或者不同。
可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二调整组件实现其对工件的姿态进行调整的结构形式以及相应的驱动传动形式,如可以通过电机、动力缸等驱动部件直接驱动第一/第二夹爪组件或者通过中间的传动机构与第一/第二夹爪组件之间间接地驱动连接,如传动机构可以是带传动、链传动、齿轮传动等。
此外,可以理解的是,在能够对夹持于夹爪组件的工件的姿态进行微调的前提下,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一方向和第二方向的具体形式,如第一方向为水平面内的某一方向,第二方向为与水平面具有任意夹角的某一方向,如可以是30°、45°、60°、90°。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述第二方向为竖直方向。
通过这样的构成,给出了第二方向的具体形式。这样一来,便可通过调整第一和/或第二夹爪组件的两个夹爪之间产生沿竖直方向的运动或者相对运动,从而调整硅棒的轴线在不同布局之间的高度,基于此,有望通过该运动调整轴线在竖直方向的位置,如轴线在竖直平面内存在偏差的情形下,通过该运动实现轴线姿态的微调。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述第一夹爪组件和所述第二夹爪组件中的至少一个配置有所述第一调整组件件和所述第二调整组件。
通过这样的构成,给出了第一调整组件和第二调整组件在第一/第二夹爪组件上可能的配置方式。如在第一夹爪组件和所述第二夹爪组件中的一个上配置有所述第一调整部件和所述第二调整组件,在另一个上可以也配置有第一调整组件和第二调整组件、仅配置有第一调整组件或者第二调整组件、不配置第一调整组件以及第二调整组件等。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述第一调整组件包括:至少一个第一夹爪驱动部件,所述第一夹爪组件和/或所述第二夹爪组件中的两个夹爪能够在所述至少一个第一夹爪驱动部件的驱动下以相互独立的方式或者相关联的方式产生沿所述第一方向的运动。
通过这样的构成,给出了第一调整组件的可能的驱动连接形式。如可以是:同一个第一夹爪驱动部件通过可切换的方式与两个夹爪驱动连接;两个第一夹爪驱动部件分别与两个夹爪驱动连接;等。以后者为例,对应于不同夹爪的第一夹爪驱动部件与夹爪之间的驱动连接方式可以相同或者不同,如可以是第一夹爪驱动部件与相应的夹爪直接驱动连接或者通过中间的传动部件间接地驱动连接。仍以后者为例,对应于不同的夹爪的第一夹爪驱动部件和/或传动部件可以相同或者不同。如第一调整组件包括一个电机,电机通过丝杠螺母机构或者齿轮齿条副与相应的卡爪驱动连接。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述第一调整组件包括:
与所述第一夹爪组件和/或所述第二夹爪组件中的两个夹爪对应的两个第一夹爪驱动部件,两个所述第一夹爪驱动部件至少能能够驱动相应的两个夹爪以相对独立的方式运动。
通过这样的构成,给出了第一调整组件的可能的结构形式。如对应于两个夹爪的第一夹爪驱动部件可以采用相同或者不同的驱动传动形式来实现相应的夹爪的运动。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述第一调整组件包括齿轮齿条副,所述第一夹爪驱动部件能够通过所述齿轮齿条副驱动对应于所述齿轮齿条副的夹爪运动。
通过这样的构成,给出了第一夹爪驱动部件与夹爪之间的一种具体的驱动连接的实现方式。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,与所述第一夹爪驱动部件相应的所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件包括第一调整导向结构,所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件的夹爪能够沿所述第一调整导向结构运动。
通过这样的构成,给出了第一/第二夹爪组件中的两个夹爪借助于第二调整组件实现其升降运动的可能的实现方式,如偏心结构可以偏心轴、凸轮等。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,与所述第二夹爪驱动部件相应的所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件包括夹爪基体,所述夹爪基体包括活动部分,所述活动部分上具有预留空间,所述偏心结构能够与所述预留空间配合并因此使得所述两个夹爪产生沿所述第二方向的运动。
通过这样的构成,给出了第一/第二夹爪组件的一种可能的结构形式以及与之相对应的偏心结构实现其传动的可能的方式。如活动部分可以为板状结构、块状结构、筒状结构、支架等。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述夹爪基体包括固定部分,所述第二夹爪驱动部件设置于所述固定部分。
通过这样的构成,给出了第一/第二夹爪组件的一种具体的结构形式,如与活动部分类似,固定部分可以为板状结构、块状结构、筒状结构、支架等。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,与所述第二夹爪驱动部件相应的所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件包括第二调整导向结构,所述活动部分以及设置于所述活动部分上的夹爪能够沿所述第二调整导向结构运动。
通过这样的构成,能够谋求保证第一/第二夹爪组件中的两个夹爪在发生纵向移动期间的可靠性。如第二调整导向结构可以为直线导轨、导槽、导向轴等。
对于上述夹爪组件,在一种可能的实施方式中,所述偏心结构为凸轮。
通过这样的构成,给出了偏心结构的一种具体的结构形式。
在第二方面,本实用新型提供了一种磨床,该磨床包括前述任一项所述的夹爪组件。
可以理解的是,该磨床具有前述任一项所述的夹爪组件的所有技术效果,在此不再赘述。
附图说明
下面以工件为硅棒(下文简称硅棒,包括待加工的毛棒以及加工完成的成品棒)、磨床为卧式磨床为例,并参照附图来描述本实用新型的优选实施方式,附图中:
图1示出本实用新型一种实施例的磨床中转运机构的结构示意图一,图中示出了支撑组件、横向移动组件和纵向移动组件;
图2示出本实用新型一种实施例的磨床中转运机构的结构示意图二,图中主要示出了支撑组件和横向移动组件;
图3示出本实用新型一种实施例的磨床中转运机构的结构示意图三,图中主要示出了支撑组件、横向移动组件以及滑台;
图4示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中纵向移动组件的状态示意图一,该状态下滑台位于较高的位置;
图5示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中纵向移动组件的状态示意图二,该状态下滑台位于较低的位置;
图6示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中夹爪组件的结构示意图;
图7示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中切换组件的结构示意图;
图8示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中切换组件的状态示意图一,该状态下固定夹爪组件能够与调整夹爪组件同步运动;
图9示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中切换组件的状态示意图二,该状态下仅调整夹爪组件运动;
图10示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件的结构示意图;
