CN220305183U - 一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，涉及缺陷检测技术领域，包括底板和竖板，所述竖板固定设置于底板的上表面一侧，所述竖板的内侧转动设置有第一转杆，所述第一转杆的一端固定套接有转盘，所述转盘的一侧固定设置有电动推杆，所述电动推杆的活塞杆末端固定设置有工业相机；所述底板的上表面且位于远离竖板的一侧转动设置有第二转杆，所述第二转杆的上端固定设置有放置盘；所述第一转杆的杆壁固定套接有蜗轮，所述蜗轮的一侧啮合设置有蜗杆，所述蜗杆的下端与底板转动连接，所述底板的上侧设置有依次带动蜗杆和第二转杆转动的第一传动机构。本实用新型能够连续自动化缺陷检测，能够大大提高工作效率。

Description

一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及缺陷检测技术领域，具体涉及一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置。

背景技术

硅基氮化镓外延片是指在蓝宝石、硅、氮化硅和氮化镓等衬底上进行氮化镓外延，外延片作为半导体原材料，位于半导体产业链上游，是半导体制造产业的支撑性行业，为保证产品质量，在硅基氮化镓外延片生产完成后需要使用工业相机对其表面进行缺陷检测。

传统的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置中工业相机通常为固定设置，因此对硅基氮化镓外延片两侧检测需要设置两个工业相机，无疑增加了检测成本，而且通常需要人工手动换料，费时费力。

实用新型内容

鉴于上述现有硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置存在的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型目的是提供一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，解决了现有技术中硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置中工业相机通常为固定设置，因此对硅基氮化镓外延片两侧检测需要设置两个工业相机，无疑增加了检测成本，而且通常需要人工手动换料，费时费力的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，包括底板和竖板，所述竖板固定设置于底板的上表面一侧，所述竖板的内侧转动设置有第一转杆，所述第一转杆的一端固定套接有转盘，所述转盘的一侧固定设置有电动推杆，所述电动推杆的活塞杆末端固定设置有工业相机；

所述底板的上表面且位于远离竖板的一侧转动设置有第二转杆，所述第二转杆的上端固定设置有放置盘；

所述第一转杆的杆壁固定套接有蜗轮，所述蜗轮的一侧啮合设置有蜗杆，所述蜗杆的下端与底板转动连接，所述底板的上侧设置有依次带动蜗杆和第二转杆转动的第一传动机构。

优选的，所述第一传动机构包括两个传动杆，两个所述传动杆设置于蜗杆和第二转杆之间，两个所述传动杆的一端均与底板转动连接，所述蜗杆和第二转杆的下端均固定套接有直齿轮，两个传动杆的杆壁均固定套接有不完全齿轮，所述不完全齿轮与对应的直齿轮相匹配，所述底板的上表面固定设置有两个固定板，两个所述固定板的上侧固定设置有横板，所述横板的上表面一侧固定设置有电机，所述电机的输出端与对应的转杆的上端固定连接，所述底板的上侧设置有带动两个所述传动杆同步转动的第二传动机构。

优选的，所述第二传动机构包括两个传动轮，两个所述传动轮分别固定套接于对应的传动杆的下端，两个所述传动轮通过传动带传动连接。

优选的，所述蜗杆的上端转动连接有支撑板，所述支撑板的一侧与竖板固定连接。

优选的，两个所述固定板的下端且与所述传动带对应的位置均开设有通槽。

优选的，所述电机通过支撑架与横板固定连接。

优选的，所述第二转杆与底板的连接部设置有阻尼套。

优选的，所述电动推杆和工业相机的内部均设置有蓄电池。

优选的，所述放置盘的侧壁开设有多个避让槽。

优选的，所述放置盘为透明板。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

本实用新型，通过两个传动杆带动两个不完全齿轮转动，两个不完全齿轮依次带动对应的直齿轮转动，首先带动蜗杆转动，蜗杆带动蜗轮转动，使得带动转盘转动，即使得电动推杆带动工业相机对下方外延片上表面检测后旋转至外延片下侧继续检测，然后第二转杆转动，第二转杆将下一外延片旋转至与工业相机对应的位置，即能够进行连续自动化缺陷检测，能够大大提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提出的一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置的结构示意图；

图2为图1中局部A部分的结构放大示意图；

图3为图1中放置盘的立体图。

附图标记说明：

1、底板；2、竖板；3、第一转杆；4、转盘；5、电动推杆；6、工业相机；7、第二转杆；8、放置盘；9、支撑板；10、蜗杆；11、蜗轮；12、直齿轮；13、横板；14、传动杆；15、不完全齿轮；16、固定板；17、电机；18、传动轮；19、传动带。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

本实用新型实施例公开一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置。

实施例一

参照图1-3，一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，包括底板1和竖板2，竖板2固定设置于底板1的上表面一侧，竖板2的内侧转动设置有第一转杆3，第一转杆3的一端固定套接有转盘4，转盘4的一侧固定设置有电动推杆5，电动推杆5的活塞杆末端固定设置有工业相机6，电动推杆5和工业相机6的内部均设置有蓄电池，能够有效防止旋转过程中发生电源线缠绕的现象；