图11示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件对应于第一夹持空间的状态示意图;
图12示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件对应于第二夹持空间的状态示意图;
图13示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件对应于第一夹持空间的夹持找正的状态示意图一,图中的硅棒在未夹持于第一夹持空间前处于待找正状态;
图14示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件对应于第一夹持空间的夹持找正的状态示意图二;
图15示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件对应于第二夹持空间的状态示意图一;
图16示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中固定卡爪组件对应于第一夹持空间的状态示意图二,图中防坠组件抵接至硅棒;
图17示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中调整卡爪组件的结构示意图一;
图18示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中调整卡爪组件的结构示意图二,图中主要示出了用于实现横向微调的第一调整组件;
图19示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中调整卡爪组件的结构示意图三,图中主要示出了用于实现纵向微调的第二调整组件;
图20示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中对应于第一调整组件的状态示意图一,图中示出了经第一调整组件调整(横向微调)前硅棒的实际位置(实线)以及硅棒在夹持于第二夹持空间时的理论位置(虚线);
图21示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中对应于第一调整组件的状态示意图二,图中示出了横向微调后的硅棒的位置,此时的硅棒已处于理论位置;
图22示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中对应于第二调整组件的状态示意图一,图中示出了经第二调整组件调整(纵向微调)前硅棒轴线的实际位置(实线,自左向右向下倾斜)以及硅棒轴线的理论位置(虚线,水平);
图23示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中对应于第二调整组件的状态示意图二,图中示出了纵向微调后的硅棒轴线的位置,此时的硅棒轴线已处于理论位置;
图24示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中用于测量长度较短的硅棒时的测量原理示意图;
图25示出本实用新型一种实施例的磨床的转运机构中用于测量长度较长的硅棒时的测量原理示意图;
图26示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件的结构示意图;
图27示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中料台组件的结构示意图;
图28示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中料台翻转组件的结构示意图;
图29示出本实用新型一种实施例的料台翻转组件的状态示意图一;
图30示出本实用新型一种实施例的料台翻转组件的状态示意图二;
图31示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中储料台组件的结构示意图;
图32示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中衔接组件的结构示意图;
图33示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中储料台翻转组件的结构示意图;
图34示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中储料台翻转组件的状态示意图一;
图35示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中储料台翻转组件的状态示意图二;
图36示出本实用新型一种实施例的磨床的上下料组件中储料台组件上的检测组件的设置示意图;
图37示出本实用新型一种实施例的磨床的结构示意图;
图38示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置的结构示意图;以及
图39示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削组件的结构示意图。
附图标记列表:
1、磨削装置;
11、上下料组件;
111、储料台组件;
1111、储料台框架;1112、脚轮;1113、脚杯;
112、料台组件;
1121、料台支撑座;1122、料台框架;1123、轴支撑座;1124、支撑轴;1125、同步轮;1126、料台驱动电机;
113、衔接组件;
1131、衔接支架;1132、第一过渡轮;1133、从动链轮;1134、第二过渡轮;
114、储料台翻转组件;
1141、储料台翻转板;1142、保护块;1143、安装板;1144、安装块;11451、长条孔;11452、槽孔;11461、第一转轴;11462、第二转轴;
115、料台翻转组件;
1151、料台翻转驱动部件;1152、料台翻转支架;1153、翻转轴;1154、料台翻转压紧组件;
116、光电开关;
12、夹头组件;
13、磨削组件;
131、精磨砂轮;132、粗磨砂轮;133、轴承箱;134、第一传动轴;135、第二传动轴;136、电机;137、带轮机构;
2、转运机构;
211、基础支撑部分;212、龙门架;213、连接筋;
221、横向移动组件;
2211、横向移动驱动电机;
222、纵向移动组件;
2221、纵向移动滑座;2222、纵向移动驱动电机;2223、纵向移动齿轮齿条副;2224、纵向移动直线导轨;
223、滑台;
2231、纵向移动驱动电机安装部件;
23、夹爪组件;
230、夹爪基体;231、固定夹爪组件;
2311、固定夹爪基体;2312、固定夹爪驱动电机;2313、固定夹爪丝杠螺母机构;
23141、第一固定夹爪;23142、第二固定夹爪;
23151、第一夹置位;23152、第二夹置位;
2316、防坠组件;
23161、防坠脱钩;
231611、第一钩部;231612、第二钩部;
232、调整夹爪组件;
2321、调整夹爪基体;
23211、支架主体;23212、连接支架;232121、预留空间;
23221、第一调整夹爪;23222、第二调整夹爪;
2323、第一调整组件;
23231、第一调整驱动电机;23232、第一调整齿轮齿条副;23233、第一调整直线导轨;
2324、第二调整组件;
23241、第二调整夹爪驱动电机;23242、凸轮;23243、第二调整导向结构;
2325、对射光电开关;
233、夹爪横向移动机构;
2331、夹爪横向移动驱动电机;2332、齿轮链条副;
23331、第一安装位;23332、第二安装位;
2334、切换组件;
23341、气缸;23342、压紧块;23343、安装架;23344、弹簧;
3、硅棒。
具体实施方式
下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理,并非旨在限制本实用新型的保护范围。如虽然本实示例是以仅为调整夹爪组件配置第一调整组件和第二调整组件的方式进行说明的,显然,也可以为固定夹爪组件也配置第一调整组件和第二调整组件,此外,也可以采用如为固定夹爪组件和调整夹爪组件上分别配置第一/第二调整组件和第二/第一调整组件等其他配置方式。此外,虽然本示例中固定夹爪组件和调整夹爪组件除第一/第二调整组件之外的基础结构大致相同,显然,二者也可以采用不同的结构。
需要说明的是,在本实用新型的描述中,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,还需要说明的是,在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,还可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
另外,为了更好地说明本实用新型,在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节,本领域技术人员应当理解,没有某些具体细节,本实用新型同样可以实施。在一些实例中,对于本领域技术人员熟知的磨床等的原理等未作详细描述,以便于凸显本实用新型的主旨。下文将参照图1至图39中的全部或者部分来阐述本实用新型。
主要参照图1至图3以及图37,在一种可能的实施方式中,本实用新型的磨床包括磨削装置1以及转运机构2,其中,磨削装置1主要包括上料组件(上下料组件11的一种应用)、下料组件(上下料组件11的另一种应用)以及磨削组件13,转运机构2主要包括支撑组件、移动组件以及夹爪组件23,在本示例中,支撑组件包括龙门架组件,如龙门架组件包括基础支撑部分211以及设置于基础支撑部分上的两个龙门架212,移动组件包括能够沿龙门架的长度方向运动的横向移动组件221以及沿竖直方向运动的纵向移动组件222,移动组件上设置有夹爪组件,在将工件夹持于夹爪组件(夹爪组件抱紧工件)的情形下,通过移动组件便可实现将毛棒由上料装置到磨削装置的转运以及成品棒由磨削装置到下料装置的转运等。
【横向移动组件】
在一种可能的实施方式中,横向移动组件221包括横向移动驱动电机2211、横向移动丝杠螺母机构以及横向移动直线导轨。如两个龙门架中的一个配置有驱动电机(以及丝杠螺母机构、横向移动直线导轨等)故而称作主架而另一个不配置驱动机构(包括横向移动直线导轨等)因此称作副架。
在一种可能的实施方式中,基础支撑部分211包括龙门架立柱以设置于龙门架立柱上的龙门架框架,主架和副架设置于龙门架框架上,主架和副架之间还设置有连接筋213等加强结构以使得龙门架组件的结构更加稳固。龙门架组件主要用于对作为转运装置的转运机构起支撑作用。
在一种可能的实施方式中,移动组件包括滑台223,夹爪组件23设置于滑台,横向移动驱动电机通过横向移动丝杠螺母机构带动滑台在横向移动直线导轨上移动,从而使得滑台带动夹爪组件沿龙门架的横向移动直线导轨运动。这样一来,便可以通过横向移动驱动电机的伺服控制实现滑台在横向移动方向的精准移动。如可以在滑台沿其横移方向的两侧分别设置有限位检测开关,以保证滑台能够准确地在其有效行程内移动。
【纵向移动组件】
主要参照图4至图5,在一种可能的实施方式中,纵向移动组件222包括纵向移动滑座2221(设置于主架和副架之间)、纵向移动驱动电机2222以及纵向移动齿轮齿条副2223。如纵向移动齿轮齿条副包括与纵向移动驱动电机驱动连接的纵向移动齿轮以及设置于纵向移动滑座上的纵向移动齿条,纵向移动驱动电机设置于滑台并因此使得滑台能够在纵向移动滑座上沿竖直方向运动。基于此,纵向移动驱动电机便可借助于纵向移动齿轮齿条副使其在纵向移动滑座上与滑台同步实现纵向移动。这样一来,便可以通过纵向移动驱动电机的伺服控制实现滑台在纵向移动方向的精准移动。通过齿轮与齿条的啮合来传递来自纵向移动驱动电机的动力,能够有效地节省包含纵向移动齿轮齿条副的纵向移动组件的布置空间。
在一种可能的实施方式中,在纵向移动滑座上还设置有纵向移动直线导轨2224,以保证移动过程的稳定性。如在纵向移动滑座的其中一对相对面的每个面在靠近两侧棱边的位置分别设置有一个纵向移动直线导轨,因此共四个纵向移动直线导轨,以获得滑台在沿纵向移动方向移动时能够获得更佳的稳定性。示例性地,前述的纵向移动齿条固定设置于两个纵向移动直线导轨之间。
在一种可能的实施方式中,在滑台上设置有纵向移动驱动电机安装部件2231,如纵向移动驱动电机安装部件为能够套设于前述的纵向移动滑座的外侧的环状壳,如环状壳的内侧设置有能够与前述的两对纵向移动直线导轨配合的导槽,纵向移动驱动电机设置于纵向移动驱动电机安装架上。如环状壳包括竖向部分以及由竖向部分底部向外延伸的横向部分,如横向部分借助于螺钉等紧固件固定至滑台的顶部,如为了保证环状壳的强度,可以在竖向部分和横向部分之间增设加强板等加强结构。
【夹爪组件】
主要参照图4至图23,在一种可能的实施方式中,夹爪组件23的主要功能包括:
1)可以对两种姿态的硅棒进行夹持,如在本示例中,夹爪组件可以对硅棒进行45°面的V型夹持和0°面的常规夹持。
2)通过切换组件可以实现调整夹爪组件的单动(固定夹爪组件处于第一状态)以及固定夹爪组件和调整夹爪组件之间的联动(固定夹爪组件处于第二状态)。
3)通过调整夹爪组件可以实现对硅棒的中心轴线的微调,从而更好地适应来自上料组件侧的硅棒(毛棒),抑或称可以弥补毛棒的来料偏差。
4)从上料组件处以45°抓料的方式可以更好地实现硅棒的中心找正。
在一种可能的实施方式中,夹爪组件23主要包括夹爪基体(如固定座等)230以及设置于夹爪基体上的固定夹爪组件231和调整夹爪组件232,固定夹爪组件和调整夹爪组件能够配合形成用于夹持硅棒的夹持空间。其中,夹爪基体上设置有夹爪横向移动机构233,固定夹爪组件和调整夹爪组件能够借助于夹爪横向移动机构产生靠近/远离彼此的相对运动。
在一种可能的实施方式中,夹爪横向移动机构233包括夹爪横向移动驱动电机2331以及齿轮链条副2332,夹爪横向移动驱动电机与齿轮链条副的齿轮驱动连接从而带动与齿轮啮合的链条沿其轴线方向运动,链条沿其轴线设置有第一安装位23331和第二安装位23332,固定夹爪组件能够设置于第一安装位,调整夹爪组件固定设置于第二安装位并因此能够随着链条的运动而运动。示例性地,第一/第二安装位为固定至链条上的安装座。
在一种可能的实施方式中,夹爪横向移动机构在对应于第一安装位的位置配置有一套切换组件2334,在需要固定夹爪组件随调整夹爪组件一起运动的情形下,借助于切换组件将固定夹爪组件切换至第一状态,具体而言,使固定夹爪组件固定至第一安装位的状态。而在无需固定夹爪组件随调整夹爪组件一起运动的情形下,借助于切换组件将固定夹爪组件切换至第二状态,具体而言,使固定夹爪组件与第一安装位之间的固定约束关系解除的状态。这样一来,通过切换组件的配合,使得固定夹爪组件能够在第一状态和第二状态之间切换,基于此,有望使得固定夹爪组件与调整夹爪组件能够更好地满足硅棒在转运过程中的需求。
在一种可能的实施方式中,切换组件2334包括作为切换驱动部件的气缸23341,气缸的动力输出端连接有压紧块23342,这样一来,在气缸的动力输出端向下推出的情形下,便可推动压紧块向下运动从而使压紧块抵接至第一安装位或者设置于第一安装位上的固定夹爪组件,从而使得固定夹爪组件与链条锁紧。这样一来,固定夹爪组件与调整夹爪组件便可一同随着链条的运动而运动。相应地,当需要固定夹爪组件的位置相对固定时,只需通过使气缸的动力输出端向上缩回从而使得压紧块与第一安装位或者设置于第一安装位上的固定夹爪组分离。如切换组件包括安装架23343,气缸、压紧块以及固定夹爪组件均设置于安装架,在安装架和转运机构之间设置有复位弹簧23344等复位结构,在分离之后,设置于安装架上的固定夹爪组件等结构便可在复位弹簧的作用下回到转运机构设定的位置。如复位结构也可以是如动力缸、包含电机的直线模组等可以提供沿设定方向的拉力的其他结构形式。
可以理解的是,上述结构只是切换组件的其中一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求确定切换组件的结构形式、第一状态、第二状态以及二者之间的切换方式等。示例性地,可以将压紧块与第一安装位之间的约束关系由抵接变更为如插接、啮合、榫接等其他配合关系,将切换驱动部件由气缸变更为如液缸、电缸等其他动力缸或者与之功能等同的直线模组。除了上述的气缸与压紧块的组件,可以对任意形式的离合装置进行合理的改造以作为本实用新型的切换组件。