底板1的上表面且位于远离竖板2的一侧转动设置有第二转杆7，第二转杆7的上端固定设置有放置盘8，放置盘8的侧壁开设有多个避让槽，尽量防止对工业相机6的旋转造成干涉，放置盘8为透明板，方便检测外延片下表面，第二转杆7与底板1的连接部设置有阻尼套，方便第二转杆7悬停；

第一转杆3的杆壁固定套接有蜗轮11，蜗轮11的一侧啮合设置有蜗杆10，蜗杆10的下端与底板1转动连接，蜗杆10的上端转动连接有支撑板9，支撑板9的一侧与竖板2固定连接，使得蜗杆10能够稳定的转动。

实施例二

参照图1-3，底板1的上侧设置有依次带动蜗杆10和第二转杆7转动的第一传动机构，第一传动机构包括两个传动杆14，两个传动杆14设置于蜗杆10和第二转杆7之间，两个传动杆14的一端均与底板1转动连接，蜗杆10和第二转杆7的下端均固定套接有直齿轮12，两个传动杆14的杆壁均固定套接有不完全齿轮15，不完全齿轮15与对应的直齿轮12相匹配，底板1的上表面固定设置有两个固定板16，两个固定板16的上侧固定设置有横板13，横板13的上表面一侧固定设置有电机17，电机17的输出端与对应的转杆的上端固定连接，电机17通过支撑架与横板13固定连接，使得电机17与横板13连接的更稳固。

实施例三

参照图1-3，底板1的上侧设置有带动两个传动杆14同步转动的第二传动机构，第二传动机构包括两个传动轮18，两个传动轮18分别固定套接于对应的传动杆14的下端，两个传动轮18通过传动带19传动连接，两个固定板16的下端且与传动带19对应的位置均开设有通槽，方便穿设传动带19。

本实用新型中，在使用时，电机17带动一侧传动杆14转动，经传动轮18和传动带19传动，两个传动杆14带动两个不完全齿轮15转动，两个不完全齿轮15依次带动对应的直齿轮12转动，首先带动蜗杆10转动，蜗杆10带动蜗轮11转动，使得带动转盘4转动，即使得电动推杆5带动工业相机6对下方外延片上表面检测后旋转至外延片下侧继续检测，然后第二转杆7转动，第二转杆7将下一外延片旋转至与工业相机6对应的位置，即能够进行连续自动化缺陷检测，能够大大提高工作效率。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (10)

1.一种硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，包括底板(1)和竖板(2)，其特征在于，所述竖板(2)固定设置于底板(1)的上表面一侧，所述竖板(2)的内侧转动设置有第一转杆(3)，所述第一转杆(3)的一端固定套接有转盘(4)，所述转盘(4)的一侧固定设置有电动推杆(5)，所述电动推杆(5)的活塞杆末端固定设置有工业相机(6)；

所述底板(1)的上表面且位于远离竖板(2)的一侧转动设置有第二转杆(7)，所述第二转杆(7)的上端固定设置有放置盘(8)；

所述第一转杆(3)的杆壁固定套接有蜗轮(11)，所述蜗轮(11)的一侧啮合设置有蜗杆(10)，所述蜗杆(10)的下端与底板(1)转动连接，所述底板(1)的上侧设置有依次带动蜗杆(10)和第二转杆(7)转动的第一传动机构。

2.根据权利要求1所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第一传动机构包括两个传动杆(14)，两个所述传动杆(14)设置于蜗杆(10)和第二转杆(7)之间，两个所述传动杆(14)的一端均与底板(1)转动连接，所述蜗杆(10)和第二转杆(7)的下端均固定套接有直齿轮(12)，两个传动杆(14)的杆壁均固定套接有不完全齿轮(15)，所述不完全齿轮(15)与对应的直齿轮(12)相匹配，所述底板(1)的上表面固定设置有两个固定板(16)，两个所述固定板(16)的上侧固定设置有横板(13)，所述横板(13)的上表面一侧固定设置有电机(17)，所述电机(17)的输出端与对应的转杆的上端固定连接，所述底板(1)的上侧设置有带动两个所述传动杆(14)同步转动的第二传动机构。

3.根据权利要求2所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第二传动机构包括两个传动轮(18)，两个所述传动轮(18)分别固定套接于对应的传动杆(14)的下端，两个所述传动轮(18)通过传动带(19)传动连接。

4.根据权利要求1所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述蜗杆(10)的上端转动连接有支撑板(9)，所述支撑板(9)的一侧与竖板(2)固定连接。

5.根据权利要求3所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，两个所述固定板(16)的下端且与所述传动带(19)对应的位置均开设有通槽。

6.根据权利要求2所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述电机(17)通过支撑架与横板(13)固定连接。

7.根据权利要求1所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述第二转杆(7)与底板(1)的连接部设置有阻尼套。

8.根据权利要求1所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述电动推杆(5)和工业相机(6)的内部均设置有蓄电池。

9.根据权利要求1所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述放置盘(8)的侧壁开设有多个避让槽。

10.根据权利要求1所述的硅基氮化镓外延片表面缺陷检测装置，其特征在于，所述放置盘(8)为透明板。