【固定夹爪组件】
在一种可能的实施方式中,固定夹爪组件主要包括固定夹爪基体2311(如连接座等)、固定夹爪驱动电机2312、固定夹爪丝杠螺母机构2313以及固定夹爪组。其中,固定夹爪组包括第一固定夹爪23141和第二固定夹爪23142,如固定夹爪基体大致为一个U型结构的连接座,固定夹爪丝杠螺母机构的丝杠设置于连接座的两个竖向部分之间,固定夹爪驱动电机设置于连接座的横向部分上,固定夹爪丝杠螺母机构的丝杠上设置有两段旋向相反的螺纹段,第一固定夹爪和第二固定夹爪分别固接至与两个螺纹段相配合的、固定夹爪丝杠螺母机构的两个螺母上。基于此,通过固定夹爪驱动电机带动固定夹爪丝杠螺母机构中的丝杠转动,便可实现(第一、第二)固定夹爪同时以靠近/远离彼此的方向运动,从而完成硅棒的对中夹持功能。此外,在通过固定夹爪驱动电机完成上料夹持的同时,还可以依据此直接计算出硅棒的截面尺寸,节省了上料转运环节的节拍。
可以理解的是,固定夹爪驱动电机和固定夹爪丝杠螺母机构只是实现第一/第二固定夹爪之间的相对运动的一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求对其进行合理的选择,如在驱动传动形式不变的情形下,可以将固定夹爪驱动电机变更为能够实现运动的旋转模组、将固定夹爪丝杠螺母机构变更为齿轮齿条副、为两个固定夹爪分别配置一套固定夹爪丝杠螺母机构(两个固定夹爪可以相对独立地运动)等。在驱动传动形式调整的情形下,可以将固定夹爪驱动电机变更为动力缸(气缸、电缸、液压缸等)以及其他直线模组等,相应地将固定夹爪丝杠螺母机构变更为能够实现相应传动的其他组件形式等。
在一种可能的实施方式中,第一固定夹爪和第二固定夹爪面向彼此的夹持部分上分别具有第一夹置位23151和第二夹置位23152并因此使得二者之间能够通过一对第一夹置位形成第一夹持空间以及通过一对第二夹置位形成第二夹持空间,其中,第一夹持空间能够将45°面的硅棒夹持(第一姿态,V型夹持,或称倾斜夹持),第二夹持空间能够将0°面的硅棒夹持(第二姿态,竖向夹持,或称作0°常规夹持)。这样一来,便可通过同一套固定夹爪组件实现对两种姿态的硅棒的夹持。在本示例中,第一夹持空间主要用于通过V型夹持的方式对磨削作业后的硅棒(成品棒)进行夹持,第二夹持空间主要用于通过竖向夹持的方式对磨削作业前的硅棒(毛棒)进行夹持,第一夹持空间位于第二夹持空间的下方。
如在需要使用竖向夹持的情形下,使两个固定夹爪以靠近彼此的方式运动直至与硅棒的侧面紧密抵接从而将硅棒夹持。对于同样规格(尺寸),在需要使用V型夹持的情形下,两个固定夹爪则需要进一步以靠近彼此的方式运动,从而能够将硅棒以V型夹持的方式夹持。与竖向夹持的方式相比,V型夹持的方式能够实现硅棒的对角线与第一夹持空间的中心的重合,因此在V型夹持的情形下,可以在夹持的过程中同时完成硅棒的对中操作。此外,根据两个固定夹爪之间的开合距离,可以精准地计算出硅棒的截面尺寸。
在一种可能的实施方式中,固定夹爪组件还包括防坠组件2316,之所以增设防坠组件,是因为:固定夹爪组件在进行0°面的硅棒夹持的情形下,硅棒的夹持稳定性是依靠对应于第二夹持空间的一对夹持贴合面与硅棒的一对侧面之间的摩擦力来保证的,由于经过磨削作业加工后的硅棒的表面很光滑(摩擦系数很小),假设夹持贴合面与硅棒侧面之间的摩擦力不足,则可能会存在滑棒甚至拖棒的风险。
在一种可能的实施方式中,参照本示例中第一夹持空间位于第二夹持空间的下方的方位关系,如可以在两个固定夹爪靠近下方的位置配置防坠组件。这样一来,在硅棒以竖向夹持的方式被夹紧时,便可通过防坠组件为硅棒提供一定的辅助承托力,从而能够将硅棒可靠地夹持于第二夹持空间内,如可称之为防坠组件用于支援夹爪组件在通过竖向夹持的方式夹持硅棒期间的夹持可靠性。
在一种可能的实施方式中,防坠组件包括与一对固定夹爪相对应的一对枢转设置的防坠脱钩23161,在硅棒以竖向夹持的方式被夹紧时,便可通过旋转防坠脱钩的方式使得防坠脱钩能够提供一定的辅助压紧力和/或承托力。示例性地,防坠脱钩包括呈角度设置的第一钩部和第二钩部,第一钩部231611和第二钩部231612的交接处与相应的第一固定卡爪或者第二固定卡爪枢转连接。这样一来,在硅棒以竖向夹持的方式被夹紧时,使防坠脱钩相对与之对应的第一固定卡爪或者第二固定卡爪旋转至这样的状态:使第一钩部的端部抵接至硅棒的侧壁,使硅棒的底面与侧面之间的倒角面(对棱边进行磨倒角作业之后形成的窄面)抵接至第二钩部的壁部(通过第二钩部钩住硅棒的下方)。通过这样的双重保障(侧部增加爱压紧力,底部增加承托力),能够有效地保证硅棒的夹持稳定性,从而在固定夹爪组件进行抓取硅棒等作业的过程中,能够有效地保证作业的可靠性以及安全性。
由于此时夹持的硅棒是经过磨削作业因此表面精度达标的成品棒,如可以至少在第一钩部的端部以及第二钩部的侧部设置有聚氨层等缓冲结构,以防止成品棒的侧面和倒角面出现被划伤等问题。
显然,上述防坠脱钩的结构形式、个数及其枢转设置的方式只是一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求对其进行灵活的变更,如可以是:第一钩部的端部具有如多爪结构(类似八爪鱼)、可变形的结构(如硅胶等)以更好地实现其与硅棒的抵接;第二钩部的侧部向外凹而端部具有与第一脱钩类似的结构,因此可通过双端部支撑的方式提供承托力;仅包括其中的第一钩部或者第二钩部;第一钩部和/或第二钩部包括多个;第一钩部和第二钩部之间的角度可以固定或者调整;防坠脱钩可以枢转设置于固定卡爪,也可以设置于能够无干涉地实现防坠脱钩的转动且不干涉其他部件运动的任意合理的位置。
此外,一对可转动的防坠脱钩只是防坠组件的一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求选择任意合理的结构形式以保证第二夹持空间的夹持稳定性,如在第二夹持空间的两个夹持面上设置有可沿夹持方向伸缩运动的抵接结构、在外部配置有能够为硅棒提供向上的承托力的顶紧结构等。
此外,尽管本示例是以防坠组件仅在第二夹持空间处于工作状态时候起到辅助作用,显然,也可以在第一夹持空间处于工作状态的情形下也使防坠组件提供一定的辅助作用。
【调整夹爪组件】
在一种可能的实施方式中,调整夹爪组件232主要包括调整夹爪基体2321(如连接座等)以及设置于调整夹爪基体上的调整夹爪组。其中,调整夹爪组包括第一调整夹爪23221和第二调整夹爪23222,在本示例中,第一/第二调整夹爪与前述的第一/第二固定夹爪的结构以及作用类似,主要是通过一对夹爪之间的配合形成第一夹持空间和第二夹持空间并完成对硅棒的V型夹持和竖向夹持。
与前述的固定夹爪组不同的是,调整夹爪组还包括用于实现两个调整夹爪之间的相对运动的第一调整组件2323(横向夹持、横向微调)以及用于实现两个调整夹爪沿竖直方向的运动的第二调整组件2424(纵向微调)。
在一种可能的实施方式中,调整夹爪组件中的两个调整夹爪分别配置有一套第一调整组件因此二者可以以相对独立的方式实现其沿夹持方向的运动,即第一调整夹爪和第二调整夹爪可以以相对独立的方式实现二者之间靠近/远离彼此的运动,以用于实现第一调整夹爪和第二调整夹爪之间的靠近的目标为例,如可以是以二者均运动且同步地靠近、二者均运动但是非同步地靠近、一个静止而另一个运动的方式靠近等。
在一种可能的实施方式中,对应于第一/第二调整夹爪的第一调整组件的结构形式大致相同且在本示例中,第一调整组件2323包括第一调整驱动电机23231以及第一调整齿轮齿条副23232,其中,调整夹爪基体2321包括作为固定部分的支架主体23211以及作为活动部分的连接支架23212,示例性地,支架主体大致为L型结构,连接支架大致为与支架主体的竖向部分平行的连接板,第一调整驱动电机固定设置于调整夹爪基体的支架主体,第一调整驱动电机的动力输出端与第一调整齿轮齿条副的齿轮之间驱动连接,第一调整齿轮齿条副的齿条与第一/第二调整夹爪固定连接,如第一/第二调整夹爪包括安装板以及设置于的安装板上的爪部,齿条设置于安装板上。这样一来,在第一调整驱动电机的驱动力的作用下,通过第一调整齿轮齿条副的传动便可带动相应的第一/第二调整夹爪移动(横移)。
如为了保证第一/第二调整夹爪横移的可靠性,可以在调整夹爪基体的连接支架上设置有第一调整直线导轨23233,第一/第二调整夹爪能够在第一调整组件的驱动传动作用下以沿第一调整直线导轨靠近/远离彼此。示例性地,第一/第二调整夹爪共用一个第一调整直线导轨,相应地,在安装板上设置有与第一调整直线导轨匹配的槽状结构。
这样一来,第一调整夹爪和第二调整夹爪能够分别通过各自的第一调整组件实现对硅棒的对中夹紧,由于两个第一调整组件之间可以相对独立地运动,因此还可以借助于一对第一调整组件在夹紧硅棒后实现对硅棒整体的横向微调,即第一调整组件能够实现对应于硅棒夹紧作业的横向移动以及对应于硅棒轴线位置的横向微调。(对应于硅棒送棒/退棒作业的纵向移动是通过前述的纵向移动组件来实现的,对应于硅棒轴线位置的纵向微调是通过第二调整组件来实现的)。具体而言,若硅棒被夹紧时其中心轴线在水平方向上产生了偏移,此时便可以通过使两个第一调整组件驱动电机驱动第一/第二调整夹爪同步进行朝向能够抑制该偏移的方向移动,这样一来便可保证硅棒在水平方向的位置准确性。
可以理解的是,前述的第一调整组件的结构形式只是一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求对其进行灵活的变更,如两个第一调整组件的结构可以局部或者全部不同,如可以是驱动电机与丝杠螺母机构的组合、动力缸、直线模组等。在两个第一调整组件能够实现二者相对独立运动的前提下,构成二者的部件可以完全不同或者部分共用,示例性地,同一个驱动电机能够选择性地(可切换地)与对应于第一调整夹爪或者第二调整夹爪的传动机构连接。
在一种可能的实施方式中,第一调整夹爪和第二调整夹爪配置有一套第二调整组件,通过第二调整组件可以实现第一/第二调整夹爪沿其纵向(竖直方向)的运动。
在一种可能的实施方式中,第二调整组件2324包括第二调整驱动电机23241、凸轮23242以及第二调整导向结构23243,调整夹爪基体的连接支架23212上具有预留空间232121,第二调整驱动电机的动力输出轴与凸轮驱动连接且凸轮容纳于预留空间并因此能够与连接支架抵接(如线接触),第二调整导向结构设置于调整夹爪基体的支架主体上并且仅允许第一/第二调整夹爪沿竖直方向运动。如在本示例中,预留空间为圆孔,凸轮与连接支架对应于圆孔靠近顶部的位置抵接,如第二调整导向结构为第二调整直线滑轨,在调整夹爪基体的连接支架上相应地设置有与第二调整直线滑轨匹配的槽状结构,如预留空间也可以是方孔或者底侧开放的槽等其他结构形式,第二调整导向结构也可以是如光轴等其他结构。这样一来,第二调整驱动电机的驱动作用下,凸轮通过与预留空间靠近顶部的位置抵接从而带动调整夹爪基体的连接支架沿竖直方向运动并因此带动第一/第二调整夹爪运动(第一/第二调整夹爪与前述的设置于调整夹爪基体的连接支架的第一调整直线导轨连接),同时由于第二调整导向结构的约束,第一/第二调整夹爪便可实现其沿纵向的位置微调。
这样一来,当夹紧状态下的硅棒的中心轴线与水平方向(在竖直方向上)略有偏移时,可以通过第二调整组件带动调整夹爪组件的两个调整卡爪沿沿纵向运动,从而使得硅棒在固定夹爪组件的夹持位置和对应于调整夹爪组件的夹持位置之间产生一定的高度差,这样的高度差便能够有效地抑制偏移的位移量。
可以理解的是,前述的第二调整组件的结构形式只是一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求对其进行灵活的变更,如可以将凸轮变更为偏心轴或者其他偏心结构。此外,可以为第一/第二调整夹爪分别配置一个第二调整组件或者将二者的第二调整组件进行一部分的共用等。以及,能够实现高度方向的抬升的前提下,也可以采用其他的驱动传动形式来实现,如可以将驱动电机变更为动力缸、直线模组、转动模组等,如可以将凸轮变更为丝杠螺母机构、蜗轮蜗杆副、齿轮齿条机构、链轮链条机构等。示例性地,动力缸推动一对具有斜面的连接块移动,一对连接块的斜面上分别设置有能够沿其滚动的升降轮,升降轮的轮轴设置于调整夹爪基体的连接支架上。
主要参照图24至图25,在一种可能的实施方式中,调整夹爪组中第一调整夹爪和第二调整夹爪在沿硅棒轴向的两侧各安装一个对射光电开关2325,两对对射光电开关主要用于测量硅棒在上料前的长度。下面以配置于第一调整夹爪的一对对射光电开关(分别记作第一对射光电开关和第二对射光电开关)来说明硅棒长度的确定。
如通过固定夹爪组件和调整夹爪组件对硅棒进行夹持的过程通常为:首先使固定夹爪组件夹持住硅棒的一侧,然后使调整夹爪组件从硅棒的初始夹持位置出发并沿硅棒的长度方向运动。已知调整夹爪组件的初始夹持位置距硅棒前端(左侧)的距离为a,左侧的第一对射光电开关距第一调整夹爪的中心的距离为n,右侧的第二对射光电开关距第一调整夹爪的中心的距离为m。
基于此,对于长度较大的硅棒而言,第一/第二对射光电开关皆能接收到信号,可使第一/第二调整夹爪沿硅棒的轴线方向运动,直到右侧的第二对射光电开关接收不到信号,此时根据检测出的第一/第二调整夹爪向右移动的距离x,便可确定出硅棒的长度L=a+m+x。而对于长度较小的硅棒而言,左侧的第一对射光电开关能接收到信号而右侧的第二对射光电开关不能接收到信号,可使第一/第二调整夹爪沿沿硅棒的轴线方向运动,直到左侧的第一对射光电开关接收不到信号为止。此时根据检测的第一/第二调整夹爪向右移动的距离x,便可确定出硅棒的长度L=a+x-n。
【双方向均可扩展为多个磨削工位】
在本实施例中,是以为龙门架组件仅配置一套磨削工位为例(如主要包括磨削作业区、上料区、下料区)为例来进行说明的。在有需要的前提下,由于本实用新型的磨床在结构上相对紧凑,对应于横向移动组件的移动空间本身存在一定的可扩展空间。因此可以沿对应于横向移动组件的运动方向上布设多套磨削工位,如每套磨削工位之间在结构上可以相对独立,即每套磨削工位均包括磨削作业区、上料区和下料区,在有需要的情形下也可以将如上料区和/或下料区的结构共用或者部分共用,即上料区和/或下料区的个数小于磨削工作区的个数。
此外,由于夹头组件在夹持硅棒之后固定相对固定的状态,因此大大节省了沿硅棒长度方向的空间。在有需要的前提下,也可以在对应于横向移动组件的移动空间本身存在一定的可扩展空间。因此可以沿对应于横向移动组件的运动方向上布设多个磨削工作区。示例性地,在多个磨削工作区大致共线的情形下,可以共用一个上料区和下料区,而在不共线(如交错设置)的情形下,多个磨削工作区之间可以共用也可以单独配置对应于其的上料区和下料区。
基于上述结构,在一种可能的实施方式中,通过本实用新型的磨床中的转运机构的主要作业包括V型抓取毛棒、V型上料、0°抓取成品棒、0°放置成品棒(下料)四个步骤。
一、V型抓取毛棒:
在一种可能的实施方式中,在转运机构准备对待磨削的毛棒进行上料夹持的情形下,滑台借助于横向移动组件沿龙门架组件水平移动,从而带动设置于滑台上的夹爪组件运动至上料组件的上方,夹爪组件借助于纵向移动组件向下运动至能够将放置于上料组件的V型毛棒抓取的上料夹持位置,固定/调整夹爪组件的两个固定/调整夹爪以远离彼此的方式运动(将第一夹持空间释放以便在此基础上顺利地将硅棒夹持)。
如通常的夹持过程为:首先使固定夹爪组件的两个固定夹爪利用对应于V型夹持的第一夹持空间首先夹持住硅棒,并且由于第一夹持空间以及此时的硅棒具有相适配的V型姿态,因此可在硅棒被夹紧的同时完成对硅棒的对中操作。在固定夹爪组件的夹持操作已完成的情形下,使调整夹爪组件沿硅棒的长度方向运动(借助于切换组件使得固定夹爪组件处于第二状态)至设定位置并通过使两个调整夹爪靠近彼此以便将硅棒夹持,在此过程中,可通过配置于调整夹爪组件上的两对对射光电开关测量出硅棒的长度。
在夹紧状态下的硅棒的姿态略有偏移的情形下,则可通过调整夹爪组件对硅棒位置进行调节。具体而言,若硅棒被夹紧时其中心轴线与理想的位置(竖直平面)之间具有一定的位移(横向偏差),则可以通过两个第一调整组件带动可独立运动的两个调整卡爪以同向运动的方式来抑制/消除这种偏差。以及若硅棒被夹紧时其中心轴线与水平面之间具有一定的夹角(纵向偏差),则可以通过第二调整组件带动调整夹爪组件的两个调整卡爪沿纵向运动的方式来抑制/消除这种偏差。
二、V型上料:
在对硅棒夹持完成后,纵向移动组件带动夹持有硅棒的夹爪组件竖直向上运动,横向移动组件带动包含纵向移动组件和夹爪组件的滑台沿龙门架组件运动至对应于磨削装置的夹持位置的上方。在此基础上,纵向移动组件带动夹持有硅棒的夹爪组件竖直向下运动至磨削装置的夹持位置。在磨削装置的夹头组件开始对硅棒进行夹持时,去除夹爪组件的势能从而使得夹爪组件能够随硅棒的运动而运动。当磨削装置的夹头组件将硅棒夹稳之后,夹爪组件的两对夹爪彼此松开,从而将第一夹持空间释放(夹爪组件松开硅棒)。
在夹爪组件对硅棒的约束被解除之后,如可以通过前述的横向移动组件与纵向移动组件将夹爪组件带动至某一不干涉磨削的位置(等待磨削位置),此时便可通过磨削装置对硅棒进行侧面和棱边的磨削。
三、0°抓取成品棒:
在对硅棒的磨削作业结束后,便可获得表面精度达标的成品棒。此时,可通过横向移动组件和纵向移动组件将夹爪组件(的第二夹持空间)带动至硅棒的磨后夹持位置。在此基础上,使两对夹爪彼此靠近并以0°常规夹持的方式抓取成品棒。并且,两对防坠脱钩枢转至能够对成品棒提供辅助压紧力/承托力的姿态(将硅棒钩勾住)以防止表面精度达标的硅棒发生如坠落等现象。
在将硅棒抓取之后,通过纵向移动组件带动夹爪组件竖直向上运动,并通过横向移动组件带动包含纵向移动组件与滑台的夹爪组件运动至下料组件的下料位置。
四、0°下料:
纵向移动组件带动夹爪组件竖直向下运动至与下料组件相对应的下料位置,之后夹爪组件的两对夹爪彼此松开、两对防坠脱钩枢转松开,从而将第二夹持空间释放,此时硅棒便可落到下料组件的下料台上,至此,一次完整的操作完成。如可以通过AGV等与下料组件衔接从而将成品棒转运至如切片机工位等位置。
之后,可将包含滑台和纵向移动组件的夹爪组件重新移动至前述的上料位置,准备第二次上料抓取。
在一种具体的实施方式中,对应于本实用新型的磨床的操作流程大致包括如下步骤:
S1、将硅棒(待加工的毛棒)放置于上料组件上。
S2、横向移动组件启动,夹爪组件因此沿横向转移至对应于上料组件的上料位置。
S3、夹爪组件张开至能够自由容纳硅棒的位置,如张开至最大位置。
S4、使夹爪组件将硅棒夹紧。
S5、纵向移动组件启动,夹爪组件向上抓取硅棒。
S6、横向移动组件启动,夹爪组件沿横向转移至对应于磨削装置的位置(加工区)。
S7、纵向移动组件启动,夹爪组件退回到至待料状态。此时,便可对硅棒进行磨削作业。
S8、在磨削作业完成之后,纵向移动组件启动,夹爪组件沿纵向转移至磨削装置的位置(加工区)并夹紧硅棒。
S9、横向移动组件启动,夹爪组件沿横向转移至对应于下料组件的下料位置。
S10、夹爪组件松开,从而将硅棒转移至下料组件的下料区。
S11、横向移动组件启动,使得转运机构沿横向退回到至待料状态。
至此,包含硅棒转运的磨削作业完成。
【夹头组件及其所夹持的硅棒不动、磨削组件往复运动的磨削装置】
目前磨床的结构主要包括能够沿硅棒的长度方向移动的移动滑台、设置于移动滑动上的能够将硅棒夹紧的夹头组件以及能够对硅棒进行磨削作业的磨削组件。基于这样的结构,现有的磨床对硅棒进行磨削时的工作流程为:夹头组件夹紧硅棒(夹头组件通常包括动夹头和定夹头,通过动夹头相对定夹头运动从而将硅棒夹紧),通过驱动夹持有硅棒的夹头组件在移动滑台上滑动,使得沿硅棒的长度方向的位置相对固定的磨削组件能够伴随着夹头组件的滑动对硅棒的整个长度范围的侧面以及倒角进行磨削,从而完成对硅棒的磨削作业。
与现有的磨床不同,本实用新型的磨床采用的是磨削组件13沿硅棒3的长度方向运动而夹头组件12(通常包括一个定夹头和一个动夹头,也可以两个都是动夹头)在将硅棒夹紧之后位置相对固定的作业方式。具体而言,磨削组件在对硅棒进行磨削作业期间的运动便包括旋转运动以及沿硅棒长度方向的直线运动。其中,磨削组件通常包括粗磨砂轮和精磨砂轮,旋转运动主要是在沿硅棒的径向保证一定的切削深度和切削力的情形下,通过粗磨砂轮和精磨砂轮的转动对硅棒的表面进行磨削。伴随着磨削组件沿硅棒长度方向的直线运动,便可对硅棒的侧面和相邻的侧面之间的倒角进行磨削。示例性地,磨削组件沿硅棒长度方向的直线运动的实现方式为:磨床包括滑台机构,成对设置的磨削组件以可滑动的方式设置于滑台机构,这样一来,在相应的驱动传动部件的作用下,便可使得磨削组件能够沿硅棒的长度方向运动。
主要参照图37至图39,在一种可能的实施方式中,磨削组件13主要包括用于对硅棒进行精磨磨作业的精磨砂轮131,以及用于对硅棒进行粗磨作业的粗磨砂轮132。在本实用新型中,粗磨砂轮和精磨砂轮以同心设置的方式处于同一个工位,并且粗磨砂轮自由容纳于精磨砂轮内部形成的空间内。这样一来,便可使得磨削组件在的同一个工位实现对硅棒的粗磨和精磨作业。
在一种可能的实施方式中,磨削组件还包括复合轴,复合轴包括轴承箱133,轴承箱内包括筒状结构的第一传动轴(轴套)134和容纳于筒状结构内的第二传动轴135(内轴),其中,轴套与精磨砂轮连接以便在轴套转动的情形下带动精磨砂轮连接,第二传动轴与粗磨砂轮连接以便在第二传动轴转动的情形下带动粗磨砂轮连接。其中,第一传动轴和第二传动轴通过导向平键连接,因此可以通过电机等驱动部件带动第一传动轴的和第二传动轴同步转动。示例性地,电机136通过带轮机构137与复合轴的后端相连并因此带动第一传动轴和第二传动轴同步转动。
基于此,主要为对应于粗磨砂轮的第二传动轴配置一个而实现其伸缩的机构,便可实现粗磨作业和精磨作业的切换。具体而言,在需要对硅棒进行粗磨作业的情形下将其相对精磨砂轮伸出,而在需要对硅棒进行精磨作业的情形下将其相对精磨砂轮缩回(预留空间)即可。示例性地,实现粗磨砂轮的粗磨作业和精磨作业的切换一种方式为:伸缩机构包括弹簧,第二传动轴在弹簧的预紧力的作用下处于相对精磨砂轮缩回的状态。这样一来,在需要对硅棒进行精磨作业的情形下,保持无外力施加的状态即可。而在需要对硅棒进行粗磨作业的情形下,通过向弹簧施加外力的方式从而使得与之相关联的粗磨砂轮伸出精磨砂轮。如可以通过动力缸、直线模组或者能够实现伸缩运动的驱动传动机构等外力机构对顶住轴承箱后端的压盖施加外力,从而使得弹簧在该外力的作用下发生形变并因此使得粗磨砂轮伸出。
与粗磨砂轮和精磨砂轮的工位分开设置的方式相比,本实用新型的磨削组件借助于轴承箱将粗磨砂轮和精磨砂轮进行整合并集成设置于同一工位,即磨床只需预留同一个工位便可同时实现对硅棒的粗磨作业和精磨作业,结构更为紧凑,大大减少了磨削组件的安装空间。与同一工位的设置相对应,磨床便会减少一套磨削组件的支撑机构,节省了部件的个数。并且,由于本实用新型的磨削组件需沿硅棒的长度方向往复移动,集成式的设置还能够有效地避免由于多部件移动导致的如磨削精度受到影响等方面的问题,因此与本实用新型的磨床的作业方式更为适配。
【可用作上料组件和下料组件的上下料组件】
主要参照图26至图36,在一种可能的实施方式中,上下料组件11主要包括储料台组件111、料台组件112和料台翻转组件113,其中,料台组件112可将待加工的硅棒(毛棒)到传输到指定位置等待上料,或者接收加工好的硅棒(成品棒)进行下料。储料台组件111上可放置等待上/下料的方棒,并可对方棒进行沿其长度方向的传输。料台翻转组件113配置于料台组件,料台翻转组件可根据上/下料的需求,将放置于其内的方棒沿方棒的轴线翻转一定的角度,如对应于前述的上料需求(第一夹持空间)翻转至侧面与水平面的夹角为45°的状态或者对应于前述的下料需求(第二夹持空间)翻转至侧面与水平面的夹角为0°的状态。如:在上下料组件11用作下料组件时,储料台组件可被称作下料储料台组件、料台组件可被称作下料台组件、料台翻转组件可被称作下料台翻转组件,而在在上下料组件11用作上料组件时,储料台组件可被称作上料储料台组件、料台组件可被称作上料台组件、料台翻转组件可被称作上料台翻转组件,在本示例中,由于上下料组件可被用作上料组件和下料组件,因此也可将储料台组件、料台组件和料台翻转组件分别称作上下储料台组件、上下料台组件和上下料台翻转组件,其他相关的术语也可以此类推。
在一种可能的实施方式中,储料台组件和料台组件之间设置有衔接组件,以便使得方棒能够顺利地在储料台组件和料台组件之间转运,并且通过这样的衔接使得上下料组件能够更好地适配不同长度方棒的转运需求。
在一种可能的实施方式中,储料台组件111和料台组件112上配置有检测组件,以进行如有无硅棒、硅棒的长度等方面的检测。如本示例中,检测组件含有多对光电开关。具体地,在料台组件的前端以及储料台组件的前、中、后端均设置有光电开关116。
在一种可能的实施方式中,料台组件112主要包括料台基体和料台传动机构,如料台基体包括料台支撑座1121以及设置于料台支撑座上的料台框架1122。
在一种可能的实施方式中,料台传动机构是通过带传动的方式对硅棒进行输送的。在本示例中,如料台框架的顶部设置有两对内部设置有轴承的轴支撑座1123,每对轴支撑座之间安装有一根支撑轴1124,每根轴上安装有一对同步轮1125,如同步轮可以通过顶丝、胀紧套、键等方式固定至支撑轴上。其中,两根支撑轴中的其中一根配置有料台驱动电机1126故而称作主动轴,另一根未配置料台驱动电机故而称作从动轴。两根轴上相应位置的一对同步轮之间撑设有同步并因此在料台驱动电机的驱动作用下带动放置于同步带上的硅棒随同步带运动。
在本示例中,如可以在从动轴的轴支撑座的端部配置有调整螺钉,如调整螺钉穿过轴支撑座并与从动轴螺纹连接。这样一来,便可通过拉动调整螺钉在与之适配的轴支撑座的导向槽内的运动,从而拉动从动轴与主动轴之间的距离并因此张紧同步带。以及可以在同步带的下方设置有同步带支撑板,同步带支撑板的顶部具有挡边以便在同步带传输时候起到导向的作用。此外,还可以料台框架对应于同步带两侧的位置分别设置挡板以防止硅棒在经由同步带输送时出现如掉落等现象。如挡板可以包括沿同步带的传送方向间隔设置的多个或者为条状结构的一个。示例性地,长条形的挡板通过多个支撑条或者支撑筋设置于料台框架上。以挡板为长条状结构为例,如挡板可以为非金属材质或者在挡板的内侧增设如聚氨酯层等缓冲层以便在将掉落的硅棒拦截成功后出现如硅棒被损坏等现象。
在一种可能的实施方式中,料台翻转组件115主要包括料台翻转驱动部件1151以及料台翻转支架1152,其中,料台翻转支架枢转设置于前述的料台框架1122上并形成有能够承载硅棒的承载空间,料台翻转驱动部件用于驱动料台翻转支架相对料台框架翻转并因此改变承载于其上的硅棒的姿态。在本示例中,料台翻转支架包括底壁部分和侧壁部分。
在一种可能的实施方式中,料台翻转支架枢转设置于前述的料台框架的方式为:料台翻转支架1152的底部设有两个配置有轴承的翻转轴支撑座,翻转轴支撑座固定设置于料台框架,如可以在两个翻转轴支撑座之间设置有翻转轴导向座,翻转轴1153枢转设置于翻转轴支撑座和翻转轴导向座上。料台翻转驱动部件通过驱动翻转轴转动来带动料台翻转支架翻转。
在一种可能的实施方式中,由于料台翻转支架需要与硅棒直接接触,因此可以在料台翻转支架上设置有具有缓冲功能的材料或者结构,如在料台翻转支架的内部增设有非金属材质的保护板。
在一种可能的实施方式中,料台翻转支架在靠近其长度方向的端部与翻转支架侧壁部分相对的位置设置有料台翻转压紧组件1154,以便在硅棒旋转时将硅棒压紧从而保证翻转作业的可靠性。
在一种可能的实施方式中,料台翻转支架在靠近其长度方向的端部的位置设置有料台翻转导向轮,在料台导向轮附近的位置设置有第一料台翻转检测开关,以检测硅棒是否输送到位。
在一种可能的实施方式中,料台翻转驱动部件为动力缸(如气缸、液压缸、电缸等,显然也可以是直线模组、驱动部件与传动部件构成的能够提供直线驱动的机构或者电机等。如在料台翻转驱动部件为电机的情形下,电机的动力输出轴应当与翻转轴连接),动力缸固定至固定到前述的料台支撑座上,动力缸的动力输出端固定到料台翻转支架上,这样一来,通过使动力缸的动力输出端伸出或者缩回,便可使得料台翻转支架绕翻转轴发生旋转从而改变承载于其上的硅棒的姿态。
在一种可能的实施方式中,料台翻转组件还设有料台翻转限位组件,以确定出料台翻转组件的翻转范围。示例性地,料台翻转限位组件包括料台翻转限位基体以及设置于其上的料台翻转限位螺钉以及料台翻转缓冲器。通过调节料台翻转限位螺钉可调节允许翻转组件的翻转角度,料台翻转缓冲器则用于在翻转到位时,借助缓冲器对翻转运动进行缓冲从而起到保护硅棒的作用。此外,可以在料台翻转组件的初始位置和翻转到位位置分别设置有一个料台翻转检测开关,以检测料台翻转组件是否回到初始位置以及是否翻转到位。
在一种可能的实施方式中,储料台组件111主要包括储料台框架1111以及设置于储料台框架的储料台传动机构,其中,储料台传动机构与前述的料台组件类似,也采用带传动的方式实现的对硅棒的,在此不再赘述。示例性地,由于储料台组件需要与外部环境衔接,因此可以在储料台框架的底部设有多个脚轮1112和脚杯1113,需要移动储料台组件时,将脚杯抬起(此时脚轮与地面接触)。需要固定储料台组件时,将脚杯放下(此时脚杯与地面接触)。如还可以通过福马轮等来代替脚杯和脚轮的组合。
可以理解的是,上述的带传动及其具体的形式只是料台/储料台传动机构的一种示例性的描述,本领域技术人员可以根据实际需求采用其他结构形式的带传动或者除带传动之外的其他传动方式来实现对硅棒的输送,如除了带传动,还可以通过链轮与链条的配合、皮带与皮带轮的配合、导轨与丝杠螺母机构的配合、导轨与齿轮齿条副的配合、动力缸与导轨配合等方式来实现对硅棒的输送。
在一种可能的实施方式中,衔接组件113包括衔接支架1131以及设置于衔接支架上的过渡轮组件,过渡轮组件包括枢转设置于衔接支架上的一对第一过渡轮1132(如径向较大的滚轮,下文简称大滚轮)。示例性地,大滚轮枢转设置于衔接支架的方式为:大滚轮设置于过渡轮轴上,过渡轮轴设置于固定设置于衔接支架上的一对过渡轮支撑座之间,如本示例中,衔接支架大致为L型结构的支架,过渡轮轴支撑座设置于衔接支架的横向部分,衔接支架的竖向部分安装至前述的储料台组件的储料台框架的前端位置。
在一种可能的实施方式中,过渡轮轴上设置有从动链轮1133,储料台组件的从动轴上设置有主动链轮,主动链轮和从动链轮通过链条连接。衔接支架上还枢转设置有多对第二过渡轮1134(如径向较小的滚轮,下文简称小滚轮),如在本示例中,沿输送方向位于一对大滚轮的两侧分别配置有一对小滚轮。如大/小滚轮的表面应当为不会对硅棒的表面造成损坏的结构或者材质(如非金属材质)等。通过这样的设置,能够保证硅棒更好地在料台组件和储料台组件之间衔接,并能适应对多种长度的硅棒的传输需求。
可以理解的是,通过链轮和链条的配合实现硅棒在过渡轮组件上的传输只是其中的一种实现形式,本领域技术人员可以根据实际需求对其灵活的变更,如可以将主动链轮设置于料台组件的主动轴上,还可以将链轮和链条的配合变更为齿轮副、同步带和同步带轮的配合、皮带和皮带轮的配合、导轨与丝杠螺母机构的配合、导轨与齿轮齿条副的配合、气缸与导轨的配合等其他方式。
基于上述结构,在一种可能的实施方式中,当上下料组件作为磨床的上料组件时,其工作过程大致包括:如可以通过人工、机器人、桁架机械手、KBK、AGV、输送线等方式将需要上料的硅棒(毛棒)放置到储料台组件的承载空间内,并通过检测组件确定硅棒的长度。储料台驱动电机启动,以通过带传动的方式将硅棒经由衔接组件顺利输送到料台组件上。料台驱动电机启动,以通过带传动的方式将硅棒输送到位。料台翻转压紧组件将硅棒压紧靠到翻转支架的侧壁上,在料台翻转驱动部件的作用下,硅棒根据需求翻转45°以满足与前文所述的第一夹持空间相适配的上料需求,料台检测开关可以检测硅棒是否翻转到位,在翻转到位之后,可使料台翻转压紧组件松开硅棒以便夹爪组件进行下一步的抓取动作。
而当上下料组件作为磨床的下料组件时,其工作过程大致包括:根据下料需求,料台翻转组件翻转到0°常规位置以接收垂直下料的硅棒(成品棒),料台翻转压紧组件将成硅棒压紧靠到料台翻转支架的侧壁内侧,在料台翻转驱动部件的作用下,料台翻转组件带动硅棒回到0°常规位置,在翻转检测开关检测到硅棒回到0°位置的情形下,料台翻转压紧组件松开硅棒,以便于进行下一步的下料转运动作。可以理解的是,若下料需求中无需硅棒翻转(如本身的姿态便为0°常规位置),则可以省略与翻转相关的动作。料台驱动电机启动,通过带传动的方式使得硅棒向外输出,为了保证衔接组件的有效性,储料台驱动部件也须在硅棒未到达储料台组件时便启动。如果有需求,可将硅棒输送到储料台组件的任意位置,以满足其与人工、机械人、桁架机械手、KBK、AGV、输送线等下料方式的顺利衔接。
在一种可能的实施方式中,储料台组件在沿硅棒的长度方向远离料台组件的端部设置有储料台翻转组件1114,以便在将其翻转打开至储料台组件拼接的状态时能够满足长度更大的硅棒的储料需求,而在将其翻转收起时能够满足长度较小的硅棒的储料需求。
在一种可能的实施方式中,储料台翻转组件114主要包括储料台翻转板1141,与前述的料台翻转板类似,储料台翻转板的内侧(底壁和侧壁)安装非金属材质的保护块1142。储料台翻转板向下延伸有一对安装板1143,在安装板上设置有一个沿竖直方向延伸的长条孔11451,在长条孔的底端再开设有一个圆弧形的槽孔11452。储料台翻转板上安装非金属材质的保护块。储料台翻转板上与设置有与一对安装板对应的一对安装块1144,在安装块上设置有阻挡螺钉、与长条孔适配的第一转轴11461以及与槽孔适配的第二转轴11462,这样一来,便可通过两组配合实现储料台翻转板的状态切换。
当储料台组件的长度不足需要使用储料台翻转组件时,将储料台翻转板落下,使安装块上的两个转轴分别处于储料台翻转支架的两个长条孔的顶部,通过阻挡螺钉可以使储料台翻转板处于水平位置,可以对储料台组件起到加长和延展的作用,以适应长方棒的放置。当储料台组件的长度足够时,将储料台翻转板抬起,使安装块上的两个转轴分别处于储料台翻转支架两个长条孔的底部,旋转储料台翻转板,使储料台翻转板绕着上方的转轴旋转,便可使储料台翻转板处于竖直位置,节省占用的空间。即:当硅棒的长度较长因此储料台组件的长度不够时,使储料台翻转板展开状态,这样一来便可以对储料台组件起到加长和延展的作用,从而能够更好地适应长棒的放置。而当硅棒的长度较短、储料台组件的长度足够时,使储料台翻转板处于收起状态,从而在不干涉储料台组件的功能的前提下还能够有效地节省储料台组件沿硅棒长度方向的占地空间。
在一种可能的实施方式中,上下料组件还包括防护组件,防护组件主要用于对上下料组件进行防护。如防护组件可以为防护网或者光幕防护等。
可以看出,本实用新型的磨床主要具有如下几方面的优点:
1)基于转运机构,本实用新型的磨床能够兼容磨前上料与磨后下料的运移操作,可明显降低成本。且转运机构的横向移动组件和纵向移动组件具有较高的传动精度较高,能够保证磨前上料与磨后下料的运移可靠性。
2)通过对夹爪组件的双夹持空间进行区分设计,使得转运机构能够更好地满足针对磨前上料与磨后下料的运移操作。具体而言,夹爪组件分别通过第一夹持空间和第二夹持空间对硅棒进行V型夹持(磨前的毛棒)和0°夹持(磨后的成品棒)。并且,通过为对应于0°夹持的第二夹持空间配置防坠组件,能够有效地防止成品硅棒出现如坠落等现象。
3)夹爪组件在上料期间(夹持前)便可完成对硅棒长度的测量,节省了整个磨削作业的节拍。固定夹爪组件主要通过丝杠螺母机构中两端螺纹段的配合实现对硅棒的抓取和对中操作,并且固定夹爪驱动电机在驱动丝杠螺母机构的同时又可以直接计算出硅棒的截面尺寸,节省了节拍。
4)夹爪组件中的调整夹爪组件配置有能够实现横向微调的第一调整组件以及能够实现纵向微调的第二调整组件,基于此便允许磨床能够抓取尺寸/姿态存在一定偏差的硅棒,因此磨床对于硅棒具有更强的适应性。
5)在夹爪组件从上料组件处抓料或者向下料组件放料的过程中,硅棒与夹爪组件之间不会产生相对位移,因此可降低由此导致的如硅棒被损伤等风险,从而保证了磨床的可靠性。
可以看出,在本实用新型的优选实施方式的磨床中,通过转运机构与上料组件的配合,能够以V型夹持的方式将硅棒(待磨削的毛棒)转运至磨削装置,在此基础上以硅棒固定(夹头组件固定)、磨削组件往复运动的方式完成对硅棒的磨削作业。通过转运机构与下料组件的配合,能够以0°面常规夹持的方式将硅棒(已完成磨削的成品棒)转运出磨削装置。
至此,已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案,但是,本领域技术人员容易理解的是,本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下,本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换,这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (14)
1.一种夹爪组件,其特征在于,所述夹爪组件包括:
第一夹爪组件;
第二夹爪组件;以及
调整部,其包括:
第一调整组件,其能够使得所述第一夹爪组件和所述第二夹爪组件的至少一个的两个夹爪之间产生沿靠近/远离彼此的第一方向的运动或者沿该第一方向的同向运动;并且/或者
第二调整组件,其能够带动所述第一夹爪组件和所述第二夹爪组件的至少一个的两个夹爪之间产生沿与第一方向具有夹角的第二方向的相对运动或者沿该第二方向的同向运动。
2.根据权利要求1所述的夹爪组件,其特征在于,所述第二方向为竖直方向。
3.根据权利要求1所述的夹爪组件,其特征在于,所述第一夹爪组件和所述第二夹爪组件中的至少一个配置有所述第一调整组件和所述第二调整组件。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的夹爪组件,其特征在于,所述第一调整组件包括:
至少一个第一夹爪驱动部件,所述第一夹爪组件和/或所述第二夹爪组件中的两个夹爪能够在所述至少一个第一夹爪驱动部件的驱动下以相互独立的方式或者相关联的方式产生沿所述第一方向的运动。
5.根据权利要求4所述的夹爪组件,其特征在于,所述第一调整组件包括:
与所述第一夹爪组件和/或所述第二夹爪组件中的两个夹爪对应的两个第一夹爪驱动部件,两个所述第一夹爪驱动部件至少能够驱动相应的两个夹爪以相对独立的方式运动。
6.根据权利要求5所述的夹爪组件,其特征在于,所述第一调整组件包括齿轮齿条副,所述第一夹爪驱动部件能够通过所述齿轮齿条副驱动对应于所述齿轮齿条副的夹爪运动。
7.根据权利要求6所述的夹爪组件,其特征在于,与所述第一夹爪驱动部件相应的所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件包括第一调整导向结构,所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件的夹爪能够沿所述第一调整导向结构运动。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的夹爪组件,其特征在于,所述第二调整组件包括:
第二夹爪驱动部件,其能够驱动所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件的两个夹爪产生沿所述第二方向的相对运动或者两个夹爪之间产生沿所述第二方向的相对运动。
9.根据权利要求8所述的夹爪组件,其特征在于,所述第二调整组件包括偏心结构,所述第二夹爪驱动部件通过所述偏心结构驱动所述两个夹爪产生沿所述第二方向的相对运动或者两个夹爪之间产生沿所述第二方向的相对运动。
10.根据权利要求9所述的夹爪组件,其特征在于,与所述第二夹爪驱动部件相应的所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件包括夹爪基体,
所述夹爪基体包括活动部分,所述活动部分上具有预留空间,所述偏心结构能够与所述预留空间配合并因此使得所述两个夹爪产生沿所述第二方向的运动。
11.根据权利要求10所述的夹爪组件,其特征在于,所述夹爪基体包括固定部分,所述第二夹爪驱动部件设置于所述固定部分。
12.根据权利要求10所述的夹爪组件,其特征在于,与所述第二夹爪驱动部件相应的所述第一夹爪组件或者所述第二夹爪组件包括第二调整导向结构,所述活动部分以及设置于所述活动部分上的夹爪能够沿所述第二调整导向结构运动。
13.根据权利要求9所述的夹爪组件,其特征在于,所述偏心结构为凸轮。
14.一种磨床,其特征在于,所述磨床包括权利要求1至13中任一项所述的夹爪组件。
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